專(zhuān)利名稱(chēng)：激光加工裝置、定位裝置、觀察裝置及觀察方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過(guò)觀察像能夠?qū)υO(shè)置在透明或半透明的基板上的器件圖案(device pattern)進(jìn)行明確識(shí)別的技術(shù)。
技術(shù)背景下述方法已被公知，即為了使用藍(lán)寶石等硬度高的脆性材料在基板上形 成短波長(zhǎng)LD (激光二極管)或LED (發(fā)光二極管)等的器件圖案，而通過(guò) 照射脈沖激光來(lái)形成用于分割的起點(diǎn)的方法(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)O 。在通過(guò)專(zhuān)利文獻(xiàn)1公開(kāi)的裝置或其他裝置形成用于將基板分割為器件芯 片單位的分割起點(diǎn)時(shí)，使用由CCD (Charge coupled device:電荷耦合器件)攝像機(jī)等構(gòu)成的觀察光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)在基板上設(shè)置的規(guī)定的位置基準(zhǔn)物進(jìn)行觀 察及攝像，并基于所得攝像數(shù)據(jù)，以特定的該位置基準(zhǔn)物的坐標(biāo)為基礎(chǔ)，通 過(guò)運(yùn)算處理來(lái)確定分割位置。另外，作為位置基準(zhǔn)物，可以使用預(yù)先形成的 定位用標(biāo)記等，有時(shí)也可以由器件圖案自身兼作位置基準(zhǔn)物。分割位置的確定精度取決于通過(guò)觀察光學(xué)系統(tǒng)得到的位置基準(zhǔn)物的像的 狀態(tài)。因此，在使用光學(xué)觀察系進(jìn)行觀察及攝像時(shí)，需要能夠清楚地獲取位 置基準(zhǔn)物的像，并且使位置基準(zhǔn)物與附著于基板的異物等明確地區(qū)別開(kāi)。因 此在使用觀察光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行觀察時(shí)，通常同時(shí)要對(duì)觀察面照射基于同軸照明 (明視場(chǎng)照明)和斜射照明(暗視場(chǎng)照明)的照明光。專(zhuān)利文獻(xiàn)h國(guó)際公開(kāi)第2006/062017號(hào)小冊(cè)子(pamphlet) 例如需要在規(guī)定位置對(duì)藍(lán)寶石等的透明或半透明的基板(以下稱(chēng)其為"透 明基板")進(jìn)行分割等情況時(shí)，需要對(duì)透明基板上的任意位置進(jìn)行準(zhǔn)確地確 定。這種情況下，通常需要首先確定在透明基板上形成的不透明部分的配置 位置和配置狀態(tài)。例如在將所形成的金屬薄膜等的不透明的器件圖案分割為 各個(gè)器件單位的情況下，則要在形成器件圖案?jìng)?cè)的主面上粘貼規(guī)定的粘接板， 而透明基板的不形成器件圖案?jìng)?cè)(未粘貼粘接板)的主面，則朝向設(shè)有加工 單元和觀察光學(xué)系統(tǒng)等的一側(cè)固定。此時(shí)，通過(guò)觀察光學(xué)系統(tǒng)能夠透過(guò)透明基板從背面?zhèn)扔^察器件圖案。此時(shí)，如果在粘接板和透明基板之間的界面部分，以及器件圖案的端部 部分等上存在由于粘接板密封性缺陷而產(chǎn)生的氣泡，由于該氣泡所引起的漫反射就會(huì)導(dǎo)致有時(shí)難以識(shí)別該氣泡和器件圖案，無(wú)法根據(jù)觀察像(拍攝圖像) 來(lái)準(zhǔn)確地確定器件圖案的形狀。另外，如果在器件圖案和透明基板之間，設(shè)有用于使觀察用照明光擴(kuò)散 的擴(kuò)散層，即，在透明基板上形成有作為基底層的擴(kuò)散層，并且在該擴(kuò)散層 上設(shè)有器件圖案的情況下，觀察光學(xué)系統(tǒng)不僅經(jīng)由透明基板還需在經(jīng)由擴(kuò)散 層的狀態(tài)下來(lái)觀察器件圖案，因而可能導(dǎo)致無(wú)法獲取正確的像。為了提高光 學(xué)器件的光取出效率，通過(guò)在透明基板的表面上實(shí)施壓花處理所形成的層等 也相當(dāng)于擴(kuò)散層。圖9A、圖9B用于對(duì)此時(shí)所得的觀察像進(jìn)行說(shuō)明。另外，這里如圖9A 所示，例示了使用觀察單元106進(jìn)行觀察的實(shí)例，其中層疊體100的結(jié)構(gòu)是 在透明基板101的一個(gè)主面上設(shè)有作為基底層擴(kuò)散層102，并且形成有器件 圖案103，在形成有器件圖案103 —側(cè)的主面上粘貼粘接板104，并且將該粘 接板104側(cè)吸附固定于承載臺(tái)107。并且，在粘接板104和透明基板101之 間的界面，以及器件圖案103的端部部分存在氣泡105。如圖9A所示，向透明基板101照射落射照明光L1001，如果在該狀態(tài)下 使用觀察單元106進(jìn)行觀察，則照明光在擴(kuò)散層102被吸收或反射。因此， 如圖5 (b)所示，觀察像I1001成為整體明亮的像，雖然能夠抵消氣泡的影 響，但是器件圖案像IPIOOI不清楚。作為解決該問(wèn)題的方法，可以考慮使用透射照明系統(tǒng)來(lái)觀察器件圖案的 方式，即以透明的石英構(gòu)成承載臺(tái)，從承載臺(tái)下側(cè)經(jīng)由承載臺(tái)，對(duì)粘貼在 粘接板上的基板進(jìn)行同軸照明(透射照明)。圖IOA、圖IOB用于對(duì)此時(shí)所得觀察像進(jìn)行說(shuō)明。如圖IOA所示，從觀 察單元106是指，隔著石英制透明的承載臺(tái)207，從相反側(cè)的空間，對(duì)透明 基板101照射透射照明光L1002,如果在該狀態(tài)下通過(guò)觀察單元106進(jìn)行觀 察，則雖然對(duì)器件圖案103部分的照明無(wú)法透射，但是由于在該部分之外的 部分可以透射，因此可以通過(guò)觀察單元106觀察該透過(guò)光L1002t產(chǎn)生的像。 具體而言，如圖10B所示，觀察像11002，盡管伴隨著由粘接板104或擴(kuò)散層102所引起的吸收和擴(kuò)散(漫反射)而產(chǎn)生光衰減，但整體上能夠得到比 較明亮的像。但是，對(duì)于照明光無(wú)法透射的器件圖案103部分，能夠觀察到 暗的(黑色的)器件圖案像IP1002。因此，對(duì)于器件圖案103自身，能夠以 相對(duì)于透明基板101較高的對(duì)比度來(lái)進(jìn)行觀察識(shí)別。但是如果存在氣泡105， 則會(huì)導(dǎo)致照明光折射，對(duì)應(yīng)于氣泡105的部分的像IB1002在觀察中與周?chē)?比要暗。如果為了使該氣泡部分變得明亮而提高照射光量，則會(huì)在器件圖案 103部分也發(fā)生透射而導(dǎo)致對(duì)比度降低。因此仍然存在難以在觀察像11002 中清楚地識(shí)別氣泡105和器件圖案103的問(wèn)題。