專利名稱：移載裝置、表面安裝機(jī)、誤差表的生成方法、程序及存儲介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種，對吸附電子元件的頭部的轉(zhuǎn)動誤差進(jìn)行補(bǔ)正，將頭部所吸附的電子元件從某一位置移載到另一位置的移載裝置及具有該移載裝置的表面安裝機(jī)，存儲頭部轉(zhuǎn)動誤差的誤差表的生成方法及程序，存儲該程序的記錄介質(zhì)。
背景技術(shù)：
以往，將電子元件安裝到印刷電路板上的表面安裝機(jī)、以及檢查電子元件的元件檢查裝置，裝備有通過吸嘴吸附元件并進(jìn)行移載的元件移載裝置。這種元件移載裝置，由可在水平面內(nèi)移動的頭部單元，安裝在該頭部單元上、可在與上述水平面垂直的軸線上自由轉(zhuǎn)動并沿上下方向自由移動地予以支撐的吸附頭部，使該吸附頭部在垂直于上述水平面的軸線上轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動方向驅(qū)動裝置(以下稱R軸驅(qū)動裝置)，使吸附頭部在上下方向上移動的上下方向驅(qū)動裝置(以下稱Z軸驅(qū)動裝置)，及安裝在吸附頭部下端部的吸嘴等構(gòu)成。
在這種裝置中，由于通過吸嘴吸附電子元件時電子元件的吸附位置多少會有些誤差，所以有必要對移載電子元件時吸附位置的偏差進(jìn)行補(bǔ)正。因此以往通過CCD攝像機(jī)及線傳感器等攝像單元進(jìn)行元件的拍攝，獲取元件圖像，根據(jù)該獲取的圖像求取電子元件吸附位置的偏差量，在進(jìn)行搭載操作時參考該偏差量來對搭載位置(X方向、Y方向及R方向的各個位置)進(jìn)行調(diào)整。特別是在移載大型的QFP(QuadFlat Package)及BGA(Ball Grid Array)等半導(dǎo)體裝置時，由于圍繞垂直軸的轉(zhuǎn)動方向偏差量較大，半導(dǎo)體裝置的導(dǎo)線將無法適當(dāng)?shù)剌d置到印刷電路板的接觸墊片上，所以吸附頭部在轉(zhuǎn)動方向上的定位需要有較高的精度。因此，迄今為止提出了多種高精度定位吸附頭部轉(zhuǎn)動位置的方法。
例如，日本專利公開公報特開平5-111827號中公開了一種方法，通過轉(zhuǎn)動包含齒隙在內(nèi)(backlash)的距離，最終從同一方向轉(zhuǎn)動，去除齒隙誤差，以進(jìn)行高精度定位。
但是，為了以較高的精度對吸附頭部的轉(zhuǎn)動位置進(jìn)行定位，除了提高以齒隙為代表的反復(fù)精度之外，還必須提高送給精度。即，必須縮小通過編碼器等轉(zhuǎn)動位置檢測器所檢測的頭部轉(zhuǎn)動位置和根據(jù)攝像單元所獲取的圖像所測定的頭部轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差。通常，轉(zhuǎn)動軸的送給精度由編碼器予以測定并進(jìn)行反饋，在電動機(jī)與目標(biāo)物之間的動力傳送裝置使用以齒條與小齒輪(rack and pinion)為代表的傳動裝置時，根據(jù)其加工精度和嚙合齒數(shù)，編碼器的輸出和實際轉(zhuǎn)角會產(chǎn)生差異，從而對高精度定位產(chǎn)生影響。此外，作為動力傳送裝置，皮帶及滑輪、滾珠絲杠及螺母、以及凸輪及凸輪從動件等、都使用花鍵連接，同樣編碼器的輸出和實際轉(zhuǎn)角之間會產(chǎn)生差異，從而對高精度定位產(chǎn)生影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決上述課題，目的在于提供一種可以較高精度進(jìn)行定位的移載裝置、表面安裝機(jī)、誤差表的生成方法、程序及存儲介質(zhì)。
為解決上述課題，本發(fā)明的移載裝置，將位于某一位置的電子元件移載至另一位置，其包括，具有吸附電子元件的吸嘴，且移動可能、轉(zhuǎn)動自由地支撐在基座上的頭部；通過動力傳送裝置使該頭部轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元；檢測該驅(qū)動單元變位的檢測單元；根據(jù)該檢測單元所檢測的上述驅(qū)動單元的變位，演算上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的演算單元；拍攝上述吸嘴所吸附的電子元件的攝像單元；根據(jù)上述攝像單元所拍攝的圖像求取修正上述吸嘴所吸附的電子元件的姿勢所必需的上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的圖像處理單元；計算上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差的計算單元；使上述轉(zhuǎn)動誤差與上述頭部的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而予以存儲的第1存儲單元；存儲有關(guān)上述電子元件的移載位置的移載信息的第2存儲單元；根據(jù)上述圖像處理單元所求得的轉(zhuǎn)動位置、上述第1存儲單元所存儲的轉(zhuǎn)動誤差和上述第2存儲單元所存儲的移載信息，對上述驅(qū)動單元加以控制的控制單元。
在上述移載裝置中，動力傳達(dá)裝置可由設(shè)置在頭部上的小齒輪和與該小齒輪嚙合的齒條構(gòu)成。
在上述移載裝置中，上述頭部可設(shè)置多個，上述存儲單元存儲上述各頭部的轉(zhuǎn)動誤差。
此外，本發(fā)明的表面安裝機(jī)，包括保持電路板的保持單元和將位于某一位置的電子元件移載到另一位置的移載裝置，該移載裝置采用上述的移載裝置，所述另一位置位于保持單元所保持的電路板上。
