專利名稱：激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種例如在液晶顯示器、等離子顯示器等顯示裝置中，作為 進(jìn)行電路圖案的缺陷修復(fù)的激光修復(fù)裝置等合適的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭。
背景技術(shù)：
目前，在液晶顯示器、等離子顯示器等顯示裝置中，為了進(jìn)行電路圖案的缺陷修復(fù)，廣泛采用有利用激光CVD法的激光修復(fù)裝置。利用該激光CVD法的激光修復(fù)裝置利用基于激光的化學(xué)氣相成長(zhǎng)法，具 體而言，通過(guò)對(duì)置于原料氣體的基板照射激光、并促進(jìn)在激光照射面的原料 氣體的化學(xué) 物理反應(yīng)，使原料氣體的覆膜在基板上的修復(fù)部位成長(zhǎng)。但是，要指出的是，在這種利用現(xiàn)有的激光CVD法的激光修復(fù)裝置中， 作為修復(fù)材料，除了只能使用可氣化的材料(W、 Cr、 Mo)的問(wèn)題之外，由 于利用激光照射面的原料氣體的化學(xué) 物理反應(yīng)，從而存在修復(fù)速度遲緩的 問(wèn)題。另一方面，作為可解決這種問(wèn)題的激光修復(fù)裝置，已知的有利用激光轉(zhuǎn) 印法(LMT: Laser Metal Transfer)的激光修復(fù)裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1 )。這種利用激光轉(zhuǎn)印法的激光修復(fù)裝置的原理如圖23所示。在該圖中，a 是石英玻璃板，b是成為修復(fù)材料的導(dǎo)電性金屬薄膜，c是基板，d是電路圖 案，e是透鏡，f是激光束，g是電路圖案上的缺陷位置，b，是飛濺的金屬薄 膜。而在該例中，將石英玻璃板a和薄膜b合在一起作成轉(zhuǎn)印板。如圖23(a)所示，作為這種激光轉(zhuǎn)印法，首先，使對(duì)物面具有修復(fù)材料 薄膜b的石英玻璃板a隔著間隔L與具有缺陷位置g的基板c相對(duì)向，如圖 23 (b)所示，通過(guò)透鏡e將激光束f聚光成規(guī)定的光點(diǎn)形狀而進(jìn)行照射。然 后，如圖23 (c)所示，使被激光束f照射的薄膜部分b，飛濺，如圖23 (d) 所示，使其附著于電路圖案d上的缺陷部分g上。這時(shí)，在設(shè)修復(fù)部分的線 寬為2 ~ 5nm的情況下，作為距離L將達(dá)到5pm~ 20|im左右。專利文獻(xiàn)l:(日本)特開(kāi)2000-31013號(hào)公報(bào)作為這種現(xiàn)有的使用激光轉(zhuǎn)印法的激光修復(fù)裝置，其優(yōu)點(diǎn)在于作為成 為修復(fù)材料的金屬薄膜，除了可選擇A1、 Ni、 Ta、 W、 Ti、 Au、 Ag、 Cu、 Cr等之類的各種金屬之外，由于相對(duì)于轉(zhuǎn)印板只通過(guò)照射激光便可進(jìn)行修復(fù)， 因而修復(fù)速度高。但是，在這種激光修復(fù)裝置中，為了在成為修復(fù)對(duì)象體的顯示器件等的 表面得到必要線寬的轉(zhuǎn)印膜，要求將轉(zhuǎn)印對(duì)象體表面與轉(zhuǎn)印材料覆膜的距離 總是保持在^f效米級(jí)(例如，5-2(^m)。但是，在這種修復(fù)對(duì)象體(顯示裝置的基板等)的表面，原本就存在有 微米級(jí)的凹凸，不論在修復(fù)對(duì)象體的任何位置都要將與表面的距離總是保持 在微米級(jí)(例如5 20^im)，在利用伺服電動(dòng)機(jī)、線性電動(dòng)機(jī)等的通常的伺服 控制技術(shù)中是很難實(shí)現(xiàn)的。而且，由于這種修復(fù)對(duì)象體(顯示器件等)易受電、磁的影響，因而還 不能采用利用了靜電及^f茲的浮起控制方式。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明就是鑒于上述這種現(xiàn)有的問(wèn)題點(diǎn)而設(shè)立的，其目的在于提供一種 在以激光修復(fù)裝置為代表的這種激光轉(zhuǎn)印裝置中，可將轉(zhuǎn)印材料的薄膜與轉(zhuǎn) 印對(duì)象體的距離總是維持在微米級(jí)(例如，5 20fam)的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn) 印頭。本發(fā)明的其他目的以及作用效果，通過(guò)參照說(shuō)明書(shū)中的記述，本領(lǐng)域技 術(shù)人員能夠容易地理解。上述的技術(shù)性問(wèn)題，可通過(guò)具有下述構(gòu)成的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭得以 解決。即，該激光轉(zhuǎn)印裝置的激光頭，用于在下述狀態(tài)支承轉(zhuǎn)印板，該轉(zhuǎn)印板 在具有激光透射性的板狀小片的對(duì)物面上粘附轉(zhuǎn)印材料薄膜而構(gòu)成，所述狀致一定的間隔而使轉(zhuǎn)印材料薄膜與被轉(zhuǎn)印面相對(duì)向。該激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭具有轉(zhuǎn)印板保持架，在其下面保持所述轉(zhuǎn)印 板，并且向上面?zhèn)乳_(kāi)設(shè)有使所述轉(zhuǎn)印板露出的轉(zhuǎn)印窗口；轉(zhuǎn)印頭才幾體，其具 有所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間，并且賦予水平方向及垂直方向的位置基準(zhǔn)； 保持架支承機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體、以可上下移動(dòng)且不可水平移動(dòng)保持架；轉(zhuǎn)印板浮起部件，通過(guò)向所述轉(zhuǎn)印板保持架的下方噴射壓力氣體，使所述轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一同、相對(duì)于所述被轉(zhuǎn)印面浮起。在此，作為"壓力氣體，，，可根據(jù)修復(fù)對(duì)象體的性質(zhì)而采用各種種類的氣 體。在修復(fù)對(duì)象體怕電路圖案等的氧化的情況下，作為壓力氣體的種類，可 采用不活潑氣體(例如，氮?dú)獾?。若壓力氣體采用氮?dú)?，則可迅速進(jìn)行修復(fù)部位的冷卻。根據(jù)這種構(gòu)成，由于用于將轉(zhuǎn)印對(duì)象體的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印板的距離維持 在微小值的控制，不是使用了伺服電動(dòng)機(jī)、線性電動(dòng)機(jī)等的電氣伺服控制， 而是通過(guò)向轉(zhuǎn)印板保持架的下方噴射的壓力氣體進(jìn)行的，因此，即使在使轉(zhuǎn) 印板和被轉(zhuǎn)印板隔著微細(xì)距離相對(duì)向的狀態(tài)下使二者相對(duì)地移動(dòng)，也可使轉(zhuǎn) 印板隨著^^皮轉(zhuǎn)印面上的凹凸而適當(dāng)上下移動(dòng)，因此，可在轉(zhuǎn)印板的水平移動(dòng) 過(guò)程中，將接觸到被轉(zhuǎn)印面上的大的隆起而損傷構(gòu)成被轉(zhuǎn)印面的修復(fù)對(duì)象體 等的危險(xiǎn)防患于未然。另外，在這種激光轉(zhuǎn)印裝置作為激光修復(fù)裝置而實(shí)現(xiàn)的情況下，為了修 復(fù)電路圖案上的缺陷，需要使轉(zhuǎn)印板一邊按照規(guī)定間距向水平方向一點(diǎn)點(diǎn)地錯(cuò)開(kāi)， 一邊在電路圖案上的同一缺陷位置進(jìn)行多次發(fā)射(、乂3 、乂卜)量的轉(zhuǎn) 印，但此時(shí)，若修復(fù)對(duì)象體的表面存在微米級(jí)的凹凸，則有可能與該凹凸沖 撞而損壞電路圖案。即，在利用電氣伺服控制一邊維持距離一邊向水平方向 移動(dòng)的情況下，由于精度低及響應(yīng)速度慢，轉(zhuǎn)印板與修復(fù)對(duì)象體沖撞的可能 性高，而如本發(fā)明所示，通過(guò)總是向修復(fù)對(duì)象體與轉(zhuǎn)印板或轉(zhuǎn)印板保持架之 間吹入的壓力氣體，根據(jù)維持二者間的距離這一配對(duì)組合(相手合^甘)的 控制，即使存在這樣的隆起，由于轉(zhuǎn)印板也可隨著隆起而上下移動(dòng)，因此， 即使不使用復(fù)雜的伺服控制，也可使二者間的距離總保持在最合適的值。另外，在作為激光修復(fù)裝置實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的情況下，為了縮短修復(fù)工序的 生產(chǎn)節(jié)拍間隔時(shí)間，若只是進(jìn)行電氣控制，則每次都必須一邊計(jì)算與修復(fù)對(duì) 象體的距離、 一邊使轉(zhuǎn)印板小心地靠近修復(fù)對(duì)象體，每一次接近時(shí)都需要比 較長(zhǎng)的時(shí)間，而若利用本發(fā)明的配對(duì)組合的自力浮起控制，粗略地利用開(kāi)環(huán) 控制使轉(zhuǎn)印板靠近至修復(fù)對(duì)象體的表面之后，可任憑于壓力氣體的浮起控制， 因此，在每次接近時(shí)不必進(jìn)行距離控制，可縮短生產(chǎn)節(jié)拍間隔時(shí)間。在上述發(fā)明中，作為相對(duì)于上述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體、可上下動(dòng)作且不可水平動(dòng)作地支承收納于上述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間內(nèi)的轉(zhuǎn)印板保持 架的支承機(jī)構(gòu)，可采用各種結(jié)構(gòu)。
作為上述保持架支承機(jī)構(gòu)的一例，由板簧構(gòu)成，該板簧以所述轉(zhuǎn)印板保 持架收納用空間的內(nèi)周緣部為固定端、以收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空 間的轉(zhuǎn)印板保持架的外周緣部為自由端，以所述轉(zhuǎn)印板保持架相對(duì)于所述轉(zhuǎn)間。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于只要跨過(guò)轉(zhuǎn)印板保持架與轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的間隙而將 板簧固定在二者上，就可實(shí)現(xiàn)可上下動(dòng)作且不能水平動(dòng)作的功能，因而可組 裝容易且低成本地進(jìn)行制作，并且，通過(guò)在板簧上適當(dāng)形成沖孔，可均衡地 配置單懸臂狀板簧部分，通過(guò)均勻地支承轉(zhuǎn)印板保持架的外周，可使轉(zhuǎn)印板 保持架無(wú)歪斜地升降移動(dòng)。
作為上述保持架支承機(jī)構(gòu)的一例，可由鋼球?qū)蚣?gòu)成，該鋼球?qū)蚣?設(shè)于所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面與收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納 用空間的轉(zhuǎn)印板保持架的外周面之間，以所述轉(zhuǎn)印板保持架相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印 頭機(jī)體可上下移動(dòng)的方式支承在所述轉(zhuǎn)印板保持架與所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體之間。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于采用了球形軸承之一的鋼球?qū)蚣蚨勒珍?球的圓球度的精度，可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)印板保持架順暢的升降移動(dòng)，可很好地隨著轉(zhuǎn) 印板與被轉(zhuǎn)印板之間的壓力氣體，使轉(zhuǎn)印板保持架根據(jù)被轉(zhuǎn)印面上的隆起而 升降。
作為上述保持架支承機(jī)構(gòu)的另一例，可由壓縮彈簧構(gòu)成，該壓縮彈簧設(shè) 于所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面與收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用 空間的轉(zhuǎn)印板保持架的外周面之間，以所述轉(zhuǎn)印板保持架相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭
