專(zhuān)利名稱(chēng):放電加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及放電加工裝置。
作為提高放電加工中的加工速度的方策之一,可以考慮同時(shí)發(fā)生多個(gè)放電的方策(以下,叫做并列放電)。實(shí)現(xiàn)該并列放電的方法,可在對(duì)大面積的精加工領(lǐng)域中的加工面粗糙度的惡化所采取的對(duì)策中,發(fā)現(xiàn)其端倪。
例如,在日本特開(kāi)昭61-71920號(hào)公報(bào)中,公開(kāi)了采用把電極的表面做成電阻體的辦法,在大面積的精加工領(lǐng)域中改善加工面粗糙度的方法(以下,叫做電阻體電極法)。
圖11的構(gòu)造圖示出了電阻體電極法中的電極,在圖中,用導(dǎo)電性粘接劑把由厚度1.5mm的硅的薄板構(gòu)成的電阻體1和由銅構(gòu)成的供電體2粘接起來(lái)構(gòu)成電極。
電阻體電極法的原理在于采用用內(nèi)在于設(shè)置在電極表面上的電阻體1內(nèi)的電阻,對(duì)電極與工件之間(以下,叫做加工間隙)形成的雜散電容進(jìn)行分割使其成為分布常數(shù)狀態(tài),象小面積加工時(shí)那樣減少?gòu)纳鲜鲭s散電容向放電發(fā)生地點(diǎn)投入的能量的辦法,防止大面積加工中的加工面粗糙度的劣化。然而,在上述的公開(kāi)例中,由于如果把電極的表面當(dāng)作電阻體則會(huì)在電極內(nèi)產(chǎn)生電位梯度,故雖然談到了同時(shí)發(fā)生多個(gè)放電(就是說(shuō),實(shí)現(xiàn)并列放電)的可能性,但仍然存在著后邊要講的那些問(wèn)題。
另外,作為與上述類(lèi)似的放電加工方法,有日本特開(kāi)昭58-286532號(hào)公報(bào)或特開(kāi)昭62-84920號(hào)公報(bào),上述公報(bào)公開(kāi)了采用把電極分割成柱狀的辦法,在大面積精加工領(lǐng)域中改善加工面粗糙度的方法(以下,叫做分割電極法)。
圖12的構(gòu)造圖示出了分割電極法中的電極,圖13的斜視圖示出了分割電極法中的電極的全體。與圖11同一或相當(dāng)部分,賦予同一標(biāo)號(hào)而省略說(shuō)明。在圖12、13中,3是絕緣體,4是由銅等的低電阻材料構(gòu)成的柱狀構(gòu)件。
分割電極法的原理在于如圖12所示,采用經(jīng)由電阻體1地把被絕緣體3絕緣的多個(gè)柱狀構(gòu)件4連接到供電體2上的辦法,如圖13所示,使電極全體成為柱狀電極的捆綁體,象小面積加工時(shí)那樣形成小的捆綁體以減少在加工間隙內(nèi)形成的雜散電容,防止大面積加工中的加工面粗糙度的惡化。但是,在上述分割電極法的公開(kāi)例中,沒(méi)有找到關(guān)于并列放電的內(nèi)容。
此外,在歸納總結(jié)上述電阻體電極法和分割電極法的放電加工方法的文獻(xiàn)(參看精密工學(xué)會(huì)志Vol.53.No.1,P124~130)中,關(guān)于并列放電也僅僅在電阻體電極法中稍微談到了一點(diǎn),在分割電極法中則完全沒(méi)有談到。另外,該文獻(xiàn)的情況下的并列放電存在著后邊要講的一些問(wèn)題。
如上所述,在電阻體電極法中,主要著眼點(diǎn)是對(duì)于在大面積的精加工中加工面粗糙度惡化的問(wèn)題,采用用電阻把在加工間隙內(nèi)形成的雜散電容分割成小的電容的辦法,來(lái)得到與小面積加工時(shí)同等的加工面粗糙度。就是說(shuō),用設(shè)置在電極表面上的電阻體,把在放電發(fā)生時(shí)對(duì)于加工作出貢獻(xiàn)的雜散電容,限定為在放電發(fā)生地點(diǎn)附近(大致地說(shuō)在半徑數(shù)百微米左右的圓內(nèi))形成的電容,盡可能地減小在大面積精加工時(shí)成為問(wèn)題的間隙內(nèi)形成的雜散電容的影響。
因此,在這種情況下,由于由在加工間隙內(nèi)形成的雜散電容產(chǎn)生的加工量小到可以忽略不計(jì)的那種程度,故可以把供加工使用的能量都看作是從加工電源脈沖狀地供給的。為此,由于可以把供加工使用的能量看作是大體上一定而與有無(wú)并列放電的發(fā)生無(wú)關(guān),故在發(fā)生了并列放電的情況下,由加工電源供給的加工電流不過(guò)是分流到多個(gè)放電點(diǎn)內(nèi),存在著即便是并列放電也不會(huì)提高放電加工速度的問(wèn)題。
此外,在電阻體電極法中,在粗加工等有大的加工電流流動(dòng)的情況下,由于起因于加工電流的電阻加熱使電極發(fā)熱,故存在著電極的消耗大的問(wèn)題。
此外,在分割電極法的電極中,存在著實(shí)際上幾乎不發(fā)生并列放電的問(wèn)題。人們認(rèn)為這是因?yàn)樵诜烹娂庸ぶ?,由于加工屑濃度越高則可能發(fā)生放電的極間距離就會(huì)變得越長(zhǎng),故具有一旦放電開(kāi)始在其附近放電就會(huì)連續(xù)發(fā)生的性質(zhì),若使用在上述文獻(xiàn)中所講述的那樣的使例如一邊為10mm左右的柱狀構(gòu)件捆綁成束的分割電極,則在放電開(kāi)始后的柱狀構(gòu)件中就會(huì)發(fā)生連續(xù)放電的緣故。另外,在分割電極法中,在上述文獻(xiàn)中之所以沒(méi)有提到并列放電,被推測(cè)為就是起因于該問(wèn)題。
再有,在分割電極法中,還存在著電極的構(gòu)造變得復(fù)雜的問(wèn)題。
本發(fā)明就是有鑒于上邊所說(shuō)的那樣的課題而作出的,第1目的是得到可以提高放電加工速度的放電加工裝置。
此外,第2目的是得到可以抑制電極的消耗的放電加工裝置。
再有,第3目的是得到可以確實(shí)地實(shí)施并列放電且電極構(gòu)造可以簡(jiǎn)單地制作的放電加工裝置。
本發(fā)明的放電加工裝置,是一種具備中介加工間隙地與被加工物對(duì)置的放電加工用電極的放電加工裝置,放電加工用電極,由導(dǎo)電層與不良導(dǎo)電層交互地疊層起來(lái)的層狀各向異性導(dǎo)電體、連接到該層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上的電阻體和連接到該電阻體上的供電體構(gòu)成。
