專利名稱：：生產(chǎn)電子源基片以及帶有該基片的圖像形成設(shè)備的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及通過膠版印刷技術(shù)生產(chǎn)電子源基片的方法，以及生產(chǎn)圖像形成設(shè)備的方法。更具體地說，本發(fā)明涉及生產(chǎn)較大尺寸的圖像形成設(shè)備的方法。近年來，對(duì)用薄的平面板形式的圖象形成設(shè)備的重視有所增加，希望這種薄的平面板代替具有尺寸大和重量大的缺點(diǎn)的陰極射線管(CRT)。在各種類型的平面板圖像形成設(shè)備中，廣泛地研究了液晶顯示裝置。然而，液晶顯示裝置還有一個(gè)問題，即，顯示的圖像的亮度不夠高。另一個(gè)留下來的問題是視角被限制在一個(gè)窄的范圍內(nèi)。發(fā)射型顯示，例如等離子顯示裝置、熒光顯示裝置以及應(yīng)用發(fā)射電子的裝置的顯示裝置，是可以代替液晶顯示裝置的顯示裝置的有前途的選擇。這些發(fā)射型顯示設(shè)備能提供比液晶顯示裝置亮的圖像和寬的視角。另一方面，需要較大尺寸的顯示裝置。為了滿足這一要求，顯示面積大于30英寸的大尺寸的CRT最近已經(jīng)發(fā)展起來，并且也希望更大的CRT。然而，CRT的顯示面積越大，需要安裝CRT的空間越大。這意味著CRT不是非常適合于提供大的顯示表面。相反，具有相當(dāng)小尺寸的主體的發(fā)射型平面板顯示裝置能提供大的顯示屏尺寸，這樣，它們引起了最大的觀注。從這個(gè)觀點(diǎn)出發(fā)，在發(fā)射型的各種平面板圖像形成設(shè)備中，應(yīng)用發(fā)射電子裝置的圖像形成設(shè)備是非常有前途的。特別是，因?yàn)橥ㄟ^簡單的設(shè)備能發(fā)射電子，應(yīng)用由M.I.Elinson等人的(Radio.Eng.Electron.Phys.，10，1290(1965))提出的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的圖像形成設(shè)備是有吸引力的。在表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置中，在基片上形成小尺寸的薄膜以便當(dāng)電流以平行膜表面的方向流過薄膜時(shí)，發(fā)生電子發(fā)射。各種類型的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置已公知。它們包括應(yīng)用由Elinson等人的提出的SnO2薄膜的裝置、應(yīng)用薄Au膜(G.Dittmer，固體薄膜，9，317(1972))的裝置、應(yīng)用In2O3/SnO2薄膜(M.HartwellandC.G.Fonstad，IEEETrans.EDconf.，519(1975))的裝置以及應(yīng)用碳薄膜(Arakiet.al.，Vauum，26(1)，22(1983))的裝置。在此把由M.Hartwell等提議的裝置作為表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的代表的例子，并且它的結(jié)構(gòu)如圖9所示。在圖9中，參考數(shù)字1001指基片。參考數(shù)字1004指通過濺射把金屬氧化成H型的導(dǎo)電薄膜。導(dǎo)電薄膜1004受到以后更具體地描述的稱為形成增能的處理，以便在導(dǎo)電薄膜1004上形成發(fā)射電子區(qū)1005。電極間的導(dǎo)電薄膜1004的部分長度L在0.5mm到1mm的范圍內(nèi)，寬度為0.1mm。本發(fā)明的發(fā)明者已經(jīng)提出了表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置，在該裝置中具有發(fā)射電子能力的顆粒分散在一對(duì)裝置電極之間的區(qū)域，如美國專利5,066,883所公開的。該發(fā)射電子裝置的優(yōu)點(diǎn)在于能夠比上述其他傳統(tǒng)的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置更精確地控制發(fā)射電子的位置。圖3A和3B表示根據(jù)美國專利5,066,833公開的技術(shù)的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的典型結(jié)構(gòu)。這種表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置包括絕緣基片31、用來形成電連接的裝置電極32和33以及含有導(dǎo)電顆粒的導(dǎo)電薄膜34。在導(dǎo)電膜34中形成發(fā)射電子區(qū)35。