專利名稱：多聚光頭的激光毛化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種多聚光頭的激光毛化裝置。適應(yīng)于金屬表面的毛化處理。
背景技術(shù)：
眾所周知，鋼板的表面都要經(jīng)過(guò)毛化處理，它們是通過(guò)毛化軋輥壓制形成的。軋輥表面毛化最早是采用噴砂形成表面毛化。70-80年代出現(xiàn)了電火花技術(shù)，用放電在軋輥表面形成毛化坑。九十年代左右又開發(fā)了激光技術(shù)，將激光束聚焦在軋輥表面進(jìn)行軋輥毛化。這一技術(shù)稱為第三代的毛化技術(shù)。采用脈沖的CO2激光器或聲光調(diào)制的摻釹釔鋁石榴石晶體(NdYAG)激光器，將聚焦的激光在軋輥面上進(jìn)行螺旋掃描，在表面上產(chǎn)生一個(gè)規(guī)則的毛化坑分布。
激光毛化與噴丸或電火花相比，毛化坑分布是規(guī)則的，(而前者是無(wú)規(guī)分布)，且花紋可調(diào)；另外在擊出坑的過(guò)程中也經(jīng)歷了熱處理，因而表面硬度也有所增高。但到目前為止，激光毛化裝置都是采用單個(gè)激光聚光頭，進(jìn)行單螺線掃描。因而它的缺點(diǎn)是毛化效率低，毛化所用的時(shí)間太長(zhǎng)，為此自然想到應(yīng)采用多個(gè)聚光頭。由于毛化坑的間距一般為150-200μm，將平均功率百瓦級(jí)的激光毛化裝置所帶的單個(gè)聚光頭排成這樣的列陣是不可能的，如果采用幾個(gè)頭分區(qū)毛化，由于幾路激光的差別以及不同區(qū)域的銜接困難，毛化的均勻性很差。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型為了解決上述在先技術(shù)中的困難，采用一種大尺度的聚光頭陣列，產(chǎn)生密集的毛化坑點(diǎn)陣，實(shí)現(xiàn)對(duì)毛化軋輥的毛化。使有差異的激光束產(chǎn)生的不同毛化坑混合均勻分布，并使毛化時(shí)間大大縮短。
本實(shí)用新型激光毛化裝置的具體結(jié)構(gòu)如圖1所示。包括數(shù)控機(jī)床7，數(shù)控機(jī)床7上的相互平行的軋輥轉(zhuǎn)軸701和導(dǎo)軌702，置放在導(dǎo)軌702上的工作平臺(tái)1(能夠作三維運(yùn)動(dòng))，置放在工作平臺(tái)1上的K≥1個(gè)相對(duì)位置能夠移動(dòng)的小移動(dòng)平臺(tái)101、102、103、104、105；由K≥2個(gè)含有聚光鏡的聚光頭201、202、203、204、205、206組成的聚光頭陣列2。與K≥2個(gè)聚光頭201、202、203、204、205、206的輸入端連接的K≥2根光纖3都連接在分束器4的光束輸出端。在分束器4光束輸入端與激光器6之間的光路上，有激光放大器5。在每個(gè)小移動(dòng)平臺(tái)101、102、、103、104、105上，置放一個(gè)聚光頭201、202、203、204、205、206。對(duì)于第一個(gè)聚光頭201可以直接固定在工作平臺(tái)1上，其它的聚光頭202、203、204、205、206分別固定在小移動(dòng)平臺(tái)101、102、103、104、105上，如圖1-2、圖2-1、圖3-1、圖4、圖5-1、圖6、圖7-2所示。每個(gè)小移動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)上面的聚光頭相對(duì)于第一個(gè)固定的聚光頭201可作相對(duì)微移位，調(diào)整它們之間的相對(duì)位置，就可以得到不同形狀的聚光頭陣列2。所以，有K≥2個(gè)聚光頭，而在工作平臺(tái)1上有K≥1個(gè)小移動(dòng)平臺(tái)就夠用了。