并且在這種透射照明的情況下，因基板的批組(lot)之間的透射度不均， 而由于對(duì)器件圖案進(jìn)行觀察時(shí)的對(duì)比度(觀察攝像的器件圖案的像的清晰度) 因每個(gè)透明基板不同，導(dǎo)致分割位置的確定精度不穩(wěn)定。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明針對(duì)上述問(wèn)題而做出的，目的在于提供一種能夠在觀察像中對(duì)在 透明基板上形成的不透明的器件圖案進(jìn)行正確識(shí)別的觀察方法、使用該觀察 方法而能夠準(zhǔn)確確定加工位置的觀察裝置，以及作為該觀察裝置的應(yīng)用的激 光加工裝置。為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案1提供一種激光加工裝置，具有 用于觀察在作為被加工物的透明基板的一側(cè)主面形成的不透明部分的觀察裝 置，其特征在于，上述觀察裝置具有支撐上述透明基板的支撐單元，照射 同軸照明光的同軸照明光源，照射斜射照明光的斜射照明光源，以及從上述透明基板的第一主面一側(cè)觀察上述透明基板的觀察單元；其中，上述支撐單元以通過(guò)上述觀察單元能夠觀察的方式支撐上述透明基板，上述同軸照明光 源和上述斜射光源從第二主面一側(cè)對(duì)上述透明基板分別照射上述同軸照明光 和上述斜射照明光，該第二主面是上述透明基板的位于上述第一主面的相反 一側(cè)的主面。本發(fā)明的技術(shù)方案2是如技術(shù)方案1所述的激光加工裝置，其特征在于， 在上述透明基板上，在對(duì)上述透明基板重疊地照射上述同軸照明光和上述斜 射照明光的狀態(tài)下，上述觀察單元能夠獲取上述透明基板的觀察像。本發(fā)明的技術(shù)方案3是如技術(shù)方案1所述的激光加工裝置，其特征在于，還具有獲取第一觀察像和第二觀察像的合成圖像的合成單元，其中，該第一 觀察像是指，在向上述透明基板照射上述同軸照明光時(shí)，通過(guò)上述攝像單元 能夠觀察到的像，該第二觀察像是指，在向上述透明基板照射上述斜射照明 光時(shí)，通過(guò)上述攝像單元能夠觀察到的像。本發(fā)明的技術(shù)方案4提供一種定位裝置，具有用于觀察在透明基板的一 側(cè)主面形成的不透明部分的觀察裝置，其特征在于，上述觀察裝置具有支 撐上述透明基板的支撐單元，照射同軸照明光的同軸照明光源，照射斜射照 明光的斜射照明光源，以及從上述透明基板的第一主面一側(cè)觀察上述透明基 板的觀察單元；其中，上述支撐單元以通過(guò)上述觀察單元能夠觀察的方式支 撐上述透明基板，上述同軸照明光源和上述斜射光源從第二主面一側(cè)對(duì)上述 透明基板分別照射上述同軸照明光和上述斜射照明光，該第二主面是上述透 明基板的位于上述第一主面的相反一側(cè)的主面。本發(fā)明的技術(shù)方案5是如技術(shù)方案4所述的定位裝置，其特征在于，在 上述透明基板上，在對(duì)上述透明基板重疊地照射上述同軸照明光和上述斜射 照明光的狀態(tài)下，上述觀察單元能夠獲取上述透明基板的觀察像。本發(fā)明的技術(shù)方案6是如技術(shù)方案4所述的定位裝置，其特征在于，還 具有獲取第一觀察像和第二觀察像的合成圖像的合成單元，其中，該第一觀 察像是指，在向上述透明基板照射上述同軸照明光時(shí)，通過(guò)上述攝像單元能 夠觀察到的像，該第二觀察像是指，在向上述透明基板照射上述斜射照明光 時(shí)，通過(guò)上述攝像單元能夠觀察到的像。本發(fā)明的技術(shù)方案7提供一種觀察裝置，用于觀察在透明基板的一側(cè)主 面形成的不透明部分，其特征在于，具有支撐上述透明基板的支撐單元， 照射同軸照明光的同軸照明光源，照射斜射照明光的斜射照明光源，以及從 上述透明基板的第一主面一側(cè)觀察上述透明基板的觀察單元；其中，上述支 撐單元以通過(guò)上述觀察單元能夠觀察的方式支撐上述透明基板，上述同軸照 明光源和上述斜射光源從第二主面一側(cè)對(duì)上述透明基板分別照射上述同軸照 明光和上述斜射照明光，該第二主面是上述透明基板的位于上述第一主面的 相反一側(cè)的主面。本發(fā)明的技術(shù)方案8是如技術(shù)方案7所述的觀察裝置，其特征在于，在 上述透明基板上，在對(duì)上述透明基板重疊地照射上述同軸照明光和上述斜射照明光的狀態(tài)下，上述觀察單元能夠獲取上述透明基板的觀察像。本發(fā)明的技術(shù)方案9是如技術(shù)方案7所述的觀察裝置，其特征在于，還 具有通過(guò)對(duì)第一觀察像和第二觀察像進(jìn)行運(yùn)算合成而獲取合成圖像的合成單 元，其中，該第一觀察像是指，在向上述透明基板照射上述同軸照明光時(shí)， 通過(guò)上述攝像單元能夠觀察到的像，該第二觀察是指，在向上述透明基板照 射上述斜射照明光時(shí)，通過(guò)上述攝像單元能夠觀察到的像。本發(fā)明的技術(shù)方案10是如技術(shù)方案7所述的觀察裝置，其特征在于，通 過(guò)調(diào)整上述同軸照明光和上述斜射照明光中的至少一方在上述透明基板上的 照射狀態(tài)，能夠調(diào)整觀察區(qū)域內(nèi)的由上述觀察單元來(lái)把握的光量。本發(fā)明的技術(shù)方案11是如技術(shù)方案10所述的觀察裝置，其特征在于， 針對(duì)上述同軸照明光源和上述斜射照明光源中的至少一方，能夠調(diào)整其與上 述不透明基板之間的距離。本發(fā)明的技術(shù)方案12是如技術(shù)方案10所述的觀察裝置，其特征在于， 能夠調(diào)整上述同軸照明光源和上述斜射照明光源中的至少一方的亮度。本發(fā)明的技術(shù)方案13是如技術(shù)方案10所述的觀察裝置，其特征在于， 能夠調(diào)整上述斜射照明光相對(duì)上述不透明基板的照射角度。本發(fā)明的技術(shù)方案14是如技術(shù)方案7所述的觀察裝置，其特征在于，上 述支撐單元為透明的承載臺(tái)，上述觀察單元用于經(jīng)由上述承載臺(tái)來(lái)觀察上述 透明基板。本發(fā)明的技術(shù)方案15、如技術(shù)方案7所述的觀察裝置，其特征在于，從 上述支撐單元所支撐的上述透明基板的上方向上述透明基板照射上述同軸照 明光和上述斜射照明光，上述觀察單元用于從上述透明基板的下方觀察上述 透明基板。本發(fā)明的技術(shù)方案16提供一種透明基板上的不透明部分的觀察方法，觀 察在透明基板的一側(cè)主面形成的不透明部分，其特征在于，在通過(guò)規(guī)定的支 撐單元支撐上述透明基板的狀態(tài)下，從上述透明基板的一側(cè)向上述透明基板 重疊地照射同軸照明光和斜射照明光，并通過(guò)規(guī)定的觀察單元從上述透明基 板的另一側(cè)觀察上述透明基板。本發(fā)明的技術(shù)方案17是如技術(shù)方案16所述的透明基板上的不透明部分 的觀察方法，其特征在于，調(diào)整上述同軸照明光和上述斜射照明光中的至少一方的照射狀態(tài)，使得在觀察區(qū)域內(nèi)的上述透明基板上除了上述不透明部分 以外部分的光量在整個(gè)上述觀察區(qū)域內(nèi)大致相同，其中，該光量是能夠通過(guò) 上述觀察單元來(lái)把握的。本發(fā)明的技術(shù)方案18是如技術(shù)方案17所述的透明基板上的不透明部分 的觀察方法，其特征在于，通過(guò)調(diào)整用于照射上述同軸照明光的同軸照明光 源和用于照射上述斜射照明光的斜射照明光源中的至少一方與上述透明基板 之間的距離，調(diào)整上述照射狀態(tài)。