在該表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置中，一對(duì)裝置電極間的距離L最好設(shè)為0.01μm到100μm范圍中的一個(gè)值，并且，發(fā)射電子區(qū)35的板電阻最好設(shè)為1×10-3Ω/□到1×10-9Ω/□范圍內(nèi)的一個(gè)值。裝置電極的厚度最好小于200nm，以便電極與由導(dǎo)電顆粒構(gòu)成的薄膜34有好的電接觸。當(dāng)安排大數(shù)目的相似的裝置時(shí)，為了獲得發(fā)射電子特征的小的變化，兩電極間的薄膜部分的長度和寬度的變化小是重要的。圖4A到4C表示了生產(chǎn)如圖3A和3B所示的發(fā)射電子裝置的過程。本發(fā)明的發(fā)明者已經(jīng)研究了通過在基片上安裝大量表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置獲得較大尺寸的圖象形成設(shè)備的技術(shù)。有形成在基片上具有發(fā)射電子裝置和內(nèi)連接的電子源的各種技術(shù)。該技術(shù)之一是通過光刻法形成全部的裝置電極和內(nèi)連接。然而，當(dāng)用基于光刻法的技術(shù)生產(chǎn)大尺寸圖像形成設(shè)備時(shí)，生產(chǎn)中需要大規(guī)模曝光設(shè)備。更進(jìn)一步，在該技術(shù)中，產(chǎn)生操作問題，因此很難形成在基片上具有小變化的良好的特征的大量的裝置。另一個(gè)技術(shù)應(yīng)用例如網(wǎng)板印刷或膠板印刷技術(shù)的印刷技術(shù)生產(chǎn)電路基片。該印刷技術(shù)適合于形成大面積的圖案。另外，該技術(shù)不昂貴。日本專利申請(qǐng)待公開4-290295公開了通過膠板印刷生產(chǎn)電路基片的技術(shù)的一個(gè)例子。在由日本專利申請(qǐng)待公開4-290295所公開的這種技術(shù)中，為了避免由于在印刷過程中膨脹和收縮所產(chǎn)生的電極至電極間間距的變化所產(chǎn)生的電接觸的故障，改變用于電路部件電連接的多個(gè)電極的角度。此外，日本專利申請(qǐng)待公開4-290295公開了通過膠版印刷形成電極圖案的技術(shù)。然而，如果應(yīng)用簡單的膠版印刷技術(shù)在基片上形成許多表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置來生產(chǎn)一個(gè)電子源基片，安裝在基片上的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置中的電子發(fā)射特征產(chǎn)生大的變化。因此，應(yīng)用該電子源基片所獲得的圖像形成設(shè)備將有差的圖像質(zhì)量。這主要是因?yàn)闄M過基片的裝置電極的形狀的變化。特別地，基片中心部分和邊緣區(qū)域間的形狀變化很大。本發(fā)明的一個(gè)目的是解決生產(chǎn)電子源基片和圖像形成設(shè)備中存在的上述問題。更具體的說，本發(fā)明的目的是提供一個(gè)生產(chǎn)電子源基片的方法，其特征在于通過膠版印刷在基片上形成許多發(fā)射電子裝置，以便使發(fā)射電子裝置的電極尺寸不產(chǎn)生變化或基本不變，從而保證發(fā)射電子裝置有一致的特征。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供生產(chǎn)能顯示高質(zhì)量圖像的圖象形成設(shè)備的方法。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供生產(chǎn)電子源基片的方法，該基片包括許多電子發(fā)射裝置，每一個(gè)電子發(fā)射裝置包括一對(duì)相對(duì)的電極，這些許多電子發(fā)射裝置安排在基片上，該方法包括的步驟有制備一個(gè)照相凹板，該照相凹板相應(yīng)于電極圖案有凹陷的部分，凹陷部分的深度在4μm至15μm范圍內(nèi)；在凹陷部分填充油墨；把一個(gè)膜壓到照相凹板上，以便把凹陷部分內(nèi)的油墨轉(zhuǎn)移到膜上；以及使膜與基片接觸，使油墨從膜上轉(zhuǎn)移到基片上，因此在基片上形成電極圖案。本發(fā)明還提供生產(chǎn)圖像形成設(shè)備的方法，該圖像形成設(shè)備包括電子源基片以及有熒光物質(zhì)安排在其上的前板，電子源基片和前板安排成彼此面對(duì)面，電子源基片包括許多電子發(fā)射裝置，每一個(gè)電子發(fā)射裝置包括一對(duì)相對(duì)的電極，許多電子發(fā)射裝置安排在基片上，電子發(fā)射裝置適合于發(fā)射電子，從而電子轟擊熒光物質(zhì)，因此形成圖像，該方法包括的步驟有制備具有與電極圖案相對(duì)應(yīng)的凹陷部分的照相凹板，凹陷部分的深度在4μm至15μm范圍內(nèi)；在凹陷部分中填充油墨；把一個(gè)膜壓到照相凹板上，以便使油墨從凹陷部分內(nèi)轉(zhuǎn)移到膜上；使膜與基片接觸以便使油墨從膜上轉(zhuǎn)移到基片上，因此在基片上形成電極圖案，這樣獲得了電子源的基片。