此外,本發(fā)明的放電加工裝置,是一種具備中介加工間隙地與被加工物對(duì)置的放電加工用電極的放電加工裝置,放電加工用電極,設(shè)置導(dǎo)電層與不良導(dǎo)電層交互地疊層起來(lái)的層狀各向異性導(dǎo)電體、連接到該層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上的電阻體、連接到該電阻體上的供電體,在層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上,中介電介質(zhì)地設(shè)置導(dǎo)電性的接地體,使該接地體與被加工物進(jìn)行連接。
此外,層狀各向異性導(dǎo)電體的不良導(dǎo)電層由非導(dǎo)電材料構(gòu)成。
此外,層狀各向異性導(dǎo)電體的不良導(dǎo)電層由電阻體構(gòu)成。
此外,層狀各向異性導(dǎo)電體由各向異性碳材料構(gòu)成。
此外,供電體至少由2個(gè)供電體構(gòu)成,在橫切層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層面的方向上彼此隔離地連接到電阻體上,具備測(cè)量流往各個(gè)供電體的電流的電流檢測(cè)裝置。
此外,供電體至少由2個(gè)供電體構(gòu)成,各個(gè)供電體都在與層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層面平行的方向上彼此隔離開(kāi)來(lái)的狀態(tài)下,而且在層狀各向異性導(dǎo)電體的各個(gè)導(dǎo)電層與各個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比,對(duì)于每一個(gè)導(dǎo)電層都不同的狀態(tài)下,連接到電阻體上,具備測(cè)量流往各個(gè)供電體的電流的電流檢測(cè)裝置。
此外,加工進(jìn)行方向的每一單位電極移動(dòng)距離的每一個(gè)導(dǎo)電層的加工體積越大,則與導(dǎo)電層對(duì)置的供電體的寬度就設(shè)定得越寬。
另外,構(gòu)成為使得構(gòu)成層狀各向異性導(dǎo)電體的各個(gè)導(dǎo)電層與各個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比,對(duì)于各個(gè)導(dǎo)電層的位置按照一次函數(shù)的關(guān)系進(jìn)行變化。
圖1的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例1的放電加工用電極的構(gòu)造。
圖2的等效電路圖示出了圖1的放電加工裝置的放電的原理。
圖3的構(gòu)成圖示出了具備圖1的放電加工用電極的放電加工裝置的概略構(gòu)成。
圖4的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例1的另一種放電加工用電極的構(gòu)造。
圖5的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例2的放電加工用電極的構(gòu)造。
圖6的構(gòu)成圖示出了具備圖5的放電加工用電極的放電加工裝置的概略構(gòu)成。
圖7的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例3的放電加工用電極的構(gòu)造。
圖8的構(gòu)成圖示出了具備圖7的放電加工用電極的放電加工裝置的概略構(gòu)成。
圖9的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例4的放電加工用電極的構(gòu)造。
圖10的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例4的另一種放電加工用電極。
圖11的構(gòu)造圖示出了現(xiàn)有的電阻體電極法的電極。
圖12的構(gòu)造圖示出了現(xiàn)有的分割電極法的電極。
圖13的斜視圖示出了現(xiàn)有的分割電極法的電極全體。
實(shí)施例1圖1的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例1的放電加工用電極的構(gòu)造,圖2的等效電路圖示出了圖1的放電加工裝置的放電的原理,圖3的構(gòu)成圖示出了具備圖1的放電加工用電極的放電加工裝置的概略構(gòu)成。在圖1中,用層狀各向異性導(dǎo)電體11和電阻體12和供電體13構(gòu)成電極14。層狀各向異性導(dǎo)電體11,例如用對(duì)在表面上涂敷了由氧化鋁等的陶瓷或搪瓷等構(gòu)成的絕緣膜的銅等構(gòu)成的金屬薄板進(jìn)行重疊加壓粘接起來(lái)的構(gòu)件,使導(dǎo)電層與不良導(dǎo)電層層狀地交替地進(jìn)行疊層,與不良導(dǎo)電層平行的方向的電導(dǎo)率具有比橫切不良導(dǎo)電層的方向的電導(dǎo)率顯著地高的各向異性電導(dǎo)率。
另外,以下為了便于說(shuō)明,把與該導(dǎo)電層或不良導(dǎo)電層平行的面叫做疊層面11a,把在層狀各向異性導(dǎo)電體11的端面之內(nèi),與疊層面11a平行的端面叫做疊層平行端面11b,把橫切疊層面11a的端面叫做疊層橫切面11c。此外,在進(jìn)行圖示之際,如圖1所示,決定采用在疊層橫切面11c上畫(huà)出多個(gè)疊層面11a的辦法與疊層平行端面11b進(jìn)行區(qū)別。
關(guān)于層狀各向異性導(dǎo)電體11的制作,例如只要對(duì)于使用切斷薄片狀的材料進(jìn)行疊層的方式的快速原型(rapid prototyping)裝置供給已涂敷上絕緣膜的金屬薄板,就可以由3維CAD數(shù)據(jù)直接簡(jiǎn)便地制作所希望的形狀的電極。另外,各個(gè)導(dǎo)電層的厚度理想的是1mm以下,如果是100微米以下,則無(wú)可分辨地沒(méi)有問(wèn)題。此外,不良導(dǎo)電層的厚度理想的是盡可能地薄,目標(biāo)定為與導(dǎo)電層的厚度同等程度以下。
