專利名稱：放電加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在加工用電極和被加工物之間加上電壓使之產(chǎn)生放電來進(jìn)行加工的放電加工裝置。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有的放電加工裝置，使用把磁軸承機(jī)構(gòu)用于放電加工的電極驅(qū)動的電極驅(qū)動裝置，謀求加工用電極的X軸、Y軸、Z軸方向的移動的裝置已被公知(例如參照國際公開號02/024389A1號小冊子)。
而且，在該裝置中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動加工用電極的電動機(jī)被安裝在電極驅(qū)動裝置內(nèi)部。
在該放電加工裝置中，在驅(qū)動加工用電極的驅(qū)動軸的端部上固定加工用電極，但由于該驅(qū)動軸兼作電動機(jī)的轉(zhuǎn)子，增加了驅(qū)動軸的總重量，存在著損害加工用電極的高速的應(yīng)答驅(qū)動性的情況，由此，存在加工速度的高速性降低的問題。
另外，為了得到加工用電極的高速應(yīng)答驅(qū)動性，可以增大磁軸承的電磁鐵部的吸引力，即，可以增加供給電磁鐵部的電流值，但與此相伴，則增大了電磁鐵部的發(fā)熱量，由于該發(fā)熱量有時會使電磁驅(qū)動裝置膨脹，存在加工精度降低的問題。
本發(fā)明是以解決上述問題作為課題的，其目的在于，獲得應(yīng)答驅(qū)動性提高和加工速度提高的放電加工裝置。
另外，本發(fā)明的目的還在于，防止由電磁鐵部的發(fā)熱引起的電極驅(qū)動裝置變形，得到可以進(jìn)行電磁鐵部的穩(wěn)定的吸引力控制的放電加工裝置。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的放電加工裝置中，包括頂端部指向被加工物且在與被加工物之間加上電壓進(jìn)行放電的加工用電極；與該加工用電極連接的驅(qū)動軸；具有向電磁鐵部供給電流來控制電磁鐵部的吸引力而使前述驅(qū)動軸向作為軸線方向的Z軸方向、與Z軸方向垂直交叉的Y軸方向和與Y軸方向及Z軸方向垂直交叉的X軸方向的3方向移動的磁軸承的電極驅(qū)動裝置；與前述驅(qū)動軸的端部連接且能在前述3方向上移動的連軸節(jié)；與該連軸節(jié)的端部連接且通過連軸節(jié)使前述驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)。
在本發(fā)明的放電加工裝置中，旋轉(zhuǎn)加工用電極的機(jī)構(gòu)，由于與電極驅(qū)動裝置分離，所以使驅(qū)動軸的重量大幅度地輕量化，實現(xiàn)了加工用電極的高速應(yīng)答驅(qū)動性。


圖1是本發(fā)明的實施例1的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
圖2是圖1的連軸節(jié)的立體圖。
圖3是本發(fā)明的實施例2的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
圖4是本發(fā)明的實施例3的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
圖5是本發(fā)明的實施例4的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
圖6是本發(fā)明的實施例5的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
圖7是本發(fā)明的實施例6的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
圖8是圖7的主要部分的俯視圖。
圖9是表示圖8的旋轉(zhuǎn)用導(dǎo)管的一種使用狀態(tài)的圖。
圖10是表示本發(fā)明的實施例7的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
具體實施例方式