圖1A和1B是表示根據(jù)本發(fā)明的照相凹板的略圖；圖2A至2D是表示根據(jù)本發(fā)明形成裝置電極的過程的略圖；圖3A和3B是本發(fā)明應(yīng)用的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的略圖；圖4A至4C是表示生產(chǎn)如圖3所示的發(fā)射電子裝置的過程的略圖；圖5A至5E是表示生產(chǎn)具有矩陣形式的內(nèi)連接的電子源基片的過程的略圖；圖6是形成電壓的波形的略圖；圖7是根據(jù)本發(fā)明生產(chǎn)的圖像形成設(shè)備的略圖；圖8是表示驅(qū)動(dòng)電路的一個(gè)例子的電路圖；以及圖9是表示傳統(tǒng)的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的略圖。下面將更詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的生產(chǎn)電子源基片和圖像形成設(shè)備的方法。在該發(fā)明中，照相凹板的凹陷部分的深度最好在4μm到15μm范圍之內(nèi)。在照相凹板上形成具有相當(dāng)小的深度的凹陷部分，以便能機(jī)械地限制膜表面穿入凹陷部分，因此不用執(zhí)行照相凹板壓力的微調(diào)就能避免印刷圖案的變形。這意味著該技術(shù)能減小基片中心和邊緣區(qū)域間裝置電極形狀的變化和減少電極和厚度變化，因而保證能在基片上形成許多發(fā)射電子裝置，并且電極間的裝置電極空隙(寬度)的長度的變化小。因此，本發(fā)明提供了具有發(fā)射電子裝置和一致的特征的電子源基片以及應(yīng)用該電子源基片的圖像形成設(shè)備。此外，在本發(fā)明中，因?yàn)檎障喟及宓陌枷莶糠志哂邢喈?dāng)小的深度，所以以近乎等于100％的高效(油墨轉(zhuǎn)移效率)把油墨從照相凹板的凹陷部分內(nèi)轉(zhuǎn)移到膜上。這樣就避免了由于沒有被轉(zhuǎn)移而留在凹陷部分的殘留油墨的問題。在本發(fā)明中，凹陷部分的深度最好在4μm到15μm范圍之內(nèi)，更好的是在4μm到12μm之間，特別好是在7μm到9μm之間。在這個(gè)發(fā)明中，油墨膠的粘度不應(yīng)太高，這是因?yàn)楦哒扯仍斐呻y于把油墨從凹陷部分中移去并且因此產(chǎn)生把油墨轉(zhuǎn)移到膜上的困難。另一方面，如果油墨的粘度太低，油墨的流動(dòng)性導(dǎo)致裝置電極圖案不佳的均一性。因此，在本發(fā)明中，油墨粘度宜在1000cps至10000cps范圍內(nèi)，最好的是在1000cps至5000cps范圍內(nèi)。應(yīng)用上述粘度范圍的油墨能形成小于200nm的小厚度并且厚度變化非常小的電極圖案。油墨膠最好是含7％到15％的鉑(Pt)或金(Au)的樹脂酸鹽膏類型。雖然本發(fā)明不局限于特殊的印刷壓力范圍，但是，希望調(diào)節(jié)印刷壓力以便為了在大量發(fā)射電子裝置、包括該發(fā)射電子裝置的電子源以及圖象形成設(shè)備的生產(chǎn)中獲得良好的再現(xiàn)性，膜穿透的量落在50μm到200μm范圍內(nèi)。此外，為了獲得良好的油墨轉(zhuǎn)移，最好使用覆蓋有硅化橡膠的膜。這是希望的，特別是當(dāng)油墨轉(zhuǎn)移到無油墨吸收能力的基片材料上，例如玻璃基片?，F(xiàn)在，根據(jù)本發(fā)明生產(chǎn)具有電子源基片的圖像形成設(shè)備的方法將描述如下。即，如下生產(chǎn)圖像形成設(shè)備(1)首先，在基片上以矩陣形式形成許多對(duì)相對(duì)的裝置電極。(2)然后，矩陣形式形成內(nèi)連接，以便通過這些內(nèi)連接把裝置電極連接起來。(3)在相對(duì)的裝置電極間形成起電子發(fā)射區(qū)作用的導(dǎo)電薄膜。這樣就獲得了一個(gè)電子源基片。(4)通過在透明基片的表面涂敷熒光物質(zhì)生產(chǎn)前板。(5)安排電子源基片以及前板，以便使它們彼此面對(duì)，從而形成真空腔。(6)真空腔內(nèi)部抽真空。然后，執(zhí)行增能形成和消氣。這樣就獲得了圖像形成設(shè)備。如果通過例如圖8所示的驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)具有矩陣形式內(nèi)連接的作為結(jié)果顯示板，那么能夠在該顯示板上顯示電視圖像。下面將更詳細(xì)地描述圖8所示的驅(qū)動(dòng)電路。在圖8中，參考數(shù)字901代表一個(gè)具有矩陣形式內(nèi)連接的顯示板。該驅(qū)動(dòng)電路包括一個(gè)掃描電路902、一個(gè)控制電路903。位移寄存器904、一個(gè)線存貯器905、一個(gè)同步信號(hào)提取電路906、調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907以及直流電壓源Vx和Va。