此外，本發(fā)明的誤差表生成方法，生成在包括，具有吸附電子元件的吸嘴，且移動可能、轉(zhuǎn)動自由地支撐在基座上的頭部；通過動力傳送裝置使該頭部轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元；檢測該驅(qū)動單元變位的檢測單元；根據(jù)該檢測單元所檢測的上述驅(qū)動單元的變位，演算上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的演算單元；拍攝上述吸嘴所吸附的電子元件的攝像單元；根據(jù)該攝像單元所拍攝的圖像求取上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的圖像處理單元；根據(jù)上述圖像處理單元所求得的轉(zhuǎn)動位置對上述驅(qū)動單元加以控制的控制單元的電子元件移載裝置中，使上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差與上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而予以存儲的誤差表，該生成方法包括，控制上述驅(qū)動單元，使上述吸嘴吸附有試片的上述頭部在上述驅(qū)動單元的作用下轉(zhuǎn)動，使上述演算單元所演算的上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置為規(guī)定轉(zhuǎn)動位置的第1步驟，根據(jù)上述攝像單元所拍攝的上述試片的圖像，通過上述圖像處理單元求取上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的第2步驟，計算上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差的第3步驟，使上述算出的轉(zhuǎn)動誤差與上述規(guī)定的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而存儲在誤差表中的第4步驟。
在上述誤差表的生成方法中，所述移栽裝置可設(shè)置多個頭部，所述第4步驟將上述各頭部的轉(zhuǎn)動誤差存儲在上述誤差表中。
此外，本發(fā)明的程序，生成在包括，具有吸附電子元件的吸嘴，其移動可能、轉(zhuǎn)動自由地支撐在基座上的頭部；通過動力傳送裝置使該頭部轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元；檢測該驅(qū)動單元變位的檢測單元；根據(jù)該檢測單元所檢測的上述驅(qū)動單元的變位，演算上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的演算單元；拍攝上述吸嘴所吸附的電子元件的攝像單元；根據(jù)該攝像單元所拍攝的圖像求取上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的圖像處理單元；根據(jù)上述圖像處理單元所求得的轉(zhuǎn)動位置對上述驅(qū)動單元加以控制的控制單元的電子元件移載裝置中，使上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差與上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而予以存儲的誤差表，該程序使計算機(jī)執(zhí)行，控制上述驅(qū)動單元，使上述吸嘴吸附有試片的上述頭部在上述驅(qū)動單元的作用下轉(zhuǎn)動，使上述演算單元所演算的上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置為規(guī)定轉(zhuǎn)動位置的第1步驟，根據(jù)上述攝像單元所拍攝的上述試片的圖像，通過上述圖像處理單元求取上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的第2步驟，計算上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差的第3步驟，使上述算出的轉(zhuǎn)動誤差與上述規(guī)定的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而存儲在誤差表中的第4步驟。
在上述程序中，所述移栽裝置中可設(shè)置多個頭部，所述第4步驟將各個頭部的轉(zhuǎn)動誤差存儲在上述誤差表中。
此外，本發(fā)明的存儲介質(zhì)存儲有上述程序。
采用本發(fā)明，通設(shè)置存儲有頭部轉(zhuǎn)動誤差的誤差表，并根據(jù)該誤差表補(bǔ)正頭部的轉(zhuǎn)動誤差，可以較高的精度對頭部圍繞Z軸的轉(zhuǎn)動位置進(jìn)行定位。


圖1是本發(fā)明表面安裝機(jī)的俯視圖。
圖2是本發(fā)明表面安裝機(jī)的側(cè)視圖。
圖3是本發(fā)明表面安裝機(jī)頭部單元的正視圖。
圖4是表示本發(fā)明表面安裝機(jī)控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖5是表示誤差表生成操作的流程圖。
圖6是一例誤差表的示意圖。
圖7是表示本發(fā)明表面安裝機(jī)電子元件安裝操作的流程圖。
圖8是轉(zhuǎn)動誤差和轉(zhuǎn)動角度補(bǔ)正前后的關(guān)系示意圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發(fā)明的實施例進(jìn)行詳細(xì)說明。圖1是本發(fā)明實施例表面安裝機(jī)的俯視圖，圖2是本實施例表面安裝機(jī)的側(cè)視圖，圖3是本實施例表面安裝機(jī)頭部單元的正視圖，圖4是表示本實施例表面安裝機(jī)控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的方框圖。
本實施例的表面安裝機(jī)具有，平面大致呈矩形的基座1，沿該基座1的長度方向(X軸方向)設(shè)置在基座1上用于搬送印刷電路板P的搬送帶2，設(shè)置在位于該搬送帶2兩側(cè)的基座1上用于提供電子元件的元件供給部3，設(shè)置在基座1的上方、將元件供給部3的電子元件移載至搬送帶2上的印刷電路板P的頭部機(jī)構(gòu)4，設(shè)置在頭部機(jī)構(gòu)4上用于拍攝印刷電路板P的電路板識別攝像機(jī)5，設(shè)置在基座1上用于拍攝頭部機(jī)構(gòu)4所搬送的電子元件的元件識別攝像機(jī)6，及控制表面安裝機(jī)操作的控制裝置7。