下面對本發(fā)明的各實施例進(jìn)行說明，對于相同或者相當(dāng)?shù)臉?gòu)件和部位賦予相同的標(biāo)號進(jìn)行說明。
實施例1圖1是本發(fā)明的實施例1的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
該放電加工裝置備有頂端部指向載置在放入作為加工液的油3的加工槽4的底面上的被加工物2的加工用電極1、經(jīng)電極安裝部6固定在該加工用電極1上且在中間部夾設(shè)絕緣板115的驅(qū)動軸7、通過該驅(qū)動軸7驅(qū)動電極1的電極驅(qū)動裝置5、通過用陶瓷制的圓板構(gòu)成的絕緣板15固定在該電極驅(qū)動裝置5上、將電力供給電極驅(qū)動裝置5的供電裝置16、與驅(qū)動軸7相連接且在作為驅(qū)動軸7的軸線方向的Z軸方向(紙面上的上下方向)、與Z軸方向垂直交叉的Y軸方向(垂直紙面上的方向)和與Y軸方向和Z軸方向垂直交叉的X軸方向(紙面上的左右方向)的3方向上能移動的連軸節(jié)100、連接在該連軸節(jié)100的端部上且通過連軸節(jié)100旋轉(zhuǎn)驅(qū)動軸7的電動機(jī)20。
圖2是圖1的連軸節(jié)100的立體圖。
連軸節(jié)100備有X方向滑塊46、與該X方向滑塊46連接且能在Y方向移動的Y方向滑塊45、與該Y方向滑塊45連接且能在Z方向上移動的Z方向滑塊44、在圖2中被省略但設(shè)置在Y方向滑塊45和Z方向滑塊44之間的彈簧21。
X方向滑塊46、固定在驅(qū)動軸7的端部上，同時具有形成與上面平行延伸的一對突起46b的圓板部46a。該突起46b能沿著中間圓板部30的下面?zhèn)鹊牟?0a滑動地進(jìn)行結(jié)合著。在中間圓板部30的上面?zhèn)鹊牟?0b內(nèi)可滑動地結(jié)合形成在Y方向滑塊45的下面的突起45a上。在Y方向滑塊45的上面上固定著向垂直方向延伸的Z方向滑塊44的第1導(dǎo)向部44a。該第1導(dǎo)向部44a的突起(未圖示)可滑動地結(jié)合在Z方向滑塊44的第2導(dǎo)向部44b的槽44c內(nèi)，該第2導(dǎo)向部44b固定在Z方向滑塊44的圓板部44d上。
另外，該放電加工裝置包括把電壓加在加工用電極1和被加工物2之間的電源18、檢測相當(dāng)于加工用電極1和被加工物2的相對距離的極間電壓的加工狀態(tài)檢測裝置19、把電力供給電極驅(qū)動裝置5的電流供給裝置17、與電動機(jī)20電氣連接且控制電動機(jī)20的轉(zhuǎn)速或者旋轉(zhuǎn)速度的電動機(jī)控制機(jī)構(gòu)60、與電源18、加工狀態(tài)檢測裝置19、電流供給裝置17及電動機(jī)控制機(jī)構(gòu)60電氣連接且控制加工用電極1的驅(qū)動的控制裝置25、設(shè)置在電極驅(qū)動裝置5和供電裝置16之間且使電源18的電流不流到電極驅(qū)動裝置5，使電流供給裝置17的電流不流向供電裝置16的絕緣板15。
上述電極驅(qū)動裝置5包括在殼體200內(nèi)圍繞驅(qū)動軸7設(shè)置的推力磁軸承40、在驅(qū)動軸7周圍夾著推力磁軸承40設(shè)置的徑向磁軸承50、51、設(shè)置在殼體200與驅(qū)動軸7之間的輔助軸承13、14、檢測驅(qū)動軸7的徑向位置的徑向位置檢測部32、33、檢測驅(qū)動軸7的軸向位置的軸向位置檢測部12。
上述推力磁軸承40包括固定在驅(qū)動軸7上并由磁性體構(gòu)成的圓板狀的被吸引板40a、與該被吸引板40a的相對地配置的一對的電磁鐵部40b。
上述徑向磁軸承50，51包括固定在驅(qū)動軸7上由磁性體構(gòu)成的被吸引部50a，51a、設(shè)有間隙地圍繞在該被吸引部50a，51a的周圍的電磁鐵部50b，51b。
下面，對上述構(gòu)成的放電加工裝置的動作進(jìn)行說明。
首先，對加工用電極1的向軸向和徑向的移動的動作進(jìn)行說明。
當(dāng)從電源18把電壓加到加工用電極1和被加工物2之間時，由加工狀態(tài)檢測裝置19測量相當(dāng)于加工用電極1和被加工物2的相對距離的極間電壓，由控制裝置25計算相應(yīng)于作為目標(biāo)的極間電壓的偏差的加工用電極1的位置的修正量。