體之間。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于通過(guò)壓縮彈簧的擴(kuò)張壓力，從其外周向中心均勻 地按壓轉(zhuǎn)印板保持架，—因而，能夠可靠地限制轉(zhuǎn)印板保持架向水平方向的移 動(dòng)，使轉(zhuǎn)印板保持架受到轉(zhuǎn)印板與被轉(zhuǎn)印面之間的壓力而上下移動(dòng)。
作為上述保持架支承機(jī)構(gòu)的另一例，可由樹(shù)脂軸承構(gòu)成，該樹(shù)脂軸承設(shè) 于所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面與收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用 空間的轉(zhuǎn)印板保持架的外周面之間，以所述轉(zhuǎn)印板保持架相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體可上下移動(dòng)的方式可滑動(dòng)地支承在所述轉(zhuǎn)印板保持架與所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體 之間。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于樹(shù)脂軸承構(gòu)造比較簡(jiǎn)單且可使轉(zhuǎn)印板保持架比較 順滑地上下移動(dòng)，因而可用低廉的價(jià)格實(shí)現(xiàn)比較良好的上下移動(dòng)。
作為上述保持架支承機(jī)構(gòu)的另一例，可由聯(lián)軸機(jī)構(gòu)構(gòu)成，使所述轉(zhuǎn)印板 保持架收納用空間的內(nèi)周面的內(nèi)徑與收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的 轉(zhuǎn)印板保持架的外周面的外徑大致相同，所述聯(lián)軸機(jī)構(gòu)將所述轉(zhuǎn)印板保持架 和所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間以上下自如滑動(dòng)的方式嵌合支承。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于通過(guò)聯(lián)軸結(jié)構(gòu)可高精度地限制轉(zhuǎn)印板保持架向水 平方向的移動(dòng)，因而可進(jìn)一步限制轉(zhuǎn)印板保持架向水平方向的移動(dòng)、并且可 允許其向上下方向順暢的移動(dòng)。
作為上述保持架支承機(jī)構(gòu)的另一例，可包括多個(gè)壓力氣體噴嘴，其沿 周向隔開(kāi)適當(dāng)距離而配置在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面；環(huán)狀槽, 其設(shè)置在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間中收納的轉(zhuǎn)印板保持架的外周面，接 受從所述多個(gè)壓力氣體噴嘴噴射的壓力氣體。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于轉(zhuǎn)印板保持架從其外周向中心方向非接觸地受力， 因而可限制向水平方向的移動(dòng)，并且可實(shí)現(xiàn)向上下方向的順暢滑動(dòng)。
其次，在上述的發(fā)明中，作為通過(guò)向上述轉(zhuǎn)印板保持架的下方噴射壓力 氣體而使上述轉(zhuǎn)印板與上述轉(zhuǎn)印板保持架一同相對(duì)于上述被轉(zhuǎn)印面浮起的轉(zhuǎn) 印板浮起部件，可采用各種構(gòu)成。
即，作為上述轉(zhuǎn)印板浮起部件的一例，可包括壓力氣體供給部件，其 用于將來(lái)自規(guī)定壓力氣體源的壓力氣體向所述轉(zhuǎn)印板保持架的壓力氣體入口 孔供給；保持架內(nèi)壓力氣體通路，其將所述轉(zhuǎn)印板保持架的壓力氣體入口孔 和所述轉(zhuǎn)印板保持架下面的多個(gè)壓力氣體出口孔連通；多個(gè)壓力氣體噴射孔, 其位于所述轉(zhuǎn)印板上，與所述轉(zhuǎn)印板保持架下面的多個(gè)壓力氣體出口孔位置 對(duì)齊，由此，通過(guò)使來(lái)自所述壓力氣體源的壓力氣體經(jīng)由所述保持架內(nèi)壓力 氣體通路、由所述轉(zhuǎn)印板的所述壓力氣體噴射孔向轉(zhuǎn)印板保持架的下方噴射， 使所述轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一同、相對(duì)于所述被轉(zhuǎn)印面浮起。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于壓力氣體從成為浮起對(duì)象的轉(zhuǎn)印板自身向下面噴 射，因而能夠?qū)⑥D(zhuǎn)印板與被轉(zhuǎn)印面的距離可靠地保持在規(guī)定值。此時(shí)，作為 壓力氣體供給部件，既可以是連接上述壓力氣體源和上述轉(zhuǎn)印板保持架的壓力氣體入口的撓性管，也可以是在上述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面， 向位于上述轉(zhuǎn)印板保持架外周面的壓力氣體入口孔送入壓力氣體的壓力氣體 噴嘴。
在使用撓性管的情況下，即使不是特別高的壓力，也可使所需的壓力氣 體從轉(zhuǎn)印板的下面可靠地吹出。另一方面，若形成壓力氣體噴嘴，則無(wú)需在 轉(zhuǎn)印板保持架上連接撓性管，具有轉(zhuǎn)印板保持架的上下移動(dòng)不受撓性管干擾 的優(yōu)點(diǎn)。
另外，作為所述轉(zhuǎn)印板浮起部件，也可以在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的所述轉(zhuǎn)印 板保持架收納用空間的內(nèi)周緣部下面，具有噴射來(lái)自壓力氣體源的壓力氣體 的多個(gè)壓力氣體噴射孔，由此，通過(guò)從所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的所述轉(zhuǎn)印板保持架 收納用空間的內(nèi)周緣部下面的所述壓力氣體噴射孔向所述轉(zhuǎn)印板保持架的下 方進(jìn)行噴射，使所述轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一同相對(duì)于所述被轉(zhuǎn)印面浮 起。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于無(wú)需從轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)向轉(zhuǎn)印板保持架側(cè)供給壓力 氣體，因而可使轉(zhuǎn)印板保持架不受撓性管的約束而自如地上下移動(dòng)，進(jìn)而可 確保轉(zhuǎn)印板保持架順暢的上下移動(dòng)。
此時(shí)，也可以是，在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的 內(nèi)周緣部上面，具有噴射來(lái)自壓力氣體源的壓力氣體的多個(gè)壓力氣體噴射孔,
半徑方向外側(cè)突出的凸緣部的下面進(jìn)行噴射，輔助所述轉(zhuǎn)印板保持架的浮起 作用。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于可使實(shí)際的轉(zhuǎn)印板的重量輕量化，因而相對(duì)于轉(zhuǎn) 印板與被轉(zhuǎn)印面之間的氣壓變化，轉(zhuǎn)印板可靈活地上下移動(dòng)，可提高轉(zhuǎn)印板 的升降響應(yīng)性。
而且，也可以在所述轉(zhuǎn)印板保持架的下面形成沿所述轉(zhuǎn)印板保持架的外 周向下方垂下的環(huán)狀突條，由此，在保持于所述轉(zhuǎn)印板保持架下面的轉(zhuǎn)印板 的外周面與所述環(huán)狀突條的內(nèi)周面之間，具有起到壓力氣體滯留部作用的空 間。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于壓力氣體滯留部的存在，可使從多個(gè)壓力氣體噴 射孔噴射出的壓力氣體更順暢地吹入到轉(zhuǎn)印板與被轉(zhuǎn)印面之間。
另一方面，在上述本發(fā)明中，也可以是構(gòu)成為所述保持架支承機(jī)構(gòu)通過(guò)在缸體部件的內(nèi)部以上下自如滑動(dòng)的方式收納起到活塞作用的轉(zhuǎn)印板保持 架而構(gòu)成，所述缸體部件的上面開(kāi)口被透明窗板堵住，下面開(kāi)口敞開(kāi)，并且 在下面開(kāi)口的內(nèi)周緣部形成有防止活塞脫落用的環(huán)狀臺(tái)階部，所述轉(zhuǎn)印板保
持架在下面保持有轉(zhuǎn)印板，所述轉(zhuǎn)印板浮起部件如下構(gòu)成，即，將壓力氣體 導(dǎo)入所述缸體部件的腔體內(nèi)，并且^f吏該壓力氣體上下貫通所述起到活塞部件 的作用的轉(zhuǎn)印板保持架和轉(zhuǎn)印板的層疊體，然后，將該壓力氣體從轉(zhuǎn)印板的 下面噴射出。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，轉(zhuǎn)印板保持架的下限位置受到防止活塞脫落用的環(huán)狀 臺(tái)階部的制約，另一方面，轉(zhuǎn)印板保持架隨著活塞的上下移動(dòng)而在缸體部件 內(nèi)順暢地上下移動(dòng)，因此，可制約向水平方向的移動(dòng)，并且可順暢地進(jìn)行上 下移動(dòng)，另一方面，從轉(zhuǎn)印板向下面吹出的壓力氣體一旦滯留在腔體內(nèi)后， 則從轉(zhuǎn)印板下面的噴射孔均勻地吹出，因此，可使轉(zhuǎn)印板保持著水平姿勢(shì)， 根據(jù)轉(zhuǎn)印板與被轉(zhuǎn)印面之間的氣體壓力而靈敏地上下移動(dòng)。
本發(fā)明的另 一方面提供一種激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭控制方法。 該激光轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印頭的控制方法用于在下述狀態(tài)支承轉(zhuǎn)印板，該轉(zhuǎn)印 板在具有激光透射性的板狀小片的對(duì)物面上粘附轉(zhuǎn)印材料薄膜而構(gòu)成，所述 狀態(tài)為使轉(zhuǎn)印對(duì)象體的大致水平的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印材料薄膜之間保持微d、的 大致一定的間隔而使轉(zhuǎn)印材料薄膜與被轉(zhuǎn)印面相對(duì)向。
在該轉(zhuǎn)印頭的控制方法中，該轉(zhuǎn)印頭具有轉(zhuǎn)印板保持架，在其下面保 持所述轉(zhuǎn)印板，并且向上面?zhèn)乳_(kāi)設(shè)有使所述轉(zhuǎn)印板露出的轉(zhuǎn)印窗口；轉(zhuǎn)印頭 機(jī)體，其具有所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間，并且賦予水平方向及垂直方向 的位置基準(zhǔn)，在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面，沿周 向隔開(kāi)適當(dāng)距離而設(shè)有多個(gè)噴嘴，該噴嘴兼具向所述空間的內(nèi)側(cè)傾斜向下地 吸引和噴射的作用，在收納在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間中 的轉(zhuǎn)印板保持架的內(nèi)部，形成有斜向下的壓力氣體通路，該壓力氣體通路將 配置于所述轉(zhuǎn)印板保持架外周面的氣體出入兼用孔和配置于所述轉(zhuǎn)印板保持 絮下面的氣體出入兼用孔之間連通，該激光轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印頭的控制方法的特 征在于，具有吸附模式動(dòng)作，通過(guò)使所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)的多個(gè)噴嘴的每一 個(gè)起到吸引噴嘴的作用，使所述轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一同向所述轉(zhuǎn)印 頭機(jī)體吸附；浮起模式動(dòng)作，通過(guò)使所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)的多個(gè)噴嘴的每一個(gè) 起到噴射噴嘴的作用，將從各所述噴嘴噴射出的壓力氣體導(dǎo)入所述轉(zhuǎn)印板保持架外周面的各氣體出入兼用孔，使壓力氣體從所述轉(zhuǎn)印板的下面?zhèn)葒娚涑觯?從而使所述轉(zhuǎn)印板浮起，通過(guò)在瞬間進(jìn)行從所述吸附模式向浮起模式的切換、 及從所述浮起模式向所述吸附模式的切換，可進(jìn)行兩模式間的轉(zhuǎn)換并無(wú)需使 所述轉(zhuǎn)印板落下。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于共同的壓力氣體通路兼用于吸附和浮起，因而無(wú) 需用于相對(duì)于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體上下自如移動(dòng)地支承轉(zhuǎn)印板保持架的機(jī)構(gòu)。