本發(fā)明的技術(shù)方案19是如技術(shù)方案17所述的透明基板上的不透明部分 的觀察方法，其特征在于，通過(guò)調(diào)整用于照射上述同軸照明光的同軸照明光 源的亮度和照射上述斜射照明光的斜射照明光源的亮度中的至少一方，調(diào)整 上述照射狀態(tài)。本發(fā)明的技術(shù)方案20是如技術(shù)方案17所述的透明基板上的不透明部分 的觀察方法，其特征在于，通過(guò)調(diào)整上述斜射照明光相對(duì)上述不透明基板的 照射角度，調(diào)整上述照射狀態(tài)。本發(fā)明的技術(shù)方案21是如技術(shù)方案16所述的透明基板上的不透明部分 的觀察方法，其特征在于，上述支撐單元為透明的承載臺(tái)，將上述透明基板 以使上述另一側(cè)朝向上述承載臺(tái)的方式固定在上述承載臺(tái)上，以此支撐上述 透明基板，通過(guò)上述觀察單元經(jīng)由上述承載臺(tái)來(lái)觀察上述透明基板。技術(shù)方案22是如技術(shù)方案16所述的透明基板上的不透明部分的觀察方 法，其特征在于，從上述支撐單元所支撐的上述透明基板的上方向上述透明 基板照射上述同軸照明光和上述斜射照明光，通過(guò)上述觀察單元從上述透明 基板的下方觀察上述透明基板。技術(shù)方案23提供一種透明基板上的不透明部分的觀察方法，觀察在透明 基板的一側(cè)主面形成的不透明部分，其特征在于，包括在通過(guò)規(guī)定的支撐單 元來(lái)支撐上述透明基板的狀態(tài)下所執(zhí)行的以下步驟(a)工序，從上述透明 基板的一側(cè)向上述透明基板照射同軸照明光，同時(shí)從上述透明基板的另一側(cè) 通過(guò)規(guī)定的攝像單元拍攝第一觀察像；(b)工序，從上述透明基板的一側(cè)向 上述透明基板照射斜射照明光，同時(shí)從上述透明基板的另一側(cè)通過(guò)規(guī)定的攝 像單元拍攝第二觀察像；(c)工序，生成上述第一觀察圖像和上述第二觀察 圖像的合成圖像。根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案1 技術(shù)方案23，在透明基板上形成有不透明部 分的情況下，能夠在觀察像中明確地確定器件圖案等不透明部分的形狀。特別是根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案1 技術(shù)方案3，在將具有不透明部分的透 明基板作為被加工物的情況下，能夠明確地確定該透明基板上的不透明部分 的形狀，從而進(jìn)行高精度的激光加工。特別是根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案4 技術(shù)方案7，在進(jìn)行具有不透明部分的 透明基板的定位時(shí)，能夠明確地確定透明基板上的不透明部分的形狀，從而 進(jìn)行高精度的激光加工。特別是根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案5 技術(shù)方案13，以及技術(shù)方案17 技術(shù) 方案20，因?yàn)樵谶m當(dāng)?shù)卣{(diào)整同軸照明光和斜射照明光的光量之后進(jìn)行觀察， 所以能夠提高透明部分和不透明部分之間的對(duì)比度從而獲得良好的觀察結(jié) 果。特別是根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案14及技術(shù)方案21，在穩(wěn)定地保持透明基 板的狀態(tài)下，能夠明確識(shí)別不透明部分的形狀。


圖1A、圖1B用于對(duì)本發(fā)明第一實(shí)施方式的觀察方法進(jìn)行說(shuō)明。圖2更詳細(xì)地表示同軸透射照明光Ll的照射和斜射透射照明光L2的照射。圖3為示意性地表示激光加工裝置50的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4為示意性地表示第二實(shí)施方式的激光加工裝置500的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖5表示在照射同軸照明光Ll時(shí)通過(guò)CCD攝像機(jī)6a拍攝的觀察像12 的一個(gè)實(shí)例。圖6表示在照射同軸照明光L2時(shí)通過(guò)CCD攝像機(jī)6a拍攝的觀察像13 的一個(gè)實(shí)例。圖7表示基于圖5所示觀察像12和圖6所示觀察像13而合成的合成圖 像14。圖8用于說(shuō)明變形例的觀察方法。圖9A、圖9B用于對(duì)使用落射照明來(lái)觀察在器件圖案和透明基板之間設(shè) 有擴(kuò)散層的層疊體的情況進(jìn)行說(shuō)明。圖IOA、圖IOB用于對(duì)使用透射照明來(lái)觀察在器件圖案和透明基板之間 設(shè)有擴(kuò)散層的層疊體的情況進(jìn)行說(shuō)明。
具體實(shí)施方式
<1.第一實(shí)施方式> <1丄用于觀察的示意性結(jié)構(gòu)>圖1A、圖1B用于對(duì)本發(fā)明第一實(shí)施方式的觀察方法進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí) 施方式中，觀察對(duì)象為如圖1A所示的、在藍(lán)寶石等透明基板1的一側(cè)主面 作為基底層設(shè)有用于使觀察用照明光擴(kuò)散的擴(kuò)散層2、并且形成有金屬配線(xiàn) 和電極等不透明的器件圖案3的層疊體10，以此為例進(jìn)行說(shuō)明。此外，也可以是以下形式在透明基板1和器件圖案3之間，設(shè)置由GaN (氮化鎵)等III族氮化物構(gòu)成且具有透明性的半導(dǎo)體層。另外，在本實(shí)施方式中，如圖1A所示，在層疊體10的形成有器件圖案 3 —側(cè)的主面上粘貼粘接板4，并且將該粘接板4側(cè)固定于透明的例如由石英 構(gòu)成的承載臺(tái)7，來(lái)進(jìn)行器件圖案3的觀察，以此為例進(jìn)行說(shuō)明。另外，使 在粘接板4和透明基板1之間的界面，以及器件圖案3的端部部分上存在有 氣泡5。本實(shí)施方式的觀察方法在對(duì)以該方式固定的層疊體IO進(jìn)行觀察時(shí)更 加有效。這種固定可以通過(guò)公知方法實(shí)現(xiàn)。例如在進(jìn)行吸附固定時(shí)，在承載臺(tái)7 的上表面設(shè)置多個(gè)同心圓狀的吸附槽，并且在該吸附槽的底部設(shè)置放射狀的 吸附孔，以將被加工物放置于載臺(tái)7上表面的狀態(tài)，使與吸附孔連接的例如 吸附泵等吸附單元工作，從而沿著吸附槽對(duì)被加工物施加吸附力。在本實(shí)施方式中，相對(duì)于該層疊體IO，從承載臺(tái)7的上方、即透明基板 1的背面?zhèn)?，同時(shí)照射入射角為90度的(具有大致垂直于基板主面的光軸的) 同軸照明光(明視場(chǎng)照明光)Ll和入射角為銳角的斜射照明光(暗視場(chǎng)照明 光)L2，并且在承載臺(tái)7的下方設(shè)置例如由CCD攝像機(jī)或規(guī)定的顯示裝置 等構(gòu)成的背面觀察單元6，可以經(jīng)由承載臺(tái)7來(lái)觀察器件圖案3。 