顯示板901通過接線端Dox1至Doxm、接線端Doy1到Doyn以及高壓接線端Hv與外電路連接。通過如下的這些接線端驅(qū)動(dòng)安排在顯示板上的電子源。以mnx的矩陣形式安排的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置通過接線端Dox1到Doxm施加的掃描信號(hào)一排一排地驅(qū)動(dòng)。通過接線端Doy1到Doyn，把調(diào)制信號(hào)施加到由掃描信號(hào)選擇的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的線上的每一個(gè)裝置，因此控制每一個(gè)裝置發(fā)射的電子束。通過高壓接線端HV從直流電壓源Va提供例如10kv的直流電壓。該電壓用來加速從每個(gè)表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置發(fā)射的電子束，以便使電子獲得足夠高的能量激發(fā)熒光物質(zhì)。掃描電路902如下操作。掃描電路902包括m個(gè)開關(guān)元件(在圖8中的S1到Sm)。每個(gè)開關(guān)元件選擇由直流電壓源輸出的電壓Vx或者Ov(地電平)，以便通過接線端Dox1到Doxm向顯示板901供應(yīng)選擇的電壓。每一個(gè)開關(guān)元件S1到Sm和例如FET的開關(guān)裝置一起形成。這些開關(guān)元件S1到Sm相應(yīng)于由控制電路903供應(yīng)的控制信號(hào)Tscan進(jìn)行操作。在這個(gè)實(shí)施例中，直流電壓源Vx的輸出電壓被設(shè)置為一個(gè)固定值，以便供應(yīng)給沒有被掃描的裝置一個(gè)小于表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的電子發(fā)射閥值電壓的電壓。控制電路903負(fù)責(zé)控制各種電路，以便根據(jù)外部電路供應(yīng)的圖像信號(hào)正確地顯示圖像。為了響應(yīng)從同步信號(hào)提取電路906中得到的同步信號(hào)Tsync，控制電路903產(chǎn)生控制信號(hào)Tscan、Tsft和Tmrg，并且把這些信號(hào)送到相應(yīng)的電路。同步信號(hào)提取電路906構(gòu)成為一個(gè)公共濾波電路，這樣能根據(jù)外部電路提供的NTSC標(biāo)準(zhǔn)從電視信號(hào)中提取同步信號(hào)成分和亮度信號(hào)成分。雖然由同步信號(hào)提取電路906提取的同步信號(hào)在圖8中簡單地標(biāo)為Tsync，但是，實(shí)際的同步信號(hào)由垂直同步信號(hào)和水平同步信號(hào)組成。在圖8中，由電視信號(hào)中提取的圖像亮度信號(hào)成分標(biāo)為DATA。這個(gè)DATA信號(hào)施加到移位寄存器904。移位寄存器904把以時(shí)間先后獲得的DATA信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像以并行的形式的一線一線的信號(hào)。對(duì)應(yīng)于由控制電路903產(chǎn)生的控制信號(hào)Tsft執(zhí)行移位寄存器904的上述轉(zhuǎn)換操作(這就意味著該控制信號(hào)Tsft作為移位寄存器904的移位閉鎖信號(hào))。圖像數(shù)據(jù)被轉(zhuǎn)換成并行形式之后，從移位寄存器904中以包括Id1到Idn的并行信號(hào)的形式一線一線的輸出(因此驅(qū)動(dòng)n個(gè)發(fā)射電子裝置)。線存貯器905存貯在要求的時(shí)間間隔內(nèi)的圖像數(shù)據(jù)的一線。即，線存貯器905在由控制電路903產(chǎn)生的控制信號(hào)Tmry的控制下存貯數(shù)據(jù)Id1到Idn。存貯的數(shù)據(jù)的內(nèi)容作為數(shù)據(jù)I′d1到I′dn從線存貯器905中輸出并且供應(yīng)給調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907。根據(jù)相應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)I′d1到I′dn調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907產(chǎn)生信號(hào)，以便通過由調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907產(chǎn)生的相應(yīng)的調(diào)制信號(hào)驅(qū)動(dòng)每個(gè)表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置，其中，通過接線端Doy1到Doyn把調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907的輸出信號(hào)供給顯示板901的表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置。