專利名稱：用于轉(zhuǎn)換激光束的裝置和激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及選擇性地將輸入激光束引導(dǎo)至第一輸出激光束和/或至第二輸出激光束的裝置。而且，本發(fā)明涉及用于加工工件的激光加工裝置，特別用于對(duì)電路載體鉆孔和/或結(jié)構(gòu)化，激光加工裝置包括如上所述的激光束轉(zhuǎn)向裝置。
背景技術(shù)：
目前，要以緊湊構(gòu)型實(shí)現(xiàn)的電子組件通常在多層電路載體上構(gòu)造，特別在多層電路板上。因此，需要讓電路板的特定導(dǎo)電層接觸。這是通過(guò)在要接觸的層中鉆盲孔或通孔，且隨后用導(dǎo)電金屬化涂覆孔而實(shí)現(xiàn)的。以這種方式，電路可不僅被兩維地形成，而且也在第三維上形成，使得電子組件所要求的空間可相當(dāng)程度地減小。
通常，電路襯底是借助于電子領(lǐng)域的特定激光加工裝置中的脈沖激光輻射鉆孔的。通常，二氧化碳或固態(tài)激光器，如Nd:YAG或Nd:YVO4激光器，被用作激光源。有競(jìng)爭(zhēng)力的激光加工裝置的重要特征一方面是生產(chǎn)量，即可在特定時(shí)間單位內(nèi)鉆的孔的數(shù)量，另一方面是激光加工裝置的購(gòu)買(mǎi)成本。因此，開(kāi)發(fā)了激光加工裝置，其中從單個(gè)激光源發(fā)射的激光束可通過(guò)光學(xué)切換元件被任意地引導(dǎo)到兩個(gè)輸出光程中的一個(gè)。每個(gè)輸出光程中設(shè)置有偏轉(zhuǎn)單元和成像光學(xué)系統(tǒng)，通過(guò)它們，各輸出射束被引導(dǎo)到要加工的一個(gè)或幾個(gè)工件的不同目標(biāo)點(diǎn)。例如從JP 2002011584A中已知使用幾個(gè)激光束互相鉆電路板的相應(yīng)裝置。
可機(jī)械旋轉(zhuǎn)的反射器也是公知用于選擇性地將激光束引導(dǎo)到空間上隔開(kāi)的不同光程上。在該過(guò)程中，根據(jù)反射器的相應(yīng)傾斜，輸入激光束被偏轉(zhuǎn)到不同方向?？蛇@樣機(jī)械旋轉(zhuǎn)的反射器的不足在于，由于反射器的質(zhì)量慣性，轉(zhuǎn)換時(shí)間相對(duì)較長(zhǎng)。通常，至少是100μs，使得在脈沖重復(fù)頻率為10kHz的情況下，兩個(gè)輸出激光束之間的定義的轉(zhuǎn)換在兩個(gè)連續(xù)激光脈沖之間的時(shí)間跨度中已經(jīng)不再可能。
JP 2003053576 A公開(kāi)了一種裝置和方法，其中激光束可通過(guò)聲光調(diào)制器(AOM)偏轉(zhuǎn)到不同方向。這里，在晶體中生成聲學(xué)駐波，晶體用作入射到晶體上的激光束的衍射光柵。AOM的不足在于，晶體的魯棒性和壽命是有限的，并且通常僅能生成小偏轉(zhuǎn)角。另一個(gè)不足是，激光束的整個(gè)強(qiáng)度不被偏轉(zhuǎn)到對(duì)應(yīng)于特定衍射級(jí)的特定方向。相反，不被忽略的激光輻射強(qiáng)度總是被引導(dǎo)到不同衍射級(jí)。
JP 2003126982 A公開(kāi)了一種激光加工裝置，其包括作為射束轉(zhuǎn)換元件的電光調(diào)制器(EOM)，電光調(diào)制器(EOM)與偏振相關(guān)反射器聯(lián)合工作。通過(guò)相應(yīng)地電氣控制EOM，可以有針對(duì)性地影響入射到偏振相關(guān)反射器的激光束偏振方向，使得激光束可被任意地引導(dǎo)到串接偏振相關(guān)反射器的兩個(gè)輸出光程中的一個(gè)上。然而，由于入射到EOM上的激光輻射不是完全線性偏振的，而且，EOM所產(chǎn)生的偏振方向的旋轉(zhuǎn)角總是具有一定程度的不清晰性，所以某些剩余強(qiáng)度總會(huì)進(jìn)入關(guān)斷的激光束的光程中。