g卩，將同軸 照明光L1和斜射照明光L2作為透射照明光同時(shí)施加，并且通過(guò)背面觀察單 元6進(jìn)行觀察。與之相應(yīng)在以下說(shuō)明中，將同軸照明光L1和斜射照明光L2 分別稱(chēng)為同軸透射照明光Ll和斜射透射照明光L2。作為同軸照明光L1和斜射照明光L2的光源，例如優(yōu)選指向性較強(qiáng)的(照 射角度15度左右的)高亮度的白色LED等。此外，也可采用燈泡或者光纖 的射出端面等。圖1B對(duì)此時(shí)由背面觀察單元6所得觀察像I1進(jìn)行例示。此時(shí)，在器件 圖案3部分上不會(huì)透射同軸透射照明光Ll和斜射透射照明光L2。因此，在 觀察像Il中對(duì)應(yīng)于器件圖案3，觀察到暗的(黑色的)器件圖案像IP1。并 且，在器件圖案3以外的部分上得到透射光Llt。該透射光Llt由同軸透射照 明光Ll直接透射的成分，和斜射透射照明光L2在粘接板4和擴(kuò)散層2經(jīng)過(guò) 擴(kuò)散(漫反射)而最終透射的成分，重疊而成。其結(jié)果，在觀察像Il中觀察 到器件圖案像IP1以外的部分較明亮。另外，盡管在氣泡5中同軸透射照 明光Ll和斜射透射照明光L2都會(huì)發(fā)生折射，但是由于斜射透射照明光L2 如上述進(jìn)行擴(kuò)散，因此在觀察像II中與氣泡5對(duì)應(yīng)的部分IB1也足夠明亮。 這意味著即使在存在氣泡5等的情況下，在觀察像I1中，除器件圖案3所 形成的不透明部分以外的部分的光量不均，也能夠通過(guò)照射斜射透射照明光 L2而得到抑制。結(jié)果是在觀察像Il中，黑色的器件圖案像IP1與相對(duì)于其 他部分具有足夠的對(duì)比度而能夠明確識(shí)別。艮口，對(duì)于在透明基板1上形成有器件圖案3的層疊體10，在形成有該器 件圖案3的一側(cè)粘貼粘接板4并且固定在承載臺(tái)7上，從承載臺(tái)7的上方重 疊地照射同軸透射照明光L1和斜射透射照明光L2，并且使用背面觀察單元 6從承載臺(tái)7的下方經(jīng)由承載臺(tái)7進(jìn)行觀察，從而能夠在觀察像中明確地確 定器件圖案3的形狀。另外，不限于器件圖案，只要是同樣地形成有不透明 部分的情況，就能夠使用上述方法對(duì)該不透明部分的形狀進(jìn)行明確地識(shí)別。 另外，在觀察時(shí)不是必須具有粘接板4，因此原則上也可以將透明基板1直 接地放置于承載臺(tái)7進(jìn)行觀察。此時(shí)能夠使觀察不受由粘接板4引起的漫反 射的影響。圖2更具體地表示來(lái)自同軸照明光源S1的同軸透射照明光L1的照射狀 態(tài)和來(lái)自斜射照明光源S2的斜射透射照明光L2的照射狀態(tài)。具體而言，從 同軸照明光源S1發(fā)出的同軸透射照明光Ll,和從斜射照明光源S2發(fā)出的斜 射透射照明光L2，從承載臺(tái)7的上方照射透明基板1。其中，如上所述，為了通過(guò)照射斜射透射照明光L2使不透明部分的對(duì)比度提高從而獲得更佳效果，優(yōu)選能夠?qū)εc同軸透射照明光Ll和斜射透射照明 光L2中至少一方有關(guān)的照射狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整的結(jié)構(gòu)，以使關(guān)于觀察區(qū)域中的透 明基板1的不透明部分以外的光量，與關(guān)于該觀察區(qū)域整體的光量大致相同 (至少以肉眼觀察時(shí)亮度為相同程度)。例如，在圖1A、圖1B的情況下， 通過(guò)使同軸透射照明光L1和斜射透射照明光L2的照射平衡，有時(shí)能夠以與 透射光Ll所直接得到的部分不同的對(duì)比度，對(duì)在觀察像II中對(duì)應(yīng)于氣泡5 的部分IB1進(jìn)行觀察。此時(shí)，如果對(duì)該照射狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整而使兩者的對(duì)比度 為相同程度，則能夠更加可靠地識(shí)別不透明部分。作為其中的一個(gè)對(duì)策，可以對(duì)照射同軸透射照明光Ll的同軸照明光源 Sl和照射斜射照明光L2的斜射照明光源Sl中至少一方、與透明基板1之間 的距離進(jìn)行調(diào)整，從而使觀察區(qū)域整體中除不透明部分以外的光量大致相同。 圖2例示了使同軸照明光源S1比斜射照明光源S2更遠(yuǎn)離透明基板1的情況。或者，也可以對(duì)同軸照明光源Sl與斜射照明光源S2中至少一方的亮度 進(jìn)行調(diào)整，從而使觀察區(qū)域整體中除不透明部分以外的光量大致相同?；蛘?還可以如圖2所示，在同軸照明光源Sl與照射位置之間設(shè)置擴(kuò)散板D。另外，可以調(diào)整斜射透射照明光L2的入射角e，從而使觀察區(qū)域整體中 除不透明部分以外的光量大致相同。此外，這些調(diào)整方法可以根據(jù)觀察對(duì)象適當(dāng)選用或者組合使用。另外，在觀察單元例如為CCD攝像機(jī)等攝像元件時(shí)，能夠以像素單位對(duì) 關(guān)于觀察區(qū)域的光量進(jìn)行數(shù)值化把握，從而能夠基于由攝像元件所得數(shù)值數(shù) 據(jù)來(lái)確定最佳的照射狀態(tài)(光源的位置、亮度、角度等的最佳條件)。另外，在圖2中例示了，以同軸透射照明光L1的照射方向?yàn)閷?duì)稱(chēng)軸而左 右對(duì)稱(chēng)地設(shè)有兩個(gè)斜射照明光源S2的情況，但是斜射照明光源S2的數(shù)量不 限于此，也可以將更多的斜射照明光源S2,以同軸透射照明光L1的照射方 向?yàn)閷?duì)稱(chēng)軸而相對(duì)配置。<1.2.用于激光加工裝置>下面，對(duì)作為能夠基于上述原理進(jìn)行觀察的觀察裝置的一個(gè)實(shí)例的激光 加工裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖3為示意性地表示該激光加工裝置50的結(jié)構(gòu)示意圖。 另外，在圖3中例示了作為加工對(duì)象(觀察對(duì)象)的被加工物為粘貼于粘接 板4的層疊體10的情況，但是被加工物不限于此。此外，激光加工裝置50的如下所示的各部的動(dòng)作(激光的照射、承載臺(tái)的移動(dòng)、照明光的照射、用 于加工位置確定的運(yùn)算處理等)，全部通過(guò)未圖示的計(jì)算機(jī)等所構(gòu)成的規(guī)定 的控制單元進(jìn)行控制。激光加工裝置50主要具備，表面觀察部50A、背面觀察部50B、以及能 夠在兩者之間移動(dòng)的例如由石英等構(gòu)成的透明的承載臺(tái)7。表面觀察部50A 是從照射激光側(cè)對(duì)在承載臺(tái)7上放置的被加工物進(jìn)行觀察的觀察部，背面觀 察部50B是從放置于承載臺(tái)7的一側(cè)(將其稱(chēng)為背面)經(jīng)由該承載臺(tái)7對(duì)該 層疊體10進(jìn)行觀察的觀察部。