專利名稱：線切割加工方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)向線電極與被加工件的極之間供給加工電力，通過(guò)放電能量對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工的線切割加工方法及裝置的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
放電加工作為金屬模具等的加工技術(shù)已建立起了穩(wěn)固的地位，廣泛應(yīng)用于汽車產(chǎn)業(yè)、家電產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等的模具加工領(lǐng)域。
圖7是放電加工機(jī)理的說(shuō)明圖，圖中，1是電極、2是被加工件、3是電弧柱、4是加工液、5是放電加工產(chǎn)生的加工屑。重復(fù)以下的(a)至(e)循環(huán)(與圖7的(a)至(e)的循環(huán)相對(duì)應(yīng))，對(duì)被加工件2用放電進(jìn)行除去加工。即，是(a)形成放電產(chǎn)生的電弧柱3、(b)放電的熱能產(chǎn)生為局部熔融及加工液4氣化、(c)產(chǎn)生加工液4的氣化爆發(fā)力、(d)熔融部(加工屑5)的飛散、(e)由加工液進(jìn)行的冷卻、凝固、極間絕緣的恢復(fù)。
該發(fā)明，是涉及放電加工中用于穿孔加工、切斷加工等的線切割加工。對(duì)線切割加工，尤其對(duì)其高精度化的要求越來(lái)越強(qiáng)，比如，在半導(dǎo)體等領(lǐng)域使用的高精度模具的加工，被要求1～2μm程度的高加工精度。
圖8是表示線切割加工的加工過(guò)程的說(shuō)明圖，圖中，1a表示線電極、2是被加工件，4a是諸如水的加工液，6是初始孔，圖8的(a)是粗加工的第1次切割、圖8(b)是粗加工后的中等精加工的第2次切割、圖8(c)是最后精加工的第3次切割的狀態(tài)。
圖8(a)的第1次切割的加工例子，表示將線電極1a穿過(guò)初孔6內(nèi)、對(duì)被加工件2進(jìn)行穿孔加工。在如此第1次切割的場(chǎng)合，因?yàn)槭窃诤蠹庸ぶ袑?duì)面粗糙度及精度進(jìn)行精加工的，故不需要太嚴(yán)格的面粗糙度及精度，為了提高生產(chǎn)性，尤其重要的是要提高加工速度。在線切割加工中，為了提高加工速度、有效地排出線電極1a與被加工件2的極間的加工屑，采取向所述極間噴射加工液4a的技術(shù)。另外，為了消除加工液4a對(duì)所述極間的噴射的不均，防止線電極1a的斷線，采用在未圖示的加工槽內(nèi)儲(chǔ)存加工液4a，并將被加工件2浸在液內(nèi)的方法。如此，使用向線電極1a與被加工件2的極間供給加工液的加工液供給方法。
所述傳統(tǒng)的線切割加工中，第1次切割(圖8的(a))后的第2次切割(圖8的(b))及第3次切割(圖8的(c))等的加工也同樣在加工液4a中進(jìn)行。
一旦向線電極1a與被加工件2的極間施加電壓，則正極與負(fù)極互相作用吸引力，由該靜電力使剛性小的線電極1a拉向被加工件2側(cè)。這是造成線電極1a震動(dòng)的原因，且存在著因該震動(dòng)引起難以進(jìn)行高精度加工的問(wèn)題。
另外，在因放電能量產(chǎn)生加工液的氣化爆發(fā)力的狀態(tài)(比如圖7的(c))中，加工液的氣化爆發(fā)力對(duì)線電極1a施加很大的與被加工件2相反方向的力，從而發(fā)生振動(dòng)。該振動(dòng)使被加工件2的形狀產(chǎn)生凹凸，故精度下降。
而且，在作為線切割加工利用領(lǐng)域的半導(dǎo)體業(yè)等中，比如，在IC引線框的模具等加工中，對(duì)形狀精度為1μm、面粗糙度為1μm Rmax以下這樣的被加工件，越來(lái)越需要極高的精度和非常光滑的面粗糙度，尤其在這樣的用途中，所述線電極的振動(dòng)等引起的問(wèn)題十分顯著。