而且，使用EOM的不組在于，(a)要求相對(duì)高的電壓來(lái)操作EOM，(b)EOM的預(yù)期使用壽命是未知的，特別是在高功率強(qiáng)度激光束要被偏轉(zhuǎn)的情形下，和(c)EOM是相對(duì)昂貴的光學(xué)元件。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種裝置，用于選擇性地將輸入激光束引導(dǎo)至第一輸出激光束和/或至第二示出激光束，該裝置使得可以簡(jiǎn)單方式精確地在兩個(gè)輸出激光束之間快速并同時(shí)轉(zhuǎn)換激光束。而且，本發(fā)明的目的是提供一種激光加工裝置，其以有利的方式使用上述激光束轉(zhuǎn)向裝置，從而快速和精確地加工工件。
該目的是通過(guò)用于選擇性地將輸入激光束引導(dǎo)至第一輸出激光束和/或至第二輸出激光束的裝置而實(shí)現(xiàn)的，包括獨(dú)立權(quán)利要求1的特征。根據(jù)本發(fā)明的裝置包括射束分裂元件，用于空間地分裂輸入激光束為第一部分束和第二部分束；射束疊加元件，用于空間地疊加兩個(gè)部分束，以及將兩個(gè)部分束變換為第一輸出激光束和/或第二輸出激光束。兩個(gè)部分束被疊加，使得兩個(gè)輸出激光束的強(qiáng)度取決于射束疊加元件處兩個(gè)部分束之間的相對(duì)相移。這是通過(guò)以下方式實(shí)現(xiàn)的，即兩個(gè)部分束被相干地疊加，使得根據(jù)本發(fā)明的裝置表示干涉計(jì)，其中通過(guò)將部分束的光學(xué)路徑長(zhǎng)度改變僅僅半個(gè)波長(zhǎng)而可自由調(diào)整兩個(gè)輸出激光束之間的強(qiáng)度分布。按照本發(fā)明，通過(guò)安置在第一部分束中的光學(xué)執(zhí)行器改變光學(xué)路徑長(zhǎng)度，光學(xué)執(zhí)行器被這樣設(shè)置，使得第一部分束的光學(xué)路徑長(zhǎng)度可在射束分裂元件和射束疊加元件之間改變。
本發(fā)明基于這樣的認(rèn)識(shí)，即通過(guò)用干涉計(jì)相干地疊加兩個(gè)部分束，可以自由地調(diào)整兩個(gè)輸出光程之間的強(qiáng)度分布。例如，兩個(gè)部分束之間的相干疊加使輸入激光束被引導(dǎo)到第一輸出激光束，只要它們具有精確相同的光學(xué)路徑長(zhǎng)度。沒(méi)有強(qiáng)度被引導(dǎo)到第二輸出激光束，因?yàn)閮蓚€(gè)部分束在該方向上彼此相消干涉。如果第一部分束的光學(xué)路徑長(zhǎng)度僅改變半個(gè)激光波長(zhǎng)，則兩個(gè)部分束的相干疊加不在第一輸出激光束中產(chǎn)生任何輸出功率，這是由于相消干涉。在第二輸出激光束的方向上，在兩個(gè)部分束之間出現(xiàn)相長(zhǎng)干涉，使得輸入激光束的整個(gè)強(qiáng)度被轉(zhuǎn)移到第二輸出激光束。
應(yīng)該理解，作為當(dāng)然的事實(shí)，只有兩個(gè)部分束的路徑長(zhǎng)度差小于激光束的相干長(zhǎng)度，兩個(gè)部分束的相干疊加才是可能的。
而且，應(yīng)該理解，按照本發(fā)明的裝置也可以用來(lái)選擇性地將輸入激光束引導(dǎo)至多于兩個(gè)的輸出激光束上。這可通過(guò)幾個(gè)根據(jù)本發(fā)明的轉(zhuǎn)向單元的聯(lián)合工作實(shí)現(xiàn)，這些轉(zhuǎn)向單元以級(jí)連的形式串聯(lián)。以該方式，可以有針對(duì)性地將輸入激光束引導(dǎo)至三個(gè)、四個(gè)或更多輸出激光束。