此時(shí)，若作為用于將所述轉(zhuǎn)印板保持于所述轉(zhuǎn)印板保持架的方法而采用 粘接劑，則無(wú)需真空卡盤(pán)機(jī)構(gòu)，具有使配管系統(tǒng)的構(gòu)成精簡(jiǎn)化的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明再一方面提供一種激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭控制方法。該轉(zhuǎn)印頭控 制方法用于在下述狀態(tài)支承轉(zhuǎn)印板，該轉(zhuǎn)印板在具有激光透射性的板狀小片 的對(duì)物面上粘附轉(zhuǎn)印材料薄膜而構(gòu)成，所述狀態(tài)為使轉(zhuǎn)印對(duì)象體的大致水平 的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印材料薄膜之間保持微小的大致一定的間隔而使轉(zhuǎn)印材料薄 膜與被轉(zhuǎn)印面相對(duì)向。
該控制方法中，所述轉(zhuǎn)印頭具有賦予水平方向及垂直方向的位置基準(zhǔn) 的轉(zhuǎn)印頭機(jī)體、以及轉(zhuǎn)印板，并且，在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)設(shè)有向轉(zhuǎn)印板側(cè)突 出、并兼具吸引和噴射作用的多個(gè)噴嘴，在所述轉(zhuǎn)印板側(cè)設(shè)置有多個(gè)貫通孔， 其與所述多個(gè)噴嘴位置對(duì)齊，并且具有對(duì)應(yīng)于噴嘴的前端形狀的孔形狀，所 述激光轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印頭的控制方法的特征在于，具有吸附模式動(dòng)作，通過(guò) 使所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)的多個(gè)噴嘴的每一個(gè)起到吸引噴嘴的作用，使這些噴嘴 的每一個(gè)嵌合于所述轉(zhuǎn)印板側(cè)的多個(gè)貫通孔中，從而將所述轉(zhuǎn)印板向所述轉(zhuǎn)
印頭機(jī)體吸附；浮起模式動(dòng)作，通過(guò)使所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)的多個(gè)噴嘴的每一 個(gè)起到噴射噴嘴的作用，將從這些噴嘴的每一個(gè)噴射出的壓力氣體導(dǎo)入所述 轉(zhuǎn)印板側(cè)的對(duì)應(yīng)的各個(gè)貫通孔，使壓力氣體從所述轉(zhuǎn)印板的下面?zhèn)葒娚涑觯?從而使所述轉(zhuǎn)印板浮起，通過(guò)瞬間地進(jìn)行從所述吸附模式向浮起模式的切換、 及從所述浮起模式向所述吸附模式的切換，可進(jìn)行兩模式間的轉(zhuǎn)換并無(wú)需使 所述轉(zhuǎn)印板落下。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于不需要轉(zhuǎn)印板保持架,且共同管路兼用于吸引和 噴射，因此，可使整體構(gòu)成精簡(jiǎn)化并使可進(jìn)一步降低成本。
在上述的本發(fā)明中，作為用于將所述轉(zhuǎn)印板保持于所述轉(zhuǎn)印板保持架的 部件，可使用粘附劑、或可使用真空吸附部件、或可使用聯(lián)軸機(jī)構(gòu)。
若使用粘附劑，雖然剝離花費(fèi)工序，但具有不需要另外的吸附配管及聯(lián)軸的優(yōu)點(diǎn)。另一方面，若使用真空卡盤(pán)機(jī)構(gòu)，則更換時(shí)的拆裝容易，另一方 面，若使用聯(lián)軸機(jī)構(gòu)，則只用更換聯(lián)軸機(jī)構(gòu)就可使轉(zhuǎn)印板從轉(zhuǎn)印板保持架脫 離。
根據(jù)本發(fā)明，由于用于將轉(zhuǎn)印對(duì)象體的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印板的距離保持在 微小值的控制，不是使用了伺服電動(dòng)機(jī)、線性電動(dòng)機(jī)等的電氣伺服控制，而 是通過(guò)向轉(zhuǎn)印板保持架的下方噴射的壓力氣體而進(jìn)行的，因此，即使在使轉(zhuǎn) 印板和被轉(zhuǎn)印面隔著微細(xì)距離相對(duì)向的狀態(tài)下使二者相對(duì)地移動(dòng)，轉(zhuǎn)印板也 隨著被轉(zhuǎn)印面上的凹凸適當(dāng)?shù)厣舷乱苿?dòng)，因而，可在轉(zhuǎn)印板的水平移動(dòng)過(guò)程 中，將接觸到被轉(zhuǎn)印面上的大的隆起而損壞構(gòu)成被轉(zhuǎn)印面的修復(fù)對(duì)象體等的 危險(xiǎn)防患于未然。
尤其是，這種激光轉(zhuǎn)印裝置在作為激光修復(fù)裝置實(shí)現(xiàn)的情況下，雖然為 了修復(fù)電路圖案上的缺陷，必須使轉(zhuǎn)印板一邊按照規(guī)定間距向水平方向一點(diǎn) 點(diǎn)錯(cuò)動(dòng)， 一邊在電路圖案上的同一缺陷位置進(jìn)行多次發(fā)射量的轉(zhuǎn)印，但此時(shí)， 若在修復(fù)對(duì)象體的表面存在微米級(jí)的凹凸，則有可能與該凹凸沖撞而損壞電 路圖案。即，在利用電氣伺服控制一邊保持距離一邊向水平方向移動(dòng)時(shí)，由 于精度低及響應(yīng)速度慢，轉(zhuǎn)印板與修復(fù)對(duì)象體發(fā)生沖撞的可能性高，而如本 發(fā)明所示，利用總是向修復(fù)對(duì)象體與轉(zhuǎn)印板或者轉(zhuǎn)印板保持架之間吹入的壓 力氣體，根據(jù)維持二者間的距離這一配對(duì)組合的控制，即使存在這樣的隆起, 轉(zhuǎn)印板也隨著隆起而上下移動(dòng)，因此，即使不用復(fù)雜的伺服控制也可使二者 間的距離總保持最合適的值。
另外，在作為激光修復(fù)裝置而實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的情況下，為了縮短修復(fù)工序 的生產(chǎn)節(jié)拍間隔時(shí)間，若只是進(jìn)行電氣控制，則每次都必須一邊計(jì)算與修復(fù) 對(duì)象體的距離、 一邊使修復(fù)對(duì)象體小心地靠近轉(zhuǎn)印板，每一次接近都需要比 較長(zhǎng)的時(shí)間，而若利用本發(fā)明的配對(duì)組合的自力浮起控制，粗略地利用開(kāi)環(huán) 控制，使轉(zhuǎn)印板靠近至修復(fù)對(duì)象體的表面之后，可任憑壓力氣體的浮起控制, 因此，在每次接近時(shí)不必進(jìn)行距離控制，可縮短生產(chǎn)節(jié)拍間隔時(shí)間。
圖1 (a)、 (b)是第一實(shí)施方式的構(gòu)成圖2 (a)、 (b)是第一實(shí)施方式的配管系統(tǒng)的說(shuō)明圖;
圖3 (a)、 (b)是第二實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖4 (a)、 (b)是第二實(shí)施方式的配管系統(tǒng)的說(shuō)明圖；圖5 (a)、 (b)是第三實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖6 (a)、 (b)是第四實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖7 (a)、 (b)是第五實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖8 (a)、 (b)是第五實(shí)施方式的配管系統(tǒng)的說(shuō)明圖；圖9 (a)、 (b)是第六實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖10 (a)、 (b)是第七實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖11 (a)、 (b)是第八實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖12 (a)、 (b)是第九實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖13 (a)、 (b)是第十實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖14 (a)、 (b)是第十一實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖15 (a)、 (b)是第十二實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖16 (a)、 (b)是第十三實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖17 (a)、 (b)是第十四實(shí)施方式的構(gòu)成圖；圖18是適用本發(fā)明的布線圖案修復(fù)裝置的外觀立體圖；圖19是轉(zhuǎn)印頭的外觀立體圖；圖20是轉(zhuǎn)印頭的分解立體圖；圖21是轉(zhuǎn)印頭上下翻轉(zhuǎn)狀態(tài)的外觀立體圖；圖22 (a)、 (b)是轉(zhuǎn)印頭的平面圖；圖23(a) ~ (d)是作為本發(fā)明前提的激光轉(zhuǎn)印法的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施方式
下面，參照附圖詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭的最佳實(shí)施 方式。圖l所示的是本發(fā)明的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭的第一實(shí)施方式的構(gòu)成圖， 其中圖1 (a)是平面圖，圖1 (b)是剖面圖。如圖所示，該激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭1用于在如下?tīng)顟B(tài)下支承轉(zhuǎn)印板 101,該轉(zhuǎn)印板101在具有激光透射性的板狀小片(例如，石英玻璃的板狀小 片)的對(duì)物面(圖中為下面)上覆蓋轉(zhuǎn)印材料(例如A1、 Ni、 Ta、 W、 Ti、 Au、 Ag、 Cu、 Cr等)薄膜而構(gòu)成，所述狀態(tài)為使轉(zhuǎn)印對(duì)象體102的大致水 平的被轉(zhuǎn)印面102a與轉(zhuǎn)印材料薄膜(未圖示)之間保持微小的大致一定的間隙而使轉(zhuǎn)印材料薄膜與被轉(zhuǎn)印面102a相對(duì)向的狀態(tài)。該激光頭l具有轉(zhuǎn)印板保持架103，在其下面保持轉(zhuǎn)印板101,并且向 上面?zhèn)乳_(kāi)設(shè)有使轉(zhuǎn)印板101露出的轉(zhuǎn)印窗口 103a;轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104,其具有 轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a，并且賦予水平方向及垂直方向的位置基準(zhǔn)； 保持架支承機(jī)構(gòu)(后文詳述)，其相對(duì)于上述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104、以可上下移動(dòng)納用空間104a內(nèi)的轉(zhuǎn)印板保持架103;轉(zhuǎn)印板浮起部件(后文詳述)，其通過(guò) 向轉(zhuǎn)印板保持架103的下方噴射壓力氣體105，使轉(zhuǎn)印板101與轉(zhuǎn)印板保持架 103—同、相對(duì)于^^皮轉(zhuǎn)印面102a浮起。在該例中，保持架支承機(jī)構(gòu)由板簧構(gòu)成，該板簧以轉(zhuǎn)印板保持架收納用 空間104a的內(nèi)周緣部為固定端、以收納于轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a的 轉(zhuǎn)印板保持架103的外周緣部為自由端，以使轉(zhuǎn)印板保持架103相對(duì)于轉(zhuǎn)印 頭機(jī)體104可上下移動(dòng)的方式支承在二者之間。在圖中，作為板簧106，表示 的是細(xì)長(zhǎng)長(zhǎng)方形的單板片，但對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)也容易理解在實(shí)際 中，也可形成多個(gè)適當(dāng)?shù)臎_孔乃至沖切線，使多個(gè)部分局部地起到板簧的作 用。