電阻體12,由連接到層狀各向異性導(dǎo)電體11的疊層橫切端面11c上的具有電阻的碳或鎳鉻合金等構(gòu)成,例如,可以采用在疊層橫切端面11c上邊,把具有電阻的薄板加壓粘接到層狀各向異性導(dǎo)電體11上,用真空工藝形成電阻薄膜等的辦法構(gòu)成。
此外,供電體13,由連接到電阻體12上的具有導(dǎo)電性的銅等構(gòu)成,與電阻體的情況下同樣,可以采用加壓粘接或薄膜形成等的辦法連接到電阻體12上。
倘采用這樣的構(gòu)成,結(jié)果就成為層狀各向異性導(dǎo)電體11內(nèi)的每一個(gè)導(dǎo)電層都通過(guò)電阻體12連接到供電體13上。雖然從供電體13到導(dǎo)電層的電阻值取決于各種各樣的因素理想的值會(huì)發(fā)生變化,但大致地說(shuō)10Ω~10kΩ左右是理想的。
其次,用圖2說(shuō)明使用具有上述構(gòu)造的電極14的的情況下的特征。在放電加工中,就象已經(jīng)說(shuō)過(guò)的那樣,由于使電極與工件隔以微小的間隙對(duì)置,故在加工間隙內(nèi)會(huì)形成由雜散電容形成的蓄電器。在使用該電極14的情況下,結(jié)果就成為如圖2所示的等效電路那樣,形成層狀各向異性導(dǎo)電體11內(nèi)的每一個(gè)導(dǎo)電層都通過(guò)電阻體12內(nèi)的電阻彼此并聯(lián)地連接起來(lái)的蓄電器。
因此,倘給電極14和工件15之間加上電壓,在每一個(gè)蓄電器都充電之后,在加工間隙內(nèi)發(fā)生放電。由于每一個(gè)蓄電器都通過(guò)電阻彼此并聯(lián)連接,故其端子間電壓分別取不同的值。就是說(shuō)即便是在某一蓄電器內(nèi)發(fā)生了放電,由于距離該放電位置充分地遠(yuǎn)的蓄電器的端子間電壓幾乎不變化,故可以發(fā)生并列放電。
其次,說(shuō)明本實(shí)施例1與現(xiàn)有的電阻體電極法不同之處。在該電阻體電極法的情況下,如圖11所示,采用用導(dǎo)電性粘接劑把由硅薄板構(gòu)成的電阻體1和由銅構(gòu)成的供電體1粘接起來(lái)構(gòu)成電極的辦法,用電阻把在電極和工件之間的加工間隙內(nèi)形成的雜散電容分割成小的電容。就是說(shuō),用在電極表面上設(shè)置的電阻體,把在放電發(fā)生時(shí)對(duì)于加工作出貢獻(xiàn)的雜散電容,限定為在放電發(fā)生地點(diǎn)附近(大致地說(shuō)在半徑數(shù)百微米左右的圓內(nèi))形成的電容,盡可能地減小在大面積精加工時(shí)成為問(wèn)題的間隙內(nèi)形成的雜散電容的影響。
因此,在這種情況下,由于基于在加工間隙內(nèi)形成的雜散電容的加工量小到可以忽略不計(jì)的那種程度,故可以把供加工使用的能量都看作是從加工電源脈沖狀地供給的。為此,由于可以把供加工使用的能量看作是大體上一定而與有無(wú)并列放電的發(fā)生無(wú)關(guān),故在發(fā)生了并列放電的情況下,由加工電源供給的加工電流不過(guò)是分流到多個(gè)放電點(diǎn)內(nèi),即便是并列放電也不會(huì)提高放電加工速度。
另一方面,在本發(fā)明中,如圖1所示,示出了具備導(dǎo)電層和不良導(dǎo)電層疊層起來(lái)的層狀各向異性導(dǎo)電體11、連接到該層狀各向異性導(dǎo)電體11的疊層橫切端面11c上的具有電阻的電阻體12、和連接到該電阻體12上的具有導(dǎo)電性的供電體13的電極14。在這種情況下,由于在同一導(dǎo)電層內(nèi)的2點(diǎn)間的電阻幾乎為0,由于各個(gè)導(dǎo)電層分別可以看作是一個(gè)蓄電器,故可以看作一個(gè)蓄電器的范圍并不依賴(lài)于距放電發(fā)生地點(diǎn)的距離,只要是同一導(dǎo)電層就可以看作是一個(gè)蓄電器,這一點(diǎn)就是與該電阻體電極法大不相同之處。各個(gè)導(dǎo)電層雖然厚度薄,但是由于存在著細(xì)長(zhǎng)的與工件15之間的對(duì)置面,由于可以看作是同一蓄電器的對(duì)置面積可以形成得比該電阻體電極法還寬,故可以把靜電電容加大到不能忽視由每一個(gè)導(dǎo)電層形成的蓄電器作出的對(duì)加工的貢獻(xiàn)。
就是說(shuō),在與工件15之間的加工間隙內(nèi)形成雜散電容,在該電阻體電極法中是應(yīng)該排除的對(duì)象,加工要用從加工電源供給的脈沖電流進(jìn)行。但是,在本發(fā)明中,由于積極地利用該雜散電容,一旦把由加工電源供給的電流積蓄在由該雜散電容形成的各個(gè)蓄電器內(nèi)之后,就供加工使用,故可以實(shí)現(xiàn)由每一個(gè)導(dǎo)電層形成的蓄電器實(shí)施的并列放電,可以用簡(jiǎn)單的構(gòu)造的電極14提高放電加工速度。另外,在本發(fā)明的情況下,由于不象該電阻體電極法那樣在直接放電中使用,故供給電流波形并不是非脈沖狀不可,也可以用穩(wěn)態(tài)波形等的任意的電流波形進(jìn)行供給。
其次,說(shuō)明本實(shí)施例1與現(xiàn)有的分割電極法的不同之處。在該分割電極法的情況下,如圖12所示,采用經(jīng)由電阻體把用絕緣體3絕緣的多個(gè)柱狀構(gòu)件4連接到供電體2上的辦法,如圖13所示,把電極全體構(gòu)成為柱狀電極的捆綁體,象加工時(shí)那樣分割在加工間隙內(nèi)形成的雜散電容而使其減小。但是,如同已經(jīng)說(shuō)過(guò)的那樣,當(dāng)一旦發(fā)生放電時(shí),放電加工具有易于在其周?chē)B續(xù)地發(fā)生的性質(zhì),為了使之發(fā)生并列放電,就必須十分接近于例如數(shù)百個(gè)微米左右地設(shè)置每一個(gè)柱狀構(gòu)件。但是,為了使柱狀構(gòu)件彼此接近,就必須使各個(gè)柱狀構(gòu)件形成得細(xì),所以必然不得不減小各個(gè)柱狀構(gòu)件與工件之間的對(duì)置面積,由于形成每一個(gè)柱狀構(gòu)件的雜散電容也將減小,故積蓄在該雜散電容中的電荷幾乎不可能對(duì)加工作出貢獻(xiàn)。