另外，承載臺(tái)7能夠通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)7m在水平 方向移動(dòng)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)7m通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)單元的作用而使承載臺(tái)7在水平面內(nèi)規(guī) 定的XY兩軸方向移動(dòng)。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)承載臺(tái)7在該表面觀察部50A和背 面觀察部50B之間的移動(dòng)，以及各個(gè)觀察部?jī)?nèi)的觀察位置的移動(dòng)或者激光照 射位置的移動(dòng)。即，在激光加工裝置50中，通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)7m使承載臺(tái)7移 動(dòng)，從而能夠在由表面觀察部50A進(jìn)行的表面?zhèn)扔^察，和由背面觀察部50B 進(jìn)行的背面?zhèn)扔^察之間進(jìn)行切換。由此，能夠根據(jù)被加工物的材質(zhì)和狀態(tài)而 靈活迅速地進(jìn)行最適合的觀察。另外，關(guān)于移動(dòng)機(jī)構(gòu)7m，可以獨(dú)立地進(jìn)行以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)(e旋轉(zhuǎn))動(dòng)作以及水平驅(qū)動(dòng)，并優(yōu)選其可以進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)等動(dòng)作。表面觀察部50A結(jié)構(gòu)為，能夠?qū)Ψ胖糜诔休d臺(tái)7的被加工物進(jìn)行激光照 射。g卩，表面觀察部50A也是激光加工裝置50中的激光照射部。該表面觀 察部50A例如由激光照射系統(tǒng)和觀察光學(xué)系統(tǒng)同軸地構(gòu)成。具體而言，表面 觀察部50A可以具有與專(zhuān)利文獻(xiàn)1公開(kāi)的激光加工裝置的基本結(jié)構(gòu)相同的結(jié) 構(gòu)。具體而言，在表面觀察部50A中，從激光源SL發(fā)出激光LB，在通過(guò)設(shè) 置于省略圖示的鏡筒內(nèi)的半透半反射鏡51反射后，由聚光透鏡18對(duì)該激光 LB進(jìn)行聚光，使該激光LB在承載臺(tái)7位于表面觀察部50A的狀態(tài)下，在放 置于承載臺(tái)7被加工物的被加工部位上聚焦，來(lái)照射被加工物，從而實(shí)現(xiàn)對(duì) 被加工物的加工、例如形成作為分割起點(diǎn)的熔融改性區(qū)域或者燒蝕等。另外，在表面觀察部50A中，從落射照明光源S5發(fā)出的落射照明光L5， 被設(shè)置于未圖示的鏡筒內(nèi)的半透半反射鏡52反射，并通過(guò)聚光透鏡18進(jìn)行聚光，(在承載臺(tái)7位于表面觀察部50A的狀態(tài)下)與激光LB同軸地向被 加工物照射。另外，表面觀察部50A具備表面觀察單元16，其包含在半透半 反射鏡52上方(鏡筒上方)設(shè)置的CCD攝像機(jī)16a和與該CCD攝像機(jī)16a 連接的監(jiān)視器16b，能夠在照射落射照明光L5的狀態(tài)下實(shí)時(shí)地觀察被加工物 的明視場(chǎng)像。在基于由表面觀察部50A所得觀察像來(lái)確定加工位置時(shí)，可以接著根據(jù) 所確定的內(nèi)容通過(guò)照射激光LB來(lái)進(jìn)行加工。另外，優(yōu)選使用通過(guò)未圖示的控制單元實(shí)現(xiàn)的GUI,激光加工裝置50 的操作者在對(duì)監(jiān)視器16b所顯示的由CCD攝像機(jī)16a拍攝所得的拍攝圖像進(jìn) 行確認(rèn)的同時(shí)，進(jìn)行加工位置的確定。即，優(yōu)選通過(guò)GUI操作者提供用于確 定加工位置的規(guī)定的指示輸入，控制單元基于該輸入內(nèi)容來(lái)進(jìn)行規(guī)定的運(yùn)算 處理，從而確定加工位置。背面觀察部50B基于上述原理的結(jié)構(gòu)，構(gòu)成為在承載臺(tái)7位于背面觀察 部50B的狀態(tài)下，從承載臺(tái)7的上方對(duì)放置于承載臺(tái)7的被加工物重疊地照 射來(lái)自同軸照明光源Sl的同軸投射照明光Ll和來(lái)自斜射照明光源S2的斜 射投射照明光L2，并且能夠通過(guò)背面觀察單元6從承載臺(tái)7的下方側(cè)對(duì)該被 加工物進(jìn)行觀察。另外，在背面觀察部50B中的承載臺(tái)7的下方、更優(yōu)選具備設(shè)置在后述 的半透半反射鏡9的下方(鏡筒下方)的背面觀察單元6，其包含CCD攝像 機(jī)6a和與該CCD攝像機(jī)6a連接的監(jiān)視器6b。另外，監(jiān)視器6b也可以與表 面觀察單元16具有的監(jiān)視器16b共用一個(gè)。當(dāng)被加工物為在透明基板1上形成有器件圖案3的、在形成有該器件圖 案3的一側(cè)粘貼有粘接板4并且固定在承載臺(tái)7上的層疊體10時(shí)，將承載臺(tái) 7配置于背面觀察部50B的規(guī)定的觀察位置，在重疊地照射同軸投射照明光 L1和斜射投射照明光L2的狀態(tài)下，使用背面觀察單元6進(jìn)行觀察，從而能 夠以良好的對(duì)比度觀察器件圖案3。 g卩，可以獲取例如圖1B所示的能夠準(zhǔn)確 確定器件圖案3的觀察像。在基于由背面觀察部50B所得的觀察像來(lái)確定加工位置時(shí)，接著，使承 載臺(tái)7向具有激光照射部的表面觀察部50A側(cè)移動(dòng)，則能夠照射激光LB來(lái) 進(jìn)行加工。此時(shí)，也優(yōu)選能夠使用GUI而由操作者基于觀察像提供規(guī)定的指示輸入來(lái)進(jìn)行加工位置的確定。優(yōu)選表面觀察部50A具備斜射照明光源S6，可以對(duì)承載臺(tái)7上的被加工 物照射斜射照明光L6。在照射斜射照明光L6時(shí)，能夠通過(guò)表面觀察單元16 獲取觀察對(duì)象的暗視場(chǎng)像。根據(jù)被加工物的材質(zhì)和表面狀態(tài)，適當(dāng)?shù)卦诼渖?照明光L5和斜射照明光L6之間進(jìn)行切換，從而能夠與材質(zhì)無(wú)關(guān)地獲取適當(dāng) 的觀察像。另外，在承載臺(tái)7的下方，從同軸照明光源S3發(fā)出的同軸照明光L3， 被在未圖示的鏡筒內(nèi)設(shè)置的半透半反射鏡9反射，并通過(guò)聚光透鏡8進(jìn)行聚 光，然后可以經(jīng)由承載臺(tái)7照射被加工物。更優(yōu)選，在承載臺(tái)7的下方具備 斜射照明光源S4，斜射照明光L4可以經(jīng)由承載臺(tái)7照射被加工物。在例如 被加工物的表面?zhèn)染哂胁煌该鞯慕饘賹拥?，其產(chǎn)生來(lái)自該金屬層的反射而導(dǎo) 致難以使用表面觀察部50A從表面?zhèn)冗M(jìn)行觀察等情況，此時(shí)上述同軸照明光 源S3和斜射照明光源S4可以用于通過(guò)背面觀察部50B對(duì)被加工物的背面?zhèn)?