另外，在電極驅(qū)動裝置5中，由軸向位置檢測部12測量被吸引板40a的現(xiàn)在位置。由于推力磁軸承40的被吸引板40a安裝在驅(qū)動軸7上，在驅(qū)動軸7上通過電極安裝部6安裝加工用電極1，所以通過控制被吸引板40a的位置可以控制加工用電極1的軸向的位置。
當(dāng)把軸向位置檢測部12的檢測值輸入控制裝置25時，在控制裝置25中根據(jù)加工用電極1的目標(biāo)位置和現(xiàn)在位置的偏差確定被吸引板40a的移動量和把被吸引板40a定位在規(guī)定位置的吸引力，計算出流動到電磁鐵部40b的電流值。然后，由控制裝置25向電流供給裝置17發(fā)出輸出電流值的指令，從電流供給裝置17把電流供給電磁鐵部40b，被電磁鐵部40b夾持的被吸引板40a被任何一方的電磁鐵部40b吸引而在軸向上驅(qū)動驅(qū)動軸7。
另外，由徑向位置檢測部32、33測量徑向磁軸承50、51的現(xiàn)在位置。由于徑向磁軸承50、51的被吸引部50a、51a安裝在驅(qū)動軸7上，在驅(qū)動軸7上通過電極安裝部6安裝著加工用電極1，所以通過控制徑向磁軸承50、51的位置來控制加工用電極1的徑向的位置。
當(dāng)徑向位置檢測部32、33的檢測值輸入到控制裝置25時，在控制裝置25中，根據(jù)加工用電極1的目標(biāo)位置和現(xiàn)在位置的偏差確定被吸引部50a、51a的移動量和由磁力支承被吸引板50a、51a并定位在規(guī)定位置的吸引力，計算出流到電磁鐵部50b、51b的電流值。然后，由控制裝置25向電流供給裝置17發(fā)出輸出電流值的指令，從電流供給裝置17向電磁鐵部50b、51b供給電流，被吸引部50a、51a被吸引，驅(qū)動軸7在徑向上被驅(qū)動。
這樣，通過控制流向推力磁軸承40的電磁鐵部40b和徑向磁軸承50、51的電磁鐵部50b、51b的電流值來變動吸引力，就能實現(xiàn)加工用電極1向軸向和徑向的高速度應(yīng)答驅(qū)動。
對于加工用電極1的旋轉(zhuǎn)動作，首先，把來自控制裝置25的旋轉(zhuǎn)指令輸入給電動機(jī)控制裝置60，由電動機(jī)控制裝置60控制電動機(jī)20的轉(zhuǎn)數(shù)或者旋轉(zhuǎn)速度。然后，根據(jù)該值，電動機(jī)20的轉(zhuǎn)矩通過連軸節(jié)100傳遞到驅(qū)動軸7上，通過電極安裝部6旋轉(zhuǎn)加工用電極1。
這樣，根據(jù)上述構(gòu)成的放電加工裝置，加工用電極1，一方面因來自電動機(jī)20的轉(zhuǎn)矩而旋轉(zhuǎn)，另一方面因徑向磁軸承50、51的電磁鐵部50b、51b的磁力而在徑向上移動，因推力磁軸承40的電磁鐵部40b的磁力而在軸向上移動，其結(jié)果，在X軸、Y軸、Z軸的各方向上實現(xiàn)了高速的應(yīng)答驅(qū)動。
再有，即使由來自電動機(jī)控制裝置60的信號使電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)處于停止?fàn)顟B(tài)，加工用電極1也能進(jìn)行在X軸、Y軸、Z軸的各方向上的高速的應(yīng)答驅(qū)動。
另外，旋轉(zhuǎn)加工用電極1的機(jī)構(gòu)，由于與電極驅(qū)動裝置5分離，所以與驅(qū)動軸也兼作電動機(jī)的轉(zhuǎn)子的現(xiàn)有的相比，驅(qū)動軸7的重量被大幅度地輕量化，加工用電極1的應(yīng)答驅(qū)動性大幅度地提高。
另外，雖然電動機(jī)20被固定在外罩300的頂面上，但由于螺旋彈簧21的彈性力，把X方向滑塊46、Y方向滑塊45和中間圓板部30拉向該電動機(jī)20側(cè)，而且，該彈性力的強(qiáng)度與X方向滑塊46、Y方向滑塊45和中間圓板部30的總負(fù)荷幾乎相抵消，所以，可以降低X方向滑塊46、Y方向滑塊45和中間圓板部30的自重對驅(qū)動軸7的軸向的荷重負(fù)荷的影響。