就是說(shuō),要想采用對(duì)每一個(gè)柱狀構(gòu)件與工件15對(duì)置的部分形成的雜散電容進(jìn)行蓄電以進(jìn)行加工,就必須把柱狀構(gòu)件4形成得足夠地粗,例如以1平方mm以上的大的面積與工件15對(duì)置。另一方面,為了使之發(fā)生并列放電,必須把柱狀構(gòu)件4形成得足夠地細(xì),例如以數(shù)百微米以下的距離與別的柱狀構(gòu)件進(jìn)行鄰接,同時(shí)滿(mǎn)足這兩個(gè)要求是非常困難的。因此,在使用具有實(shí)際上可以制作電極的數(shù)mm見(jiàn)方以上的粗細(xì)的柱狀構(gòu)件的分割電極法中,由于在已開(kāi)始放電的特定的柱狀構(gòu)件中放電將連續(xù)發(fā)生,故幾乎不發(fā)生并列放電。
但是,在本發(fā)明的情況下,如上所述,由于每一個(gè)導(dǎo)電層薄而長(zhǎng),為了形成可以對(duì)加工作出貢獻(xiàn)的那么大的靜電電容,可以使得與工件15之間保持足夠的對(duì)置面積的同時(shí),還可以與別的導(dǎo)電層以可以充分地發(fā)生并列放電的距離進(jìn)行鄰接。例如,各個(gè)導(dǎo)電層間的距離為數(shù)百微米左右,為了實(shí)現(xiàn)1平方mm左右以上的對(duì)置面積,只要在遍及數(shù)mm左右的長(zhǎng)度范圍內(nèi)使各個(gè)導(dǎo)電層與工件對(duì)置即可。這樣一來(lái),在本發(fā)明中,由于可以靠得很近地配置具有大的電容的蓄電器,故可以發(fā)生并列放電,而不會(huì)成為象分割電極法那樣實(shí)質(zhì)上僅僅在一個(gè)蓄電器中發(fā)生放電的狀況,使得用簡(jiǎn)單的構(gòu)造的電極14提高放電加工速度成為可能。
其次,用圖3對(duì)具備本發(fā)明的實(shí)施例1的放電加工用電極的放電加工裝置的構(gòu)成和動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在上述說(shuō)明中所說(shuō)明的構(gòu)造的電極14被裝配到放電加工裝置的主軸16上,工件15被設(shè)置在加工槽17內(nèi)。在這里,如果電極14內(nèi)的各個(gè)導(dǎo)電層與工件15之間的對(duì)置面積太小,則與電阻體電極法的情況下一樣,參與加工的雜散電容將變得太小。理想的對(duì)置面積雖然會(huì)因電極14與工件15之間的距離而異,但大致地說(shuō)理想的是0.1平方mm以上,若是1平方mm以上則無(wú)可爭(zhēng)辯地沒(méi)有問(wèn)題。就是說(shuō),如果導(dǎo)電層的厚度約為100微米左右,則可以說(shuō)只要在長(zhǎng)度10mm以上的范圍內(nèi)導(dǎo)電層與工件對(duì)置就可以。
加工槽17內(nèi)已灌滿(mǎn)了加工液18。加工電源19是具有足夠的電流供給能力的穩(wěn)壓電源,并連接到設(shè)置在電極14上邊的供電體13和工件15上??刂蒲b置20使得電極14與工件15的間隔成為一定那樣地通過(guò)主軸控制電極14的位置。其控制方法,例如可以采用控制電極電位使得加工電流成為一定等的已知的方法。就是說(shuō),只要用霍爾器件或換流器等的電流檢測(cè)器件或串聯(lián)地插入到充電電路中去的分流電阻端子間的電壓值,測(cè)定流向在加工間隙內(nèi)形成的蓄電器的充電電流,在電極14的位置控制得在加工電流低于預(yù)先設(shè)定好的值的情況下,就減少電極14與工件15的距離,在超過(guò)了的情況下,就增大該距離即可。加工電流,在經(jīng)由供電體13、電阻體12從加工電源19給在各個(gè)導(dǎo)電層與工件15間形成的每一個(gè)蓄電器充電之后,借助于同時(shí)并列地發(fā)生的放電供加工使用。
另外,在上述實(shí)施例1的例子中,加工電源19雖然供給一定電壓,但也可以象通常的放電加工裝置或該電阻體電極法那樣,使用脈沖狀地加電壓的電源等,在這種情況下,可以期待抑制電弧放電的發(fā)生那樣的效果。此外,若使用施加電壓值可變的電源,則由于可以實(shí)現(xiàn)各種各樣的面粗糙度的加工,或可以在避免異常放電狀態(tài)的控制中使用,故是很方便的。
此外,在上述實(shí)施例1中,雖然構(gòu)成為測(cè)定向蓄電器充電的充電電流來(lái)控制電極14的位置,但是,由于加工電源19的輸出電壓值是已知的,故如果向蓄電器的充電電路中串聯(lián)地插入電阻,或使用輸出阻抗高的加工電源,由于充電電流值也可以從供電體13與工件15之間的電位差得到,故不言而喻也可以省略充電電流值的測(cè)定,根據(jù)該供電體13與工件15之間的電位差來(lái)控制電極14的位置。就是說(shuō),可以使用當(dāng)供電體13與工件15之間的電壓低于預(yù)先設(shè)定的值時(shí),就增大電極14與工件15的距離,當(dāng)超過(guò)時(shí)就減小該距離那樣地控制電極14的位置的已知的方法。
另外,在上述實(shí)施例1的例子中,作為層狀各向異性導(dǎo)電體11雖然例示的是涂敷上絕緣膜的金屬薄板的層狀各向異性導(dǎo)電體11,但是不良導(dǎo)電層沒(méi)必要是完美的絕緣體,也可以是電阻體,可以得到與上述同樣的作用效果。在這種情況下,可以廉價(jià)地實(shí)現(xiàn)電極。但是由于電阻值有必要大到在不同的疊層面間可以產(chǎn)生有意義的電位差那種程度,故理想的是采用每1cm的疊層厚度具有100Ω以上的電阻值的物質(zhì)。
此外,作為層狀各向異性導(dǎo)電體11,若使用例如由熱分解碳等構(gòu)成的各向異性導(dǎo)電性材料,由于可以原樣不變地使用材料所具備的各向異性導(dǎo)電性,故電極的制作將變得容易起來(lái)。由于碳原子已經(jīng)疊層成分層狀,故該材料是這樣的層狀各向異性導(dǎo)電材料與疊層面平行的方向的導(dǎo)電率為垂直的方向的1000倍左右。如果在該材料的疊層橫切端面上直接形成供電體,由于所有的導(dǎo)電層都將成為同電位,故雖然可以作為通常的放電加工用電極材料使用,但是如上述實(shí)施例1所示,如果在該材料的疊層橫切端面上形成電阻體,中介電阻體地形成供電體,按照在上述實(shí)施例1中所述的機(jī)理就可以發(fā)生并列放電。
另外,在上述實(shí)施例1中,雖然已在電極的上表面上形成了電阻體和供電體,但是這些的位置,只要是橫切疊層面的疊層橫切端面11c上邊,哪里都行,例如也可以在電極的側(cè)面上形成。