進(jìn)行觀察。如上所述，本實(shí)施方式的激光加工裝置50，具有，在使用激光進(jìn)行加工 時(shí)從被加工物的表面?zhèn)日丈湔彰鞴獠⑦M(jìn)行觀察的表面觀察部50A，還具有能 夠從被加工物的表面?zhèn)冗M(jìn)行透射照明，同時(shí)從背面?zhèn)冗M(jìn)行觀察的背面觀察部 50B，從而不僅能夠通過(guò)落射照明從被加工物的表面?zhèn)冗M(jìn)行觀察，也能夠從 背面進(jìn)行觀察，并基于各個(gè)觀察結(jié)果來(lái)確定加工位置，從而能夠?qū)Ω鞣N材質(zhì) 和狀態(tài)的被加工物進(jìn)行加工。特別是對(duì)于在透明基板上形成有器件圖案的層 疊體IO，在形成該器件圖案的一側(cè)粘貼粘接板4，并且將該層疊體10固定于 承載臺(tái)7，使用背面觀察部50B進(jìn)行觀察，從而能夠明確地確定器件圖案的 形狀。由此，能夠基于觀察結(jié)果高精度地確定加工位置。<2.第二實(shí)施方式>在上述實(shí)施方式中，說(shuō)明了在下述狀態(tài)下觀察層疊體10的情況，即例如 在激光加工裝置50的背面觀察部50B中，同時(shí)地照射入射角為卯度的同軸 照明光L1和入射角為銳角的斜射照明光L2的情況，但是觀察方法當(dāng)然不限 于此。圖4為示意性地表示第二實(shí)施方式的激光加工裝置500的結(jié)構(gòu)示意圖。 并且，針對(duì)和第一實(shí)施方式的激光加工裝置50相同的結(jié)構(gòu)，附加了相同的附圖標(biāo)記，并適當(dāng)?shù)厥÷粤苏f(shuō)明。激光加工裝置500具備由普通的計(jì)算機(jī)等構(gòu)成的控制部C。控制部C通 過(guò)未圖示的線(xiàn)纜與激光加工裝置500所屬各機(jī)構(gòu)連接，基于來(lái)自操作者的輸 入指示或來(lái)自各種傳感器等的信號(hào)，來(lái)控制激光加工裝置500的各機(jī)構(gòu)。雖然圖3中沒(méi)有示出，在第一實(shí)施方式的激光加工裝置50中，也具備由 普通的計(jì)算機(jī)等構(gòu)成的控制部，并且所述的各種控制是在該控制部的控制下 進(jìn)行的。但是，在該第二實(shí)施方式的激光加工裝置500中所使用的控制部C， 如后所述，能夠進(jìn)行兩種照射光的交替照射控制，以及在單獨(dú)發(fā)生各照射光 時(shí)進(jìn)行兩種觀察圖像的圖像合成運(yùn)算，這是不同于第一實(shí)施方式中的控制部 的功能。圖5示出了在照射同軸照明光L1時(shí)使用攝像機(jī)6a拍攝的觀察像I2的一 例。另外，圖6示出了在照射斜射照明光L2時(shí)使用攝像機(jī)6a拍攝的觀察像 13的一例。在本實(shí)施方式中，控制部C分別獨(dú)立驅(qū)動(dòng)同軸照明光源Sl和斜射照明 單元S2，從而分別地，即錯(cuò)開(kāi)時(shí)間地對(duì)層疊體10照射同軸照明光Ll和斜射 照明光L2。并且，控制部C將在僅對(duì)層疊體10照射同軸照明光Ll時(shí)通過(guò) 攝像機(jī)6a拍攝的觀察像12，和在僅對(duì)層疊體10照射斜射照明光L2時(shí)通過(guò) 攝像機(jī)6a拍攝的觀察像I3，存儲(chǔ)于控制部C所具有的存儲(chǔ)部(未圖示)。 并且獲取觀察像12和觀察像13的先后順序是任意的。另外，在本實(shí)施方式中，攝像機(jī)6a獲取使用1位表示(2灰度)的單色(2值)圖像，但是不限于此，也可以獲取使用多位的單色多灰度(例如4 位=16灰度，8位=256灰度)的2值圖像。并且，這里所謂"多灰度"，僅 指各像素由多位表示，實(shí)際上可以使用"黑"、"白"兩級(jí)(例如4位表示中灰 度值=0、 15，而8位表示中灰度值=0、 255)。并且除此以外，也可以使背 面觀察部50B構(gòu)成為通過(guò)攝像機(jī)6a拍攝灰度等級(jí)(grey scale)(或者全色(foil color))的觀察像，并由控制部C對(duì)該觀察像進(jìn)行單色化(2值化) 處理。在從上側(cè)對(duì)放置于承載臺(tái)7的層疊體10照射同軸照明光Ll，并且通過(guò) 攝像機(jī)6a從層疊體10的下側(cè)(與照射相反的一側(cè))進(jìn)行攝像的情況下，能 夠如圖5所示，獲取到了明視場(chǎng)像的觀察像I2。在觀察像I2中，對(duì)于器件圖案3部分，能夠觀察到暗的(黑色的)器件圖案像IP2。 g卩，對(duì)于器件圖案3 自身，能夠以相對(duì)于透明基板101較高的對(duì)比度進(jìn)行觀察識(shí)別。并且如圖5 所示，關(guān)于對(duì)應(yīng)于氣泡5的部分的觀察像IB2，也可以因照明光的折射而觀 察到較暗的像。另外，在從上側(cè)對(duì)放置于承載臺(tái)7的層疊體10照射斜射照明光L2，并 且通過(guò)攝像機(jī)6a從層疊體10的下側(cè)(與照射相反的一側(cè))進(jìn)行攝像的情況 下，能夠如圖6所示，獲取暗視場(chǎng)像的觀察像I3。當(dāng)與觀察像I2比較時(shí)，在 觀察像I3中，如圖5所示，器件圖案像IP3以外的部分的明暗顛倒。SP，對(duì) 應(yīng)于器件圖案3的部分，觀察為暗的器件圖案像IP3，而對(duì)應(yīng)于氣泡5的部 分IB3觀察為明亮的(白色)像。圖7表示基于圖5所示觀察像12和圖6所示觀察像13而合成的合成圖 像14。將觀察像12和觀察像13存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部的控制部C，基于該觀察像12 和觀察像I3，通過(guò)未圖示的運(yùn)算部進(jìn)行位運(yùn)算處理(具體而言是邏輯和運(yùn)算 處理)。具體而言，在觀察像I2所含的特定像素的灰度值，和與該特定像素 位置對(duì)應(yīng)的觀察像I3所含像素的灰度值都為"黑(灰度值=0)"時(shí)，運(yùn)算部進(jìn) 行使該特定像素的灰度值為0的處理。并且，在其他組合時(shí)(即，在觀察像 12所含的特定像素的灰度值，和與該特定像素位置對(duì)應(yīng)的觀察像13所含像素 的灰度值中至少一方的灰度值為"白(灰度值=1)"時(shí)，進(jìn)行使該特定像素的 灰度值總是為l的處理?？刂撇緾通過(guò)進(jìn)行如上的運(yùn)算處理，獲取圖7所示 的合成圖像I4。如圖7所示，在合成圖像I4中，與氣泡5對(duì)應(yīng)的部分IB4基本消失，并 且與器件圖案3對(duì)應(yīng)的部分(器件圖案像IP4)能夠以相對(duì)于透明基板1較 高的對(duì)比度進(jìn)行識(shí)別。即，在本實(shí)施方式中，在通過(guò)背面觀察部50B觀察層 疊體10時(shí)，分別單獨(dú)照射同軸照明光L1和斜射照明光L2，獲取觀察像I2、 13并存儲(chǔ)于控制部C內(nèi)的存儲(chǔ)單元中，然后通過(guò)運(yùn)算處理對(duì)觀察像12、 13進(jìn) 行圖像合成(邏輯和運(yùn)算處理)。由此能夠清楚識(shí)別透明基板1的透明部分 和器件圖案3的不透明部分。