所說(shuō)的由K≥2個(gè)聚光頭201、202、203、204、205、206組成的聚光頭陣列2的陣形，可以是矩形的，如圖1-2所示；或是斜平行四邊形的，如圖5-1和圖6所示；或是線形的，如圖2-1、圖3-1和圖7-2所示。
如上所述的本實(shí)用新型激光毛化裝置，首先將待毛化軋輥8裝在數(shù)控機(jī)床7的軋輥轉(zhuǎn)軸701上。將第一個(gè)聚光頭201直接固定在工作平臺(tái)1上，其它聚光頭202、203、204、205、206置放在工作平臺(tái)1上的小移動(dòng)平臺(tái)101、102、103、104、105上，調(diào)節(jié)置放在小移動(dòng)平臺(tái)上的聚光頭與第一個(gè)聚光頭的相對(duì)位置，組成所要求的聚光頭陣列2的陣形后，將各小移動(dòng)平臺(tái)的位置固定，再移動(dòng)(可以由數(shù)控機(jī)床7自動(dòng)調(diào)整)導(dǎo)軌702上的工作平臺(tái)1，使固定工作平臺(tái)1上的第一個(gè)聚光頭201的中心對(duì)準(zhǔn)置放在軋輥轉(zhuǎn)軸701上的待毛化軋輥8的初始位置(0位置)。并使所有的聚光頭陣列2上的聚光頭的焦點(diǎn)都焦在待毛化軋輥8的表面上。由激光器6發(fā)射的激光束經(jīng)激光放大器5放大后再經(jīng)分束器4分成K≥2束光，通過(guò)K≥2根光纖3分別輸進(jìn)K≥2個(gè)聚光頭內(nèi)，由聚光頭將激光聚焦在待毛化軋輥8的表面上，形成毛化坑。由數(shù)控機(jī)床控制軋輥轉(zhuǎn)軸701帶動(dòng)待毛化軋輥8轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)工作平臺(tái)1勻速沿著導(dǎo)軌移動(dòng)。聚光頭輸出的激光焦點(diǎn)在待毛化軋輥8表面上進(jìn)行掃描，這就在待毛化軋輥8的表面上形成均勻分布的毛化坑陣列。如圖1-3，圖1-4，圖2-2，圖3-2和圖5-2所示。
上述結(jié)構(gòu)在毛化裝置啟動(dòng)前各聚光頭的位置是由數(shù)控機(jī)床自動(dòng)調(diào)好，啟動(dòng)后，工作平臺(tái)1帶動(dòng)所有的聚光頭都以同一速度(大平臺(tái))沿導(dǎo)軌(X軸方向)移動(dòng)。激光器6是高重復(fù)脈沖激光器。經(jīng)分束器4分束后，各路激光束要達(dá)到平均功率近百瓦才能由聚光頭將光束聚焦在待毛化軋輥表面上，形成毛化坑。因此由激光器6輸出的激光要經(jīng)過(guò)激光放大器5將激光功率放大。安裝在數(shù)控機(jī)床7上的軋輥轉(zhuǎn)軸701的轉(zhuǎn)速為n(1/秒)，由數(shù)控機(jī)床7上的編碼器將角度信息輸入到數(shù)控機(jī)床中，同時(shí)裝放聚光頭的工作平臺(tái)以勻速沿導(dǎo)軌即軸線X方向移動(dòng)。
對(duì)于激光毛化裝置只有一個(gè)聚光頭時(shí)，工作時(shí)激光焦點(diǎn)在待毛化軋輥8表面上產(chǎn)生單螺線掃描，通過(guò)程控可以產(chǎn)生兩種點(diǎn)陣毛化坑分布圖1-3，圖1-4就是單個(gè)聚光頭掃描產(chǎn)生的毛化坑分布的點(diǎn)陣展開圖，它們分別對(duì)應(yīng)矩形和菱形的點(diǎn)陣分布。圖1-3所示的矩形點(diǎn)陣中毛化坑點(diǎn)陣中最小單元是矩形a×b，圖1-4點(diǎn)陣最小單元是菱形，菱形在X及Y向?qū)蔷€為2a×b。圖1-3及1-4中s為毛化坑的螺距，p為激光相鄰兩個(gè)脈沖焦點(diǎn)在軋輥表面上產(chǎn)生的毛化坑間距離(激光脈沖Y向點(diǎn)距)。激光脈沖調(diào)制的頻率f＝πD/p·n，聚光頭沿X方向平移速度v＝s·n，毛化長(zhǎng)L所需時(shí)間T＝L/(s·n)。以下敘述要求產(chǎn)生毛化坑點(diǎn)陣為圖1-3及圖1-4時(shí)，采用本實(shí)用新型的激光聚光頭陣列的情況。