此外,在上述實(shí)施例1中雖然沒(méi)有特別談及供電體13的形狀,但如果加工進(jìn)行方向的每一單位移動(dòng)距離的每一個(gè)導(dǎo)電層的加工體積越大則與導(dǎo)電層對(duì)置的供電體13的寬度的總和就設(shè)定得越大,由于越是加工量多的部分對(duì)蓄電器的充電的充電電阻就越低,故可以提高放電頻率。因此由于每一單位加工體積的放電頻率可以均一化,故不會(huì)在狹窄的范圍內(nèi)在高的頻率下集中地發(fā)生放電,具有可以防止電極的異常消耗的優(yōu)點(diǎn)。
例如,如通常的粗加工那樣,在加工進(jìn)行方向鉛直向下的情況下,連接到向鉛直方向的投影的電極投影面積大的導(dǎo)電層上的部分的供電體的寬度最大。為此,如圖4所示,只要在水平面上切斷電極14e,在整個(gè)切斷面上形成電阻體12e和供電體13e就行。另外例如象精加工階段的搖動(dòng)加工的情況下那樣,在橫向加工為主,不論哪一個(gè)導(dǎo)電層的加工進(jìn)行方向的投影面積都大體上相等的情況下,供電體的形狀只要使與疊層面平行的方向的寬度一定即可。
如上所述,倘采用本實(shí)施例1,由于采用由導(dǎo)電層和不良導(dǎo)電層疊層起來(lái)的層狀各向異性導(dǎo)電體、連接到該層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上的電阻體、和連接到該電阻體上的供電體構(gòu)成放電加工用電極的辦法,盡管每一個(gè)導(dǎo)電層的厚度薄,但存在著細(xì)長(zhǎng)的與工件之間的對(duì)置面,故能夠展寬可以看作同一蓄電器的對(duì)置面積。為此,在與工件之間的加工間隙內(nèi)形成的靜電電容,將成為通過(guò)電阻彼此并聯(lián)連接的微小的蓄電器的集合體,每一個(gè)蓄電器,由于其靜電電容對(duì)于進(jìn)行放電加工來(lái)說(shuō)都是充分的靜電電容,而且存在于鄰近可以充分發(fā)生并列放電的距離內(nèi),故可以同時(shí)并行地確實(shí)地進(jìn)行放電加工,使得可以用簡(jiǎn)單的構(gòu)造的放電加工用電極來(lái)提高放電加工速度成為可能。
此外,采用由電阻體構(gòu)成層狀各向異性導(dǎo)電體的不良導(dǎo)電層的辦法,可以廉價(jià)地制作電極。
再有,采用由各向異性碳材料構(gòu)成層狀各向異性導(dǎo)電體的辦法,可以容易地制作電極。
再有,采用加工進(jìn)行方向的每一單位移動(dòng)距離的每一個(gè)導(dǎo)電層的加工體積越大則與導(dǎo)電層對(duì)置的供電體的寬度的總和就設(shè)定得越大的辦法,由于越是加工量多的部分放電頻率就變得越高,故可以防止電極的異常消耗。
實(shí)施例2圖5的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例2的放電加工用電極的構(gòu)造,圖6的構(gòu)成圖示出了具備圖5的放電加工用電極的放電加工裝置的概略構(gòu)成。在圖5、圖6中,與圖1~圖3相同的標(biāo)號(hào)表示相同或相當(dāng)?shù)牟糠?,其說(shuō)明予以省略。在圖5中,用層狀各向異性導(dǎo)電體11和電阻體12和供電體13和電介質(zhì)21和接地體22構(gòu)成電極24。電介質(zhì)21,是設(shè)置在層狀各向異性導(dǎo)電體11的疊層橫切端面11c上的具有介電性的構(gòu)件,例如可以用氧化鈦或鈦酸鋇的薄膜等形成。接地體22是設(shè)置在電介質(zhì)21上的具有導(dǎo)電性的構(gòu)件,與供電體13同樣,可以用加壓粘接或薄膜形成等形成。
其次,對(duì)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。實(shí)施例2的放電加工裝置與實(shí)施例1的放電加工裝置,如圖6所示,在用導(dǎo)線等把接地體22與工件15連接起來(lái)這一點(diǎn)上不一樣。在實(shí)施例1中用中介加工液18地對(duì)置的各個(gè)導(dǎo)電層與工件15之間形成的雜散電容進(jìn)行加工,而在實(shí)施例2中,除此之外,在各個(gè)導(dǎo)電層與接地體22之間形成的靜電電容也參與加工。在這里,對(duì)于存在于各個(gè)導(dǎo)電層與接地體22之間的電介質(zhì)21可以使用各種各樣的材料,例如若使用上述鈦酸鋇等的高介電常數(shù)材料,則比起中介加工液對(duì)置的情況來(lái)可以更容地用同一面積得到數(shù)千倍的靜電電容。
再有,由于不僅在電極的上表面上,在側(cè)面上也存在形成電介質(zhì)21的疊層橫切端面11c,故例如也可以在疊層橫切端面11c的表面上設(shè)置多個(gè)微細(xì)的縫隙,由于采用在設(shè)置有多個(gè)微細(xì)的縫隙的所有的表面上都可以用形成電介質(zhì)21等的方法,來(lái)顯著地增大疊層橫切端面11c與接地體22之間的對(duì)置面積,故可以實(shí)現(xiàn)比實(shí)施例1顯著地大的靜電電容。
因此,倘采用本實(shí)施例2,由于采用在層狀各向異性導(dǎo)電體11的疊層橫切端面11c上,中介電介質(zhì)21地設(shè)置導(dǎo)電性的接地體22,并使接地體22與工件15進(jìn)行連接的辦法,與實(shí)施例1的情況比較,在電極24與工件之間的加工間隙內(nèi)形成的靜電電容會(huì)進(jìn)一步變大,故可以更為確實(shí)地同時(shí)并行地進(jìn)行放電加工,可以用簡(jiǎn)單的構(gòu)造的放電加工用電極進(jìn)一步地提高放電加工速度。
此外,在實(shí)施例1的情況下,當(dāng)電極14與工件15之間的距離變化時(shí),加工中使用的靜電電容會(huì)發(fā)生變動(dòng),在實(shí)施例2的情況下,由于在接地體22與層狀各向異性導(dǎo)電體11的疊層橫切端面11c之間形成的靜電電容,不受加工間隙長(zhǎng)度的影響,故可以實(shí)現(xiàn)不被電極24與工件之間的對(duì)置面積左右的均一的面粗糙度的加工面。