應(yīng)用在本發(fā)明中的發(fā)射電子裝置具有以如下面描述的發(fā)射電流Ic來表示的基本特征。在電子發(fā)射中，有一個(gè)明顯的電壓閥值Vth。即，只有當(dāng)大于閥值電壓Vth的電壓施加到發(fā)射電子裝置上時(shí)，發(fā)射電子裝置能發(fā)射電子。在作用在發(fā)射電子裝置的電壓大于該閥值電壓情況下，發(fā)射電流隨著應(yīng)用的電壓的變化而變化。因此，當(dāng)由一脈沖電壓驅(qū)動(dòng)發(fā)射電子裝置時(shí)，如果電壓小于電子發(fā)射閥值電壓，無電子發(fā)射，而當(dāng)脈沖電壓大于閥值電壓時(shí)，發(fā)射電子束。這樣，能夠通過改變脈沖的峰值電壓Vm來控制電子束的強(qiáng)度。另外，也能夠通過改變脈沖寬度Pw來控制電子束負(fù)載的電荷全量。正如上述所討論的，基于電壓調(diào)制或者脈沖寬度調(diào)制能用來控制發(fā)射電子裝置，以便根據(jù)輸入信號(hào)發(fā)射電子裝置發(fā)射電子。當(dāng)應(yīng)用電壓調(diào)制技術(shù)時(shí)，設(shè)計(jì)調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907來產(chǎn)生具有固定寬度的和根據(jù)輸入數(shù)據(jù)而改變的峰值電壓的脈中。另一方面，如果應(yīng)用脈沖寬度調(diào)制技術(shù)，設(shè)計(jì)調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907來產(chǎn)生具有固定峰電壓的和根據(jù)輸入數(shù)據(jù)而改變的寬度的脈沖。只要以希望的速率正確進(jìn)行圖像信號(hào)的串行到并行的轉(zhuǎn)換以及存貯操作，移位寄存器904和線存貯器905可以是模擬型或數(shù)字型的。當(dāng)這些電路應(yīng)用數(shù)字技術(shù)時(shí)，需要模/數(shù)轉(zhuǎn)換器與同步信號(hào)提取電路906的輸出相連接，以便使同步信號(hào)提取電路906的輸出信號(hào)DATA從模擬型轉(zhuǎn)換成數(shù)字型。另外，應(yīng)根據(jù)線存貯器905輸出的是數(shù)字信號(hào)還是模擬信號(hào)來選擇適當(dāng)形式的調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907。當(dāng)應(yīng)用用數(shù)字信號(hào)的電壓調(diào)制技術(shù)時(shí)，要求調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907包括一個(gè)數(shù)/模轉(zhuǎn)換器并且按要求附加一個(gè)放大器。在脈沖寬度調(diào)制的情況下，和一個(gè)高度信號(hào)發(fā)生器、記錄由信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生的脈沖數(shù)目的計(jì)數(shù)器以及比較計(jì)數(shù)器的輸出值和上述存貯器的輸出值的比較器一起構(gòu)成調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907。如果需要的話，進(jìn)一步在上述中添加一個(gè)放大器，以便把比較器輸出的脈沖寬度調(diào)制信號(hào)的電壓放大到能夠驅(qū)動(dòng)表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的足夠大的電壓。另一方面，在應(yīng)用用模擬信號(hào)的電壓調(diào)制技術(shù)的情況下，作為調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907應(yīng)用例如運(yùn)算放大器的放大器。如果需要，附加一個(gè)電平移位裝置。在脈沖寬度調(diào)制技術(shù)與模擬技術(shù)相聯(lián)系的情況下，電壓控制振蕩發(fā)生器(VCO)能用作調(diào)制信號(hào)發(fā)生器907。如果需要的話，在上述中進(jìn)一步加入一個(gè)放大器，以便把電壓控制振蕩發(fā)生器VCO的輸出電壓放大到能驅(qū)動(dòng)表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的足夠大的電壓。