按照權(quán)利要求2，附加提供第一光接收器，其光耦合到第一輸出激光束。為了調(diào)節(jié)第一輸出激光束的強(qiáng)度，光接收器而且例如經(jīng)由電線耦合到執(zhí)行器。優(yōu)選地，光耦合到第一輸出激光束是經(jīng)射束解耦元件實(shí)現(xiàn)的，射束解耦元件優(yōu)選地僅引導(dǎo)第一輸出激光束的小部分強(qiáng)度至光接收器。光接收器例如是傳統(tǒng)的光電二極管。優(yōu)選地，將光接收器耦合至執(zhí)行器是經(jīng)由光接收器的電氣輸出來(lái)執(zhí)行的，該輸出在光接收器操作過(guò)程中輸送輸出電壓，該電壓的大小直接與當(dāng)前入射到光接收器上的光強(qiáng)度成比例。
按照權(quán)利要求3，附加地提供第二光接收器，其光耦合至第二輸出激光束并耦合到執(zhí)行器，以便調(diào)節(jié)第二輸出激光束的強(qiáng)度。這使得可以特別精確地調(diào)節(jié)執(zhí)行器，并因此可以以明確定義的方式在兩個(gè)不同操作條件之間轉(zhuǎn)換。在第一操作條件中，輸入激光束的完整強(qiáng)度被引導(dǎo)到第一輸出激光束，而第二輸出激光束的強(qiáng)度至少接近零。在第二操作條件中，第一輸出激光束的強(qiáng)度幾乎為零，而輸入激光束的整個(gè)強(qiáng)度被引導(dǎo)到第二輸出激光束。
按照權(quán)利要求4，執(zhí)行器包括機(jī)械可調(diào)整的反射鏡。如上面解釋的那樣，為了在兩個(gè)空間上隔開(kāi)的輸出激光束的光程之間轉(zhuǎn)換輸入激光束，僅需要激光波長(zhǎng)數(shù)量級(jí)的非常短的反射鏡運(yùn)動(dòng)。這意味著，在反射鏡的平移中，與反射鏡運(yùn)動(dòng)相關(guān)聯(lián)的第一部分束的射束偏移的量如此小，以至兩個(gè)部分束與反射鏡的當(dāng)前位置無(wú)關(guān)地相互仍然空間地交疊，使得兩個(gè)部分束之間的相干疊加得到保證。因此，可以良好近似地忽略射束偏移。
按照權(quán)利要求5，執(zhí)行器是機(jī)械可調(diào)整的折射光學(xué)元件，其中兩個(gè)部分束之間的相對(duì)相移是由這樣的事實(shí)產(chǎn)生的，即光學(xué)透明的折射介質(zhì)被引入到第一部分束的光程中。這例如包括不同的厚度，使得兩個(gè)部分束之間的相對(duì)相移可通過(guò)移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)光學(xué)元件而被調(diào)整。只要光學(xué)元件是這樣成形的，使得光學(xué)元件的輸入表面和輸出表面總是垂直于第二部分束的光程取向，則可以產(chǎn)生相移，而光學(xué)元件不影響第一部分束的光程。因此，如果裝置被準(zhǔn)確地調(diào)整，兩個(gè)部分束可完全交疊，使得兩個(gè)部分束在射束疊加元件中的空間相干不會(huì)受光學(xué)元件調(diào)整的影響。因此，可以有針對(duì)性地高精度地引導(dǎo)輸入激光束至剛好一個(gè)輸出激光束，或以精確定義的強(qiáng)度分布引導(dǎo)至兩個(gè)輸出激光束。
按照權(quán)利要求6，執(zhí)行器包括壓電驅(qū)動(dòng)，其使得能夠特別快地調(diào)節(jié)執(zhí)行器。因此，即使在輸入激光束的高重復(fù)率的情形中，也可以在兩個(gè)光程間的兩個(gè)連續(xù)脈沖之間轉(zhuǎn)換輸出激光束的強(qiáng)度。
第二目的是通過(guò)用于加工工件的激光加工裝置實(shí)現(xiàn)的，其特別用于對(duì)電路載體鉆孔和/或結(jié)構(gòu)化，其包括獨(dú)立權(quán)利要求7的特征。根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置包括用于生成輸入激光束的激光光源；按照權(quán)利要求1到6中任一條所述的激光束轉(zhuǎn)向裝置，用于選擇性地將輸入激光束引導(dǎo)至第一輸出激光束和/或至第二輸出激光束；第一偏轉(zhuǎn)單元，被設(shè)置在第一輸出光程上；以及第二偏轉(zhuǎn)單元，被設(shè)置在第二輸出光程上。兩個(gè)偏轉(zhuǎn)單元被設(shè)置，以便將兩個(gè)輸出激光束定位至至少一個(gè)工件上的規(guī)定的目標(biāo)點(diǎn)上。