1.對(duì)于聚光頭的陣列為線形時(shí)(簡(jiǎn)稱為聚光頭線陣)圖2-1為k＝2在x方向排列的兩個(gè)聚光頭。第一個(gè)聚光頭201的中心位置為O，第二個(gè)聚光頭202的中心位置距第一個(gè)聚光頭201的中心位置的距離設(shè)定為Δx＝Ns+a，N為整數(shù)，Δx最小距離以能放置兩個(gè)聚光頭為準(zhǔn)。在數(shù)控機(jī)床7中設(shè)定激光脈沖y向點(diǎn)距為b。待毛化坑點(diǎn)陣為a×b，及螺距s＝2a，圖2-2為毛化坑分布的點(diǎn)陣展開圖。毛化時(shí)間T＝L/(n·s)＝L/(2n·a)，因此比單個(gè)聚光頭所用的時(shí)間縮短一倍。
圖3-1為k＝2在y方向排列的兩個(gè)聚光頭。第一個(gè)聚光頭201的中心位置為O，第二個(gè)聚光頭202的中心位置距第一個(gè)聚光頭201的中心位置的距離設(shè)定為Δy＝Mp+b，M為整數(shù)，Δy最小距離以能放置兩個(gè)聚光頭為準(zhǔn)。激光脈沖y向的點(diǎn)距為p＝2b。待毛化點(diǎn)陣為a×b，及螺距s＝a，此時(shí)脈沖頻率f＝πD·n/2b降低了一倍，如果維持激光狀態(tài)不變，即調(diào)制頻率不變，應(yīng)將軋輥轉(zhuǎn)速提高一倍，n’＝2n，這樣毛化時(shí)間T’＝L/(a·2n)也比采用單個(gè)聚光頭所用的時(shí)間縮短一倍。圖3-2是毛化坑的展開圖。
如果將K≥2個(gè)聚光頭組成一個(gè)線陣，K個(gè)聚光頭的分布應(yīng)該是O，Ns+a，2(Ns+a)……(K-1)(Ns+a)。設(shè)定螺距s＝ka，y向激光脈沖點(diǎn)距P＝b，其中a×b為待毛化點(diǎn)陣，毛化時(shí)間比采用單個(gè)聚光頭所用的時(shí)間將縮短K-1倍，即K≥2個(gè)聚光頭所用的時(shí)間T’＝T/K。
2.對(duì)于K＝K′×K″個(gè)聚光頭陣列圖4給出K′×K″個(gè)聚光頭組成的陣列圖。(其中K′≥1、K″≥1)在X方向，兩聚光頭中心的間距ΔX＝Ns+a，在y方向，兩激光頭的間距Δy＝Mp+b，在數(shù)控機(jī)中設(shè)定毛化坑點(diǎn)陣間距為a×b，設(shè)定螺距s＝k′a，脈沖激光焦點(diǎn)在y向上點(diǎn)距p＝k′b。(i)如果設(shè)定軋輥轉(zhuǎn)軸701的轉(zhuǎn)速與單個(gè)聚光頭情況一樣，則激光脈沖頻率f＝πDn/(k″b)為單個(gè)聚光束時(shí)的1/K″倍。此時(shí)工作平臺(tái)1的平移速度為v＝k′·a·n比單個(gè)聚光頭速度增大(k′-1)倍，因此比單個(gè)聚光頭毛化時(shí)間縮短K′-1倍。(ii)若設(shè)定軋輥轉(zhuǎn)軸701的轉(zhuǎn)速n′＝k″n，此時(shí)激光脈沖頻率與單個(gè)聚光頭y方向產(chǎn)生毛化坑點(diǎn)距b的脈沖頻率f一樣，但聚光頭陣列2平移速度v＝k′k″an比單個(gè)聚光頭速度增大(k′k″-1)倍，所以毛化時(shí)間縮短到單個(gè)聚光頭時(shí)間的1/(k′k″)倍。