再有，在上述的實施例中，聯(lián)軸節(jié)100具有X方向滑塊46、中間圓板部30、Y方向滑塊45和Z方向滑塊44，但是，除此之外，也可以是扭矩管或者撓性軸等萬向聯(lián)軸節(jié)。
另外，聯(lián)軸節(jié)100的X方向滑塊46和Y方向滑塊45的配置也可以是相反的。
實施例2圖3是本發(fā)明的實施例2的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
在該實施例中，與實施例1相比，除了連軸節(jié)100的構(gòu)成不同和沒有實施例1的彈簧21之外，其余與實施例1的構(gòu)成相同。
在該實施例中，連軸節(jié)150，在驅(qū)動軸7的上端部上安裝Z方向滑塊44，在該Z方向滑塊44上安裝Y方向滑塊45，在該Y方向滑塊45上通過中間圓板部30安裝X方向滑塊46。在該X方向滑塊46上連接電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)軸。
該連軸節(jié)150，與實施例1比較，Z方向滑塊44和X方向滑塊46的配置相反。
在該連軸節(jié)150的情況下，X方向滑塊46、Y方向滑塊45和中間圓板部30的總荷重，由固定在外罩300上的電動機(jī)20支承，在驅(qū)動軸7上不承受該負(fù)荷。因此，不需要為了降低X方向滑塊46、Y方向滑塊45和中間圓板部30的自重對驅(qū)動軸7的軸向的荷重負(fù)荷的影響所需要的實施例1的彈簧21。
實施例3圖4是本發(fā)明的實施例3的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
在該實施例中，在Z方向滑塊44和電動機(jī)20之間安裝旋轉(zhuǎn)位置刻度151，使其中心軸線與電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)軸線一致，另外，在電動機(jī)20上安裝旋轉(zhuǎn)位置刻度讀取器152。在此，由旋轉(zhuǎn)位置刻度151和旋轉(zhuǎn)位置刻度讀取器152構(gòu)成檢測驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)信息的旋轉(zhuǎn)檢測機(jī)構(gòu)。
其他構(gòu)成與實施例1的放電加工裝置相同。
在該實施例中，由旋轉(zhuǎn)位置刻度讀取器152從旋轉(zhuǎn)位置刻度151中檢測出驅(qū)動軸7的中心軸線的現(xiàn)在的角度或者角速度，該檢測信號被輸入控制裝置25。然后，由控制裝置25求出的驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)角指令被輸出到電動機(jī)控制裝置60，由電動機(jī)控制裝置60控制電動機(jī)20的轉(zhuǎn)數(shù)或者旋轉(zhuǎn)速度，電動機(jī)20的轉(zhuǎn)矩經(jīng)連軸節(jié)100、驅(qū)動軸7和電極安裝部6傳遞到加工用電極1上、使加工用電極1旋轉(zhuǎn)。
在該實施例的放電加工裝置中，由于由旋轉(zhuǎn)檢測機(jī)構(gòu)檢測驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)信息，根據(jù)該信息控制驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)，所以加工用電極1的旋轉(zhuǎn)精度提高了。
實施例4圖5是本發(fā)明的實施例4的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
在實施例1～3的放電加工裝置的電極驅(qū)動裝置5中，加工用電極1的驅(qū)動范圍是數(shù)百微米左右，但是，在驅(qū)動范圍是1毫米以上時，在原樣不變地使用X、Y、Z方向滑塊的情況下，連軸節(jié)的構(gòu)造大型化，驅(qū)動軸7的高速的應(yīng)答驅(qū)動變困難。