另一方面，作為轉(zhuǎn)印板浮起部件，可由撓性管107、保持架內(nèi)壓力氣體通 路103d以及多個(gè)壓力氣體噴射孔101a構(gòu)成，所述撓性管107作為用于將來(lái) 自規(guī)定的壓力氣體源(未圖示)的壓力氣體供給轉(zhuǎn)印板保持架103的壓力氣 體入口孔103b的壓力氣體供給部件而起作用；所述保持架內(nèi)壓力氣體通路 103d將轉(zhuǎn)印板保持架103的壓力氣體入口孔103b和轉(zhuǎn)印板保持架103下面的 多個(gè)壓力氣體出口孔103c連通；所述壓力氣體噴射孔101a位于轉(zhuǎn)印板101 之上、且與轉(zhuǎn)印板保持架103下面的多個(gè)壓力氣體出口孔103c位置對(duì)齊，由 此，通過(guò)使來(lái)自壓力氣體源(未圖示)的壓力氣體經(jīng)保持架內(nèi)壓力氣體通路 103d并通過(guò)轉(zhuǎn)印板101的壓力氣體噴射孔101a而向轉(zhuǎn)印板保持架103的下方 噴射，使轉(zhuǎn)印板101與轉(zhuǎn)印板保持架103—同、相對(duì)于被轉(zhuǎn)印面102a浮起。另外，作為用于將轉(zhuǎn)印板101保持于轉(zhuǎn)印板保持架103的部件，采用真 空吸附部件。即，該真空卡盤(pán)吸附部件由保持架內(nèi)吸引通路103g和吸引管108 吸附轉(zhuǎn)印板101而構(gòu)成，所述保持架內(nèi)吸引通路103g連接設(shè)于轉(zhuǎn)印板保持架 103下面的多個(gè)吸引孔103f和設(shè)于轉(zhuǎn)印板保持架103外周面的吸引孔103e， 所述吸引管108與未圖示的真空源連接。圖2是表示該第一實(shí)施方式的配管系統(tǒng)的更具體例的說(shuō)明圖。在該圖中， 對(duì)于與圖1相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。如圖所示，將壓力氣體出口孔103c彼此連通的保持架內(nèi)壓力氣體通3各103d及將吸引孔103f 彼此連通的保持架內(nèi)吸引通路103g都形成為圓環(huán)狀。根據(jù)上述的構(gòu)成，轉(zhuǎn)印板保持架103經(jīng)由板簧106被支承在轉(zhuǎn)印頭機(jī)體 104，向水平方向的移動(dòng)被限制，但可以在垂直方向上自由地移動(dòng)。因此，若 從多個(gè)壓力氣體噴射孔101a噴射壓力氣體105，則可在轉(zhuǎn)印板101與被轉(zhuǎn)印 面102a之間，利用壓力氣體的浮起作用而保持微小距離L(5-20(im)。因此， 在利用電氣開(kāi)環(huán)控制使轉(zhuǎn)印頭1整體接近到例如lOOpm左右的距離后，只要 為從多個(gè)壓力氣體噴射口 101a噴射壓力氣體105的狀態(tài)，則即使保持原樣地 放置，也可使轉(zhuǎn)印板101與被轉(zhuǎn)印面102a的距離保持在微小距離L,轉(zhuǎn)印板 101不會(huì)與被轉(zhuǎn)印面102a沖撞。圖3是本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第二實(shí)施方式的構(gòu)成圖，圖4是該第二實(shí)施方 式的配管系統(tǒng)的說(shuō)明圖。該第二實(shí)施方式與上述第一實(shí)施方式的不同之處在于作為用于將轉(zhuǎn)印 板101保持于轉(zhuǎn)印板保持架103下面的方法而使用粘接劑109，由此而省略了 吸附用的配管系統(tǒng)。另外，在圖3及圖4中，對(duì)與圖1及圖2相同的構(gòu)成部 分標(biāo)注同 一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。圖5是本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第三實(shí)施方式的構(gòu)成圖。另外，在圖5中，對(duì) 與上述第一及第二實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。該第三實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印頭1的特征在于，保持架支承機(jī)構(gòu)由鋼球?qū)蚣?IIO構(gòu)成，該鋼球?qū)蚣蘒IO設(shè)于轉(zhuǎn)印保持架收納用空間104a的內(nèi)周面與收 納于轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a的轉(zhuǎn)印板保持架103的外周面之間，以轉(zhuǎn) 印板保持架103相對(duì)于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104可上下移動(dòng)的方式支承在兩者之間。 另外，在該例中，轉(zhuǎn)印板101也經(jīng)由真空吸附部件而被吸附保持在轉(zhuǎn)印板保 持架103的下面。-根據(jù)這樣的構(gòu)成，俯視看成正方形的轉(zhuǎn)印板保持架103被收納于轉(zhuǎn)印頭 機(jī)體104所形成的正方形的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a內(nèi)，并且其四邊通 過(guò)六個(gè)鋼球?qū)蚣?10上下自如移動(dòng)地被支承。因此，若從轉(zhuǎn)印板101的下面噴射壓力氣體105,則轉(zhuǎn)印板101與轉(zhuǎn)印板 保持架103 —同邊由鋼球?qū)蚣蘒IO導(dǎo)向邊上下移動(dòng)，可將轉(zhuǎn)印板101與被轉(zhuǎn)印面102a之間的距離L保持在微米級(jí)程度(例如5 ~ 20pm )。另外，通過(guò)使轉(zhuǎn)印板保持架103的外周凸緣部103h與形成于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體 104的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a內(nèi)周的臺(tái)階部104b相抵接，可限制轉(zhuǎn)印 板保持架103的下限位置。圖6是本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第四實(shí)施方式的構(gòu)成圖。另外，在圖6中，對(duì) 與上述圖5的第三實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。該第四實(shí)施方式的特征在于作為用于將轉(zhuǎn)印板101保持于轉(zhuǎn)印板保持 架103下面的方法而使用粘接劑109;作為用于將來(lái)自規(guī)定的壓力氣體源(未 圖示)的壓力氣體供給轉(zhuǎn)印板保持架103的壓力氣體入口孔103b的壓力氣體 供給部件，采用將壓力氣體向位于轉(zhuǎn)印板保持架103外周面的壓力氣體入口 孔103b噴射的壓力氣體噴嘴107a,該壓力氣體噴嘴107a位于轉(zhuǎn)印板保持架 收納用空間104a的內(nèi)周面。根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104和轉(zhuǎn)印板保持架103并未用撓性 管連接，因此，具有轉(zhuǎn)印板保持架103不受撓性管的約束、可更加自如地上 下移動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。圖7是表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭1的第五實(shí)施方式的構(gòu)成圖，圖8是表示該 第五實(shí)施方式的配管系統(tǒng)的說(shuō)明圖，另外，在圖7、圖8中，對(duì)與上述第一 第四實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同 一附圖標(biāo)記并省略"i兌明。該第五實(shí)施方式的特征在于，保持架支承機(jī)構(gòu)采用壓縮彈簧111,該壓縮 彈簧lll設(shè)于轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a的內(nèi)周面與收納于轉(zhuǎn)印板保持架 收納用空間104a的轉(zhuǎn)印板保持架103的外周面之間，以使轉(zhuǎn)印板保持架103 相對(duì)于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104可上下移動(dòng)的方式彈性地按壓支承在兩者之間。才艮據(jù)該第五實(shí)施方式，俯視看具有正方形形狀的轉(zhuǎn)印板保持架103神皮收 納于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104所形成的正方形的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a中，且 其四邊在六處由壓縮彈簧壓接并支承。因此，轉(zhuǎn)印板保持架103在向水平方 向的移動(dòng)受到制約的狀態(tài)下、向上下方向自如移動(dòng)。圖8是表示本發(fā)明第五實(shí)施方式的配管系統(tǒng)的說(shuō)明圖。另外，對(duì)與上述 圖7相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。圖9是本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第六實(shí)施方式的構(gòu)成圖。該第六實(shí)施方式的特 征在于，作為保持架支承機(jī)構(gòu)采用樹(shù)脂軸承112，該樹(shù)脂軸承112設(shè)于轉(zhuǎn)印板 保持架收納用空間104a的內(nèi)周面與收納于轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a的轉(zhuǎn)印板保持架103的外周面之間，以使轉(zhuǎn)印板保持架103相對(duì)于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體 104可上下移動(dòng)的形式滑動(dòng)支承在兩者之間。另外，在該圖中，對(duì)與上述實(shí)施 方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同 一附圖標(biāo)記并省略i兌明。根據(jù)該第六實(shí)施方式，轉(zhuǎn)印板保持架103被收納于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104的轉(zhuǎn) 印板保持架收納用空間104a中，并且由樹(shù)脂軸承112而上下自如移動(dòng)地被支 承。因此，通過(guò)使壓力氣體105從轉(zhuǎn)印板101的下面噴射，可將轉(zhuǎn)印板109 與被轉(zhuǎn)印面102a的距離L保持在微米級(jí)。圖IO是表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第七實(shí)施方式的構(gòu)成圖。該第七實(shí)施方式 的特征在于，作為保持架支承機(jī)構(gòu)采用聯(lián)軸機(jī)構(gòu)，使轉(zhuǎn)印板保持架收納用空 間104a的內(nèi)徑與收納于轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a的轉(zhuǎn)印板保持架103 的外周面的外徑大致相同，該聯(lián)軸^U勾可上下滑動(dòng)地嵌合支承兩者。即，圖 示的轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104形成在與其軸垂直的圓環(huán)上，另一方面，將轉(zhuǎn)印板保持 架103形成圓板狀。而且，通過(guò)使圓板狀轉(zhuǎn)印板保持架103的外徑與圓環(huán)狀 轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104的內(nèi)徑大致相同(保留滑動(dòng)用的間隙)，可使圓板狀轉(zhuǎn)印板保 持架103在圓環(huán)狀轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104內(nèi)上下移動(dòng)。在圓環(huán)狀轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104與圓板狀轉(zhuǎn)印板保持架103的間隙中，作為該 例而言，從其上部導(dǎo)入四條壓力氣體供給管(撓性管)107，使從這些管107 供給的壓力氣體，如附圖標(biāo)記105所示地，從間隙的下部吹入轉(zhuǎn)印板101與 被轉(zhuǎn)印面102之間的間隙。由此，可使轉(zhuǎn)印板101與轉(zhuǎn)印板保持架103—同 從^皮轉(zhuǎn)印面102a浮起。