按照本發(fā)明的激光加工裝置使得兩個(gè)加工區(qū)域上的相互材料加工成為可能。在第一輸出激光束加工的過(guò)程中，第二偏轉(zhuǎn)單元被定位在這樣的目標(biāo)點(diǎn)上，即通過(guò)激光束轉(zhuǎn)向裝置的轉(zhuǎn)換，第二輸出激光束在第一輸出激光束加工完成后馬上到達(dá)該目標(biāo)點(diǎn)。由于為了轉(zhuǎn)換第一輸出激光束的光程和第二輸出激光束的光程之間的輸出強(qiáng)度，僅要求光學(xué)執(zhí)行器的、輸入激光束波長(zhǎng)數(shù)量級(jí)的短距離運(yùn)動(dòng)，所以如果將合適的驅(qū)動(dòng)用于光學(xué)執(zhí)行器，就可以實(shí)現(xiàn)脈沖激光振蕩器的兩個(gè)連續(xù)脈沖之間的射束轉(zhuǎn)換。以該方式，在材料加工中完全消除了非生產(chǎn)時(shí)間，該非生產(chǎn)時(shí)間是由于偏轉(zhuǎn)單元在不同的相互間隔的目標(biāo)位置之間的轉(zhuǎn)移運(yùn)動(dòng)。
一般地，偏轉(zhuǎn)單元是所謂的Galvo系統(tǒng)，其中可繞相互垂直的軸旋轉(zhuǎn)地設(shè)置的兩個(gè)Galvo反射鏡這樣移動(dòng)，使得經(jīng)由兩個(gè)Galvo反射鏡引導(dǎo)的激光束可被引導(dǎo)到加工區(qū)域內(nèi)的任意目標(biāo)點(diǎn)上。


本發(fā)明進(jìn)一步的優(yōu)點(diǎn)和特征可從下面優(yōu)選實(shí)施例的示例性描述中看出。
附圖中，唯一的圖示意地示出激光加工裝置，其包括射束轉(zhuǎn)換單元，其中馬赫-曾德(Mach Zehnder)干涉儀的兩個(gè)部分束被相干地疊加，并被選擇性地引導(dǎo)到第一輸出激光束和/或到第二輸出激光束。
具體實(shí)施例方式
按照所示實(shí)施例的激光加工裝置包括激光光源105，其發(fā)射優(yōu)選的脈沖輸入激光束110，例如在近紫外譜范圍內(nèi)、在可見(jiàn)光譜范圍內(nèi)或在近紅外譜范圍內(nèi)。在紅外激光束的情形中，特別優(yōu)選CO2激光器作為激光光源，在激光光源在可見(jiàn)光譜或近紫外光譜范圍內(nèi)發(fā)射時(shí)，二極管泵浦(diode-pumped)固態(tài)激光器被優(yōu)選使用，其基本波長(zhǎng)借助于激光光源105中安裝的非線性晶體以已知的方式通過(guò)倍頻被轉(zhuǎn)換。
而且，激光加工裝置包括相干束轉(zhuǎn)換裝置100，其選擇性地將輸入激光束110引導(dǎo)至第一輸出激光束140a的光程和/或至第二輸出激光束140b的光程中。相干束轉(zhuǎn)換裝置100相對(duì)于激光光源105設(shè)置，使得輸入激光束110入射到射束分裂器115，射束分裂器115將輸入激光束110分裂為兩個(gè)部分束，第一部分束120a和第二部分束120b。兩個(gè)部分束的強(qiáng)度基本相同。第二部分束120b經(jīng)固定反射鏡121b被引導(dǎo)到另一射束分裂器135。第一部分束120a經(jīng)可移動(dòng)反射鏡121a也被引導(dǎo)到射束分裂器135。在射束分裂器135，兩個(gè)部分束120a和120b被相干地疊加，使得根據(jù)兩個(gè)部分束120a和120b之間的相位關(guān)系，疊加的激光束被引導(dǎo)到第一輸出激光束140a的光程中和/或到第二輸出激光束140b的光程中。