可是，在該寬范圍驅(qū)動的型的放電加工裝置場合，沒有必要進(jìn)行把驅(qū)動軸7的全驅(qū)動范圍作為振幅高速的應(yīng)答驅(qū)動，振幅是相當(dāng)于放電加工的極間控制量的數(shù)百微米左右，該數(shù)百微米左右的振幅可以在整個驅(qū)動范圍全域進(jìn)行高速應(yīng)答。因此，驅(qū)動軸7在全驅(qū)動范圍的移動速度是30mm/min左右，電動機(jī)20只要能追隨該速度即可。
在該實施例中，能Z方向移動的Z方向工作臺70被設(shè)置在外罩300上，在該Z方向工作臺70上安裝電動機(jī)20。另外，在Z方向工作臺70上設(shè)置Y方向工作臺71，再在Y方向工作臺71上設(shè)置X方向工作臺72。再有，X方向工作臺72和Y方向工作臺71的位置關(guān)系也可以是相反。
X方向工作臺72、Y方向工作臺71和Z方向工作臺70與XYZ方向工作臺控制裝置75連接，該XYZ方向工作臺控制裝置75與控制裝置25連接。在此，由X方向工作臺72、Y方向工作臺71和Z方向工作臺70構(gòu)成使電動機(jī)20向X軸方向、Y軸方向及Z軸方向移動的移動機(jī)構(gòu)。
在該實施例中，由徑向位置檢測部32、33和軸向位置檢測部12檢測驅(qū)動軸7的中心位置。然后，當(dāng)檢測出的驅(qū)動軸7的中心軸線的位置與電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)軸的中心軸線位置的偏差為預(yù)先設(shè)定的值以上時，控制裝置25向XYZ方向工作臺控制裝置75輸出使X方向工作臺72、Y方向工作臺71和Z方向工作臺70移動的指令來修正偏差。接受了該指令的XYZ方向工作臺控制裝置75使X方向工作臺72、Y方向工作臺71和Z方向工作臺70移動到規(guī)定的位置。
根據(jù)該放電加工裝置，即使在加工用電極1的驅(qū)動范圍大的場合，連接電動機(jī)20和驅(qū)動軸7的連軸節(jié)100、旋轉(zhuǎn)位置刻度151和旋轉(zhuǎn)位置刻度讀取器152也都可以使用與實施例3相同的構(gòu)件，加工用電極1在高速下不會使應(yīng)答驅(qū)動性降低，旋轉(zhuǎn)動作和寬范圍的加工用電極1的進(jìn)給動作成為可能。
實施例5圖6是本發(fā)明的實施例5的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
在該實施例中，由輔助軸承13、14約束加工用電極1向徑向的移動。
另外，在電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)軸20a和驅(qū)動軸7的端部之間設(shè)置用于把旋轉(zhuǎn)軸20a的旋轉(zhuǎn)傳遞到驅(qū)動軸7上的旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)121。旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)121備有固定在旋轉(zhuǎn)軸20a上的皮帶輪121a、固定在驅(qū)動軸7的端部上的卷掛部121b、掛在皮帶輪121a和卷掛部121b之間的同步齒形帶121c。再有，同步齒形帶121c的張力被調(diào)整成，旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)121不會成為驅(qū)動軸7的軸向的高速的應(yīng)答驅(qū)動的阻力，同時可以把旋轉(zhuǎn)力矩傳遞給驅(qū)動軸7。
再有，作為旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)121也可以使用齒輪，在這種場合下，相互嚙合的齒輪可以有例如300微米左右的間隙。另外，作為旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)121也可以使用扭矩管或者撓性軸。
另外，在罩子300上固定Z方向工作臺41。在該Z方向工作臺41上連接Z方向工作臺控制裝置76。在該Z方向工作臺控制裝置76上連接控制裝置25。在Z方向工作臺41上連接電動機(jī)20。該電動機(jī)20由導(dǎo)軌400導(dǎo)向，在Z方向上移動。