作為解決如此液中線切割加工的問(wèn)題點(diǎn)的策略，揭示有線電極與被加工件的極間不借助加工液、而在大氣中進(jìn)行線切割加工、氣體線切割加工的技術(shù)(東京農(nóng)工大學(xué)安達(dá)他，“氣體放電加工對(duì)第2次切割的高精度化”，模具技術(shù)、第14卷、第7刊、1999年、154頁(yè)、日刊工業(yè)新聞社)。該技術(shù)中，揭示了通過(guò)在大氣中的線切割加工可提高被加工件切斷面的直線精度，與通常的加工液中進(jìn)行的線切割加工相比，從高精度化的方面來(lái)講意義重大，但在進(jìn)行這樣的氣體放電加工的場(chǎng)合，或在進(jìn)行霧氣線切割加工的場(chǎng)合中，因無(wú)法利用加工液的冷卻效果(比如圖7的(e))，故無(wú)法充分進(jìn)行線電極與被加工件的極間的冷卻，在放電發(fā)熱使被加工件產(chǎn)生熱應(yīng)變的狀態(tài)下繼續(xù)進(jìn)行加工，故存在著無(wú)法滿足對(duì)所述被加工件要求極高精度和非常光滑的面粗糙度的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決所述問(wèn)題而開(kāi)展的，其目的在于供給一種適合線切割加工的高精度化及高品位化的線切割加工方法及裝置。
在使線電極與被加工件的極間發(fā)生放電、對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工的線切割加工方法中，在霧氣或氣體的加工工序中，本發(fā)明的線切割加工方法，是邊對(duì)所述被加工件進(jìn)行冷卻邊進(jìn)行加工的。
另外，在使線電極與被加工件的極間發(fā)生放電、對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工的線切割加工方法中，將加工液中的加工、霧氣加工及氣體加工的3種工序中至少2種加工組合進(jìn)行加工，在霧氣或氣體加工工序中，本發(fā)明的線切割加工方法，是邊對(duì)所述被加工件進(jìn)行冷卻邊進(jìn)行加工的。
本發(fā)明的線切割加工裝置，通過(guò)加工電力供給裝置向線電極與被加工件的極間供給放電能量，通過(guò)定位裝置使所述線電極及被加工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，利用霧氣或氣體對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工的線切割加工裝置中，具有供給冷卻所述被加工件的冷卻用流體的冷卻用流體供給裝置。
另外，本發(fā)明的線切割加工裝置，通過(guò)加工電力供給裝置向線電極與被加工件的極間供給放電能量，通過(guò)定位裝置使所述線電極及被加工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，在對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工的線切割加工裝置中，具有加工用流體供給裝置，其對(duì)朝所述極間供給加工液的加工液供給裝置、朝所述極間供給霧氣的霧氣供給裝置、以及朝所述極間供給氣體的氣體供給裝置中的至少2個(gè)供給加工用流體；供給冷卻所述被加工件的冷卻用流體的冷卻用流體供給裝置。
另外，本發(fā)明的線切割加工裝置，通過(guò)加工電力供給裝置向線電極與被加工件的極間供給放電能量，通過(guò)定位裝置使所述線電極及被加工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，在對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工的線切割加工裝置中，具有加工用流體供給裝置，其對(duì)朝所述極間供給加工液的加工液供給裝置、朝所述極間供給霧氣的霧氣供給裝置、以及朝所述極間供給氣體的氣體供給裝置中的至少2個(gè)供給加工用流體；供給冷卻所述被加工件的冷卻用流體的冷卻用流體供給裝置；控制裝置，其根據(jù)對(duì)生產(chǎn)性及被加工件的要求精度等，對(duì)由所述加工液供給裝置向所述極間供給所述加工液、由所述霧氣供給裝置向所述極間供給所述霧氣及由所述氣體供給裝置向所述極間供給所述氣體的切換、以及由所述霧氣供給裝置向所述極間供給所述霧氣時(shí)或由所述氣體供給裝置向所述極間供給所述氣體時(shí)由所述冷卻用流體供給裝置向所述被加工件供給所述冷卻用流體進(jìn)行控制。