搬送帶2，可沿X軸方向移動。由此，搬送帶2可執(zhí)行將印刷電路板P從外部或連續(xù)設(shè)置的印刷裝置等搬入表面安裝機(jī)內(nèi)部的搬入操作，將搬入的印刷電路板P保持在規(guī)定的安裝作業(yè)位置上的保持操作，將安裝有電子元件的印刷電路板P搬至其他表面安裝機(jī)或回流爐(reflow oven)或表面安裝機(jī)外部的搬出操作等。
元件供給部3，具有與搬送帶2平行設(shè)置的安裝座31，以及分別以定位狀態(tài)并列設(shè)置在各安裝座31上的多個送料器32。這些送料器32，將按規(guī)定間隔分別收容、保持IC、晶體管、電容器等小片狀電子元件的搬送帶從卷軸中導(dǎo)出，同時在搬送帶送出端設(shè)置導(dǎo)出裝置，伴隨后述吸嘴46對元件的拾取將搬送帶間歇地導(dǎo)出。
頭部機(jī)構(gòu)4，至少包括，導(dǎo)軌41，位于基座1的X軸方向兩端部附近，沿Y軸方向(與X軸正交的方向)固定在基座1上，保持部件42，沿X軸方向予以設(shè)置，其兩端支撐在導(dǎo)軌41上從而可沿Y軸方向移動，引導(dǎo)部件43，沿保持部件42的長度方向予以設(shè)置，頭部單元44，沿上述引導(dǎo)部件移動可能地予以支撐。
頭部單元44，設(shè)置有沿Z軸(垂直于X軸和Y軸的方向)方向延伸的用于吸附元件的第1～第8頭部45a～45h，安裝在各頭部45a～45h的Z軸方向下端的吸嘴46，使各頭部45a～45h可相對于頭部單元44沿Z軸方向移動的Z軸驅(qū)動裝置47，使各頭部45a～45h可圍繞Z軸轉(zhuǎn)動的R軸驅(qū)動裝置48，及各頭部45a～45h的真空發(fā)生器51。頭部45a～45h，為8個頭部沿X軸方向呈一行并列設(shè)置。
Z軸驅(qū)動裝置47，包括分別設(shè)置在各頭部45a～45h、使這些頭部45a～5h沿Z方向移動的Z軸伺服電動機(jī)47a，以及由檢測該Z軸伺服電動機(jī)47a的變位等的編碼器等構(gòu)成的位置檢測部47b。
R軸驅(qū)動裝置48，包括沿X方向延伸設(shè)置、具有與各個頭部45a～45d的從動小齒輪49g相嚙合的第1齒條49a的第1R軸用驅(qū)動裝置49，和位于第1齒條49a的上方、具有與各個頭部45e～45h的從動小齒輪50g相嚙合的第2齒條50a的第2R軸用驅(qū)動裝置50。
真空發(fā)生器51，選擇性地向吸嘴46提供負(fù)壓或正壓空氣，各個頭部45a～45h分別予以設(shè)置。該真空發(fā)生器51中設(shè)置有測量上述負(fù)壓或正壓的壓力傳感器51a。
另外，頭部45a～45h可設(shè)置多個吸嘴46。
第1R軸用驅(qū)動裝置49，包括沿X方向自由移動地予以支撐的第1齒條49a，與該第1齒條49a的一端相嚙合的第1齒條驅(qū)動用小齒輪49b，與該第1齒條驅(qū)動用小齒輪49b設(shè)置成一體的第1減速用齒輪49c，具有與該第1減速用齒輪49c嚙合的輸出齒輪49d的第1伺服電動機(jī)49e，由檢測該第1伺服電動機(jī)49e變位等的編碼器等構(gòu)成的第1位置檢測部49f，以及與第1齒條49a嚙合的第1～第4頭部45a～45d的從動小齒輪49g。
第2R軸用驅(qū)動裝置50，包括沿X方向自由移動地予以支撐的第2齒條50a，與該第2齒條50a的一端相嚙合的第2齒條驅(qū)動用小齒輪50b，與該第2齒條驅(qū)動用小齒輪50b設(shè)置成一體的第2減速用齒輪50c，具有與該第2減速用齒輪50c嚙合的輸出齒輪50d的第2伺服電動機(jī)50e，由檢測該第2伺服電動機(jī)50e變位等的編碼器等構(gòu)成的第2位置檢測部50f，以及與第2齒條50a嚙合的第5～第8頭部45e～45h的從動小齒輪50g。
上述頭部單元44，通過沿導(dǎo)軌41設(shè)置的滾珠絲杠41a及安裝在該滾珠絲杠41a的一端使?jié)L珠絲杠41a轉(zhuǎn)動的Y軸伺服電動機(jī)41b，使保持部件42沿Y軸方向移動，從而可實現(xiàn)其沿Y軸方向的移動。此外，頭部單元44，通過沿保持部件42設(shè)置的滾珠絲杠42a以及安裝在該滾珠絲杠42a一端使?jié)L珠絲杠42a轉(zhuǎn)動的X軸伺服電動機(jī)42b，實現(xiàn)其在沿軸方向的移動。Y軸伺服電動機(jī)41b和X軸伺服電動機(jī)42b中，分別設(shè)置有編碼器等構(gòu)成的位置檢測部41c、42c。
上述頭部機(jī)構(gòu)4，執(zhí)行從元件供給部3取出電子元件，將該電子元件搬送至印刷電路板P，將搬送來的電子元件搭載到印刷電路板P的規(guī)定位置(X軸方向、Y軸方向、R軸方向)上等一系列的電子元件安裝操作。
電路板識別攝像機(jī)5，由CCD攝像機(jī)及CCD線傳感器等公知的攝像元件構(gòu)成，設(shè)置在頭部單元44中，拍攝上述搬送帶2所保持的印刷電路板P上的定位標(biāo)志(未圖示)，并向控制裝置7輸出該圖像信號。
元件識別攝像機(jī)6，由CCD攝像機(jī)及CCD線傳感器等公知的攝像元件構(gòu)成，設(shè)置在頭部單元44的移動范圍內(nèi)，即基座1上的元件供給部3的附近，拍攝上述吸嘴46所吸附的元件的下表面(位于與吸嘴46所吸附的表面相反一側(cè)的表面)，并向控制裝置7輸出該圖像信號。
另外，在本實施例中，元件識別攝像機(jī)6雖如圖1所示設(shè)置有2個，但也可只設(shè)置1個。