另外,雖然在上述實(shí)施例2中,在電極的側(cè)面上形成電介質(zhì)和接地體,但是只要這些位置在橫切疊層面的疊層橫切端面上邊什么地方都行,例如也可以在電極的上表面上形成。此外,對(duì)于供電體13的形狀來(lái)說(shuō),與圖4同樣,也可以設(shè)定為加工進(jìn)行方向的每一單位電極移動(dòng)距離的每一個(gè)導(dǎo)電層的加工體積越大,與導(dǎo)電層對(duì)置的供電體13的寬度的總和也越大,得到與實(shí)施例1的情況下同樣的作用效果。
實(shí)施例3圖7的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例3的放電加工用電極的構(gòu)造,圖8的構(gòu)成圖示出了具備圖7的放電加工用電極的放電加工裝置的概略構(gòu)成。在圖7、圖8中,與圖1~圖3相同的標(biāo)號(hào)表示相同或相當(dāng)?shù)牟糠郑湔f(shuō)明予以省略。在圖7中,用層狀各向異性導(dǎo)電體11和電阻體12和供電體33構(gòu)成電極34。供電體33由第1供電體33a和第2供電體33b構(gòu)成,在橫切層狀各向異性導(dǎo)電體11的疊層面11a的方向上,彼此分離開(kāi)來(lái)的2個(gè)地方連接到電阻體12上,由具有導(dǎo)電性的銅等構(gòu)成,用加壓粘接或薄膜形成等,在電阻體12上形成。
實(shí)施例3的放電加工裝置與實(shí)施例1的放電加工裝置,如圖8所示,在第1供電體33a和第2供電體33b通過(guò)供電線35a、35b連接到加工電源19上,在各個(gè)供電線35a、35b上設(shè)置連接到控制裝置20上的第1電流檢測(cè)器36a和第2電流檢測(cè)器36b上這一點(diǎn),與實(shí)施例1不同。
其次,對(duì)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。由于發(fā)生并列放電的機(jī)構(gòu)與實(shí)施例1是一樣的,故省略其說(shuō)明。
一般地說(shuō),在使用象石墨等的電阻比較高的電極材料的情況下,人們已經(jīng)知道可以采用設(shè)置多個(gè)供電點(diǎn),測(cè)量各自的加工電流的辦法,特定放電發(fā)生位置。
層狀各向異性導(dǎo)電體11雖然與疊層面11a平行的方向的電阻低,但在橫切疊層面11a的方向的電阻顯著地高。因此,充電電流在橫切疊層面11a的方向上流動(dòng)時(shí),將在電阻體12的內(nèi)部流動(dòng)而不是在層狀各向異性導(dǎo)電體11的內(nèi)部。
因此,與上述石墨電極的情況一樣,可以采用用第1和第2電流檢測(cè)器36a、36b分別測(cè)量在第1和第2供電體33a、33b中流動(dòng)的供電電流的辦法,檢測(cè)正在給2個(gè)供電點(diǎn)間的哪一個(gè)充電。為此,除去對(duì)電極位置進(jìn)行控制使得在實(shí)施例1中講述的那樣的加工電流成為一定的已知的方法,或就象在上述實(shí)施例1中講述的那樣,根據(jù)供電體與工件之間的電位差控制電極的位置的已知的方法之外,加上在從2個(gè)電流檢測(cè)器35a、35b的輸出可以判定充電電流集中于特定的蓄電器的情況下,就可以看作是已經(jīng)發(fā)生了短路而使電極與工件分離的控制,就可以避免工件15的加工面的損傷。
另外,在上述實(shí)施例中,雖然在2個(gè)地方設(shè)置供電體,但也可以在3個(gè)地方以上設(shè)置供電體。
如上所述,倘采用本實(shí)施例3,采用供電體由至少2個(gè)供電體構(gòu)成,各個(gè)供電體在橫切層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層面的方向上彼此分離地連接到電阻體上,具備測(cè)量流向各個(gè)供電體的電流的電流檢測(cè)器的辦法,由于可以判別充電電流是否集中于特定的蓄電器內(nèi),故可以避免工件的加工面的損傷。
實(shí)施例4圖9的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例4的放電加工用電極的構(gòu)造,圖10的斜視圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例4的另一種放電加工用電極。在圖9、圖10中,與圖1相同的標(biāo)號(hào)表示相同或相當(dāng)?shù)牟糠郑湔f(shuō)明予以省略。在圖9、圖10中,用層狀各向異性導(dǎo)電體11和電阻體12和供電體43構(gòu)成電極44。供電體43由具有導(dǎo)電性的銅構(gòu)成,由第1供電體43a和第2供電體43b構(gòu)成。
在與疊層面平行的方向上彼此隔離開(kāi)來(lái)的狀態(tài)下,而且在層狀各向異性導(dǎo)電體11的各個(gè)導(dǎo)電層與2個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比,對(duì)于每一個(gè)導(dǎo)電層都不同的狀態(tài)下,設(shè)置第1供電體43a和第2供電體43b。這種情況,例如如圖9所示,只要把第1供電體43a設(shè)置為使得與疊層面11a平行的方向上寬度成為一定,把第2供電體43b設(shè)置為使得與疊層面11a平行的方向的寬度慢慢地增加,就可以實(shí)現(xiàn)。
實(shí)施例4的放電加工裝置與圖8同樣地構(gòu)成。例如,第1供電體43a和第2供電體43b通過(guò)供電線35a、35b連接到加工電源19上,在各個(gè)供電線35a、35b上設(shè)置連接到控制裝置20上的第1電流檢測(cè)器36a和第2電流檢測(cè)器36b。
其次,對(duì)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。產(chǎn)生并列放電的機(jī)構(gòu)與實(shí)施例1是一樣的,故省略其說(shuō)明。在本實(shí)施例的情況下,電流在電阻體12的厚度方向上從第1和第2供電體43a、43b流向各個(gè)導(dǎo)電層。因此,對(duì)在各個(gè)導(dǎo)電層與工件15之間形成的蓄電器充電的充電電阻,反比例于各個(gè)導(dǎo)電層與第1和第2供電體43a、43b之間的對(duì)置面積。