3.產(chǎn)生菱形點(diǎn)陣毛化坑分布的K＝2×2個(gè)聚光頭陣列上述陣列聚光頭產(chǎn)生的毛化坑分布皆為矩形點(diǎn)陣分布。如果改變毛化坑分布為生菱形點(diǎn)陣分布，以2×2聚光頭陣列為例說(shuō)明。圖5-1給出K＝4個(gè)聚光頭的分布，在X方向上兩兩聚光頭201和202，203和204的中心距離為Δx＝Ns+2a，在y方向上兩兩聚光頭201和203，202和204的中心距離為Δy＝Mp+b/2，并在x方向上203相對(duì)201聚光頭的中心和204相對(duì)202聚光頭的中心平移皆為a，設(shè)定在x方向螺距為s＝4a，y方向激光脈沖焦點(diǎn)的點(diǎn)距p＝b，由此產(chǎn)生的毛化坑為菱形點(diǎn)陣分布。如圖5-2所示的毛化坑分布。聚光在平移Ns+4a距離之后，毛化坑呈現(xiàn)均勻的菱形點(diǎn)陣分布。菱形點(diǎn)陣X，Y對(duì)角線為2a及b與單個(gè)聚光頭的圖1-4所示的一樣，在該情況下，激光脈沖頻率不變，聚光頭陣列沿x平移速度增大為單個(gè)聚光頭時(shí)的4倍，，即毛化時(shí)間縮短到單個(gè)聚光頭所用時(shí)間的1/4倍。
4.產(chǎn)生菱形點(diǎn)陣毛化坑分布的K＝K′×K″個(gè)聚光頭的聚光頭陣列在一般的情況下，要產(chǎn)生菱形點(diǎn)陣分布的毛化坑，K′×K″個(gè)聚光頭的排布見圖6，該聚光頭陣列為K′×K″階，其中K′為任意整數(shù)，K″為偶數(shù)，在X方向兩列聚光頭間距Δx＝Ns+2a，設(shè)定螺距s＝2k′a，在Y方向，兩行聚光頭間距Δy＝MP+b/2，設(shè)定激光脈沖焦點(diǎn)的點(diǎn)距P＝K″b/2(k″為偶數(shù))，偶數(shù)行相對(duì)于奇數(shù)行向右位移a，產(chǎn)生的毛化坑點(diǎn)陣為菱形分布，X及Y對(duì)角線各為2a及b，(i)激光器6低頻運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，當(dāng)激光脈沖頻率f＝πD·n/(k″b/2)(即頻率降低為k″/2倍)，工作平臺(tái)平移速度為V＝2k′(na)增快為2k′倍，則毛化時(shí)間縮短為1/2k′倍。(ii)激光器6高頻運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)當(dāng)維持激光脈沖頻率與單個(gè)聚光頭一樣時(shí)，軋輥轉(zhuǎn)軸701的轉(zhuǎn)速應(yīng)提高到k″n/2，因而工作平臺(tái)1平移速度V＝k′k″(na)即毛化時(shí)間縮短到1/(k′k″)倍。
由上所述，本實(shí)用新型陣列式聚光頭最明顯效益就是縮短了毛化時(shí)間，使用(k″×k′)階陣列聚光頭若得到與單個(gè)聚光頭同樣密集程度的毛化坑點(diǎn)陣分布，毛化效率最大可提高(k′k″)倍，它將不同路的激光束產(chǎn)生的毛化坑在微觀上均勻分布，因此既使幾束激光束性能和功率有些不一致，也不會(huì)影響毛化面的宏觀均勻性。
另外一個(gè)特點(diǎn)就是能降低對(duì)激光器脈沖頻率(f)的要求。在激光毛化機(jī)中選擇什么樣的激光器，也是非常重要的，例如a)在用聲光調(diào)Q的NdYAG激光器時(shí)，若能將調(diào)Q頻率降低到10KHz以下，就可以解決每個(gè)脈沖的穩(wěn)定性問(wèn)題，并提高脈沖能量。b)毛化裝置常用的CO2激光器通常采用機(jī)械調(diào)Q，若能將10k-30KHz的調(diào)制頻率降低到頻率為KHz量級(jí)時(shí)，將會(huì)大大簡(jiǎn)化設(shè)備及調(diào)Q的穩(wěn)定性。c)在頻率要求不是太高的情況下，還可以直接利用脈沖運(yùn)轉(zhuǎn)的半導(dǎo)體激光二極管(LD)。這將大大提高能量效率和減小毛化裝置的體積，采用本實(shí)用新型毛化裝置的結(jié)構(gòu)，就可以做到上述三點(diǎn)，做到對(duì)激光器6的調(diào)制頻率要求降低。因此激光器6在運(yùn)行中可以穩(wěn)定地工作，毛化坑分布也更均勻。