控制裝置7，包括CPU等演算裝置，存儲器、HDD(Hard Disc Drive)等存儲裝置，鍵盤、鼠標(biāo)、位置指示裝置、按鈕、按鍵操縱板等檢測外部信息輸入的輸入裝置，與外部進(jìn)行信息收發(fā)的I/F裝置，具備CRT(Cathode Ray Tube)、LCD(Liquid Crystal Display)或FED(FieldEmission Display)等顯示裝置的計算機(jī)或控制器，及安裝于該計算機(jī)或控制器中的程序。即通過硬件裝置和軟件的協(xié)作，上述硬件資源在程序的控制下，構(gòu)成圖4所示的軸控制部(驅(qū)動器)71、壓力控制部72、圖像處理部73、存儲部74、顯示部75、輸入部76及主演算部77。
軸控制部71，連接有Y軸伺服電動機(jī)41b、X軸伺服電動機(jī)42b、Z軸伺服電動機(jī)47a、第1伺服電動機(jī)49e、第2伺服電動機(jī)50e和上述伺服電動機(jī)所設(shè)置的位置檢測部41c、42c、47b、49f、50f，根據(jù)上述位置檢測部所檢測的各個伺服電動機(jī)的變位，進(jìn)行各個伺服電動機(jī)41b、42b、47b、47a、49e、50e的驅(qū)動控制，使各伺服電動機(jī)完成目標(biāo)變位。
壓力控制部72，連接有真空發(fā)生器51和壓力傳感器51a，根據(jù)壓力傳感器51a的測定值進(jìn)行真空發(fā)生器51的驅(qū)動控制。
圖像處理部73，與電路板識別攝像機(jī)5相連，對該電路板識別攝像機(jī)5所獲取的包含定位標(biāo)志的印刷電路板P的圖像進(jìn)行規(guī)定的圖像處理，檢測印刷電路板P相對于基座1的位置及相對于X和Y方向的角度，并將該檢測值送至主演算部77。
此外，圖像處理部73，與元件識別攝像機(jī)6相連，對該元件識別攝像機(jī)6所獲取的圖像進(jìn)行規(guī)定的圖像處理，檢測各頭部45a～45h的有否吸附有送料器32所送出的電子元件的信息、電子元件的吸附位置、電子元件相對于X和Y方向的角度、電子元件圍繞Z軸的偏差量等修正電子元件姿勢所需的信息，并將該檢測值送至主演算部77。
存儲部74、至少存儲有控制將送料器32的電子元件安裝在印刷電路板P上的操作的操作程序74a，測定各頭部45a～45h圍繞Z軸的誤差的測定程序74b，存儲該測定程序74b所測定的各頭部45a～45h圍繞Z軸的誤差的誤差表74c，有關(guān)印刷電路板P的形狀、搭載在印刷電路板P上的電子元件的種類和各電子元件的搭載位置等的電路板數(shù)據(jù)74d，有關(guān)送料器32所提供的電子元件的元件數(shù)據(jù)74e。
上述存儲部74所存儲的各種數(shù)據(jù)，也可存儲在CD(CompactDisk)、DVD(Digital Video Disk)等公知的存儲介質(zhì)中。由此，還可將其他裝置所生成的各種數(shù)據(jù)通過存儲介質(zhì)導(dǎo)入存儲部74。
顯示部75，顯示電路板識別攝像機(jī)5及元件識別攝像機(jī)6所獲取的圖像、通過圖像處理部73進(jìn)行圖像處理的圖像數(shù)據(jù)、存儲部74所存儲的各種數(shù)據(jù)等，與本實施例表面安裝機(jī)的各種操作相關(guān)的各種數(shù)據(jù)。
輸入部76，檢測操作員的表面安裝機(jī)操作的各種操作輸入。該檢測信息被送至主演算部77。
主演算部77，具有控制將電子元件安裝在印刷電路板P上的安裝操作的操作控制部77a，和控制各頭部45a～45h的R軸方向的轉(zhuǎn)動誤差的測定操作的測定控制部77b。
操作控制部77a，在存儲部74所存儲的操作程序74a的控制下，根據(jù)電路板數(shù)據(jù)74d和元件數(shù)據(jù)74e，通過軸控制部71和壓力控制部72對各伺服電動機(jī)41b、42b、47a、49e、50e及真空發(fā)生器51進(jìn)行控制，依次執(zhí)行從元件供給部3吸附電子元件(吸附操作)、使頭部單元44向元件識別攝像機(jī)6上方的移動(識別操作)、電子元件識別后使頭部單元44向印刷電路板P上方的移動并進(jìn)行元件搭載(搭載操作)，同時在識別操作時根據(jù)圖像處理部73的識別結(jié)果求取電子元件吸附位置的偏差量，在搭載操作時參照該偏差量對搭載位置(X方向、Y方向及圍繞Z軸方向，即R軸方向的各位置)進(jìn)行調(diào)整。在上述搭載操作時，操作控制部77a根據(jù)誤差表74c對各頭部45a～45h在R軸方向的轉(zhuǎn)動誤差進(jìn)行補(bǔ)正。
具體而言，為消除各頭部45a～45h的R軸方向的吸附位置的偏差，以各頭部45a～45h所分別吸附的電子元件根據(jù)電路板數(shù)據(jù)74d的安裝位置(R軸方向的轉(zhuǎn)動位置)，分別增加轉(zhuǎn)動值后的數(shù)值作為目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置。例如，在安裝位置設(shè)定為R軸方向向右90度(以R軸方向為基準(zhǔn)的任意位置設(shè)定為0度時，從0度沿R軸方向右移動90度的位置)時，若將電子元件安裝到頭部上產(chǎn)生沿R軸方向向左移動30度的吸附偏差，則以向右移動120度處為目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置。
為使上述各頭部45a～45h到達(dá)目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置，而轉(zhuǎn)動第1伺服電動機(jī)49e、第2伺服電動機(jī)50e時，根據(jù)誤差表74c求取對應(yīng)于各目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置的各個轉(zhuǎn)動誤差，實際上用于對伺服電動機(jī)進(jìn)行轉(zhuǎn)動控制的各個頭部45a～45h的實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置，是在各目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置增加解除各轉(zhuǎn)動誤差的補(bǔ)正轉(zhuǎn)動位置的值。