在以根據(jù)本發(fā)明的上述方法構(gòu)造的圖像顯示裝置中，通過外部接線端Dox1到Doxm和Doy1到Doyn，把一個(gè)電壓加到每個(gè)發(fā)射電子裝置上，從而發(fā)射電子。通過由高壓接線端HV施加到金屬背面85或透明電極(未示出)的高壓加速發(fā)射的電子。加速電子轟擊熒光膜84以便通過由熒光膜發(fā)射的光形成圖像。參考具體的實(shí)施例，下面將更詳細(xì)地描述本發(fā)明。實(shí)施例1和比較例1參考圖1A、1B和2A到2D，下面將詳細(xì)描述通過膠版印刷形成裝置電極的過程。在這個(gè)實(shí)施例中，應(yīng)用具有不同深度的凹陷部分的各種照相凹版，并且比較結(jié)果。首先，將描述應(yīng)用膠版印刷技術(shù)形成發(fā)射電子裝置的裝置電極的方法。圖2A到2D是表示印刷過程的橫截面圖。在這些圖中，參考數(shù)字21代表油墨供應(yīng)裝置，22代表由鍍鉻的黃銅組成的凹版金屬版，以及29代表凹版金屬版上形成的凹陷部分，其中，凹陷部分是根據(jù)要印刷的圖案形成的。參考數(shù)字25代表供應(yīng)到凹版金屬版22的油墨，該油墨由樹脂酸鉑膏組成。參考數(shù)字26代表由瑞典鋼組成的刮漿刀，該刮漿刀在凹版金屬版22的表面上滑動(dòng)，以便使油墨供應(yīng)到凹陷部分中。參考號(hào)23代表由尺寸為40cm×40cm的藍(lán)色板玻璃組成的基片。參考數(shù)字27代表覆蓋有硅化橡膠的膜，該膜在凹版金屬版22上和基片23上轉(zhuǎn)動(dòng)并且移動(dòng)，同時(shí)對(duì)凹版金屬版22和基片23施加一個(gè)壓力。根據(jù)本實(shí)施例，油墨25位于凹版金屬版22之上(圖2A)。然后，刮漿刀26滑過凹版金屬板22的表面，并且以2mm的量壓住凹版金屬版22的表面，保持刮漿刀26與凹版金屬版22的表面成600角，因此把油墨25填入凹陷部分29(圖2B)。然后，膜27在凹版金屬版22上旋轉(zhuǎn)并轉(zhuǎn)動(dòng)并且施加一個(gè)壓力(圖2c)以便使油墨25轉(zhuǎn)移到膜27上。然后，膜27在基片23表面上施轉(zhuǎn)并移動(dòng)并且施加一個(gè)壓力，以便使油墨進(jìn)一步轉(zhuǎn)移到玻璃基片23的表面上，因此形成裝置電極圖案34(圖2D)。在這個(gè)實(shí)施例中，應(yīng)用由粘度為7000cps的樹脂酸鉑膏(含7wt％的金屬)組成的油墨25。在所有的情況下，用50μm的壓力壓緊照相凹版以及50μm的印刷壓力執(zhí)行印刷。用圓錐直徑20cm和圓錐角50的圓錐板工具計(jì)算油墨粘度。應(yīng)用6個(gè)不同的照相金屬凹板22，對(duì)應(yīng)印刷圖案的凹陷部分29分別以4、7、9、12、15和20μm的深度形成在凹版金屬版的表面上。應(yīng)用在該實(shí)施例中的裝置電極圖案由許多以矩陣形式安排的一對(duì)對(duì)電極，其中，每對(duì)電極中的一個(gè)電極是尺寸為500μm×150μm的矩形，每對(duì)電極中的另一個(gè)電極是尺寸為350μm×200μm的矩形，電極安排的位置彼此被20μm的空隙隔開。在完成把油墨轉(zhuǎn)移到玻璃基片上之后，玻璃基片在爐子中800C下干燥10分鐘，然后，在帶輸送爐中在峰值溫度為5800C下焙干10分鐘。這樣，就形成了在實(shí)際實(shí)用中具有足夠好的質(zhì)量的裝置電極，但是應(yīng)用的照相凹版的凹陷濃度為20μm除外。結(jié)果總結(jié)在表1中。表1注◎優(yōu)異；○良好；△能用；×不能用印刷壓力＝50μm；凹版壓力＝50μm實(shí)施例2以與實(shí)施例1相似的方式形式裝置電極，但是應(yīng)用粘度為1000cps或5000cps的樹脂酸鉑膏代替實(shí)施例中應(yīng)用的粘度為7000cps(含金屬7wt％)的膏以及應(yīng)用凹陷深度分別為4、7、9、12μm的照相凹板。如表2所示粘度為1000cps和5000cps的兩種油墨表現(xiàn)出相似的結(jié)果。表2注◎優(yōu)異；○良好；△能用；印刷壓力＝50μm；凹版壓力＝50μm實(shí)施例3以與實(shí)施例1相似的方式形成裝置電極，但是由含有5、10或15wt％的樹脂酸鉑膏代替實(shí)施例1中應(yīng)用的樹脂酸鉑膏(粘度為7000cps以及含有7wt％的金屬)。另外，應(yīng)用凹陷深度為7μm或9μm的照相凹版。結(jié)果在表3中總結(jié)。如表3所示，凹陷深度為7μm和9μm的照相凹版無明顯區(qū)別。表3</tables>注◎優(yōu)異；○良好；凹陷部分的深度＝7μm，9μm；印刷壓力＝50μm；凹版壓力＝50μm雖然在上述實(shí)施例中應(yīng)用樹脂酸鉑膏，但也可由金Au、鈀Pd或銀Ag代替鉑。另外，印刷壓力可以是50μm到200μm范圍內(nèi)的一個(gè)值。實(shí)施例4如果在上述基片上加上薄的導(dǎo)電膜并且形成內(nèi)連接，就獲得了電子源的基片。