專利名稱：一種電化學加工微電極裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種電極加工技術，特別涉及一種電化學加工微電極裝置。
背景技術：
隨著微細加工和納米科學技術的發(fā)展，以形狀尺寸，操作尺寸為特征的微機械已成為人們在微觀領域認識世界和改造客觀世界的一種高新技術。微機械和微細加工技術在航空航天、精密儀器、生物醫(yī)療、微電子等領域具有廣闊的應用潛力，被稱為21世紀關鍵技術之首。在微機械系統(tǒng)的研究中，微細加工是其關鍵技術之一，而微小孔的加工則是主要研究的技術。在這方面電化學加工有明顯的優(yōu)勢，它具有在難加工材料上加工深孔、斜孔、彎孔，而且表面質量好、無微裂紋、可群孔加工等優(yōu)點。這些加工方法中的核心問題是微電級的加工，一般情況下，微電極的尖端尺寸小于5μm。而目前尚無一種有效可靠的方法來加工尖端尺寸小于2μm的呈錐形的微電極。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了解決微電極的加工問題，根據(jù)電化學加工的基本規(guī)律和金屬的彈塑性變形理論，提供一種結構簡單、操作方便、加工精度高的電化學加工微電極裝置。
本實用新型包括恒溫水箱、電解箱、工具電極、工件、調節(jié)螺母、張力機構和穩(wěn)壓電源，恒溫水槽設置在恒溫水箱內(nèi)，盛有電解液的電解箱設置在恒溫水槽內(nèi)，上蓋板固定在電解箱上面，工件設置在上蓋板上，其加工處裝有工具電極，工具電極和工件與穩(wěn)壓電源連接，張力機構設置在上蓋板上，所述張力機構的導輪支架和調節(jié)螺母分別設置在上蓋板上，在工件加工端固定有絲線，并經(jīng)過導輪與固定在調節(jié)螺絲上的彈簧連接固定，調節(jié)螺母與調節(jié)螺絲通過螺紋連接，上蓋板上設有通氣孔。
本實用新型具有結構簡單，操作方便，加工精度高，可加工尖端尺寸小于2μm的呈錐形的微電極。
圖1是本實用新型的結構示意圖；圖中1恒溫水箱、2恒溫水槽、3導輪、4絲線、5工具電極、6工件、7彈簧、8導輪架、9調節(jié)螺絲、10調節(jié)螺母、11上蓋板、12電解箱。
具體實施方式
如圖1所示，結合實施例進一步說明本實用新型的技術方案。一種電化學加工微電極裝置，該裝置的恒溫水槽2裝在恒溫水箱1內(nèi)，盛有電解液的電解箱12設置在恒溫水槽2內(nèi)，帶有通氣孔的上蓋板11通過螺釘固定電解箱12上面，工件6裝在上蓋板11上，并可以轉動，工具電極5裝在工件6的下端，工件6的上端和工具電極5通過導線與穩(wěn)壓電源相連接。張力機構的滾輪架8和調節(jié)螺母10裝在上蓋板11上，在工件6的加工端固定有尼龍絲線4，并通過滾輪架8上的兩個滾輪3與固定在調節(jié)螺絲9上的彈簧7連接固定，調節(jié)螺絲9通過螺紋與調節(jié)螺母10連接，轉動調節(jié)螺母9可以調節(jié)彈簧7的拉力，即可以改變作用在工件6上的張力大小。本實用新型的工作過程是工件6的加工端和工具電極5浸入電解液內(nèi)加工(100～200)S，加工電流每隔(3～5)S通斷一次，并且每隔(10～20)S轉動工件1/4圈；然后再加工60S，并且用攪拌棒攪動電解液；當直徑尺寸略大于加工要求時，迅速切斷電源，最后在張力作用下使工件發(fā)生彈性和塑性變形而斷開，達到加工微電極要求，可加工尖端尺寸小于2μm的呈錐形的微電極。
權利要求1.一種電化學加工微電極裝置，其特征是，該裝置包括恒溫水箱、電解箱、工具電極、工件、調節(jié)螺母、張力機構和穩(wěn)壓電源，恒溫水槽設置在恒溫水箱內(nèi)，盛有電解液的電解箱設置在恒溫水槽內(nèi)，上蓋板固定在電解箱上面，工件設置在上蓋板上，其加工處裝有工具電極，工具電極和工件與穩(wěn)壓電源連接，張力機構設置在上蓋板上。
2.如權利要求1所述的加工微電極裝置，其特征是，所述張力機構的導輪支架和調節(jié)螺母分別設置在上蓋板上，在工件加工端固定有絲線，并經(jīng)過導輪與固定在調節(jié)螺絲上的彈簧連接固定，調節(jié)螺母與調節(jié)螺絲通過螺紋連接。
3.如權利要求1所述的加工微電極裝置，其特征是，所述上蓋板開有通氣孔。
專利摘要一種電化學加工微電極裝置，包括恒溫水箱、電解箱、工具電極、工件、調節(jié)螺母、張力機構和穩(wěn)壓電源，恒溫水槽設置在恒溫水箱內(nèi)，盛有電解液的電解箱設置在恒溫水槽內(nèi)，上蓋板固定在電解箱上面，工件設置在上蓋板上，其加工處裝有工具電極，工具電極和工件與穩(wěn)壓電源連接，所述張力機構的導輪支架和調節(jié)螺母分別設置在上蓋板上，在工件加工端固定有絲線，并經(jīng)過導輪與固定在調節(jié)螺絲上的彈簧連接固定，調節(jié)螺母與調節(jié)螺絲通過螺紋連接，上蓋板上設有通氣孔，本實用新型具有結構簡單，操作方便，加工精度高，可加工尖端尺寸小于2μm的呈錐形的微電極。
文檔編號B23H9/00GK2638902SQ0321431
公開日2004年9月8日 申請日期2003年8月13日 優(yōu)先權日2003年8月13日
發(fā)明者張遼遠 申請人:沈陽工業(yè)學院