圖1為本實(shí)用新型的激光毛化裝置的結(jié)構(gòu)和單個(gè)聚光頭毛化坑點(diǎn)陣示意圖。
其中圖1-1是本實(shí)用新型多聚光頭的激光毛化裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
圖1-2是聚光頭陣列示意圖。
圖1-3是單個(gè)聚光頭毛化坑分布為矩形點(diǎn)陣展開示意圖。
圖1-4是單個(gè)聚光頭毛化坑分布菱形點(diǎn)陣展開示意圖。
圖2是聚光頭陣列的陣形為水平線形的及毛化后毛化坑分布的點(diǎn)陣展開示意圖。其中圖2-1是沿X方向排列的兩個(gè)聚光頭(線陣)的示意圖。
圖2-2是待毛化軋輥表面上毛化坑分布點(diǎn)陣展開示意圖。
圖3是聚光頭陣列的陣形為垂線形以及毛化后毛化坑分布點(diǎn)陣展示圖。其中，圖3-1是y方向排列的兩聚光頭(線陣)的示意圖。
圖3-2是待毛化軋輥表面上毛化坑分布點(diǎn)陣展開示意圖。
圖4是K＝K′×K″階聚光頭陣列排布示意圖。
圖5是聚光頭陣列為斜平行四邊形及其毛化坑分布點(diǎn)陣展開示意圖。其中，圖5-1為斜平行四邊形分布的K＝2×2階聚光頭陣列示意圖圖5-2是待毛化軋輥表面上毛化坑分布菱形點(diǎn)陣展開示意圖。
圖6是K＝K′×K″聚光頭的聚光頭陣列為斜平行四邊形的示意圖。
圖7為具體實(shí)施方式
中，激光毛化裝置具體結(jié)構(gòu)示意圖。其中，圖7-1是具體實(shí)施例所用的毛化裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖7-2是在實(shí)施例中K＝2個(gè)聚光頭呈斜線聚光頭陣列示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖7所示的結(jié)構(gòu)。激光器6為聲光調(diào)制的NdYAG晶體激光器。激光放大器5為NdYAG晶體激光放大器。輸出激光束波長(zhǎng)為1.06μm。分束器5由50％透過(guò)和50％反射的半透半反平板401及一反射鏡402構(gòu)成。如圖7-1所示。聚光頭的數(shù)量K＝2，是線形(斜線)陣列，如圖7-2所示。
聲光調(diào)制的NdYAG激光器6輸出光束經(jīng)過(guò)激光放大器5放大后，經(jīng)分束器4分為兩路，再經(jīng)兩根光纖3分別輸入到兩個(gè)激光聚光頭201和202上。其中聚光頭201固定在工作平臺(tái)1上，工作平臺(tái)1由數(shù)控機(jī)床7的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)聚光頭202安裝在工作平臺(tái)1上的小移動(dòng)平臺(tái)101上，小移動(dòng)平臺(tái)101可在工作平臺(tái)1上做X及Z方向小的平移(見圖7-2)。它們皆由數(shù)控機(jī)床控制。待毛化軋輥8置放在數(shù)控機(jī)床7上的軋輥轉(zhuǎn)軸701上。置放在數(shù)控機(jī)床7上的導(dǎo)軌702上的工作平臺(tái)1上的聚光頭201、202的焦點(diǎn)恰好焦在待毛化軋輥8的表面上。工作時(shí)先將工作平臺(tái)1上的第一個(gè)聚光頭聚焦到待毛化軋輥8上令位置置零(第一個(gè)聚光頭201滿足X＝0)，然后移動(dòng)第二個(gè)聚光頭202的小移動(dòng)平臺(tái)102使之滿足兩聚光頭201與202的中心位置之間/X＝a及Δy＝Mp+b/2條件，鎖定后，兩個(gè)聚光頭隨工作平臺(tái)1一起移動(dòng)。