如果安排一個(gè)涂有熒光物質(zhì)的前板，以便使它面對(duì)電子源基片，從而形成一個(gè)真空腔，就獲得一個(gè)圖像形成設(shè)備。參考圖5A到5E，下面將更詳細(xì)地描述圖像形成設(shè)備和電子源基片的形成過程。根據(jù)實(shí)施例1，2或3制備尺寸為40cm×40cm具有大量一對(duì)對(duì)的裝置電極32和33的電子源基片。在基片上形成第一內(nèi)連接(低水平內(nèi)連接)。即，通過把銀膏作為導(dǎo)電膏并加以烘干的網(wǎng)版印刷技術(shù)形成厚度為12μm寬度為100μm的低水平內(nèi)連接圖案51(圖5B)。然后，通過把包括氧化鉛的厚膜膏作為與玻璃粘合劑和樹脂混合的主要的成份的網(wǎng)版印刷技術(shù)形成與低水平內(nèi)連接圖案垂直延伸的內(nèi)層絕緣膜圖案。執(zhí)行兩次具有厚膜膏的網(wǎng)版印刷以及其后的烘干，因此形成條形式的內(nèi)層絕緣膜52(圖5C)。然后，通過應(yīng)用與用來形成低水平內(nèi)連接圖案相似的網(wǎng)版印刷技術(shù)形成厚度為12μm寬度為100μm的第二內(nèi)連接圖案(上部水平內(nèi)連接圖案)。這樣，矩陣形式的內(nèi)連接包括彼此重直交差的條形低水平內(nèi)連接和條形上部水平內(nèi)連接(圖5D)。如下形成電子發(fā)射區(qū)。首先，在已經(jīng)形成裝置電極32和33以及內(nèi)連接51和52的基片上涂敷有機(jī)鈀(OkunoSeiyakukogyoCo.，Ltd.出產(chǎn)和CCP4230)。然后在3000C下加熱10分鐘，因而形成厚度為10nm主要由Pd顆粒組成的導(dǎo)電薄膜54。該薄膜54含有由許多顆粒組成的混合物。顆粒分散在膜內(nèi)，或者安排這些顆粒使它們彼此相鄰或彼此重疊(或者可以以島的形式安排)。顆粒的直徑參考上述狀態(tài)中表示的顆粒的直徑。通過光刻法形成鈀膜圖案。這樣就獲得了電子源的基片(圖5E)。參考圖7描述使用上述的電子源基片生產(chǎn)圖像形成設(shè)備。具有矩陣形內(nèi)連接72和73的電子源基片71固定在后板81上。安排具有黑色條紋(未示出)的玻璃基片83，熒光物質(zhì)84以及金屬基座85，以便通過支架82面對(duì)電子源基片71，并且由熔化的玻璃密封這些元件。這樣從上述過程形成真空腔，并且通過抽空管(未示出)抽空真空腔內(nèi)的氣體，直到真空腔內(nèi)的壓力變得足夠低為止。然后，通過外部接線端Dx1至DX1和Dy1至Dym在每個(gè)表面導(dǎo)電發(fā)射電子裝置的裝置電極間施加電壓，以便使導(dǎo)電薄膜受到形成處理，因而形成電子發(fā)射區(qū)。應(yīng)用如圖6所示的具有脈寬T1、脈沖間隔T2的波形的電壓的執(zhí)行形成過程。在該實(shí)施例中，T1設(shè)為1毫秒(msec)，T2設(shè)為10毫秒(msec)。三角形波的峰值電壓設(shè)為14V。完成低壓約為1×10-6Torr的形成過程之后，用氣體噴燈燒去抽空管，因而密封箱(外殼)88。另外，執(zhí)行除氣，從而在密封之后箱88中的壓力足夠低。結(jié)果顯示板與如圖8所示的驅(qū)動(dòng)電路連接，以便能在該板上顯示電視圖像。這樣，獲得完整的圖像顯示裝置。在該圖像顯示裝置上形成的大量裝置電極的尺寸變化小，因此，圖像顯示裝置表現(xiàn)出顯示高質(zhì)量圖像的優(yōu)異的能力，并且在長的時(shí)間期限內(nèi)觀察不到顯示能力的下降。權(quán)利要求1.一種生產(chǎn)電子源基片的方法，所述的基片包括許多電子發(fā)射裝置，每個(gè)電子發(fā)射裝置包括一對(duì)相對(duì)電極，所述的這些許多的電子發(fā)射裝置安排在所述的基片之上，該方法包括的步驟有制備具有對(duì)應(yīng)于所述的電極圖案的凹陷部分的照相凹版，所述的凹陷部分的深度在4μm至15μm范圍之內(nèi)；把油墨填入所述的凹陷部分；把膜壓到所述的照相凹版上，以便使油墨從凹陷部分內(nèi)部轉(zhuǎn)移到所述的膜上；以及使所述的膜與所述的基片接觸，以便使油墨從所述的膜上轉(zhuǎn)移到所述的基片上，因此在基片上形成所述的電極圖案。2.一種根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，所述的凹陷部分的深度在4μm到12μm的范圍內(nèi)。3.一種根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，所述的凹陷部分的深度在4μm到9μm的范圍內(nèi)。4.一種根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，所述的凹陷部分的深度在7μm到9μm的范圍內(nèi)。5.一種根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，所述的油墨的粘度在1000cps到10000cps范圍內(nèi)。