而且，在該例中，轉(zhuǎn)印板保持架103的上部導(dǎo)入四條吸引用管108,由此， 在轉(zhuǎn)印板保持架103的下面實(shí)現(xiàn)真空卡盤(pán)功能，使轉(zhuǎn)印板101通過(guò)真空卡盤(pán) 功能吸附保持在轉(zhuǎn)印板保持架103的下面。根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于轉(zhuǎn)印板保持架103在轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104內(nèi)保持水平 姿勢(shì)而上下移動(dòng)，因此，實(shí)現(xiàn)了既限制在水平面內(nèi)的移動(dòng)、又允許向垂直方 向的移動(dòng)的功能。圖11是表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第八實(shí)施方式的構(gòu)成圖。另夕卜-,在圖11 中，對(duì)與上述各實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。該第八實(shí)施方式的特征在于保持架支承機(jī)構(gòu)采用聯(lián)軸機(jī)構(gòu)，使轉(zhuǎn)印板 保持架收納用空間104a的內(nèi)周面的內(nèi)徑與收納于轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間 104a的轉(zhuǎn)印板保持架103的外周面的外徑大致相同，聯(lián)軸機(jī)構(gòu)上下滑動(dòng)自如地嵌合支承兩者；此外，還在轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104的轉(zhuǎn)印保持架收納用空間104a 的內(nèi)周緣部上面設(shè)置噴射來(lái)自壓力氣體源的壓力氣體的多個(gè)壓力氣體噴射孔 104c，這樣，通過(guò)將來(lái)自壓力氣體源(未圖示)的壓力氣體向從轉(zhuǎn)印板保持 架103的外周向半徑方向外突出的凸緣部103i的下面噴射，輔助轉(zhuǎn)印板保持 架103的浮起作用。即，在該例中，轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a俯^f見(jiàn)看成正方形，而轉(zhuǎn)印 板保持架103俯視看也成正方形。而且，兩者104a、 103的尺寸大致相同(保 留滑動(dòng)用的間隙)，因此，可使轉(zhuǎn)印板保持架103在空間104a內(nèi)上下滑動(dòng)自 如。在轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104內(nèi)設(shè)有第一壓力氣體供給用管(或者流路)107A和第 二壓力氣體供給用管(或者流路)107B。第一管107A的前端部朝下彎曲， 與機(jī)體104的下面連通。因此，如附圖標(biāo)記105所示，從管107A供給的壓力 氣體，從壓力氣體噴射口 104d吹入到轉(zhuǎn)印板101與被轉(zhuǎn)印面102a之間。另 一方面，第二管107B的前端向上彎曲，使從噴射口 104c噴射的壓力氣體向 轉(zhuǎn)印板保持架103的凸緣部103i的下面噴射。這樣，可輔助轉(zhuǎn)印板保持架103 的浮起作用。圖12是表示本發(fā)明第九實(shí)施方式的構(gòu)成圖。該第九實(shí)施方式是將本發(fā)明 作為激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭控制方法而實(shí)施的，該轉(zhuǎn)印頭在如下?tīng)顟B(tài)下支承 轉(zhuǎn)印板，該轉(zhuǎn)印板在具有激光透射性的板狀小片的對(duì)物面上覆蓋轉(zhuǎn)印材料薄 膜而構(gòu)成，所述狀態(tài)為使轉(zhuǎn)印對(duì)象體的大致水平的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印材料薄膜 之間保持微小的大致一定的間隙而以使轉(zhuǎn)印材料薄膜與被轉(zhuǎn)印面相對(duì)向的狀 態(tài)。即，在該控制方法中，具有賦予水平方向及垂直方向的位置基準(zhǔn)的轉(zhuǎn)印 頭機(jī)體104和轉(zhuǎn)印板101。在轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104側(cè)設(shè)有向轉(zhuǎn)印板101側(cè)突出并兼 具吸引和噴射作用的多個(gè)噴嘴113a，在轉(zhuǎn)印板101側(cè)設(shè)有多個(gè)貫通孔(壓力 氣體噴射孔)101a,其與多個(gè)噴嘴113a位置對(duì)齊配置，具有對(duì)應(yīng)于噴嘴113a 的前端形-R的前端細(xì)孔形狀。另外，在該方法中設(shè)有吸附模式動(dòng)作，其通過(guò)使轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104側(cè)的 多個(gè)噴嘴113a的每一個(gè)起到吸引噴嘴的作用，使這些噴嘴113a的每一個(gè)與 轉(zhuǎn)印板101側(cè)的多個(gè)貫通孔101a嵌合，由此將轉(zhuǎn)印板101向轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104 吸附；浮起模式動(dòng)作，其通過(guò)使轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104側(cè)的多個(gè)噴嘴113a的每一個(gè)起到噴射噴嘴的作用，并通過(guò)將從這些噴嘴113a的每一個(gè)噴射出的壓力氣體 向與轉(zhuǎn)印板101側(cè)對(duì)應(yīng)的貫通孔101a的每一個(gè)吹入，將壓力氣體如附圖標(biāo)記 105所示地從轉(zhuǎn)印板101的下面?zhèn)却党觯罐D(zhuǎn)印板101浮起。而且，在該發(fā)明中，通過(guò)瞬間地進(jìn)行從吸附4莫式向浮起模式的切換及從 浮起模式向吸附模式的切換，不會(huì)使轉(zhuǎn)印板101向被轉(zhuǎn)印面102a落下、可在 兩模式之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。另外，在圖中，附圖標(biāo)記113是兼用作吸引和噴射的 管。根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于兼用于吸引和噴射的噴嘴U3a其自身起到保持功 能，因而無(wú)需另外設(shè)置轉(zhuǎn)印板保持架，由于噴嘴113a自身兼用于吸引和噴射， 因此，只要進(jìn)行來(lái)自外部的進(jìn)氣和排氣的切換控制，就可實(shí)現(xiàn)吸附模式和浮 起模式的切換。圖13是表示本發(fā)明第十實(shí)施方式的構(gòu)成圖。另外，在該第十實(shí)施方式中， 也是將本發(fā)明作為激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭的控制方法實(shí)施的，該轉(zhuǎn)印頭在如 下?tīng)顟B(tài)下支承轉(zhuǎn)印板，該轉(zhuǎn)印板在具有激光透射性的板狀小片的對(duì)物面上覆 蓋轉(zhuǎn)印材料薄膜而構(gòu)成，所述狀態(tài)為使轉(zhuǎn)印對(duì)象體的大致水平的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印材料薄膜之間保持微小的大致一定的間隙而使轉(zhuǎn)印材料薄膜與被轉(zhuǎn)印面 相對(duì)向的狀態(tài)。即，該控制方法具有轉(zhuǎn)印板保持架103,在其下面保持轉(zhuǎn)印板101，并 且向上面?zhèn)乳_(kāi)設(shè)有使轉(zhuǎn)印板101露出的轉(zhuǎn)印窗口 103a;轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104，其 具有轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a，并且賦予水平方向及垂直方向的位置基 準(zhǔn)。在轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104的內(nèi)周面，沿周向隔 開(kāi)適當(dāng)距離配置有多個(gè)向空間內(nèi)側(cè)傾^1"向下的兼用于吸引和噴射的噴嘴 114a。在收納于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a內(nèi)的轉(zhuǎn)印板保 持架103的內(nèi)部，形成有斜向下的壓力氣體通路103m，其連通配置于轉(zhuǎn)印板 保持架103外周面的氣體出入兼用孔103k和配置于轉(zhuǎn)印板保持架103下面的 氣體出入兼用孔1031之間。另外，在該控制方法中設(shè)置吸附模式動(dòng)作，其通過(guò)使轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104 側(cè)的多個(gè)噴嘴114a的每一個(gè)起到吸引噴嘴的作用，將轉(zhuǎn)印板101向轉(zhuǎn)印頭機(jī) 體104吸附；浮起模式動(dòng)作，其通過(guò)使轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104側(cè)的多個(gè)噴嘴114a的每一個(gè)作為噴射噴嘴發(fā)揮作用，并通過(guò)將從這些噴嘴114a的每一個(gè)噴射出的 壓力氣體向轉(zhuǎn)印板保持架103外周面的氣體出入兼用孔103k的每一個(gè)吹入， 將壓力氣體如附圖標(biāo)記105所示地從轉(zhuǎn)印板101的下面?zhèn)却党?，從而使轉(zhuǎn)印 板101浮起。而且，通過(guò)瞬間地進(jìn)行從吸附模式向浮起模式的切換及從浮起模式向吸 附模式的切換，不會(huì)使轉(zhuǎn)印板IOI向被轉(zhuǎn)印面102a上落下、可在兩模式之間 進(jìn)行切換。根據(jù)這樣的構(gòu)成，在將轉(zhuǎn)印板保持架103和轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104形成完全非 接觸的狀態(tài)下，可起到使轉(zhuǎn)印板保持架103浮起的作用，不會(huì)如在兩者間用 撓性管連接那樣地轉(zhuǎn)印板保持架103的上下移動(dòng)受到管影響的問(wèn)題。另外， 在該例中，轉(zhuǎn)印板101通過(guò)粘接劑保持在轉(zhuǎn)印板保持架103的下面。圖14是本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第十一實(shí)施方式的構(gòu)成圖。在該圖中，對(duì)與上 述各實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同 一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。該第十一實(shí)施方式的特征在于不使用任何管。因此，在該實(shí)施方式中， 不使用轉(zhuǎn)印板保持架。在轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104的外周部緣上，與其相對(duì)向而配置 有噴射壓力氣體的噴嘴115。另一方面，在與該噴嘴115相對(duì)向的轉(zhuǎn)印頭機(jī)體 104的外周面配置有壓力氣體接受口 104e。在壓力氣體接受口 104e與轉(zhuǎn)印板 101側(cè)的壓力氣體噴射口 101a之間形成有內(nèi)部通^各104f。因此，若使噴嘴115 噴射壓力氣體，則該壓力氣體通過(guò)轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104的內(nèi)部通路104f，從轉(zhuǎn)印 板101的壓力氣體噴射口 101a吹入到轉(zhuǎn)印板101與被轉(zhuǎn)印面102a之間。在 該例中，轉(zhuǎn)印頭104的下面保持有轉(zhuǎn)印板101,作為兩者的連接部件，采用聯(lián) 軸器116。因此，通過(guò)擰松螺釘而釋放聯(lián)軸器116,可進(jìn)行轉(zhuǎn)印板101的更換。根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于取消轉(zhuǎn)印板保持架，而用內(nèi)部通路104f連接噴嘴 115與轉(zhuǎn)印板101之間，因而不需要用于供給壓力氣體的管，能夠使構(gòu)造的精 簡(jiǎn)化并降低成本。圖15是表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第十二實(shí)施方式的構(gòu)成圖。而在該圖中， 對(duì)與上述各實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同 一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。