在數(shù)控機(jī)床上輸入的參量有待毛化軋輥直徑D＝600mm，長(zhǎng)度L＝1800mm，毛化坑的點(diǎn)距參量a＝160μm及b＝180μm，螺距s＝2a＝320μm，激光調(diào)制脈沖間點(diǎn)距p＝b＝180μm，軋輥轉(zhuǎn)軸701的轉(zhuǎn)速n＝69轉(zhuǎn)/分。輸入?yún)?shù)Δx＝180μm，Δy＝80mm+190μm。此時(shí)f＝12.3KHz。毛化坑分布點(diǎn)陣為2a×b的菱形。毛化時(shí)間T＝1.35小時(shí)。如果只用一個(gè)聚光頭201時(shí)，產(chǎn)生同樣的毛化坑點(diǎn)陣為菱形2a×b，所用毛化時(shí)間T＝2.7小時(shí)。因此本實(shí)施例所用的毛化時(shí)間比單個(gè)聚光頭所用時(shí)間縮短了一倍。
權(quán)利要求1.一種多聚光頭的激光毛化裝置，包括數(shù)控機(jī)床(7)，數(shù)控機(jī)床(7)上的相互平行的軋輥轉(zhuǎn)軸(701)和導(dǎo)軌(702)，置于導(dǎo)軌(702)的上工作平臺(tái)(1)，含有聚光鏡的聚光頭(201、202、203、204、205、206)，激光器(6)，待毛化軋輥(8)置放在軋輥轉(zhuǎn)軸(701)上，其特征在于在工作平臺(tái)(1)上置有K≥1個(gè)相對(duì)位置能夠移動(dòng)的小移動(dòng)平臺(tái)(101、102、103、104、105)，由K≥2個(gè)聚光頭(201、202、203、204、205、206)組成聚光頭陣列(2)，與K≥2個(gè)聚光頭(201、202、203、204、205、206)輸入端連接的K≥2根光纖(3)，光纖(3)的輸入端都連接在分束器(4)的光束輸出端，在分束器(4)的光束輸入端與激光器(6)之間的光路上有激光放大器(5)，每個(gè)小移動(dòng)平臺(tái)(101、102、103、104、105)上，置放一個(gè)聚光頭(201、202、203、204、205、206)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多聚光頭的激光毛化裝置，其特征在于所說(shuō)的由K≥2個(gè)聚光頭(201、202、203、204、205、206)組成的聚光頭陣列(2)是矩形，或是斜平形四邊形，或是線形。
專利摘要一種多聚光頭的激光毛化裝置，適用于金屬表面上的毛化處理。由激光器發(fā)射的激光束經(jīng)過(guò)激光放大后，再經(jīng)分束器分成多束光經(jīng)多根光纖傳輸?shù)終≥2個(gè)聚光頭上。聚光頭置放在工作平臺(tái)上的相對(duì)位置能夠移動(dòng)的小移動(dòng)平臺(tái)上，聚光頭組成矩形，或斜平行四邊形，或線形陣列。工作平臺(tái)置放在數(shù)控機(jī)床的激光轉(zhuǎn)軸上。待毛化軋輥置放在數(shù)控機(jī)床的軋輥轉(zhuǎn)軸上。通過(guò)數(shù)控機(jī)床控制轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)和導(dǎo)軌上的工作平臺(tái)移動(dòng)，使聚光頭輸出的光焦點(diǎn)在待毛化軋輥表面上掃描，形成毛化坑點(diǎn)陣分布。與在先技術(shù)相比，本實(shí)用新型的激光毛化裝置能夠縮短毛化時(shí)間，能夠使用調(diào)制頻率較低的激光器，產(chǎn)生毛化坑點(diǎn)陣的分布宏觀均勻性好。
文檔編號(hào)B23K26/00GK2576401SQ0226094
公開日2003年10月1日 申請(qǐng)日期2002年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月24日
發(fā)明者王裕民, 于開義 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所