在該實施例的放電加工裝置中，在驅(qū)動軸7的Z軸方向的驅(qū)動范圍例如是1毫米以上的場合，由軸向位置檢測部12檢測驅(qū)動軸7的軸向位置，當(dāng)與電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)軸20a的旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)121的位置的偏差為預(yù)先設(shè)定的值以上時，控制裝置25向Z方向工作臺控制裝置76輸出使Z方向工作臺41移動的指令來修正該偏差。Z方向工作臺控制裝置76接受該指令后使Z方向工作臺41移動到規(guī)定的位置，與此相伴，電動機(jī)20也被導(dǎo)軌400導(dǎo)向同時向Z方向移動。
另外，由旋轉(zhuǎn)位置刻度讀取器152從旋轉(zhuǎn)位置刻度151中檢測驅(qū)動軸7的中心的現(xiàn)在的角度或者角速度，輸入給控制裝置25。由控制裝置25求出的驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)指令輸出給電動機(jī)控制裝置60，由電動機(jī)控制裝置60控制電動機(jī)20的轉(zhuǎn)數(shù)或旋轉(zhuǎn)速度，電動機(jī)20的轉(zhuǎn)矩經(jīng)旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)121傳遞給驅(qū)動軸7，使驅(qū)動軸7以規(guī)定的角度或者旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)該實施例的放電加工裝置，即使在加工用電極1的Z軸方向的驅(qū)動范圍大的場合，與實施例1～4相同，驅(qū)動軸7的重量被輕量化，加工用電極1不會使高速應(yīng)答驅(qū)動性降低，另外，實現(xiàn)了旋轉(zhuǎn)動作和寬范圍的電極進(jìn)給動作。
實施例6圖7是本發(fā)明的實施例6的放電加工裝置的構(gòu)成圖，圖8是圖7的主要部分的俯視圖。
該放電加工裝置備有流體供給部101、與該流體供給部101連接且控制流體的流量的流體控制閥107、放射狀延伸并固定在驅(qū)動軸7上的多個葉片106、頂端部指向葉片106且能由旋轉(zhuǎn)方向變換部105變形的旋轉(zhuǎn)用導(dǎo)管103、頂端部指向電磁鐵部40b、50b、51b、冷卻電磁鐵部40b、50b、51b的冷卻用導(dǎo)管104、一端與流量控制閥207連接，另一端與控制裝置25連接的流量控制部102。
再有，葉片106的大小，例如在驅(qū)動軸7的直徑為20mm的場合，安裝12片高度約15mm，橫向?qū)挾燃s15mm，厚度約1mm左右的板。
在上述構(gòu)成的放電加工裝置中，流體的流量的指令值從控制裝置25傳向流量控制部102，由流量控制部102控制流量控制閥207，從流體供給部101供給到旋轉(zhuǎn)用導(dǎo)管103和冷卻用導(dǎo)管104的流量被控制。
來自旋轉(zhuǎn)用導(dǎo)管103的流體，吹向驅(qū)動軸7的葉片106、因葉片106被流體推壓而使驅(qū)動軸7旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動軸7的轉(zhuǎn)速由流體控制閥107調(diào)整流體的流量來控制。
再有，在使驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)方向向著相反的方向時，如圖9所示，可以使旋轉(zhuǎn)方向變換部105動作來改變冷卻用導(dǎo)管104的頂端部的位置。
另外，來自冷卻用導(dǎo)管104的流體，吹到電磁鐵部40b、50b、51b上，這些電磁鐵部40b、50b、51b被冷卻。由旋轉(zhuǎn)用導(dǎo)管103和冷卻用導(dǎo)管104供給的流體，從在殼體400上形成的排出口(未圖示)排出到外部。
排出口在殼體400內(nèi)是與導(dǎo)管104、105貫通殼體400的地方成對角線狀的地方，能使殼體400內(nèi)的流體不停滯地流動。