此外,由于對(duì)各個(gè)蓄電器充電的充電電流反比例于充電電阻,故結(jié)果成為充電電流與上述對(duì)置面積成比例地流動(dòng)。由已經(jīng)說(shuō)過(guò)的供電體的設(shè)置形態(tài)可知,導(dǎo)電層與第1和第2供電體43a、43b之間的對(duì)置面積之差或之比,由于在對(duì)于每一個(gè)導(dǎo)電層都不同的狀態(tài)下設(shè)置,故在第1和第2供電體43a、43b中流動(dòng)的充電電流之差或之比,對(duì)于每一個(gè)導(dǎo)電層也不相同。因此,采用與實(shí)施例3同樣單獨(dú)測(cè)量在第1和第2供電體43a、43b中流動(dòng)的充電電流的辦法,就可以判別充電電流是否集中于特定的蓄電器內(nèi),由于可以判別充電電流是否集中于特定的蓄電器內(nèi),故可以避免工件的加工面的損傷。
另外,在本實(shí)施例4中,雖然沒(méi)有特別提到各個(gè)導(dǎo)電層與2個(gè)供電體中的每一個(gè)之間的對(duì)置面積之差或之比和各個(gè)導(dǎo)電層的位置之間的關(guān)系,但是,如果構(gòu)成為使得對(duì)置面積之差或之比對(duì)于各個(gè)導(dǎo)電層的位置單調(diào)地增加或減少,更為理想的是如圖10所示構(gòu)成為使得按照一次函數(shù)的關(guān)系變化,則具有由電流檢測(cè)器輸出特定充電位置的處理會(huì)變得容易起來(lái)的優(yōu)點(diǎn)。
此外,本實(shí)施例4的充電電阻,由用各個(gè)導(dǎo)電層與2個(gè)供電體43a、43b之間的對(duì)置面積之和來(lái)決定可知,該對(duì)置面積之和相當(dāng)于實(shí)施例1中的各個(gè)導(dǎo)電層與供電體之間的對(duì)置面積。因此,與實(shí)施例1同樣,只要作成為每一單位電極移動(dòng)距離的每一個(gè)導(dǎo)電層的加工體積越大,則與導(dǎo)電層對(duì)置的供電體的寬度之和就越大的形狀,由于可以作成為加工量越多的部分放電頻率越高,故可以防止電極的異常消耗。
另外,在上述實(shí)施例中,雖然在2個(gè)地方設(shè)置供電體,但是也可以設(shè)置3個(gè)以上的供電體,根據(jù)需要使用其中的2個(gè)。
如上所述,倘采用本實(shí)施例4,由于采用由至少2個(gè)供電體構(gòu)成供電體,在各個(gè)供電體在平行于層狀各向異性導(dǎo)電體11的疊層面11a的方向上彼此分離開(kāi)來(lái)的狀態(tài)下,而且,在層狀各向異性導(dǎo)電體11的各個(gè)導(dǎo)電層與各個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比對(duì)于每一個(gè)導(dǎo)電層都不相同的狀態(tài)下,連接到電阻體上,并具備測(cè)量流向各個(gè)供電體的電流的電流檢測(cè)器的辦法,可以判別粗糙度是否集中于特定的蓄電器內(nèi),故可以避免工件的加工面的損傷。
此外,由于構(gòu)成為各個(gè)導(dǎo)電層與各個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比對(duì)于各個(gè)導(dǎo)電層的位置按照一次函數(shù)的關(guān)系變化,故具有由電流檢測(cè)器輸出特定充電位置的處理會(huì)變得容易起來(lái)的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明由于象以上說(shuō)明的那樣構(gòu)成,故具有以下那樣的效果。
在具備中介加工間隙與被加工物對(duì)置的放電加工用電極的放電加工裝置中,由于采用由導(dǎo)電層和不良導(dǎo)電層疊層起來(lái)的層狀各向異性導(dǎo)電體、連接到該層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上的電阻體、和連接到該電阻體上的供電體構(gòu)成放電加工用電極的辦法,盡管每一個(gè)導(dǎo)電層的厚度薄,但存在著細(xì)長(zhǎng)的與工件之間的對(duì)置面,故可以展寬可以看作同一蓄電器的對(duì)置面積。為此,在與工件之間的加工間隙內(nèi)形成的靜電電容,將成為通過(guò)電阻彼此并聯(lián)連接的微小的蓄電器的集合體,每一個(gè)蓄電器,由于其靜電電容對(duì)于進(jìn)行放電加工來(lái)說(shuō)都是充分的靜電電容,而且存在于鄰近可以充分發(fā)生并列放電的距離內(nèi),故可以同時(shí)并行地確實(shí)地進(jìn)行放電加工,使得可以用簡(jiǎn)單的構(gòu)造的放電加工用電極來(lái)提高放電加工速度成為可能。
此外,采用中介電介質(zhì)在層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上設(shè)置導(dǎo)電性的接地體并使接地體與被加工物進(jìn)行連接的辦法,由于將進(jìn)一步增大在放電加工用電極與被加工物之間的間隙內(nèi)形成的靜電電容,故可以更為確實(shí)地同時(shí)并行地進(jìn)行放電加工,可以用簡(jiǎn)單的構(gòu)造的電極進(jìn)一步提高放電加工速度。
此外,用非導(dǎo)電材料構(gòu)成層狀各向異性導(dǎo)電體的辦法,由于可以實(shí)現(xiàn)各向異性強(qiáng)的層狀各向異性導(dǎo)電體,故可以確實(shí)地發(fā)生并列放電。
此外,可以廉價(jià)地制造層狀各向異性導(dǎo)電體的不良導(dǎo)電層由電阻體構(gòu)成的電極。
用各向異性碳構(gòu)成層狀各向異性導(dǎo)電體,可以容易地制作電極。
此外,采用供電體由至少2個(gè)供電體構(gòu)成,且(各個(gè)供電體)在橫切層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層面的方向上彼此分離地連接到電阻體上,具備測(cè)量流向各個(gè)供電體的電流的電流檢測(cè)器的辦法,由于可以判別充電電流是否集中于特定的蓄電器內(nèi),故可以避免工件的加工面的損傷。