另外，本發(fā)明的線切割加工裝置，所述加工用流體供給裝置沿所述線電極向所述極間供給所述加工用流體，所述冷卻用流體供給裝置從所述加工用流體的外側(cè)向所述被加工件噴出所述冷卻用流體。
另外，本發(fā)明的線切割加工裝置，具有將所述加工用流體供給裝置及所述冷卻用流體供給裝置組合形成一體的流體供給裝置。
另外，本發(fā)明的線切割加工裝置，所述加工液供給裝置是用泵將加工液罐內(nèi)的加工液向所述極間進(jìn)行供給的，所述氣體供給裝置是用空壓機(jī)將空氣等氣體加壓后向所述極間進(jìn)行供給的，所述霧氣供給裝置是將由所述加工液供給裝置供給的加工液與由所述氣體供給裝置供給的氣體混合后生成霧氣而向所述極間進(jìn)行供給的。
另外，本發(fā)明的線切割加工裝置，所述冷卻用流體供給裝置是用泵對(duì)所述加工液罐內(nèi)的加工液加壓后而向所述極間進(jìn)行供給的。
另外，本發(fā)明的線切割加工裝置，具有對(duì)所述空壓機(jī)加壓的氣體進(jìn)行冷卻的冷卻裝置。
另外，本發(fā)明的線切割加工裝置，所述冷卻裝置是利用配設(shè)在所述加工液罐內(nèi)的熱交換器構(gòu)成的。
本發(fā)明的線切割加工方法及裝置由于如上構(gòu)成，故在氣體或霧氣的線切割加工中，可有效地對(duì)被加工件進(jìn)行冷卻，抑制被加工件的熱應(yīng)變，故可獲得適合高精度化及高品位化的線切割加工的效果。另外，針對(duì)生產(chǎn)性及對(duì)被加工件的精度要求等，通過(guò)對(duì)加工液中的加工、霧氣加工及氣體加工進(jìn)行組合，就能獲得與要求和規(guī)格適當(dāng)對(duì)應(yīng)的效果。
附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的線切割加工方法的說(shuō)明圖。
圖2是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的線切割加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖3是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的線切割加工裝置的流體供給裝置的結(jié)構(gòu)說(shuō)明圖。
圖4是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的線切割加工裝置向流體供給裝置供給流體的方法說(shuō)明圖。
圖5是表示本發(fā)明的第2實(shí)施例的線切割加工裝置向流體供給裝置供給流體的方法說(shuō)明圖。
圖6是表示本發(fā)明的第3實(shí)施例的線切割加工裝置向流體供給裝置供給流體的方法說(shuō)明圖。
圖7是表示放電加工機(jī)理的說(shuō)明圖。
圖8是表示線切割加工的加工過(guò)程例子的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例實(shí)施例1圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的線切割加工方法的說(shuō)明圖，圖中，1a是線電極、2是被加工件、4a是諸如水的加工液、6是初始孔、7是水等的霧氣、8是空氣等氣體，圖1的(a)是粗加工的第1次切割、圖1(b)是粗加工后的中等精加工的第2次切割、圖1(c)是最后精加工的第3次切割的狀態(tài)。第1次切割、第2次切割、第3次切割只是為了方便，并不表示線切割加工經(jīng)3次加工而結(jié)束。對(duì)被加工件精度要求低的加工，具有僅第1次切割或第1次切割和第2次切割就可結(jié)束的場(chǎng)合，對(duì)被加工件精度要求高的加工，也有進(jìn)行第7次切割、第8次切割加工的場(chǎng)合。