第1伺服電動機(jī)49e、第2伺服電動機(jī)50e的各實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置，是在各頭部45a～45h的實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置乘上動力傳送裝置變速比倒數(shù)的值。例如，變速比為0.5時(即將伺服電動機(jī)的轉(zhuǎn)速變?yōu)?/2而傳送給頭部時)，以頭部實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置的2倍的數(shù)值作為伺服電動機(jī)的實目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置。操作控制部77a，通過編碼器所檢測的轉(zhuǎn)動值進(jìn)行反饋控制，使伺服電動機(jī)的轉(zhuǎn)動位置成為實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))。
另外，在本實施例中操作控制部77a，在得到上述反復(fù)精度的情況下補(bǔ)正轉(zhuǎn)動誤差。
測定控制部77b，在存儲部74存儲的測定程序74b的控制下，通過軸控制部71和壓力控制部72對各伺服電動機(jī)41b、42b、47a、49e、50e及真空發(fā)生器51進(jìn)行控制，測定各頭部45a～45h圍繞Z軸的轉(zhuǎn)動誤差，并將該測定結(jié)果存儲到誤差表74c中。由此測定控制部77b，作為設(shè)定單元、測定單元、檢測單元及計算單元而發(fā)揮功能。
移載裝置，由上述頭部機(jī)構(gòu)4、電路板識別攝像機(jī)5、元件識別攝像機(jī)6及主演算部77構(gòu)成。
在此，參照圖5對誤差表74c的生成操作進(jìn)行說明。
首先，主演算部77的測定控制部77b，確定需要測定轉(zhuǎn)動誤差的頭部(以下稱測定頭部)(步驟S501)。
在本實施例中，測定第1～第8的頭部45e～45h中某一頭部的轉(zhuǎn)動誤差。測定轉(zhuǎn)動誤差的頭部，先吸附用于測定轉(zhuǎn)動誤差的試片。該試片的形狀仿照實際尺寸相對于理想尺寸的差，即形狀誤差較小的電子元件。
頭部吸附試片后，測定控制部77b，通過軸控制部71控制Y軸伺服電動機(jī)41b和X軸伺服電動機(jī)42b，使頭部單元44沿圖1中箭頭所示的路線移動而經(jīng)過元件識別攝像機(jī)6的上方，使元件識別攝像機(jī)6獲取測定頭部所吸附的試片下表面的圖像，以此測定試片被吸附時該試片圍繞Z軸的角度。該測定的角度(以下稱基準(zhǔn)角度)作為試片圍繞Z軸的角度的基準(zhǔn)。另外，此時頭部圍繞Z軸的角度，設(shè)定為以0度等作為基準(zhǔn)角度。
決定測定頭部后，測定控制部77b，確定任意的識別角度(步驟S502)，通過軸控制部71驅(qū)動第1伺服電動機(jī)49e和第2伺服電動機(jī)50e，使測定頭部轉(zhuǎn)動所決定的識別角度(步驟S503)。
轉(zhuǎn)動誤差的測定，是就各頭部圍繞Z軸角度，在整個R軸驅(qū)動區(qū)域中，例如從-360度到+360度的范圍內(nèi)，以1度為單位予以進(jìn)行。因此，在最初測定轉(zhuǎn)動誤差時設(shè)定識別角度為該-360度到+360度中的某個角度，第2次以后亦可設(shè)定為上次的識別角度加1度或減1度的角度。
在本實施例中，作為使頭部45e～45h圍繞Z軸轉(zhuǎn)動的電動機(jī)，包括第1伺服電動機(jī)49e和第2伺服電動機(jī)50e，但只驅(qū)動其中一方可轉(zhuǎn)動測定頭部的伺服電動機(jī)。
此外，上述正負(fù)方向分別對應(yīng)向右和向左轉(zhuǎn)動的方向。
使頭部轉(zhuǎn)動到識別角度后，測定控制部77b，通過軸控制部71控制Y軸伺服電動機(jī)41b和X軸伺服電動機(jī)42b，使頭部單元44沿圖1中箭頭所示的路線移動而經(jīng)過元件識別攝像機(jī)6的上方，使元件識別攝像機(jī)6獲取測定頭部所吸附的試片下表面的圖像(步驟S504)。
另外，第2次以后的攝像，亦可在測定頭部位于元件識別攝像機(jī)6上方的狀態(tài)下連續(xù)進(jìn)行。
元件識別攝像機(jī)6獲取試片的圖像后，測定控制部77b，在通過圖像處理部73測定試片圍繞Z軸的角度的同時(步驟S505)，經(jīng)由軸控制部71通過第1位置檢測部49f或第2位置檢測部50f，檢測測定頭部圍繞Z軸的角度(步驟S506)。
圖像處理部73，通過比較所獲取的圖像和吸附試片時所設(shè)定的基準(zhǔn)角度，來測定試片圍繞Z軸的角度。該測定的角度，作為測定角度Rm。
軸控制部71，根據(jù)通過第1位置檢測部49f或第2位置檢測部50f所檢測的第1伺服電動機(jī)49e或第2伺服電動機(jī)50e的變位，檢測測定頭部圍繞Z軸的角度。該測定的角度，作為檢測角度Rr。
獲取測定角度Rm和檢測角度Rr后，測定控制部77b，計算出任意識別角度的誤差量dθ，將該計算出的誤差量dθ和計算該誤差量dθ時的識別角度對應(yīng)地記錄在誤差表74c中(步驟S507)。誤差量dθ，通過檢測角度Rr減去測定角度Rm之后的差來表示。
所有識別角度的誤差量dθ的測定結(jié)束后(步驟S508YES)，測定控制部77b，生成測定頭部的誤差表74c(步驟S509)。
所有識別角度的誤差量dθ的測定未結(jié)束時(步驟S508NO)，測定控制部77b，返回步驟S502的處理，測定下一個識別角度的誤差量dθ。
所有頭部45e～45h的誤差表74c的生成結(jié)束后(步驟S510YES)，測定控制部77b結(jié)束操作。
所有頭部45e～45h的誤差表74c的生成未結(jié)束時(步驟S510YES)，測定控制部77b返回步驟S501的處理，生成下一個頭部的誤差表。
圖6顯示了上述生成的誤差表74c的一例。
誤差表74c，包括頭部的識別編號、識別角度及誤差量dθ，并為每個識別角度都設(shè)置了記錄。在本實施例中，如上所述，以1度為單位設(shè)定識別角度，所以識別角度一欄中，記錄了上下攔相差1度的數(shù)值。