將輸入激光束110分裂為兩個(gè)部分束120a和120b以及隨后將這兩個(gè)部分束120a和120b相干地疊加對(duì)應(yīng)于馬赫-曾德干涉儀中的射束分裂和射束組合。通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)裝置171移動(dòng)可移動(dòng)反射鏡121a而改變第一部分束120a的光程中的光路長(zhǎng)度，壓電驅(qū)動(dòng)裝置171和可移動(dòng)反射鏡121a一起表示光學(xué)執(zhí)行器170。光學(xué)路徑長(zhǎng)度的改變自動(dòng)地改變兩個(gè)部分束120a和120b之間的相對(duì)相位關(guān)系，使得作為結(jié)果，離開(kāi)干涉儀的激光輻射在第一輸出激光束140a的光程和第二輸出激光束140b的光程之間的強(qiáng)度分布可被自由調(diào)整。
在當(dāng)前描述的結(jié)構(gòu)中，兩個(gè)部分束120a和120b的各部分分別成對(duì)平行傳播，使得兩個(gè)輸出激光束在經(jīng)過(guò)射束分裂器135后彼此成直角傳播，這兩個(gè)部分束120a和120b在射束分裂器135處相干地疊加。為了能夠以簡(jiǎn)單方式調(diào)整整個(gè)激光加工裝置，第二輸出激光束140b被反射到固定反射鏡141b上。這使得兩個(gè)輸出激光束140a和140b分別能夠以彼此平行的光程分別入射在偏轉(zhuǎn)單元180a和180b上。
在偏轉(zhuǎn)單元180a和180b之后，分別設(shè)置光學(xué)系統(tǒng)(未示出)，特別是所謂的F-theta光學(xué)裝置。它們導(dǎo)致由偏轉(zhuǎn)單元180a或180b偏轉(zhuǎn)的輸出激光束140a或140b聚焦到工件(也沒(méi)有示出)的相應(yīng)目標(biāo)點(diǎn)上。在這兩個(gè)激光束中的一個(gè)進(jìn)行材料加工的過(guò)程中，依靠第一輸出激光束140a和第二輸出激光束140b之間的相互激光加工，與另一激光束相關(guān)聯(lián)的偏轉(zhuǎn)單元可以已經(jīng)被調(diào)整到新的第二目標(biāo)點(diǎn)，如果需要，這個(gè)第二目標(biāo)點(diǎn)與第一目標(biāo)點(diǎn)隔開(kāi)。因此，對(duì)于另一激光束的進(jìn)一步激光加工，僅需要改變兩個(gè)部分束120a和120b之間的相位關(guān)系，使得在一個(gè)輸出激光束加工材料完成之后，這一個(gè)輸出激光束的強(qiáng)度被減小到零，而另一激光束的強(qiáng)度被提升到最大值。由于為了產(chǎn)生所需的相位偏移，僅需要非常短的移動(dòng)路徑，所以在以一定重復(fù)率在幾MHz范圍內(nèi)發(fā)射激光輻射的脈沖激光器的情況下，可以在兩個(gè)連續(xù)脈沖之間執(zhí)行轉(zhuǎn)換。
為了確?？梢苿?dòng)反射鏡121a的精確調(diào)整，解耦射束分裂器145a和145b分別設(shè)置在兩個(gè)輸出激光束140a和140b的每個(gè)中，解耦射束分裂器145a和145b分別引導(dǎo)各輸出激光束的小部分強(qiáng)度至光檢測(cè)器150a和150b。兩個(gè)光檢測(cè)器150a和150b是，例如所謂的光電二極管，其供應(yīng)與入射在光電二極管活性表面上的光強(qiáng)度成比例的輸出信號(hào)。兩個(gè)光檢測(cè)器150a和150b分別經(jīng)信號(hào)線151a和151b耦合到比較器電路160，其中通過(guò)模擬電路獲得兩個(gè)光檢測(cè)器150a和150b之間的輸出信號(hào)的差。