再有，在該實施例中，流體，例如使用5個氣壓左右的空氣，供驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)和電磁鐵部40b、50b、51b的冷卻，但供向冷卻用導(dǎo)管104的流體，由于在被冷卻裝置(未圖示)降溫后供給電磁鐵部40b、50b、51b，所以可以使冷卻效果更高。
根據(jù)該實施例的放電加工裝置，由于把驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)做成由流體的壓力驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)加工用電極1的機(jī)構(gòu)與電極驅(qū)動裝置5分離，所以，與驅(qū)動軸兼做電動機(jī)的轉(zhuǎn)子的原有的裝置相比，驅(qū)動軸7的重量被大幅度地輕量化，實現(xiàn)了加工用電極1的高速的應(yīng)答驅(qū)動性另外，流體也被用于電磁鐵部40b、50b、51b的冷卻，防止了電磁鐵部40b、50b、51b的熱變形，電磁鐵部40b、50b、51b的穩(wěn)定的吸引力控制成為可能，加工精度提高了。
再有，在實施例中雖然沒有說明，但也可以與實施例5同樣，由輔助軸承約束加工用電極向徑向的驅(qū)動，即使在加工用電極只在Z軸方向上移動的放電加工裝置中，也可使流體吹到葉片上來使驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)。
實施例7圖10是本發(fā)明的實施例的放電加工裝置的構(gòu)成圖。
在該實施例中，與實施例6相比，其主要區(qū)別在于，葉片106相對于驅(qū)動軸7的固定位置是驅(qū)動軸7的下端部。
即，在該放電加工裝置中，在供電裝置16上安裝葉片罩109，在該葉片罩109內(nèi)，在驅(qū)動軸7的下端部上安裝葉片106。葉片罩109通過旋轉(zhuǎn)用導(dǎo)管103與流體供給部101連接。該流體供給部101通過流體控制閥107與流量控制部102連接。該流量控制部102與控制裝置25連接。
在該實施例的放電加工裝置中，根據(jù)來自控制裝置25的驅(qū)動軸7的旋轉(zhuǎn)指令，流量控制部102控制流體控制閥107，從而控制流體供給部101的流體的供給量。從流體供給部101供給的流體通過旋轉(zhuǎn)用導(dǎo)管103導(dǎo)入葉片罩109內(nèi)，通過使葉片106旋轉(zhuǎn)來使驅(qū)動軸7旋轉(zhuǎn)。使葉片106旋轉(zhuǎn)了的流體從流體排出口108排出到外部。
再有，驅(qū)動軸7的轉(zhuǎn)數(shù)通過由流體控制閥107調(diào)整流體的流量來控制。
根據(jù)該實施例的放電加工裝置，可以得到與實施例6相同的效果，同時由于在加工用電極1的附近設(shè)置葉片106，可以降低驅(qū)動用電極1的旋轉(zhuǎn)中心線的橫向偏移。
另外，在驅(qū)動軸7的上部側(cè)也有安裝葉片106的空間，通過在相對于驅(qū)動軸7的分離的兩點上對驅(qū)動軸7賦予旋轉(zhuǎn)力，能更穩(wěn)定地使驅(qū)動軸7旋轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求
1.一種放電加工裝置，其特征在于，包括頂端部指向被加工物且在與被加工物之間加上電壓后進(jìn)行放電的加工用電極；與該加工用電極連接的驅(qū)動軸；具有向電磁鐵部供給電流來控制電磁鐵部的吸引力而使前述驅(qū)動軸向作為軸線的Z軸方向、與Z軸方向垂直交叉的Y軸方向和與Y軸方向及Z軸方向垂直交叉的X軸方向這三方向移動的磁軸承的電極驅(qū)動裝置；與前述驅(qū)動軸的端部連接且能在前述三方向上移動的連軸節(jié)；與該連軸節(jié)的端部連接且通過連軸節(jié)使前述驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)。