另外，圖6中，識別編號為1號的頭部表示第1頭部45a。
在本實施例的表面安裝機(jī)中，使用上述誤差表74c補(bǔ)正各頭部45a～45h圍繞Z軸的轉(zhuǎn)動誤差，進(jìn)行電子元件的安裝操作。關(guān)于該安裝操作，參照圖7進(jìn)行說明。圖7是表示本實施例表面安裝機(jī)的電子元件安裝操作的流程圖。
首先，主演算部77的操作控制部77a，通過軸控制部71和壓力控制部72對各伺服電動機(jī)41b、42b、47a、49e、50e及真空發(fā)生器51進(jìn)行控制，由頭部45a～45h從元件供給部3的送料器32中吸附搭載到印刷電路板P上的所要數(shù)目的電子元件。
在頭部45a～45h吸附電子元件后，操作控制部77a，通過軸控制部71控制Y軸伺服電動機(jī)41b和X軸伺服電動機(jī)42b，使頭部單元44沿圖1中箭頭所示的路線移動而經(jīng)過元件識別攝像機(jī)6的上方，使元件識別攝像機(jī)6獲取電子元件的下表面的圖像(步驟S702)。
元件識別攝像機(jī)6獲取電子元件下表面的圖像后，操作控制部77a，將頭部45a～45h所吸附的電子元件中下一個搭載到印刷電路板P上的電子元件，搬送到印刷電路板P附近規(guī)定的位置(步驟S703)，并補(bǔ)正電子元件吸附位置的偏差量和搭載電子元件的頭部的誤差(步驟S704)，而后搭載到印刷電路板上(步驟S705)。
在電子元件搭載到印刷電路板P上之前，操作控制部77a，根據(jù)元件識別攝像機(jī)6所獲取的圖像，參照圖像處理部73所計算的電子元件吸附位置偏差量來調(diào)整搭載位置。此時，操作控制部77a，根據(jù)圖像處理單元77a所計算的各個頭部45a～45h圍繞Z軸的偏差量、第1位置檢測部49f或第2位置檢測部50f所檢測的各個頭部45a～45h現(xiàn)在圍繞Z軸的角度、以及誤差表74c，補(bǔ)正各頭部45a～45h圍繞Z軸的轉(zhuǎn)動誤差。
頭部45a～45h所吸附的所有電子元件未搭載到印刷電路板P上時(步驟S706NO)，操作控制部77a返回步驟S703的處理。
頭部45a～45h所吸附的所有電子元件已搭載到印刷電路板P上時(步驟S706NO)，操作控制部77a確認(rèn)是否已搭載所有應(yīng)搭載到印刷電路板P上的電子元件(步驟S707)。未搭載所有應(yīng)搭載到印刷電路板P上的電子元件時(步驟S707NO)，操作控制部77a返回步驟S701。已搭載所有應(yīng)搭載到印刷電路板P上的電子元件時(步驟S707YES)，操作控制部77a結(jié)束向印刷電路板P安裝電子元件的操作。
圖8是任意頭部圍繞Z軸的轉(zhuǎn)動誤差和轉(zhuǎn)動角度補(bǔ)正前后的關(guān)系示意圖。
根據(jù)本實施例，即使有圖8中黑色菱形記號所示的轉(zhuǎn)動誤差時，也可如上所述通過采用誤差表74c補(bǔ)正轉(zhuǎn)動誤差，由此可如圖8中三角形記號所示，可減少轉(zhuǎn)動誤差。由此，可以較高的精度定位頭部圍繞Z軸的角度。
以往，對頭部圍繞Z軸的角度進(jìn)行高精度定位時，一般為每個頭部設(shè)置編碼器等位置檢測部，但采用具有多個頭部的頭部單元時，難以確保為每個頭部設(shè)置位置檢測部的空間。而根據(jù)本實施例，通過設(shè)置誤差表74c，不為每個頭部設(shè)置位置檢測部也可實現(xiàn)高精度定位。因此，即使對具有多個頭部的頭部單元，也可進(jìn)行高精度定位。此外，由于無需設(shè)置多個位置檢測部，還可降低成本。
此外，根據(jù)本實施例，由于通過元件識別攝像機(jī)6識別測定頭部所吸附的試片來生成誤差表74c，無需對以往的表面安裝機(jī)增加試片以外的新的構(gòu)成要素，即可容易地實現(xiàn)高精度的定位。
另外，本實施例中，是根據(jù)元件識別攝像機(jī)6所獲取的圖像來生成誤差表74c，亦可通過電路板識別攝像機(jī)5拍攝安裝后的電子元件，并根據(jù)該拍攝圖像來生成誤差表74c。
此外，在本實施例中，是對每個頭部單獨(dú)測定轉(zhuǎn)動誤差而生成誤差表74c，亦可同時測定多個頭部的轉(zhuǎn)動誤差并生成誤差表74c。此時，可通過使生成誤差表74c的所有頭部吸附試片，使用電路板識別攝像機(jī)5或元件識別攝像機(jī)6獲取該試片的圖像來進(jìn)行。
另外，在本實施例中，R軸驅(qū)動裝置設(shè)置有2個驅(qū)動裝置，但R軸驅(qū)動裝置的數(shù)量亦可為1個或3個以上。
在本實施例中，是由齒條與小齒輪構(gòu)成R軸驅(qū)動裝置，亦可使用皮帶和滑輪的結(jié)構(gòu)。此時，通過在R軸和電動機(jī)軸上分別安裝滑輪，并采用花鍵連接等，即使由于滑輪對張力的伸長特性而產(chǎn)生轉(zhuǎn)動誤差，也可消除該轉(zhuǎn)動誤差以實現(xiàn)正確的安裝。同樣，R軸驅(qū)動裝置，采用滾珠絲杠及螺母、或者凸輪及凸輪從動件等的結(jié)構(gòu)時，也可消除該轉(zhuǎn)動誤差以實現(xiàn)正確的安裝。
此外，在本實施例中，作為誤差表，亦可對應(yīng)于頭部的轉(zhuǎn)動位置(頭部)求取頭部在R軸方向的轉(zhuǎn)動誤差(頭部)(情況1)、或者將頭部在R軸方向的轉(zhuǎn)動誤差換算為伺服電動機(jī)的轉(zhuǎn)動誤差(伺服電動機(jī))，或?qū)㈩^部的轉(zhuǎn)動位置(頭部)換算為伺服電動機(jī)的轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))，將轉(zhuǎn)動誤差(伺服電動機(jī)上)對應(yīng)于轉(zhuǎn)動位置(頭部)的關(guān)系作為誤差表存儲到存儲部74中(情況2)、或者將轉(zhuǎn)動誤差(伺服電動機(jī))對應(yīng)于轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))的關(guān)系作為誤差表存儲到存儲部74中(情況3)、或者將轉(zhuǎn)動誤差(頭部)對應(yīng)于轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))的關(guān)系作為誤差表存儲到存儲部74中(情況4)。