下面對(duì)加工方法作簡(jiǎn)要的說(shuō)明。圖1(a)的第1次切割，是將線電極1a穿過(guò)初始孔6內(nèi)，對(duì)被加工件2進(jìn)行穿孔加工。第1次切割中，因?yàn)槭窃诤蠹庸ぶ袑?duì)面粗糙度及精度進(jìn)行精加工，故不需要太嚴(yán)格的面粗糙度及精度，為了提高生產(chǎn)性，尤其重要的是要提高加工速度，與背景技術(shù)中的圖8相同，通過(guò)向線電極1a與被加工件2的極間供給加工液的加工液供給裝置，使所述極間浸在加工液4a中進(jìn)行加工。作為該加工液供給裝置，可采用在加工槽內(nèi)儲(chǔ)存加工液4a并將被加工件2浸在液內(nèi)的方法、及將加工液4a噴出到所述極間的裝置中的一種。
在通常的線切割加工中，第1次切割后，繼續(xù)由加工液供給裝置向所述極間供給加工液，但存在著如背景技術(shù)中所示的線電極振動(dòng)等的問(wèn)題，不適合高精度加工。
本發(fā)明用來(lái)，在精加工中所述極間不借助加工液進(jìn)行加工，可改善被加工件的精度及面粗糙度。
圖1(b)的中等精度加工的第2次切割中，為了抑制線電極1a的振動(dòng)、改善加工形狀精度，不是在加工液4a中加工，而是在霧氣7中進(jìn)行加工。霧氣7中的加工速度與加工液4a中的加工相比并不遜色，通過(guò)靜電力抑制線電極1a的振動(dòng)，從而提高加工精度。霧氣7中的加工，可通過(guò)例如未圖示的霧氣供給裝置向線電極1a與被加工件2的極間噴射霧氣來(lái)進(jìn)行。
另外，圖1的(c)的最終精加工的第3次切割的場(chǎng)合，通過(guò)使用氣體8中的放電，可進(jìn)一步抑制線電極1a的振動(dòng)。氣體8中的加工，可通過(guò)大氣中或未圖示的氣體供給裝置向線電極1a與被加工件2的極間噴出規(guī)定成分的氣體來(lái)進(jìn)行。
利用所述在霧氣7中及在氣體8中的放電加工能得到高的精度的理由如下。對(duì)線電極1a與被加工件2的極間外加電壓時(shí)，由于對(duì)所述極間作用的靜電力與所述極間的電容率成正比，故以相同極間距離進(jìn)行計(jì)算的話，與所述極間的介質(zhì)為加工液4a的場(chǎng)合相比，所述極間的介質(zhì)為霧氣7或氣體8時(shí)，所述靜電力是前者的幾十分之一(比如，電容率在真空中最小，水中是真空中的約80倍)。另外，由于放電帶來(lái)的氣化爆發(fā)力是所述極間的液體所產(chǎn)生，故在所述極間僅存在霧氣7或氣體8的場(chǎng)合，線電極1a不受氣化爆發(fā)力的影響。
因此，利用霧氣7或氣體8中的放電，能進(jìn)行高精度的線切割加工，根據(jù)生產(chǎn)性及對(duì)被加工件的精度要求等，通過(guò)對(duì)加工液中的加工、霧氣中的加工及氣體中的加工進(jìn)行組合，就可確切地滿足要求規(guī)格。
圖2是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的線切割加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖中，1a是線電極、2是被加工件、4a是諸如水的加工液、7是霧氣、8是氣體、9是固定被加工件2的平臺(tái)、11是金屬絲卷筒、12是流體供給裝置、13是主動(dòng)輥、14是壓緊輪、15是對(duì)被加工件2朝水平方向(X方向)驅(qū)動(dòng)的X工作臺(tái)、16是對(duì)被加工件2朝水平方向(Y方向)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的Y工作臺(tái)、17是對(duì)驅(qū)動(dòng)X工作臺(tái)15的未圖示的驅(qū)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行控制的X軸伺服信號(hào)放大器、18是對(duì)驅(qū)動(dòng)Y工作臺(tái)16的未圖示的驅(qū)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行控制的Y軸伺服信號(hào)放大器、19是控制裝置。由主動(dòng)輥13及壓緊輪14夾住并牽引線電極1a，邊輸送線電極1a，邊通過(guò)未圖示的加工電力供給裝置向線電極1a與被加工件2的極間供給加工電力，借助定位裝置的X工作臺(tái)及Y工作臺(tái)等，使線電極1a及被加工件相對(duì)移動(dòng)而對(duì)被加工件2進(jìn)行加工。