經(jīng)信號(hào)線161，放大器165被連接到比較器電路160的下游，該放大器經(jīng)另一信號(hào)線166耦合到壓電驅(qū)動(dòng)裝置171。為了能夠?qū)崿F(xiàn)將輸入激光束110任意地轉(zhuǎn)換到第一輸出激光束140a或第二輸出激光束140b，通過(guò)放大器165控制壓電驅(qū)動(dòng)裝置171，使得光檢測(cè)器150a的檢測(cè)信號(hào)和光檢測(cè)器150b的檢測(cè)信號(hào)之間的差盡可能地大。如果兩個(gè)輸出激光束中一個(gè)的強(qiáng)度變?yōu)樽畲?，同時(shí)另一輸出激光束的強(qiáng)度為最小，優(yōu)選為零，則這可精確實(shí)現(xiàn)。
因此，兩個(gè)光檢測(cè)器150a和150b、比較器電路160、放大器電路165和壓電驅(qū)動(dòng)裝置171以及相應(yīng)的信號(hào)線表示調(diào)節(jié)回路，其調(diào)節(jié)將輸入激光束110以預(yù)定值分到第一輸出激光束140a和第二輸出激光束140b中。
總之，可得到下面的結(jié)論包括馬赫-曾德干涉儀的相干束轉(zhuǎn)換裝置100和用于最優(yōu)調(diào)整兩個(gè)輸出激光束140a和140b強(qiáng)度的調(diào)節(jié)回路使得能夠以簡(jiǎn)單方式快速并精確地將由激光光源105發(fā)射的輸入激光束110轉(zhuǎn)移至第一偏轉(zhuǎn)單元180a和/或第二偏轉(zhuǎn)單元180b。馬赫-曾德干涉儀包括兩個(gè)射束分裂器115和135以及兩個(gè)反射器，固定反射器121b和可移動(dòng)反射器121a。調(diào)節(jié)回路包括兩個(gè)解耦射束分裂器145a和145b、兩個(gè)光檢測(cè)器150a和150b、電路160和165以及適當(dāng)?shù)男盘?hào)線151a、151b、161和166，還有用于精確移動(dòng)可移動(dòng)反射鏡121a的驅(qū)動(dòng)裝置171。
附圖標(biāo)記列表100相干束轉(zhuǎn)換裝置105激光光源110輸入激光束115射束分裂器120a 第一部分束120b 第二部分束121a 可移動(dòng)反射鏡121b 固定反射鏡135射束分裂器140a 第一輸出激光束140b 第二輸出激光束145a 解耦射束分裂器145b 解耦射束分裂器150a 光檢測(cè)器150b 光檢測(cè)器151a 信號(hào)線151b 信號(hào)線160比較器電路161信號(hào)線165放大器166信號(hào)線170光學(xué)執(zhí)行器171壓電驅(qū)動(dòng)裝置180a 偏轉(zhuǎn)單元180b 偏轉(zhuǎn)單元
權(quán)利要求
1.一種用于選擇性地將輸入激光束(110)引導(dǎo)至第一輸出激光束(140a)和/或第二輸出激光束(140b)的裝置，包括射束分裂元件(115)，用于空間地將輸入激光束(110)分裂為第一部分束(120a)和第二部分束(120b)，射束疊加元件(135)，用于空間地疊加所述兩個(gè)部分束(120a，120b)，以及將所述部分束(120a，120b)轉(zhuǎn)化為所述第一輸出激光束(140a)和/或所述第二輸出激光束(140b)，其中所述兩個(gè)輸出激光束(140a，140b)的強(qiáng)度取決于所述射束疊加元件(135)處所述兩個(gè)部分束(120a，120b)之間的相對(duì)相位偏移，以及光學(xué)執(zhí)行器(170)，其被設(shè)置在所述第一部分束(120a)中，并被這樣調(diào)整，使得所述第一部分束(120a)的光學(xué)路徑長(zhǎng)度可在所述射束分裂元件(115)和所述射束疊加元件(135)之間變化。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括第一光接收器(150a)，其被光耦合至所述第一輸出激光束(140a)，且被耦合至所述執(zhí)行器(170)，用于調(diào)節(jié)所述第一輸出激光束(140a)的強(qiáng)度。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括第二光接收器(150b)，其被光耦合至所述第二輸出激光束(140b)，且被耦合至所述執(zhí)行器(170)，用于調(diào)節(jié)所述第二輸出激光束(140b)的強(qiáng)度。