在本實施例中，求取轉(zhuǎn)動誤差時，一方面用元件識別攝像機(jī)6直接求取試片頭部在R軸方向的轉(zhuǎn)動位置，即測定轉(zhuǎn)動位置(頭部)，另一方面頭部的轉(zhuǎn)動位置由伺服電動機(jī)的編碼器給出。因此，雖然求取轉(zhuǎn)動誤差(頭部)和轉(zhuǎn)動誤差(伺服電動機(jī))的任一方時，都需進(jìn)行數(shù)據(jù)換算，但誤差表生成時采用上述1～情況4中的任一數(shù)據(jù)換算，在效率上幾乎沒有差別。另一方面，在安裝時，吸附偏差通過元件識別攝像機(jī)6予以求取，頭部在R軸方向的轉(zhuǎn)動位置由伺服電動機(jī)給出。由此，為了最終求取實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服器)，必須對位置偏差(頭部)進(jìn)行換算，情況1～4在效率上并沒有大的差異。
即，上述情況1，如上所述，通過安裝位置(頭部)和吸附偏差(頭部)計算出消除吸附偏差所應(yīng)達(dá)到的目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(頭部)，再計算出消除由誤差表求得的轉(zhuǎn)動誤差(頭部)所應(yīng)達(dá)到的實目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(頭部)，進(jìn)而換算求取實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))。
上述情況2，和上述情況1相同，同樣計算出目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(頭部)，然后計算出目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))，并使用由誤差表求得的轉(zhuǎn)動誤差(伺服電動機(jī))求取實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))。由于安裝位置作為R軸方向的值予以給出，所以誤差表的利用效率較佳。
上述情況3，若安裝位置預(yù)先作為伺服電動機(jī)的轉(zhuǎn)動位置給出，則誤差表的利用效率較佳。此時，由吸附偏差(頭部)通過換算求取吸附偏差(伺服電動機(jī))，目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))通過安裝位置(伺服電動機(jī))和吸附偏差(伺服電動機(jī))予以求取，實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))也可由該目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))和通過誤差表求取的轉(zhuǎn)動誤差(伺服電動機(jī))簡單求得。
上述情況4，若安裝位置預(yù)先作為伺服電動機(jī)的轉(zhuǎn)動位置(安裝位置(伺服電動機(jī)))給出，則誤差表的利用效率較佳。此時，由吸附偏差(頭部)通過換算求取吸附偏差(伺服電動機(jī))，由該吸附偏差(伺服電動機(jī))和安裝位置(伺服電動機(jī))求取目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))。用該目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))由誤差表求取轉(zhuǎn)動誤差(頭部)，由該轉(zhuǎn)動誤差(頭部)求取轉(zhuǎn)動誤差(伺服電動機(jī))，再由目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))求取消除該轉(zhuǎn)動誤差(伺服電動機(jī))的實際目標(biāo)轉(zhuǎn)動位置(伺服電動機(jī))。
權(quán)利要求
1.一種電子元件的移載裝置，將位于某一位置的電子元件移載至另一位置，其特征在于包括具有吸附電子元件的吸嘴，且移動可能、轉(zhuǎn)動自由地支撐在基座上的頭部；通過動力傳送裝置使該頭部轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元；檢測該驅(qū)動單元變位的檢測單元；根據(jù)該檢測單元所檢測的上述驅(qū)動單元的變位，演算上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的演算單元；拍攝上述吸嘴所吸附的電子元件的攝像單元；根據(jù)上述攝像單元所拍攝的圖像求取修正上述吸嘴所吸附的電子元件的姿勢所必需的上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的圖像處理單元；計算上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差的計算單元；使上述轉(zhuǎn)動誤差與上述頭部的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而予以存儲的第1存儲單元；存儲有關(guān)上述電子元件的移載位置的移載信息的第2存儲單元；根據(jù)上述圖像處理單元所求得的轉(zhuǎn)動位置、上述第1存儲單元所存儲的轉(zhuǎn)動誤差和上述第2存儲單元所存儲的移載信息，對上述驅(qū)動單元加以控制的控制單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于上述頭部設(shè)置有多個，上述存儲單元存儲上述各頭部的上述轉(zhuǎn)動誤差。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移載裝置，其特征在于上述動力傳達(dá)裝置，由設(shè)置在上述多個頭部上的小齒輪和與該小齒輪嚙合的齒條構(gòu)成。