圖3是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的線切割加工裝置的流體供給裝置12的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖3(a)是縱剖視圖、圖3(b)是圖3(a)的A-A剖視圖。圖3中，1a是線電極、2是被加工件、4a是諸如水的加工液、7是霧氣、8是氣體、12是流體供給裝置、12a是設(shè)置在流體供給裝置12中的在線電極1a穿過(guò)的孔的外側(cè)同心圓狀形成的用于將冷卻用流體即加工液4a向被加工件2噴出的槽、20及21是連接器。
圖4是表示向流體供給裝置供給流體的方法說(shuō)明圖，圖中，4a是諸如水的加工液、22是加工液罐、23是將加壓氣體供給到線電極1a與被加工件2的極間的空壓機(jī)、24是對(duì)加工液罐22內(nèi)的加工液4a的溫度進(jìn)行控制的溫度控制裝置、25至27是閥、28是供給由溫度控制裝置24進(jìn)行溫度控制后的加工液4a的泵。向線電極1a與被加工件2的極間供給氣體8或霧氣7，在進(jìn)行氣體或霧氣的線切割加工的場(chǎng)合，通過(guò)將加工液4a從連接器21供給流體供給裝置12內(nèi)，從流體供給裝置12的槽12a，將冷卻用流體的加工液4a向所述極間的附近以與線電極1a同心圓狀地噴出。該冷卻用流體的噴出，并不局限于與線電極1a的同心圓狀，作為加工用流體也可從供給到所述極間的氣體8或霧氣7的外側(cè)噴出。
在這樣的氣體或霧氣中進(jìn)行線切割加工的場(chǎng)合，若由空壓機(jī)23將氣體8或霧氣7加壓至高壓后供給到所述極間，則加工液4a不會(huì)進(jìn)入所述極間，可向所述極間的邊上供給冷卻加工液對(duì)被加工件進(jìn)行冷卻，能有效地減少加工熱量引起的被加工件的熱應(yīng)變。
以下對(duì)實(shí)際加工時(shí)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在向線電極1a與被加工件2的極間供給加工液4a進(jìn)行加工的場(chǎng)合，關(guān)閉閥25，打開(kāi)閥26，關(guān)閉閥27，向連接器20內(nèi)輸送加工用流體的加工液4a。另外，在向所述極間供給氣體8進(jìn)行加工的場(chǎng)合，打開(kāi)閥25，關(guān)閉閥26，打開(kāi)閥27，向連接器20輸送加工用流體的加壓氣體8，向連接器21輸送冷卻用流體的加工液4a。而且，在向所述極間供給霧氣7進(jìn)行加工的場(chǎng)合，將閥25、26、27全部打開(kāi)，由來(lái)自空壓機(jī)23的加壓氣體8與加工液4a生成加工用流體的霧氣7并向連接器20輸送，向連接器21輸送冷卻用流體的加工液4a。所述的閥25至27的開(kāi)閉的切換由控制裝置19進(jìn)行。
如上所述，流體供給裝置12具有作為加工液供給裝置、霧氣供給裝置、氣體供給裝置的功能(加工用流體供給裝置)及作為對(duì)被加工件進(jìn)行冷卻的冷卻用流體供給裝置的功能。
利用以上的結(jié)構(gòu)，根據(jù)所需的加工速度、加工精度等，有選擇地向線電極1a與被加工件2的極間供給加工液4a、霧氣7或氣體8，同時(shí)，在氣中或霧氣中的線切割加工中，可有效地對(duì)被加工件2進(jìn)行冷卻。因此，通過(guò)對(duì)被加工件的熱應(yīng)變的抑制，能應(yīng)對(duì)更高精度和非常光滑的面粗糙度的要求。
所述實(shí)施例中，對(duì)流體供給裝置12具有作為加工用流體供給裝置的功能及作為冷卻用流體供給裝置的功能的場(chǎng)合進(jìn)行了說(shuō)明，但也可將加工用流體供給裝置及冷卻用流體供給裝置分開(kāi)而分別設(shè)置。