該第十二實(shí)施方式的特征在于，在保持架支承機(jī)構(gòu)及轉(zhuǎn)印板浮起部件雙 方都追加了特征。即，在該第十二實(shí)施方式中，保持架支7 義機(jī)構(gòu)在缸體部件 104h的內(nèi)部上下滑動(dòng)自如地收納在下面保持轉(zhuǎn)印板101的起到活塞作用的活 塞部件(轉(zhuǎn)印板保持架)104k,所述缸體部件的上面開(kāi)口被透明窗板104g堵住，下面開(kāi)口敞開(kāi)，并且在下面開(kāi)口的內(nèi)周緣部形成有防活塞脫落用的環(huán)狀臺(tái)階部104i。另一方面，轉(zhuǎn)印板浮起部件如下構(gòu)成，通過(guò)管107將壓力氣體向缸體部 件104h的腔室104j內(nèi)導(dǎo)入，并且通過(guò)上下貫通起到活塞部件的作用的轉(zhuǎn)印板 保持架104k和轉(zhuǎn)印板101的層疊體的內(nèi)部通路101b,將該壓力氣體從轉(zhuǎn)印板 101的下面噴射出。根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于使轉(zhuǎn)印板101與活塞部件(轉(zhuǎn)印板保持架)104k 一同在缸體部件104h內(nèi)順暢地上下移動(dòng)，并且通過(guò)管107導(dǎo)入到腔室104j 內(nèi)的壓力氣體將活塞部件104k均勻地向下方按壓，因此，轉(zhuǎn)印板101保持水 平姿勢(shì)而順暢地上下移動(dòng)。另一方面，通過(guò)使活塞部件104k抵接于環(huán)狀臺(tái)階 部104i來(lái)限制轉(zhuǎn)印板101的下限。另外，通過(guò)透明的窗板104g進(jìn)行激光束的 照射。顯然，可以在活塞部件104k上設(shè)置使轉(zhuǎn)印板101露出的轉(zhuǎn)印窗。圖16是表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第十三實(shí)施方式的構(gòu)成圖。在該圖中，對(duì) 與上述各實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。該第十三實(shí)施方式的特征在于，保持架支承機(jī)構(gòu)的構(gòu)成包括多個(gè)(在 該例中為四個(gè))壓力氣體噴嘴116a，其在轉(zhuǎn)印板保持架收納空間104a的內(nèi)周 面，沿周向隔著適當(dāng)?shù)木嚯x配置；環(huán)狀槽103n,其設(shè)置在收納于轉(zhuǎn)印板保持 架收納用空間104a的轉(zhuǎn)印板保持架103的外周面，接受從多個(gè)壓力氣體噴嘴 116a噴射的壓力氣體。即，在該例中，轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間104a俯^L看具有正方形形狀， 與此相對(duì)應(yīng)，轉(zhuǎn)印板保持架103俯碎見(jiàn)看也形成正方形。而且，在與轉(zhuǎn)印板保 持架103的四邊分別相對(duì)向的空間104a內(nèi)的內(nèi)周面，配置噴射壓力氣體的噴 嘴116a，該噴嘴116a通過(guò)管116與壓力氣體源(未圖示)連接。另一方面， 在轉(zhuǎn)印板保持架103外周四個(gè)邊的每一邊，沿其外周而形成有四邊形環(huán)狀的 槽103n，由此，轉(zhuǎn)印板保持架103利用從四面經(jīng)噴嘴116a噴射的壓力氣體， 在空間104a的中心位置保持水平姿勢(shì)而被控制。另一方面，轉(zhuǎn)印板保持架103的上部形成稍大的直徑并形成凸緣部，該 凸緣部103h的下面與轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104側(cè)的防脫落臺(tái)階部104b抵接來(lái)限制下 限。此外，通過(guò)四條壓力氣體供給管107而向轉(zhuǎn)印頭103的上限供給壓力氣 體，這種被供給的壓力氣體通過(guò)內(nèi)部通路117向轉(zhuǎn)印板101的下面噴射。根據(jù)這樣的構(gòu)成，轉(zhuǎn)印板保持架103利用從其四面吹附的壓力氣體而被保持在空間104a的中心且維持在保持水平姿勢(shì)的狀態(tài)，并且，由于其升降移板101的升降可不受來(lái)自側(cè)面的管的約束而順暢地進(jìn)行。圖17是表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭的第十四實(shí)施方式的構(gòu)成圖。而在該圖中， 對(duì)與上述各實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記并省略i兌明。該實(shí)施方式的特征在于，通過(guò)在轉(zhuǎn)印板保持架103的下面形成沿轉(zhuǎn)印板 保持架的外周向下垂下的環(huán)狀突條121，在保持于轉(zhuǎn)印板保持架103的下面的 轉(zhuǎn)印板IOI的外周面與環(huán)狀突條121的內(nèi)周面之間形成作為壓力氣體滯留部 而起作用的空間123。此外，在該例中，通過(guò)設(shè)置真空管路118及壓力氣體管路120，形成轉(zhuǎn)印 板101的吸附及轉(zhuǎn)印板的浮起，并且，在這些管路的垂直部設(shè)置可滑動(dòng)的密 封部122，通過(guò)使管路的垂直部可稍微上下滑動(dòng)，構(gòu)成轉(zhuǎn)印板保持架103的支 承機(jī)構(gòu)。根據(jù)這樣的構(gòu)成，由于利用空間123的存在而形成壓力氣體滯留部，因 而利用這些環(huán)繞外周的壓力氣體滯留部，可提高轉(zhuǎn)印板101與被轉(zhuǎn)印面102a 之間的氣壓，進(jìn)而可更有效地實(shí)現(xiàn)使轉(zhuǎn)印板IOI浮起的作用。此外，由于通 過(guò)管路118、 120在俯視看的四個(gè)位置將轉(zhuǎn)印板保持架103保持在水平姿勢(shì)， 因而不需要其它用于保持水平姿勢(shì)的機(jī)構(gòu)，其優(yōu)點(diǎn)在于可簡(jiǎn)化構(gòu)成并降低成 本。最后，圖18是表示關(guān)于適用本發(fā)明的布線圖案修復(fù)裝置的主要部位(激 光轉(zhuǎn)印單元100)的更具體的立體外觀圖。布線圖案修復(fù)裝置(也稱作"激光 修復(fù)裝置")的構(gòu)成包含有用于使電路圖案面朝上來(lái)載置作為修復(fù)對(duì)象的液 晶顯示器及等離子顯示器等的載物臺(tái)(未圖示)；位于該載物臺(tái)的上方且可在 水平面內(nèi)的任意的XY坐標(biāo)進(jìn)行定位的XY定位機(jī)構(gòu)(未圖示)；由該XY定 位機(jī)構(gòu)懸掛支承的激光轉(zhuǎn)印單元100。激光轉(zhuǎn)印單元100的構(gòu)成包含通過(guò)上述XY定位機(jī)構(gòu)懸桂支承于載物 臺(tái)上的單元機(jī)框(未圖示)；相對(duì)該單元機(jī)框進(jìn)行安裝的三維定位機(jī)構(gòu)2「由 該三維定位機(jī)構(gòu)2進(jìn)行定位的轉(zhuǎn)印頭1;相對(duì)于單元機(jī)框升降自如地安裝的激 光照射光學(xué)系統(tǒng)3。三維定位^L構(gòu)2包含有X方向驅(qū)動(dòng)部21、支岸、X方向驅(qū)動(dòng)部21的Y方 向驅(qū)動(dòng)部22、支承Y方向驅(qū)動(dòng)部22的Z方向驅(qū)動(dòng)部23，支承轉(zhuǎn)印板保持架的轉(zhuǎn)印頭1被安裝于X方向驅(qū)動(dòng)部21。激光照射光學(xué)系統(tǒng)3包含將來(lái)自未圖示的上部激光源的激光束4從入 射口37導(dǎo)入，并且對(duì)其光束截面進(jìn)行整形，形成與作為修復(fù)對(duì)象的電路圖案 的線寬相對(duì)應(yīng)的細(xì)長(zhǎng)長(zhǎng)方形光束截面的光束整形機(jī)構(gòu)34;將被光束整形機(jī)構(gòu) 34進(jìn)行了整形的激光束垂直向下向光束分離器31引導(dǎo)的激光照射用光路C2; 將被光束分離器分離了的攝影光在水平方向向電子照相機(jī)37側(cè)引導(dǎo)的攝影用 光路C3;將經(jīng)由激光照射用光路C2照射來(lái)的激光束垂直向下向物鏡32引導(dǎo) 并且將來(lái)自物鏡32的攝影光垂直向上向光束分離器31引導(dǎo)的公用光路Cl。 另外，35是用于對(duì)照相機(jī)的視野進(jìn)行照明的LED照明器材。換言之，激光照射光學(xué)系統(tǒng)3構(gòu)成具有垂直的激光照射用光路C2、水平 的攝影用光路C3、使這些光路結(jié)合形成一體的垂直的公用光路C1的同軸反 射型光學(xué)系統(tǒng)。從物鏡32垂直向下射出的激光束，利用物鏡32的聚光作用，在射出光 路上的規(guī)定距離聚光而形成聚光點(diǎn)?；诩す庹丈涞谋∧まD(zhuǎn)印處理，在該射 出光路上的規(guī)定距離產(chǎn)生的激光聚光點(diǎn)進(jìn)行。另一方面，電子照相機(jī)37通常以使焦點(diǎn)與位于該激光聚光點(diǎn)的物體一致 的方式進(jìn)行對(duì)焦。此外，電子照相機(jī)37內(nèi)設(shè)有下述功能，即，根據(jù)影像信號(hào) 判斷并向外部輸出是否為焦點(diǎn)一致的狀態(tài)。激光照射光學(xué)系統(tǒng)3整體利用未 圖示的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的作用，沿Z方向?qū)к?8向垂直方向可上 下動(dòng)作任意距離。因此，若一邊使激光照射光學(xué)系統(tǒng)3整體上升或者下降， 一邊監(jiān)視電子 照相機(jī)37的焦點(diǎn)判斷輸出，則可知道聚光點(diǎn)是否與激光照射對(duì)象體一致。另 外，若一邊測(cè)量從某基準(zhǔn)高度下降的距離、 一邊監(jiān)視電子照相機(jī)37的焦點(diǎn)判 斷輸出，則可基于到焦點(diǎn)聚合時(shí)的下降距離測(cè)量值，知道從基準(zhǔn)高度到其激 光照射對(duì)象體的下降距離。如后所述，在該實(shí)施方式中，通過(guò)利用上述的激 光照射光學(xué)系統(tǒng)3的作用，實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)印板的高度方向定位控制。-另外，在圖-18中，附圖標(biāo)記36是將多個(gè)物鏡支承在圓周上的旋轉(zhuǎn)盤(pán)， 33是用于旋轉(zhuǎn)盤(pán)32的轉(zhuǎn)角控制的回轉(zhuǎn)式編碼器，這樣就可進(jìn)行物鏡的自動(dòng)更 換。圖19是轉(zhuǎn)印頭的外觀立體圖，圖20是轉(zhuǎn)印頭的分解立體圖，圖21是上 下翻轉(zhuǎn)狀態(tài)的外觀立體圖，圖22是轉(zhuǎn)印頭的平面圖。如上述各圖所示，轉(zhuǎn)印頭1以轉(zhuǎn)印頭機(jī)體11為主體而構(gòu)成。該轉(zhuǎn)印頭機(jī)體11具有用于相對(duì)X方向驅(qū)動(dòng)部21安裝的安裝部lla、和用于支承轉(zhuǎn)印板 保持架13的支承部llb。在支承部llb的中央形成有空間llc，在該空間內(nèi)收納有保持架13。為 了在空間llc內(nèi)支承保持架13,在該例中使用板簧12。板簧12具有大致正 方形，在其中央形成有開(kāi)口 12a,并且在開(kāi)口 12a的外周形成有沖孔12b、 12c 及螺紋孔12d、 12e。利用這些沖孔12b、 12c賦予局部的彈性，作為本領(lǐng)域技 術(shù)人員是容易理解的?？赏ㄟ^(guò)板簧12側(cè)的螺紋孔12e和保持架13側(cè)的螺紋孔13b進(jìn)行板簧12 和保持架13的結(jié)合。另外，可通過(guò)板簧12側(cè)的另一螺紋孔12d和支承部lib 側(cè)的螺紋孔12d進(jìn)行板簧12和支承部lib的結(jié)合。這樣，保持架13在空間llc內(nèi)限制向水平方向的移動(dòng)且在板簧12的彈 性限度內(nèi)允許向上下方向的移動(dòng)。在保持架13的外周面上的兩個(gè)位置設(shè)有壓力氣體入口孔(未圖示)，在 其下面與轉(zhuǎn)印板上的壓力氣體噴射孔對(duì)齊而環(huán)狀排列配置有多個(gè)壓力氣體出口孑L。在這些入口孔與出口孔之間形成有圓環(huán)狀的內(nèi)部通路。連接器15e、 15f 被固定在保持架13側(cè)的壓力氣體入口。在設(shè)于支承部llb的空間llc的內(nèi)周面固定有兩個(gè)連接器15c、 15d,在 支承部llb的外周面固定有兩個(gè)連接器15a、 15b。在此，使連接器15a和連 接器15c連通，使連接器15b和連接器15d連通。連接器15e和連接器15c 經(jīng)由撓性管16a連接，連接器15f和連接器15d同樣地經(jīng)由撓性管16b連接。 由于連接器15a和連接器15b上分別形成有管連接用的連軸器，因此，通過(guò) 在此插入撓性管，可從支承部lib向保持架13的內(nèi)部供給壓力氣體。