2.如權(quán)利要求1所述的放電加工裝置，其特征在于，前述連軸節(jié)備有與配置在前述驅(qū)動軸的上方的前述電動機(jī)連接并能在前述Z軸方向移動的Z方向滑塊、能在前述Y軸方向上移動的Y方向滑塊、能在前述X軸方向上移動的X方向滑塊，在前述Z方向滑塊和前述X方向滑塊或者前述Y方向滑塊之間設(shè)置彈簧，把前述X方向滑塊和前述Y方向滑塊彈拉向前述電動機(jī)側(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的放電加工裝置，其特征在于，前述連軸節(jié)是萬向聯(lián)軸節(jié)。
4.如權(quán)利要求1至3中的任一項所述的放電加工裝置，其特征在于，備有設(shè)置在前述電動機(jī)上且能使電動機(jī)在前述3方向上移動的移動裝置。
5.一種放電加工裝置，其特征在于，備有頂端部指向被加工物且在與被加工物之間加上電壓進(jìn)行放電的加工用電極；與該加工用電極連接的驅(qū)動軸；具有向電磁鐵部供給電流來控制電磁鐵部的吸引力而使前述驅(qū)動軸向作為軸線方向的Z軸方向、與Z軸方向垂直交叉的Y軸方向及與Y軸方向及Z軸方向垂直交叉的X軸方向這3方向中的至少Z軸方向移動的磁軸承的電極驅(qū)動裝置；通過與前述驅(qū)動軸連接的旋轉(zhuǎn)傳遞機(jī)構(gòu)使前述驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)。
6.如權(quán)利要求1或5所述的放電加工裝置，其特征在于，包括設(shè)置在前述電動機(jī)上用于檢測前述驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)信息的旋轉(zhuǎn)檢測機(jī)構(gòu)，由來自該旋轉(zhuǎn)檢測機(jī)構(gòu)的信號控制前述驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)。
7.一種放電加工裝置，其特征在于，包括頂端部指向被加工物且在與被加工物之間加上電壓進(jìn)行放電的加工用電極；與該加工用電極連接的驅(qū)動軸；具有向電磁鐵部供給電流來控制電磁鐵部的吸引力而使前述驅(qū)動軸向作為軸線方向的Z軸方向、與Z軸方向垂直交叉的Y軸方向及與Y軸方向及Z軸方向垂直交叉的X軸方向這3方向中的至少Z軸方向移動的磁軸承的電極驅(qū)動裝置；固定在前述驅(qū)動軸上的葉片、頂端部指向上述葉片且把流體導(dǎo)引到前述葉片的附近，同時為了使前述驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)而把流體吹到葉片上的旋轉(zhuǎn)用導(dǎo)管。
8.如權(quán)利要求7所述的放電加工裝置，其特征在于，備有頂端部指向前述電磁鐵部，為了冷卻電磁鐵部而把前述流體導(dǎo)引到電磁鐵部的冷卻用導(dǎo)管。
9.如權(quán)利要求8所述的放電加工裝置，其特征在于，備有冷卻前述流體的流體冷卻裝置。
全文摘要
本發(fā)明得到了應(yīng)答驅(qū)動性提高且加工速度也提高了的放電加工裝置。本發(fā)明的放電加工裝置包括頂端部指向被加工物(2)且在與被加工物(2)之間加上電壓后進(jìn)行放電的加工用電極(1)；與該加工用電極(1)連接的驅(qū)動軸(7)；向電磁鐵部(40b、50b、51b)供給電流來控制電磁鐵部(40b、50b、51b)的吸引力并使前述驅(qū)動軸(7)向作為軸線的Z軸方向、與Z軸方向垂直交叉的Y軸方向和與Y軸方向及Z軸方向垂直交叉的X軸方向的(3)方向移動且具有磁軸承(40、50、51)的電極驅(qū)動裝置(5)；與前述驅(qū)動軸(7)的端部連接且能在前述3方向上移動的連軸節(jié)(100)；與該連軸節(jié)(100)的端部連接且通過連軸節(jié)(100)使前述驅(qū)動軸(7)旋轉(zhuǎn)的電動機(jī)(20)。
文檔編號B23H7/30GK1575898SQ20031011976
公開日2005年2月9日 申請日期2003年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月24日
發(fā)明者三宅英孝, 今井祥人, 中川孝幸 申請人:三菱電機(jī)株式會社