另外，在第一實(shí)施方式中，同時(shí)地照射同軸照明光L1和斜射照明光L2， 因此在調(diào)整光量等時(shí)需要固定某一方的光量來(lái)進(jìn)行調(diào)整。因此，例如在將兩 照明光的光量分3階段進(jìn)行調(diào)整時(shí)，則需要進(jìn)行合計(jì)9 (=3x3)次的攝像作業(yè)。而在本實(shí)施方式中，進(jìn)行合計(jì)6 (=3 + 3)次的攝像作業(yè)，就能夠通過(guò) 控制部C進(jìn)行全部9個(gè)圖案的圖像合成，從而能夠縮短背面觀察部50B中照 明關(guān)系的調(diào)整時(shí)間。另外，雖然省略了詳細(xì)說(shuō)明，但是上述的觀察方法也能夠適用于通過(guò) 背面觀察部50B觀察向?qū)盈B體10照射同軸照明光L3和斜射照明光L4的情 況。<3.變形例>在上述實(shí)施方式中，斜射照明光源S2例如為白色LED等，并且以同軸 透射照明光L1的照射方向?yàn)閷?duì)稱(chēng)軸相對(duì)配置，也可以代替上述方式而將圍繞 該對(duì)稱(chēng)軸的環(huán)形的照明光源或半球型照明光源用作斜射照明光源S2。在上述第一實(shí)施方式中，將同軸照明光L1和斜射照明光L2作為透射照 明光從承載臺(tái)的上方重疊地照射，并且通過(guò)設(shè)置在承載臺(tái)下方的背面觀察單 元進(jìn)行觀察，但是也可以代替這種方式，而將在透明基板1上形成有器件圖 案3的層疊體10，與上述情況同樣地使用粘接板4固定于承載臺(tái)7，在該狀 態(tài)下從承載臺(tái)7的下方重疊地照射同軸照明光Ll和斜射照明光L2，并通過(guò) 在承載臺(tái)7的上方設(shè)置的觀察單元26進(jìn)行觀察。圖8用于說(shuō)明該情況下的觀 察方法。該情況下，也能夠在觀察像中觀察到對(duì)應(yīng)于器件圖案3的暗的(黑 色的)器件圖案像，并且觀察到除器件圖案像IP1以外的部分較明亮。此外， 可以觀察到對(duì)應(yīng)于氣泡5的部分IB1也足夠明亮。g卩，在通過(guò)圖8那樣的結(jié) 構(gòu)來(lái)進(jìn)行觀察時(shí)，也能夠使黑色的器件圖案像與其他部分具有足夠的對(duì)比度 從而清楚地識(shí)別。并且在該變形例的觀察裝置結(jié)構(gòu)中，也能夠適用第二實(shí)施 方式所述的觀察方法。另外，雖然該方式例如也可以，通過(guò)在上述激光加工裝置50的表面觀察 部50A中承載臺(tái)7的下方設(shè)置同軸照明光Ll和斜射照明光L2的照射光源而 實(shí)現(xiàn)，但是該情況下，加工時(shí)所照射的激光會(huì)透過(guò)承載臺(tái)7而到達(dá)這些照射 光源，從而對(duì)這些照明光源產(chǎn)生不良影響，因此在采用這種結(jié)構(gòu)的情況下， 至少需要仔細(xì)考慮激光照射時(shí)的照明光源的配置。由此，會(huì)導(dǎo)致使裝置結(jié)構(gòu) 復(fù)雜化的缺點(diǎn)。而上述的實(shí)施方式不需要考慮這一點(diǎn)，就此而言，上述的實(shí) 施方式更優(yōu)異一些?；蛘?，承載臺(tái)不必水平配置，也可以垂直或傾斜地設(shè)置。此時(shí)，照明光源和觀察單元與承載臺(tái)之間的相對(duì)位置關(guān)系，可以與圖1A、圖1B所示情況 同樣地進(jìn)行配置。另外，雖然在上述實(shí)施方式中，將作為觀察對(duì)象的層疊體固定于透明的 承載臺(tái)，但是也可以代替這種方式采用其他方式，只要是觀察單元能夠以照 射同軸透射照明光和斜射照明光的狀態(tài)獲取器件圖案即可，固定方法不僅限 于此。例如，可以通過(guò)規(guī)定的支撐單元將層疊體的除觀察對(duì)象以外的部分(例 如僅端部)連同粘接板進(jìn)行保持，以使觀察對(duì)象部分(的粘接板)以相對(duì)于 觀察單元直接露出的方式進(jìn)行觀察，這樣也能獲取與上述實(shí)施方式相同的觀 察結(jié)果。另外，在上述實(shí)施方式中，主要將器件圖案3作為觀察對(duì)象，但是也能 夠更一般化地進(jìn)行以識(shí)別在透明基板上形成的不透明部分和其周?chē)糠譃槟?的的觀察，此時(shí)上述觀察方法也同樣能夠適用。另外，在上述實(shí)施方式的激光加工裝置50、 500中，通過(guò)背面觀察部50B 預(yù)先對(duì)器件圖案3 (不透明部分)的位置進(jìn)行具體確定。然后激光加工裝置 50、 500，通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)7m使承載臺(tái)7向表面觀察部50A移動(dòng)，從而將層疊 體10搬送至表面觀察部50A，在透明基板1上進(jìn)行用于形成分割起點(diǎn)的激光 加工。即，在激光加工裝置50、 500中，主要將背面觀察部50B和移動(dòng)機(jī)構(gòu) 7m用作定位機(jī)構(gòu)。在透明基板1上形成有器件圖案3那樣的不透明部分時(shí)， 通過(guò)使用這種定位機(jī)構(gòu)而能夠?qū)暹M(jìn)行精密的定位。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，具有用于觀察在作為被加工物的透明基板的一側(cè)主面形成的不透明部分的觀察裝置，其特征在于，上述觀察裝置具有支撐上述透明基板的支撐單元，照射同軸照明光的同軸照明光源，照射斜射照明光的斜射照明光源，以及從上述透明基板的第一主面一側(cè)觀察上述透明基板的觀察單元；其中，上述支撐單元以通過(guò)上述觀察單元能夠觀察的方式支撐上述透明基板，上述同軸照明光源和上述斜射光源從第二主面一側(cè)對(duì)上述透明基板分別照射上述同軸照明光和上述斜射照明光，該第二主面是上述透明基板的位于上述第一主面的相反一側(cè)的主面。
2. 如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，在上述透明基板上， 在對(duì)上述透明基板重疊地照射上述同軸照明光和上述斜射照明光的狀態(tài)下， 上述觀察單元能夠獲取上述透明基板的觀察像。
3. 如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，還具有獲取第一觀 察像和第二觀察像的合成圖像的合成單元，其中，該第一觀察像是指，在向 上述透明基板照射上述同軸照明光時(shí)，通過(guò)上述攝像單元能夠觀察到的像， 該第二觀察像是指，在向上述透明基板照射上述斜射照明光時(shí)，通過(guò)上述攝 像單元能夠觀察到的像。
4. 一種定位裝置，具有用于觀察在透明基板的一側(cè)主面形成的不透明部 分的觀察裝置，其特征在于，上述觀察裝置具有支撐上述透明基板的支撐單元， 照射同軸照明光的同軸照明光源， 照射斜射照明光的斜射照明光源，以及從上述透明基板的第一主面一側(cè)觀察上述透明基板的觀察單元；其中， 上述支撐單元以通過(guò)上述觀察單元能夠觀察的方式支撐上述透明基板， 上述同軸照明光源和上述斜射光源從第二主面一側(cè)對(duì)上述透明基板分別 照射上述同軸照明光和上述斜射照明光，該第二主面是上述透明基板的位于上述第一主面的相反一側(cè)的主面。