保持架13的中央部開(kāi)設(shè)有轉(zhuǎn)印窗13a,使保持于下面?zhèn)鹊霓D(zhuǎn)印板14從該 轉(zhuǎn)印窗口 13a露出。在該例中，轉(zhuǎn)印板14由粘接劑固定在保持架13的下面。 在轉(zhuǎn)印板14的背面，沿著圓周隔開(kāi)適當(dāng)間隔排列有多個(gè)噴射口 14a。若從連 接器15a、 15b供給壓力氣體,則這種被供給的壓力氣體從轉(zhuǎn)印板14背面?zhèn)?的噴射口 14a向轉(zhuǎn)印對(duì)象體噴射。由此，使轉(zhuǎn)印板14與保持架13—同浮起。在利用上述構(gòu)成的布線圖案修復(fù)裝置進(jìn)行修復(fù)作業(yè)時(shí)，首先，啟動(dòng)未圖 示的XY定位機(jī)構(gòu)，使激光轉(zhuǎn)印單元100所包含的物鏡32定位在修復(fù)部位的 正上方。這種定位一并使用基于修復(fù)部位的XY坐標(biāo)和物鏡32的光軸的XY坐標(biāo)的開(kāi)環(huán)的定位控制、以及對(duì)電子照相機(jī)37的影像進(jìn)行圖像處理而得到的修復(fù)部位的位置和電子照相機(jī)視野內(nèi)的基準(zhǔn)點(diǎn)之間的距離進(jìn)行測(cè)量的伺服回路的定位控制。若將物鏡32的光軸定位于修復(fù)部位的正上方，則接著啟動(dòng)三維定位機(jī)構(gòu) 2，在使轉(zhuǎn)印頭1從遮蔽物鏡32的光軸的重合位置避讓到不遮蔽該光軸的避 讓位置后， 一邊使激光照射光學(xué)系統(tǒng)3k整體下降， 一邊監(jiān)視電子照相機(jī)37 的焦點(diǎn)判斷輸出，由直至焦點(diǎn)重合的時(shí)刻的下降距離，獲得自規(guī)定的基準(zhǔn)高 度至修復(fù)對(duì)象體上面的距離(A)。然后，再次啟動(dòng)三維定位機(jī)構(gòu)，在使轉(zhuǎn)印頭1從不遮蔽物鏡32的光軸的 避讓位置返回到遮蔽物鏡32的光軸的重合位置之后，與先前同樣地， 一邊使 激光照射光學(xué)系統(tǒng)3的整體下降， 一邊監(jiān)視電子照相機(jī)37的焦點(diǎn)判斷輸出， 由直至焦點(diǎn)重合的時(shí)刻的下降距離，獲得自規(guī)定的基準(zhǔn)高度至修復(fù)對(duì)象體上 面的距離(B)。然后，基于距離(A)和距離(B)，計(jì)算出轉(zhuǎn)印板與修復(fù)對(duì)象體之間的 距離(X) { (A) - (B) }，然后，以自修復(fù)對(duì)象體表面至轉(zhuǎn)印板101的高 度(H1:約5mm左右)作為第一目標(biāo)高度，通過(guò)開(kāi)環(huán)控制使轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104 下降至此的下降距離(X-Hl)。若通過(guò)開(kāi)環(huán)控制使轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104下降下降 距離(X-Hl)，則接著以自修復(fù)對(duì)象體表面至轉(zhuǎn)印板101的高度(H2:約 100pm左右)作為第二目標(biāo)高度，通過(guò)開(kāi)環(huán)控制使轉(zhuǎn)印頭機(jī)頭104下降至此 的下降距離(X-HI -H2)。此時(shí)，由于第二目標(biāo)高度H2被設(shè)定在使基于壓力氣體噴射的自力浮起作 用開(kāi)始起作用的高度范圍內(nèi)，因此，在轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104下降至第二目標(biāo)高度 (H2)的過(guò)程中，使轉(zhuǎn)印板保持架103相對(duì)于轉(zhuǎn)印頭機(jī)體104自力浮起。因 此，即使在用于接近第一及第二目標(biāo)高度的開(kāi)環(huán)控制上多少有些誤差、或者 因修復(fù)對(duì)象體側(cè)的原因而使表面高度變動(dòng)，在使轉(zhuǎn)印頭1下降的過(guò)程中，都 能夠可靠地避免轉(zhuǎn)印板101與修復(fù)對(duì)象體沖撞而損傷表面的問(wèn)題，通過(guò)基于 一壓力氣體噴射的自力浮起作用，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定壓力氣體的壓力乃至流量，可將 轉(zhuǎn)印板101與修復(fù)對(duì)象體之間的距離保持在最佳范圍(例如，5~20(im)。然后，通過(guò)驅(qū)動(dòng)未圖示的激光源，使激光束進(jìn)行一次照射，則與照射光 點(diǎn)(例如線上)相對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)印材料的薄膜就被轉(zhuǎn)印到修復(fù)對(duì)象部位，若有必 要，保持其接近距離使轉(zhuǎn)印頭l按規(guī)定間隔向水平方向移動(dòng)，重復(fù)數(shù)次上述的一次照射。于是，在修復(fù)對(duì)象部位層疊有數(shù)層轉(zhuǎn)印材料的薄膜，得到需要的層疊厚 度。在這種向水平方向的移動(dòng)中，由于可進(jìn)行氮?dú)獾葔毫怏w的噴射，因此， 同時(shí)起到轉(zhuǎn)印部位的冷卻作用和間隙保持作用，將轉(zhuǎn)印板不經(jīng)意與修復(fù)對(duì)象 體發(fā)生沖撞而將其損壞這樣的事故防患于未然。這樣，根據(jù)本發(fā)明的轉(zhuǎn)印頭l，由于通過(guò)噴射壓力氣體，可將轉(zhuǎn)印板101 與轉(zhuǎn)印對(duì)象體之間的距離通過(guò)對(duì)合(向力、5合b甘)而保持在微細(xì)距離，因此，對(duì)于通過(guò)Z方向驅(qū)動(dòng)部23的電動(dòng)控制，只要進(jìn)行使轉(zhuǎn)印板靠近到轉(zhuǎn)印對(duì) 象體的大致的控制即可，然后，由于起到基于氣體噴射的對(duì)合的浮起作用， 可使轉(zhuǎn)印板安全地靠近轉(zhuǎn)印對(duì)象體，因此，即使在作為修復(fù)對(duì)象的顯示裝置 等上存在多處缺陷部位的情況下，也可依次高速移動(dòng)到這些部位，能夠重復(fù) 使轉(zhuǎn)印頭1下降的處理，具有可大幅度縮短這種作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍間隔時(shí)間的 優(yōu)點(diǎn)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明，在以激光修復(fù)裝置為代表的這種激光轉(zhuǎn)印裝置中，具有可 總將轉(zhuǎn)印材料的薄膜與轉(zhuǎn)印對(duì)象體的距離保持在微米級(jí)(例如，5-20pm)的優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求
1、一種激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，用于在下述狀態(tài)支承轉(zhuǎn)印板，該轉(zhuǎn)印板在具有激光透射性的板狀小片的對(duì)物面上粘附轉(zhuǎn)印材料薄膜而構(gòu)成，所述狀態(tài)為使轉(zhuǎn)印對(duì)象體的大致水平的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印材料薄膜之間保持微小的大致一定的間隔而使轉(zhuǎn)印材料薄膜與被轉(zhuǎn)印面相對(duì)向，其特征在于，具有轉(zhuǎn)印板保持架，在其下面保持所述轉(zhuǎn)印板，并且向上面?zhèn)乳_(kāi)設(shè)有使所述轉(zhuǎn)印板露出的轉(zhuǎn)印窗口；轉(zhuǎn)印頭機(jī)體，其具有所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間，并且賦予水平方向及垂直方向的位置基準(zhǔn)；保持架支承機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體、以可上下移動(dòng)且不可水平移動(dòng)的方式來(lái)支承收納在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間中的轉(zhuǎn)印板保持架；轉(zhuǎn)印板浮起部件，通過(guò)向所述轉(zhuǎn)印板保持架的下方噴射壓力氣體，使所述轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一同、相對(duì)于所述被轉(zhuǎn)印面浮起。
2、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 所述保持架支承機(jī)構(gòu)由板簧構(gòu)成，該板簧以所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周緣部為固定端、以收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的轉(zhuǎn)印板保 持架的外周緣部為自由端，以所述轉(zhuǎn)印板保持架相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體可上 下移動(dòng)的方式支承于所述轉(zhuǎn)印板保持架與所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體之間。
3、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于，所述保持架支承機(jī)構(gòu)由鋼球?qū)蚣?gòu)成，該鋼球?qū)蚣O(shè)于所述轉(zhuǎn)印板 保持架收納用空間的內(nèi)周面與收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的轉(zhuǎn)印 板保持架的外周面之間，以所述轉(zhuǎn)印板保持架相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體可上下 移動(dòng)的方式支承在所述轉(zhuǎn)印板保持架與所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體之間。
4、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 所述保持架支承機(jī)構(gòu)由壓縮彈簧構(gòu)成，該壓縮彈簧設(shè)于所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面與收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的轉(zhuǎn)印板保 持架的外周面之間，以所述轉(zhuǎn)印板保持架相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體可上下移動(dòng) 的方式彈性地按莊支承在所述轉(zhuǎn)印板保持架與所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體之間。
5、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于，所述保持架支承機(jī)構(gòu)由樹(shù)脂軸承構(gòu)成，該樹(shù)脂軸承設(shè)于所述轉(zhuǎn)印板保持 架收納用空間的內(nèi)周面與收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的轉(zhuǎn)印板保 持架的外周面之間，以所述轉(zhuǎn)印板保持架相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體可上下移動(dòng) 的方式可滑動(dòng)地支承在所述轉(zhuǎn)印板保持架與所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體之間。
6、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 所述保持架支承機(jī)構(gòu)由聯(lián)軸機(jī)構(gòu)構(gòu)成，使所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面的內(nèi)徑與收納在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的轉(zhuǎn)印板保持架的 外周面的外徑大致相同，所述聯(lián)軸機(jī)構(gòu)將所述轉(zhuǎn)印板保持架和所述轉(zhuǎn)印板保 持架收納用空間以上下自如滑動(dòng)的方式嵌合支承。