6.一種根據(jù)權(quán)利要求5的方法，其特征在于，所述的油墨的粘度在1000cps到5000cps范圍內(nèi)。7.一種根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，所說的油墨包括有一種金屬有機(jī)化合物。8.一種根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，所說的金屬有機(jī)化合物的濃度在7％至15％(重量)范圍內(nèi)。9.一種根據(jù)權(quán)利要求7的方法，其特征在于，所說的金屬有機(jī)化合物的金屬元素從Pt、Au、Pd和Ag中選擇。10.一種根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，所說的膜施加的印刷壓力在50μm到200μm范圍內(nèi)。11.一種根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，所說的膜包括硅化橡膠。12.一種生產(chǎn)圖像形成設(shè)備的方法，所說的圖像形成設(shè)備包括一個(gè)電子源基片和在其上安排有熒光物質(zhì)的前板，安排所說的電子源基片和前板以便使它們彼此面對(duì)，所說的電子源基片包括許多電子發(fā)射裝置，每個(gè)電子發(fā)射裝置包括一對(duì)相對(duì)電極，在所說的基片上安排許多所說的電子發(fā)射裝置，所說的電子發(fā)射裝置適合于發(fā)射電子，以便使電子轟擊所說的熒光物質(zhì)，因而形成圖像，所說的方法包括的步驟有制備一個(gè)具有相應(yīng)于所說的電極的圖案的凹陷部分的照相凹版，所說的凹陷部分的深度在4μm到15μm范圍之內(nèi)；把油墨填入所說的凹陷部分；把膜壓到所說的照相凹版上，以便把油墨從凹陷部分的內(nèi)部轉(zhuǎn)移到所說的膜上，以及使所說的膜接觸所說的基片，以便把油墨從所說的膜轉(zhuǎn)移到所說的基片上，因此在其上形成所說的電極圖案，這樣就獲得了所說的電子源基片。13.一種根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，所說的凹陷部分的深度在4μm到12μm范圍內(nèi)。14.一種根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，所說的凹陷部分的深度在4μm到9μm范圍內(nèi)。15.一種根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，所說的凹陷部分的深度在7μm到9μm范圍內(nèi)。16.一種根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，所說的油墨的粘度在1000cps到10000cps范圍內(nèi)。17.一種根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其特征在于，所說的油墨的粘度在1000cps到5000cps范圍內(nèi)。18.一種根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，所說的油墨包括一種金屬有機(jī)化合物。19.一種根據(jù)權(quán)利要求18的方法，其特征在于，所說的金屬有機(jī)化合物的濃度在7％到15％(重量)的范圍內(nèi)。20.一種根據(jù)權(quán)利要求18的方法，其特征在于，所說的金屬有機(jī)化合物的金屬元素從Pt、Au、Pd和Ag中選擇。21.一種根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，所說的膜施加的印刷壓力在50μm到200μm范圍內(nèi)。22.一種根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，所說的膜包括硅化橡膠。全文摘要公開了一個(gè)生產(chǎn)電子源基片的方法，該基片包括許多電子發(fā)射裝置，每個(gè)電子發(fā)射裝置都包括一對(duì)相對(duì)的電極，許多電子發(fā)射裝置安排在基片上。此方法包括的步驟有具有對(duì)應(yīng)電極圖案的凹進(jìn)部分的照相凹版的制備，凹陷的部分的深度范圍為4μm至15μm，用油墨填充凹陷部分，把膜壓在照相凹版上以至于油墨從凹陷部分內(nèi)轉(zhuǎn)移到膜上，以及使膜與基片相接觸以至于油墨從膜上轉(zhuǎn)移到基片上，因而在其上形成電極圖案。文檔編號(hào)H01J9/02GK1155102SQ9512185公開日1997年7月23日申請(qǐng)日期1995年11月24日優(yōu)先權(quán)日1994年11月25日發(fā)明者柳澤芳浩,金子哲也申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社