4.如權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述執(zhí)行器(170)包括可機(jī)械地調(diào)節(jié)的反射鏡(121a)。
5.如權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述執(zhí)行器(170)包括可機(jī)械地調(diào)節(jié)的折射光學(xué)元件。
6.如權(quán)利要求4或5所述的裝置，其中所述執(zhí)行器(170)包括壓電驅(qū)動(dòng)裝置(171)。
7.一種用于加工工件的激光加工裝置，其特別用于對(duì)電路載體鉆孔和/或結(jié)構(gòu)化，所述激光加工裝置包括用于生成輸入激光束(110)的激光光源(105)，按照權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的裝置(100)，用于選擇性地將所述輸入激光束(110)引導(dǎo)至第一輸出激光束(140a)和/或至第二輸出激光束(140b)，第一偏轉(zhuǎn)單元(180a)，其被設(shè)置在所述第一輸出光程(140a)中，和第二偏轉(zhuǎn)單元(180b)，其被設(shè)置在所述第二輸出光程(140b)中，其中在至少一個(gè)工件上設(shè)置所述兩個(gè)偏轉(zhuǎn)單元(180a，180b)，用于將所述兩個(gè)輸出激光束(140a，140b)定位至規(guī)定的目標(biāo)點(diǎn)。
全文摘要
本發(fā)明提供用于選擇性地引導(dǎo)輸入激光束(110)至第一輸出激光束(140a)和/或至第二輸出激光束(140b)的裝置，包括射束分裂元件(115)，用于空間地分裂輸入激光束(110)為第一部分束(120a)和第二部分束(120b)；射束疊加元件(135)，用于空間地和相干地疊加兩個(gè)部分束(120a，120b)，并轉(zhuǎn)換兩個(gè)部分束(120a，120b)為第一輸出激光束(140a)和/或第二輸出激光束(140b)。兩個(gè)輸出激光束(140a，140b)的強(qiáng)度取決于射束疊加元件(135)處兩個(gè)部分束(120a，120b)之間的相對(duì)相位遷移。而且該裝置包括光學(xué)執(zhí)行器(170)，其被設(shè)置在第一部分束(120a)中并被調(diào)整，使得第一部分束(120a)的光學(xué)路徑長(zhǎng)度可在射束分裂元件(115)和射束疊加元件(135)之間變化。而且，本發(fā)明提供一種激光加工裝置，其用于加工工件，包括用于生成輸入激光束(110)的激光光源(105)，上述裝置(100)，設(shè)置在第一輸出光程(140a)上的第一偏轉(zhuǎn)單元(180a)，以及設(shè)置在第二輸出光程(140b)中的第二偏轉(zhuǎn)單元(180b)。
文檔編號(hào)B23K26/06GK1881064SQ20061005144
公開(kāi)日2006年12月20日 申請(qǐng)日期2006年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月16日
發(fā)明者毆內(nèi)斯特·阿夫爾特, 瓊-諾爾·費(fèi)爾, 烏爾班·G·施內(nèi)爾 申請(qǐng)人:日立比亞機(jī)械股份有限公司