7、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 所述保持架支承機(jī)構(gòu)包括多個(gè)壓力氣體噴嘴，其沿周向隔開(kāi)適當(dāng)距離而配置在所述轉(zhuǎn)印板保持架 收納用空間的內(nèi)周面；環(huán)狀槽，其設(shè)置在所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間中收納的轉(zhuǎn)印板保持架的外周面，接受從所述多個(gè)壓力氣體噴嘴噴射的壓力氣體。
8、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 所述轉(zhuǎn)印板浮起部件包括壓力氣體供給部件，其用于將來(lái)自規(guī)定壓力氣體源的壓力氣體向所述轉(zhuǎn) 印板保持架的壓力氣體入口孔供給；保持架內(nèi)壓力氣體通路，其將所述轉(zhuǎn)印板保持架的壓力氣體入口孔和所 述轉(zhuǎn)印板保持架下面的多個(gè)壓力氣體出口孔連通；多個(gè)壓力氣體噴射孔，其位于所述轉(zhuǎn)印板上，與所述轉(zhuǎn)印板保持架下面 的多個(gè)壓力氣體出口孔位置對(duì)齊，由此， 體通路、使所述轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一同、相對(duì)于所述被轉(zhuǎn)印面浮起。
9、 如權(quán)利要求8所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于，壓力氣體入口孔之間的撓性管。
10、如權(quán)利要求8所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 所述壓力氣體供給部件是位于所述轉(zhuǎn)印板收納用空間的內(nèi)周面的壓力氣體噴嘴，以非接觸的方式將壓力氣體導(dǎo)入位于所述轉(zhuǎn)印板保持架的外周面的壓力氣體入口孑L。
11、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 所述轉(zhuǎn)印板浮起部件在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周緣部下面，具有噴射來(lái)自壓力氣體源的壓力氣體的多個(gè)壓力氣體噴 射孔，由此，通過(guò)從所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周緣 部下面的所述壓力氣體噴射孔向所述轉(zhuǎn)印板保持架的下方進(jìn)行噴射，使所述 轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一同相對(duì)于所述被轉(zhuǎn)印面浮起。
12、 如權(quán)利要求11所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周緣部上面，具有噴射來(lái)自壓力氣體源的壓力氣體的多個(gè)壓力氣體噴射孔，周向半徑方向外側(cè)突出的凸緣部的下面進(jìn)行噴射，輔助所述轉(zhuǎn)印板保持架的 浮起作用。
13、 如權(quán)利要求11所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 在所述轉(zhuǎn)印板保持架的下面形成有沿所述轉(zhuǎn)印板保持架的外周向下方垂下的環(huán)狀突條，由此，在保持于所述轉(zhuǎn)印板保持架下面的轉(zhuǎn)印板的外周面與所述環(huán)狀突 條的內(nèi)周面之間，具有起到壓力氣體滯留部作用的空間。
14、 如權(quán)利要求1所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征在于， 所述保持架支承機(jī)構(gòu)通過(guò)在缸體部件的內(nèi)部以上下自如滑動(dòng)的方式收納起到活塞作用的轉(zhuǎn)印板保持架而構(gòu)成，所述缸體部件的上面開(kāi)口被透明窗 板堵住，下面開(kāi)口敞開(kāi)，并且在下面開(kāi)口的內(nèi)周緣部形成有防止活塞脫落用 的環(huán)狀臺(tái)階部，所述轉(zhuǎn)印板保持架在下面保持有轉(zhuǎn)印板，所述轉(zhuǎn)印板浮起部件如下構(gòu)成，即，將壓力氣體導(dǎo)入所述缸體部件的腔 體內(nèi)，并且使該壓力氣體上下貫通所述起到活塞部件的作用的轉(zhuǎn)印板保持架 和轉(zhuǎn)印板的層疊體，然后，將該壓力氣體從轉(zhuǎn)印板的下面噴射出。
15、 一種激光轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印頭的控制方法，該轉(zhuǎn)印頭用于在下述狀態(tài)支 承轉(zhuǎn)印板，該轉(zhuǎn)印板在具有激光透射性的板狀小片的對(duì)物面上粘附轉(zhuǎn)印材料 薄膜而構(gòu)成，所述狀態(tài)為使轉(zhuǎn)印對(duì)象體的大致水平的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印材料薄膜之間保持微小的大致一定的間隔而使轉(zhuǎn)印材料薄膜與被轉(zhuǎn)印面相對(duì)向，該轉(zhuǎn)印頭具有轉(zhuǎn)印板保持架，在其下面保持所述轉(zhuǎn)印板，并且向上面?zhèn)乳_(kāi)設(shè)有使所述 轉(zhuǎn)印板露出的轉(zhuǎn)印窗口；轉(zhuǎn)印頭機(jī)體，其具有所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間，并且賦予水平方向 及垂直方向的位置基準(zhǔn)，在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間的內(nèi)周面，沿周向隔開(kāi)適 當(dāng)距離而設(shè)有多個(gè)噴嘴，該噴嘴兼具向所述空間的內(nèi)側(cè)傾斜向下地吸引和噴 射的作用，在收納在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的轉(zhuǎn)印板保持架收納用空間中的轉(zhuǎn)印板保持 架的內(nèi)部，形成有斜向下的壓力氣體通路，該壓力氣體通路將配置于所述轉(zhuǎn) 印板保持架外周面的氣體出入兼用孔和配置于所述轉(zhuǎn)印板保持架下面的氣 體出入兼用孔之間連通，該激光轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印頭的控制方法的特征在于，具有 吸附模式動(dòng)作，通過(guò)使所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)的多個(gè)噴嘴的每一個(gè)起到吸引 噴嘴的作用，使所述轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一同向所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體吸 附；浮起模式動(dòng)作，通過(guò)使所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)的多個(gè)噴嘴的每一個(gè)起到噴射 噴嘴的作用，將從各所述噴嘴噴射出的壓力氣體導(dǎo)入所述轉(zhuǎn)印板保持架外周 面的各氣體出入兼用孔，使壓力氣體從所述轉(zhuǎn)印板的下面?zhèn)葒娚涑觯瑥亩?所述轉(zhuǎn)印板浮起，通過(guò)在瞬間進(jìn)行從所述吸附模式向浮起模式的切換、及從所述浮起模式 向所述吸附模式的切換，可進(jìn)行兩模式之間的轉(zhuǎn)換并無(wú)需使所述轉(zhuǎn)印板落 下。
16、 如權(quán)利要求15所述的激光轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印頭的控制方法，其特征在 于，作為用于將所述轉(zhuǎn)印板保持于所述轉(zhuǎn)印板保持架的方法，采用粘接劑。
17、 一種激光轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印頭的控制方法，該轉(zhuǎn)印頭用于在下述狀態(tài)支 承轉(zhuǎn)印板，該轉(zhuǎn)印板在具有激光透射性的板狀小片的對(duì)物面上粘附轉(zhuǎn)印材料 薄膜而構(gòu)成，所述狀態(tài)為使轉(zhuǎn)印對(duì)象體的大致水平的被轉(zhuǎn)印面與轉(zhuǎn)印材料薄膜之間保持微小的大致一定的間隔而使轉(zhuǎn)印材料薄膜與被轉(zhuǎn)印面相對(duì)向，該 轉(zhuǎn)印頭具有賦予水平方向及垂直方向的位置基準(zhǔn)的轉(zhuǎn)印頭機(jī)體、以及轉(zhuǎn)印板，并且，在所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)設(shè)有向轉(zhuǎn)印板側(cè)突出、并兼具吸引和噴射作 用的多個(gè)噴嘴，在所述轉(zhuǎn)印板側(cè)設(shè)置有多個(gè)貫通孔，其與所述多個(gè)噴嘴位置對(duì)齊，并且 具有對(duì)應(yīng)于噴嘴的前端形狀的孔形狀，所述激光轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印頭的控制方法的特征在于，具有 吸附模式動(dòng)作，通過(guò)使所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)的多個(gè)噴嘴的每一個(gè)起到吸引噴嘴的作用，使這些噴嘴的每一個(gè)嵌合于所述轉(zhuǎn)印板側(cè)的多個(gè)貫通孔中，從而將所迷轉(zhuǎn)印板向所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體吸附；浮起模式動(dòng)作，通過(guò)使所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體側(cè)的多個(gè)噴嘴的每一個(gè)起到噴射噴嘴的作用，將從這些噴嘴的每一個(gè)噴射出的壓力氣體導(dǎo)入所述轉(zhuǎn)印板側(cè)的對(duì)應(yīng)的各個(gè)貫通孔，使壓力氣體從所述轉(zhuǎn)印板的下面?zhèn)葒娚涑?，從而使所述轉(zhuǎn)印板浮起，通過(guò)瞬間地進(jìn)行從所述吸附模式向浮起模式的切換、及從所述浮起模式 向所述吸附模式的切換，可進(jìn)行兩模式之間的轉(zhuǎn)換并無(wú)需使所述轉(zhuǎn)印板落 下。
18、 如權(quán)利要求1-14中任一項(xiàng)所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征 在于，作為用于使所述轉(zhuǎn)印板保持于所述轉(zhuǎn)印板保持架的方法，采用粘接劑。
19、 如權(quán)利要求1 ~ 14中任一項(xiàng)所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征 在于，作為用于使所述轉(zhuǎn)印板保持于所述轉(zhuǎn)印板保持架的部件，采用真空吸 附部件。
20、 如權(quán)利要求1 14中任一項(xiàng)所述的激光轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印頭，其特征 在于，作為用于使所述轉(zhuǎn)印板保持于所述轉(zhuǎn)印板保持架的裝置，采用聯(lián)軸機(jī) 構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種以激光修復(fù)裝置為代表的激光轉(zhuǎn)印裝置中，可將轉(zhuǎn)印材料的薄膜和轉(zhuǎn)印對(duì)象體的距離持續(xù)保持在微米級(jí)(例如，5～20μm)的激光轉(zhuǎn)印裝置的激光頭。其具有開(kāi)設(shè)有下面保持有轉(zhuǎn)印板，且使轉(zhuǎn)印板向上面?zhèn)嚷冻龅霓D(zhuǎn)印窗口的轉(zhuǎn)印板保持架、具有所述轉(zhuǎn)印板保持架收納用的空間，同時(shí)提供水平方向及垂直方向的位置基準(zhǔn)的轉(zhuǎn)印頭機(jī)體、相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體，以上下可動(dòng)且水平不可動(dòng)的形式來(lái)支承收納于所述轉(zhuǎn)印頭機(jī)體的轉(zhuǎn)印板保持架收納用的空間內(nèi)的轉(zhuǎn)印板保持架的保持架支承機(jī)構(gòu)、通過(guò)向所述轉(zhuǎn)印板的下方噴射壓力氣體，使所述轉(zhuǎn)印板與所述轉(zhuǎn)印板保持架一起相對(duì)于所述被轉(zhuǎn)印面浮出的轉(zhuǎn)印板浮起裝置。
文檔編號(hào)B23K26/00GK101276072SQ200810088460
公開(kāi)日2008年10月1日 申請(qǐng)日期2008年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月29日
發(fā)明者井上勇輝, 和田竹彥, 竹澤佳史, 駒井良男 申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社