散熱燈罩的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種散熱燈罩，具體指一種在曝光機(jī)中用于對反光罩起冷卻及散熱作用的散熱燈罩。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)，是在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光。在曝光機(jī)中，反光罩的散熱性能對整個設(shè)備來說是至關(guān)重要的，其直接影響曝光機(jī)內(nèi)反光罩的反光效率及使用壽命，然而現(xiàn)有技術(shù)中對于反光罩的散熱問題一直沒有得到很好的解決。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，提供一種散熱燈罩，其可有效解決反光罩的散熱問題，提升反光罩的反光效率及使用壽命。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
散熱燈罩，包括頂部具敞口的外殼，所述外殼的底部中心設(shè)有通孔，所述外殼的其中兩個相對側(cè)壁分別設(shè)有通風(fēng)口，所述外殼的另外兩個相對側(cè)壁之間設(shè)有多層散熱片，每層散熱片分別具有與反光罩形狀相適應(yīng)的槽。
[0005]進(jìn)一步地，所述散熱片均勻間隔設(shè)置。
[0006]進(jìn)一步地，所述槽的形狀為圓形，自所述通孔至所述敞口的方向所述槽的直徑遞士豳
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[0007]進(jìn)一步地，所述散熱片與所述外殼焊接固定。
[0008]進(jìn)一步地，所述散熱片的層數(shù)為五層。
[0009]本發(fā)明所述的散熱燈罩，包括頂部具敞口的外殼，所述外殼的底部中心設(shè)有通孔，所述外殼的其中兩個相對側(cè)壁分別設(shè)有通風(fēng)口，所述外殼的另外兩個相對側(cè)壁之間設(shè)有多層散熱片，每層散熱片分別具有與反光罩形狀相適應(yīng)的槽。這種結(jié)構(gòu)的散熱燈罩，反光罩設(shè)置在外殼內(nèi)的散熱片上，散熱片與外殼之間形成良好的散熱通道，從而有效解決了反光罩的散熱問題，提升了反光罩的反光效率及使用壽命。
【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明所述散熱燈罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為圖1的俯視圖；
圖3為圖1中P處的局部放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0012]如圖1至圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例所述的散熱燈罩，包括頂部具敞口 11的外殼1，所述外殼I的底部中心設(shè)有通孔12，所述外殼I的其中兩個相對側(cè)壁分別設(shè)有通風(fēng)口 13，所述外殼I的另外兩個相對側(cè)壁之間設(shè)有多層散熱片2，每層散熱片2分別具有與反光罩3形狀相適應(yīng)的槽21。
[0013]所述散熱片2均勻間隔設(shè)置。所述槽21的形狀為圓形，自所述通孔12至所述敞口 11的方向所述槽21的直徑遞增。所述散熱片2與所述外殼I焊接固定。所述散熱片2的層數(shù)為五層。
[0014]以上所述僅為說明本發(fā)明的實(shí)施方式，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.散熱燈罩，包括頂部具敞口的外殼，其特征在于，所述外殼的底部中心設(shè)有通孔，所述外殼的其中兩個相對側(cè)壁分別設(shè)有通風(fēng)口，所述外殼的另外兩個相對側(cè)壁之間設(shè)有多層散熱片，每層散熱片分別具有與反光罩形狀相適應(yīng)的槽。
2.如權(quán)利要求1所述的散熱燈罩，其特征在于，所述散熱片均勻間隔設(shè)置。
3.如權(quán)利要求2所述的散熱燈罩，其特征在于，所述槽的形狀為圓形，自所述通孔至所述敞口的方向所述槽的直徑遞增。
4.如權(quán)利要求3所述的散熱燈罩，其特征在于，所述散熱片與所述外殼焊接固定。
5.如權(quán)利要求4所述的散熱燈罩，其特征在于，所述散熱片的層數(shù)為五層。
【專利摘要】本發(fā)明涉及散熱燈罩，包括頂部具敞口的外殼，所述外殼的底部中心設(shè)有通孔，所述外殼的其中兩個相對側(cè)壁分別設(shè)有通風(fēng)口，所述外殼的另外兩個相對側(cè)壁之間設(shè)有多層散熱片，每層散熱片分別具有與反光罩形狀相適應(yīng)的槽。這種結(jié)構(gòu)的散熱燈罩，反光罩設(shè)置在外殼內(nèi)的散熱片上，散熱片與外殼之間形成良好的散熱通道，從而有效解決了反光罩的散熱問題，提升了反光罩的反光效率及使用壽命。
【IPC分類】F21V29-00, F21V3-02
【公開號】CN104654195
【申請?zhí)枴緾N201310588294
【發(fā)明人】韓懿琰
【申請人】無錫新奇特鈑金機(jī)械有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2013年11月21日