4.一種表面安裝機(jī)，包括保持電路板的保持單元和將位于某一位置的電子元件移載到另一位置的移載裝置，其特征在于上述移載裝置，是權(quán)利要求1～3中任一項所述的移載裝置，上述另一位置，位于上述保持單元所保持的電路板上。
5.一種誤差表的生成方法，其特征在于，生成在包括，具有吸附電子元件的吸嘴，且移動可能、轉(zhuǎn)動自由地支撐在基座上的頭部；通過動力傳送裝置使該頭部轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元；檢測該驅(qū)動單元變位的檢測單元；根據(jù)該檢測單元所檢測的上述驅(qū)動單元的變位，演算上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的演算單元；拍攝上述吸嘴所吸附的電子元件的攝像單元；根據(jù)該攝像單元所拍攝的圖像求取上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的圖像處理單元；根據(jù)上述圖像處理單元所求得的轉(zhuǎn)動位置對上述驅(qū)動單元加以控制的控制單元的電子元件移載裝置中，使上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差與上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而予以存儲的誤差表，該生成方法包括，控制上述驅(qū)動單元，使上述吸嘴吸附有試片的上述頭部在上述驅(qū)動單元的作用下轉(zhuǎn)動，使上述演算單元所演算的上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置為規(guī)定轉(zhuǎn)動位置的第1步驟，根據(jù)上述攝像單元所拍攝的上述試片的圖像，通過上述圖像處理單元求取上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的第2步驟，計算上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差的第3步驟，使上述算出的轉(zhuǎn)動誤差與上述規(guī)定的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而存儲在誤差表中的第4步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的生成方法，其特征在于上述移栽裝置中，設(shè)置有多個頭部，上述第4步驟，將上述各頭部的轉(zhuǎn)動誤差存儲在上述誤差表中。
7.一種誤差表的生成程序，其特征在于，生成在包括，具有吸附電子元件的吸嘴，其移動可能、轉(zhuǎn)動自由地支撐在基座上的頭部；通過動力傳送裝置使該頭部轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元；檢測該驅(qū)動單元變位的檢測單元；根據(jù)該檢測單元所檢測的上述驅(qū)動單元的變位，演算上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的演算單元；拍攝上述吸嘴所吸附的電子元件的攝像單元；根據(jù)該攝像單元所拍攝的圖像求取上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的圖像處理單元；根據(jù)上述圖像處理單元所求得的轉(zhuǎn)動位置對上述驅(qū)動單元加以控制的控制單元的電子元件移載裝置中，使上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差與上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而予以存儲的誤差表，該程序使計算機(jī)執(zhí)行，控制上述驅(qū)動單元，使上述吸嘴吸附有試片的上述頭部在上述驅(qū)動單元的作用下轉(zhuǎn)動，使上述演算單元所演算的上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置為規(guī)定轉(zhuǎn)動位置的第1步驟，根據(jù)上述攝像單元所拍攝的上述試片的圖像，通過上述圖像處理單元求取上述頭部和上述驅(qū)動單元中至少一方的轉(zhuǎn)動位置的第2步驟，計算上述演算單元所演算的轉(zhuǎn)動位置和上述圖像處理單元所求取的轉(zhuǎn)動位置的轉(zhuǎn)動誤差的第3步驟，使上述算出的轉(zhuǎn)動誤差與上述規(guī)定的轉(zhuǎn)動位置相關(guān)聯(lián)而存儲在誤差表中的第4步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的程序，其特征在于上述移栽裝置中，設(shè)置多個頭部，上述第4步驟，將上述各頭部的轉(zhuǎn)動誤差存儲在上述誤差表中。
9.一種存儲介質(zhì)，存儲有權(quán)利要求7或8所述的程序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可高精度定位的移載裝置、表面安裝機(jī)、誤差表的生成方法、程序及存儲介質(zhì)。本發(fā)明，在將電子元件搭載至印刷電路板P之前，其操作控制部(77a)，根據(jù)元件識別攝像機(jī)(6)所獲取的圖像，并參照圖像處理部(73)所算出的電子元件吸附位置偏差量，來調(diào)整搭載位置，同時根據(jù)誤差表(74c)，補(bǔ)正各頭部圍繞Z軸的轉(zhuǎn)動誤差。
文檔編號B23P19/00GK1780551SQ200510113408
公開日2006年5月31日 申請日期2005年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月4日
發(fā)明者內(nèi)藤寧典 申請人:雅馬哈發(fā)動機(jī)株式會社