實(shí)施例2圖5是表示本發(fā)明的第2實(shí)施例的線切割加工裝置向流體供給裝置12供給流體的方法的說(shuō)明圖，線切割加工裝置的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施例的圖2相同，線切割加工裝置的流體供給裝置12的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施例的圖3相同。圖5中，與第1實(shí)施例的圖4相同的符號(hào)表示相同或相當(dāng)?shù)牟糠郑?9是冷卻器。另外，閥25至27的開(kāi)閉的切換等動(dòng)作與第1實(shí)施例相同。
圖5中，通過(guò)在空壓機(jī)23與閥25之間配置冷卻器29，在向線電極與被加工件的極間供給氣體進(jìn)行放電加工的場(chǎng)合，由冷卻器冷卻的氣體向所述極間供給。另外，在向所述極間供給霧氣進(jìn)行加工的場(chǎng)合，利用由冷卻器冷卻的加壓氣體而生成霧氣。因此，與傳統(tǒng)的使用未被溫度控制的氣體的場(chǎng)合相比，將氣體或霧氣向所述極間噴射進(jìn)行加工的場(chǎng)合中，可提高被加工件加工部的冷卻效率。
第3實(shí)施例圖6是表示本發(fā)明的第3實(shí)施例的線切割加工裝置向流體供給裝置12供給流體的方法的說(shuō)明圖，線切割加工裝置的結(jié)構(gòu)與第1及第2實(shí)施例相同，圖6中，與第1實(shí)施例的圖4及第2實(shí)施例的圖5相同的符號(hào)表示相同或相當(dāng)?shù)牟糠郑?0是熱交換器。
圖6，在在第1實(shí)施例的圖4的空壓機(jī)23與閥25之間增加熱交換器30，將該熱交換器30設(shè)置在加工液罐22內(nèi)。加工液罐22內(nèi)的加工液4a由溫度控制裝置24控制在室溫或室溫以下，故由空壓機(jī)23加壓后的空氣8，被加工槽22內(nèi)的經(jīng)溫度控制后的加工液4a冷卻。因此，與第2實(shí)施例相同，能提高被加工件加工部的冷卻效果。而且，用更簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了第2實(shí)施例的圖5的冷卻器29的功能，故還具有降低成本的效果。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性如上所述，本發(fā)明的線切割加工方法及裝置，尤其適用于高精度和高品位的放電加工作業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種線切割加工方法，使線電極與被加工件的極間發(fā)生放電以對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工，其特征在于，在霧氣或氣體的加工工序中，邊對(duì)所述被加工件進(jìn)行冷卻邊進(jìn)行加工。
2.一種線切割加工方法，使線電極與被加工件的極間發(fā)生放電以對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工，其特征在于，使加工液中的加工、霧氣加工及氣體加工的3種工序中的至少2種加工組合進(jìn)行加工，在霧氣或氣體的加工工序中，邊對(duì)所述被加工件進(jìn)行冷卻邊進(jìn)行加工。
3.一種線切割加工裝置，通過(guò)加工電力供給裝置向線電極與被加工件的極間供給放電能量，通過(guò)定位裝置使所述線電極及被加工件相對(duì)移動(dòng)，利用霧氣或氣體對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工，其特征在于，具有供給冷卻所述被加工件的冷卻用流體的冷卻用流體供給裝置。
4.一種線切割加工裝置，通過(guò)加工電力供給裝置向線電極與被加工件的極間供給放電能量，通過(guò)定位裝置使所述線電極及被加工件相對(duì)移動(dòng)，利用霧氣或氣體對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工，其特征在于，具有對(duì)向所述極間供給加工液的加工液供給裝置、向所述極間供給霧氣的霧氣供給裝置、向所述極間供給氣體的氣體供給裝置中的至少2個(gè)供給加工用流體的加工用流體供給裝置；供給冷卻所述被加工件的冷卻用流體的冷卻用流體供給裝置。