此外,由于采用由至少2個(gè)供電體構(gòu)成供電體,在各個(gè)供電體都在平行于層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層面的方向上彼此分離開(kāi)來(lái)的狀態(tài)下,而且,在層狀各向異性導(dǎo)電體的各個(gè)導(dǎo)電層與各個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比對(duì)于每一個(gè)導(dǎo)電層都不相同的狀態(tài)下,連接到電阻體上,具備測(cè)量流向各個(gè)供電體的電流的電流檢測(cè)器的辦法,可以判別充電電流是否集中于特定的蓄電器內(nèi),故可以避免工件的加工面的損傷。
此外,加工進(jìn)行方向的每一單位移動(dòng)距離的每一個(gè)導(dǎo)電層的加工體積越大則與導(dǎo)電層對(duì)置的供電體的寬度的總和就設(shè)定得越大,由于越是加工量多的部分放電頻率就越高,故可以防止電極的異常消耗。
此外,采用構(gòu)成為使得構(gòu)成層狀各向異性導(dǎo)電體的各個(gè)導(dǎo)電層與各個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比對(duì)于各個(gè)導(dǎo)電層的位置按照一次函數(shù)的關(guān)系變化的辦法,而具有由電流檢測(cè)器的輸出特定充電位置的處理會(huì)變得容易起來(lái)的優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種具備中介加工間隙地與被加工物對(duì)置的放電加工用電極的放電加工裝置,其特征是上述放電加工用電極,由導(dǎo)電層與不良導(dǎo)電層交互地疊層起來(lái)的層狀各向異性導(dǎo)電體、連接到該層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上的電阻體和連接到該電阻體上的供電體構(gòu)成。
2.一種具備中介加工間隙地與被加工物對(duì)置的放電加工用電極的放電加工裝置,其特征是上述放電加工用電極,設(shè)置導(dǎo)電層與不良導(dǎo)電層交互地疊層起來(lái)的層狀各向異性導(dǎo)電體、連接到該層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上的電阻體、連接到該電阻體上的供電體,在上述層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層橫切端面上,中介電介質(zhì)地設(shè)置導(dǎo)電性的接地體,使該接地體與被加工物進(jìn)行連接。
3.權(quán)利要求1或2所述的放電加工裝置,其特征是層狀各向異性導(dǎo)電體的不良導(dǎo)電層由非導(dǎo)電材料構(gòu)成。
4.權(quán)利要求1或2所述的放電加工裝置,其特征是層狀各向異性導(dǎo)電體的不良導(dǎo)電層由電阻體構(gòu)成。
5.權(quán)利要求1或2所述的放電加工裝置,其特征是層狀各向異性導(dǎo)電體由各向異性碳材料構(gòu)成。
6.權(quán)利要求1~5中的任何一項(xiàng)所述的放電加工裝置,其特征是供電體至少由2個(gè)供電體構(gòu)成,在橫切層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層面的方向上彼此隔離地連接到電阻體上,具備測(cè)量流往上述各個(gè)供電體的電流的電流檢測(cè)裝置。
7.權(quán)利要求2~5中的任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的放電加工裝置,其特征是供電體至少由2個(gè)供電體構(gòu)成,上述各個(gè)供電體在與層狀各向異性導(dǎo)電體的疊層面平行的方向上彼此隔離開(kāi)來(lái)的狀態(tài)下,而且在上述層狀各向異性導(dǎo)電體的各個(gè)導(dǎo)電層與上述各個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比,對(duì)于上述每一個(gè)導(dǎo)電層都不同的狀態(tài)下,連接到電阻體上,具備測(cè)量流往上述各個(gè)供電體的電流的電流檢測(cè)裝置。
8.權(quán)利要求1~5中的任何一項(xiàng)或者權(quán)利要求7所述的放電加工裝置,其特征是加工進(jìn)行方向的每一單位電極移動(dòng)距離的每一個(gè)導(dǎo)電層的加工體積越大,則與導(dǎo)電層對(duì)置的供電體的寬度就設(shè)定得越寬。
9.權(quán)利要求7所述的放電加工裝置,其特征是構(gòu)成為使得構(gòu)成層狀各向異性導(dǎo)電體的各個(gè)導(dǎo)電層與各個(gè)供電體之間的對(duì)置面積之差或之比,對(duì)于上述各個(gè)導(dǎo)電層的位置按照一次函數(shù)的關(guān)系進(jìn)行變化。
全文摘要
一種可以確實(shí)地實(shí)施并列放電,可以提高放電加工速度的放電加工裝置。用層狀各向異性導(dǎo)電體11和電阻體12和供電體13構(gòu)成電極14。層狀各向異性導(dǎo)電體11,用使涂敷了絕緣膜的金屬薄板進(jìn)行重疊加壓粘接起來(lái)的構(gòu)件,使導(dǎo)電層與不良導(dǎo)電層層狀地交替地疊層起來(lái),與不良導(dǎo)電層平行的方向的電導(dǎo)率具有比橫切不良導(dǎo)電層的方向的電導(dǎo)率顯著地高的各向異性電導(dǎo)率。電阻體12連接到層狀各向異性導(dǎo)電體11的疊層橫切端面11c上,而供電體13則連接到電阻體12上。
文檔編號(hào)B23H1/06GK1328894SQ0110164
公開(kāi)日2002年1月2日 申請(qǐng)日期2001年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月12日
發(fā)明者佐藤達(dá)志, 今井祥人, 三宅英孝, 中川孝幸 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社