5. 如權(quán)利要求4所述的定位裝置，其特征在于，在上述透明基板上，在 對(duì)上述透明基板重疊地照射上述同軸照明光和上述斜射照明光的狀態(tài)下，上 述觀察單元能夠獲取上述透明基板的觀察像。
6. 如權(quán)利要求4所述的定位裝置，其特征在于，還具有獲取第一觀察像 和第二觀察像的合成圖像的合成單元，其中，該第一觀察像是指，在向上述 透明基板照射上述同軸照明光時(shí)，通過(guò)上述攝像單元能夠觀察到的像，該第 二觀察像是指，在向上述透明基板照射上述斜射照明光時(shí)，通過(guò)上述攝像單 元能夠觀察到的像。
7. —種觀察裝置，用于觀察在透明基板的一側(cè)主面形成的不透明部分， 其特征在于，具有支撐上述透明基板的支撐單元， 照射同軸照明光的同軸照明光源， 照射斜射照明光的斜射照明光源，以及從上述透明基板的第一主面一側(cè)觀察上述透明基板的觀察單元；其中， 上述支撐單元以通過(guò)上述觀察單元能夠觀察的方式支撐上述透明基板， 上述同軸照明光源和上述斜射光源從第二主面一側(cè)對(duì)上述透明基板分別照射上述同軸照明光和上述斜射照明光，該第二主面是上述透明基板的位于上述第一主面的相反一側(cè)的主面。
8. 如權(quán)利要求7所述的觀察裝置，其特征在于，在上述透明基板上，在 對(duì)上述透明基板重疊地照射上述同軸照明光和上述斜射照明光的狀態(tài)下，上 述觀察單元能夠獲取上述透明基板的觀察像。
9. 如權(quán)利要求7所述的觀察裝置，其特征在于，還具有通過(guò)對(duì)第一觀察 像和第二觀察像進(jìn)行運(yùn)算合成而獲取合成圖像的合成單元，其中，該第一觀 察像是指，在向上述透明基板照射上述同軸照明光時(shí)，通過(guò)上述攝像單元能 夠觀察到的像，該第二觀察是指，在向上述透明基板照射上述斜射照明光時(shí)， 通過(guò)上述攝像單元能夠觀察到的像。
10. 如權(quán)利要求7所述的觀察裝置，其特征在于，通過(guò)調(diào)整上述同軸照 明光和上述斜射照明光中的至少一方在上述透明基板上的照射狀態(tài)，能夠調(diào) 整觀察區(qū)域內(nèi)的由上述觀察單元來(lái)把握的光量。
11. 如權(quán)利要求io所述的觀察裝置，其特征在于，針對(duì)上述同軸照明光源和上述斜射照明光源中的至少一方，能夠調(diào)整其與上述不透明基板之間的 距離。
12. 如權(quán)利要求10所述的觀察裝置，其特征在于，能夠調(diào)整上述同軸照 明光源和上述斜射照明光源中的至少一方的亮度。
13. 如權(quán)利要求10所述的觀察裝置，其特征在于，能夠調(diào)整上述斜射照 明光相對(duì)上述不透明基板的照射角度。
14. 如權(quán)利要求7所述的觀察裝置，其特征在于， 上述支撐單元為透明的承載臺(tái)，上述觀察單元用于經(jīng)由上述承載臺(tái)來(lái)觀察上述透明基板。
15. 如權(quán)利要求7所述的觀察裝置，其特征在于，從上述支撐單元所支撐的上述透明基板的上方向上述透明基板照射上述 同軸照明光和上述斜射照明光，上述觀察單元用于從上述透明基板的下方觀察上述透明基板。
16. —種透明基板上的不透明部分的觀察方法，觀察在透明基板的一側(cè) 主面形成的不透明部分，其特征在于，在通過(guò)規(guī)定的支撐單元支撐上述透明基板的狀態(tài)下，從上述透明基板的 一側(cè)向上述透明基板重疊地照射同軸照明光和斜射照明光，并通過(guò)規(guī)定的觀 察單元從上述透明基板的另一側(cè)觀察上述透明基板。
17. 如權(quán)利要求16所述的透明基板上的不透明部分的觀察方法，其特征 在于，調(diào)整上述同軸照明光和上述斜射照明光中的至少一方的照射狀態(tài)，使 得在觀察區(qū)域內(nèi)的上述透明基板上除了上述不透明部分以外部分的光量在整 個(gè)上述觀察區(qū)域內(nèi)大致相同，其中，該光量是能夠通過(guò)上述觀察單元來(lái)把握 的。
18. 如權(quán)利要求17所述的透明基板上的不透明部分的觀察方法，其特征 在于，通過(guò)調(diào)整用于照射上述同軸照明光的同軸照明光源和用于照射上述斜 射照明光的斜射照明光源中的至少一方與上述透明基板之間的距離，調(diào)整上 述照射狀態(tài)。
19. 如權(quán)利要求17所述的透明基板上的不透明部分的觀察方法，其特征 在于，通過(guò)調(diào)整用于照射上述同軸照明光的同軸照明光源的亮度和照射上述斜射照明光的斜射照明光源的亮度中的至少一方，調(diào)整上述照射狀態(tài)。
20. 如權(quán)利要求17所述的透明基板上的不透明部分的觀察方法，其特征 在于，通過(guò)調(diào)整上述斜射照明光相對(duì)上述不透明基板的照射角度，調(diào)整上述 照射狀態(tài)。
21. 如權(quán)利要求16所述的透明基板上的不透明部分的觀察方法，其特征 在于，上述支撐單元為透明的承載臺(tái)，將上述透明基板以使上述另一側(cè)朝向上述承載臺(tái)的方式固定在上述承載 臺(tái)上，以此支撐上述透明基板，通過(guò)上述觀察單元經(jīng)由上述承載臺(tái)來(lái)觀察上述透明基板。
22. 如權(quán)利要求16所述的透明基板上的不透明部分的觀察方法，其特征 在于，從上述支撐單元所支撐的上述透明基板的上方向上述透明基板照射上述 同軸照明光和上述斜射照明光，通過(guò)上述觀察單元從上述透明基板的下方觀察上述透明基板。
23. —種透明基板上的不透明部分的觀察方法，觀察在透明基板的一側(cè) 主面形成的不透明部分，其特征在于，包括在通過(guò)規(guī)定的支撐單元來(lái)支撐上 述透明基板的狀態(tài)下所執(zhí)行的以下步驟(a) 工序，從上述透明基板的一側(cè)向上述透明基板照射同軸照明光，同 時(shí)從上述透明基板的另一側(cè)通過(guò)規(guī)定的攝像單元拍攝第一觀察像；(b) 工序，從上述透明基板的一側(cè)向上述透明基板照射斜射照明光，同 時(shí)從上述透明基板的另一側(cè)通過(guò)規(guī)定的攝像單元拍攝第二觀察像；(c) 工序，生成上述第一觀察圖像和上述第二觀察圖像的合成圖像。
全文摘要
提供能夠在觀察像中明確地識(shí)別在透明基板上形成的不透明的器件圖案的觀察方法和觀察裝置。在形成有器件圖案(3)的一側(cè)粘貼粘接板(4)，將透明基板固定于透明的承載臺(tái)(7)，從承載臺(tái)(7)的上方重疊地照射同軸透射照明光(L1)和斜射透射照明光(L2)，通過(guò)使用背面觀察單元(6)從承載臺(tái)(7)的下方經(jīng)由承載臺(tái)(7)進(jìn)行觀察，在觀察像中，對(duì)應(yīng)于器件圖案(3)觀察到暗的(黑色的)器件圖案像，和除器件圖案像以外的明亮的部分。并且，對(duì)應(yīng)于氣泡的部分很明亮。從而能夠在觀察像中明確地確定器件圖案(3)的形狀。
文檔編號(hào)B23K26/02GK101274392SQ20081009031
公開(kāi)日2008年10月1日 申請(qǐng)日期2008年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月29日
發(fā)明者小川純一, 庭山博, 林和夫, 栗山規(guī)由 申請(qǐng)人:雷射先進(jìn)科技株式會(huì)社