5.一種線切割加工裝置，通過(guò)加工電力供給裝置向線電極與被加工件的極間供給放電能量，通過(guò)定位裝置使所述線電極及被加工件相對(duì)移動(dòng)，利用霧氣或氣體對(duì)所述被加工件進(jìn)行加工，其特征在于，具有對(duì)向所述極間供給加工液的加工液供給裝置、向所述極間供給霧氣的霧氣供給裝置、向所述極間供給氣體的氣體供給裝置中的至少2個(gè)供給加工用流體的加工用流體供給裝置；供給冷卻所述被加工件的冷卻用流體的冷卻用流體供給裝置；控制裝置，其根據(jù)對(duì)生產(chǎn)性及被加工件的要求精度等，對(duì)由所述加工液供給裝置向所述極間供給所述加工液、由所述霧氣供給裝置向所述極間供給所述霧氣及由所述氣體供給裝置向所述極間供給所述氣體的切換、和由所述霧氣供給裝置向所述極間供給所述霧氣時(shí)或由所述氣體供給裝置向所述極間供給所述氣體時(shí)由所述冷卻用流體供給裝置向所述被加工件供給所述冷卻用流體進(jìn)行控制。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的線切割加工裝置，其特征在于，所述加工用流體供給裝置沿所述線電極向所述極間供給所述加工用流體，所述冷卻用流體供給裝置從所述加工用流體的外側(cè)向所述被加工件噴出所述冷卻用流體。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的線切割加工裝置，其特征在于，具有將所述加工用流體供給裝置及所述冷卻用流體供給裝置組合形成一體的流體供給裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的線切割加工裝置，其特征在于，所述加工液供給裝置是用泵將加工液罐內(nèi)的加工液向所述極間進(jìn)行供給的，所述氣體供給裝置是用空壓機(jī)將空氣等氣體加壓后向所述極間進(jìn)行供給的，所述霧氣供給裝置是將由所述加工液供給裝置供給的加工液與由所述氣體供給裝置供給的氣體混合后生成霧氣而向所述極間進(jìn)行供給的。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線切割加工裝置，其特征在于，所述冷卻用流體供給裝置是用泵對(duì)所述加工液罐內(nèi)的加工液加壓后向所述極間進(jìn)行供給的。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線切割加工裝置，其特征在于，具有對(duì)由所述空壓機(jī)加壓后的氣體進(jìn)行冷卻的冷卻裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的線切割加工裝置，其特征在于，所述冷卻裝置是用配設(shè)在所述加工液罐內(nèi)的熱交換器構(gòu)成。
全文摘要
在由加工電力供給裝置向線電極(1a)與被加工件(2)的極間供給放電能量、由定位裝置使線電極(1a)及被加工件(2)相對(duì)移動(dòng)、以對(duì)被加工件(2)進(jìn)行加工的線切割加工裝置中，具有將向所述極間供給加工液(4a)的加工液供給裝置、向所述極間供給霧氣(7)的霧氣供給裝置、向所述極間供給氣體(8)的氣體供給裝置以及供給冷卻被加工件(2)的冷卻用流體即加工液(4a)的冷卻用流體供給裝置進(jìn)行組合形成一體的流體供給裝置(12)。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)更高精度化和高品位化的放電加工。
文檔編號(hào)B23H7/02GK1471447SQ01818113
公開(kāi)日2004年1月28日 申請(qǐng)日期2001年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月14日
發(fā)明者木村宗雅, 后藤昭弘, 弘 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社