專利名稱：太陽(yáng)能薄膜電池激光蝕刻設(shè)備及蝕刻方法
太陽(yáng)能薄膜電池激光蝕刻設(shè)備及蝕刻方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激光切割技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽(yáng)能薄膜電池的
激光蝕刻i殳備及蝕刻方法。 [背景技術(shù)]
隨著現(xiàn)代工業(yè)的高速發(fā)展，技術(shù)快速的更新?lián)Q代以及對(duì)能源的需 求，現(xiàn)在能源結(jié)構(gòu)正在發(fā)生著根本性的變革，傳統(tǒng)的能源煤炭、石 油、天然氣使用量將在2020年一2040年到達(dá)高峰，而在2050年后將 會(huì)逐漸枯竭，替代能源，可再生能源(主要是太陽(yáng)能)從2000年開始 迅猛發(fā)展，到2050年使用量將達(dá)到高峰。傳統(tǒng)太陽(yáng)能電池是使用單晶 硅或多晶硅薄片，其硅用料較多，浪費(fèi)嚴(yán)重，硅元素提純工藝復(fù)雜且 成本太高。非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池使用硅元素量很少所以無原料瓶頸， 成本低，且工藝成熟，所以發(fā)展4艮快，成為目前薄膜太陽(yáng)能電池最成 熟的產(chǎn)品。
這種非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池鍍膜容易產(chǎn)生周邊的鍍膜不完整的缺 陷，影響電池板的性能和最終的成品封裝。激光蝕刻能在非晶硅薄膜 太陽(yáng)能電池的四周IO毫米帶狀區(qū)域用激光蝕刻掉，以保證太陽(yáng)能電池 片大小統(tǒng)一完整封裝，保證良好的絕緣性與成品制作。
現(xiàn)有的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備包括X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、X軸 基座、Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、Y軸基座、工件夾具、立柱和激光器系統(tǒng)。工件夾具安裝在Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在Y軸基座上，激光器 系統(tǒng)安裝在X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在X軸才幾座上，X軸積^ 座通過安裝于Y軸機(jī)座的立柱橫跨安裝于Y軸機(jī)座上方。 現(xiàn)有的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備存在以下不足
1. 生產(chǎn)效率低即使采用雙激光蝕刻頭，也只能在Y軸方向?qū)?件兩側(cè)邊同時(shí)進(jìn)4亍蝕刻，在X軸方向，工件兩側(cè)邊不可能同時(shí)進(jìn)4亍蝕 刻，生產(chǎn)效率較低。
2. Y軸方向的進(jìn)給距離大，Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的長(zhǎng)度過長(zhǎng)。
3. 工件夾具在工作過程中隨Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)沿Y軸方向作進(jìn)給運(yùn)動(dòng)， 給安裝進(jìn)料輸送系統(tǒng)和出料輸送系統(tǒng)帶來困難，不便于自動(dòng)化生產(chǎn)。
4. X軸機(jī)座通過安裝于Y軸機(jī)座的立柱橫跨安裝于Y軸機(jī)座上方， 難以安裝排塵系統(tǒng)，蝕刻產(chǎn)生的粉塵無法排除，難以改善工位的空氣 質(zhì)量。
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠采用雙激光蝕刻頭同步 進(jìn)行蝕刻，生產(chǎn)效率較高，Y軸方向的進(jìn)給距離小，Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的長(zhǎng) 度較短的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備。
本發(fā)明進(jìn)一步要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠自動(dòng)進(jìn)料和出 料，自動(dòng)化程度高的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備。
本發(fā)明更進(jìn)一步要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠安裝排塵系 統(tǒng)，以改善操作環(huán)境的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備。
本發(fā)明更另一個(gè)要解決的技術(shù)問題是提供一種生產(chǎn)效率較高的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻方法。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是， 一種太陽(yáng)能
薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，包括機(jī)架、Y軸基座、工件夾具和蝕刻系統(tǒng)， 機(jī)架與Y軸基座固定連接，所述的蝕刻系統(tǒng)為2套，相向布置在Y軸 基座上；每套蝕刻系統(tǒng)包括X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、X軸基座、Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和 激光器系統(tǒng)；所述的X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在X軸機(jī)座上，X軸機(jī)座安裝在 Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在Y軸基座上，形成十字滑臺(tái)結(jié)構(gòu)； 所述的工件夾具位于Y軸基座中部的上方，工件夾具的周邊夾緊裝置 安裝在機(jī)架上，工件夾具的中央支承裝置安裝在由位于Y軸基座中部 的支柱上；所述的激光器系統(tǒng)安裝在X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上；激光器系統(tǒng)的 蝕刻頭伸向工件夾具的下方。
以上所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，所述的工件夾具的 周邊夾緊裝置包括二維定位機(jī)構(gòu)，所述的二維定位機(jī)構(gòu)包括3個(gè)固定 定位點(diǎn)和3個(gè)氣缸夾緊點(diǎn)；其中第一固定定位點(diǎn)固定在機(jī)架的一個(gè)橫 梁上，第一氣缸夾緊點(diǎn)沿Y軸方向?qū)?yīng)第一固定定位點(diǎn)設(shè)置在^L架的 另1個(gè)橫梁上；第二固定定位點(diǎn)和第三固定定位點(diǎn)分別固定在機(jī)架的1 個(gè)縱梁上，第二氣缸夾緊點(diǎn)和第三氣缸夾緊點(diǎn)沿X軸方向分別對(duì)應(yīng)第 二固定定位點(diǎn)和第三固定定位點(diǎn)設(shè)置在機(jī)架的另1個(gè)縱梁上。
以上所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，所述的第一固定定 位點(diǎn)和第一氣缸分別安裝在2個(gè)垂直升降氣缸上，所述的2個(gè)垂直升 降氣缸分別安裝在機(jī)架的橫梁上。
以上所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，包括進(jìn)料輸送系統(tǒng)和出料輸送系統(tǒng)，所述的進(jìn)料輸送系統(tǒng)和出料輸送系統(tǒng)沿Y軸方向分 別布置在工件夾具的兩側(cè)。
以上所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，所述的進(jìn)料輸送系 統(tǒng)和出料輸送系統(tǒng)安裝在蝕刻系統(tǒng)上方的機(jī)架上，進(jìn)料輸送系統(tǒng)、出 料輸送系統(tǒng)和工件夾具中央支承裝置都安裝有輸送皮帶，3套輸送皮帶 的上工作平面齊平，沿Y軸方向傳輸工件，構(gòu)成工件輸送系統(tǒng)。
以上所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，所述激光器系統(tǒng)包 括半導(dǎo)體泵浦模塊、聲光Q開關(guān)、激光諧振腔膜片、擴(kuò)束鏡、光學(xué)掃 描振鏡、"F-e"鏡組。
以上所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，在工件夾具的上方 的機(jī)架上裝有吸塵罩。
本發(fā)明太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻方法的技術(shù)方案是，采用2套 蝕刻系統(tǒng)，2套激光蝕刻系統(tǒng)的激光器蝕刻頭相向布置，同時(shí)工作，分 別沿U字形路徑作蝕刻運(yùn)動(dòng)，聯(lián)合完成對(duì)工件周邊的蝕刻工作。
以上所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻方法，2套激光蝕刻系統(tǒng) 的激光器蝕刻頭同時(shí)作順時(shí)針的蝕刻運(yùn)動(dòng)，或同時(shí)作逆時(shí)針的蝕刻運(yùn) 動(dòng)。
以上所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻方法，工件的鍍膜面朝上， 激光由下向上透過基板照射到鍍膜層，去除工件表面的鍍膜層。
本發(fā)明太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備采用了 2套蝕刻系統(tǒng)，相 向布置在Y軸基座上。每套蝕刻系統(tǒng)都包括X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、X軸基座、 Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和激光器系統(tǒng)；所述的X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在X軸機(jī)座上，X軸機(jī)座安裝在Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在Y軸基座上，形 成十字滑臺(tái)結(jié)構(gòu)。本發(fā)明Y軸方向的進(jìn)給距離小，Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的長(zhǎng)度 短，有利于降低設(shè)備成本；2套蝕刻系統(tǒng)同時(shí)工作，分別沿U字形路徑 作蝕刻運(yùn)動(dòng)，聯(lián)合完成對(duì)工件周邊的蝕刻工作，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，提 高了生產(chǎn)效率，成品率和產(chǎn)品質(zhì)量。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)還^^于安裝排塵系 統(tǒng)，有利于改善操作環(huán)境。
本發(fā)明如進(jìn)一 步采用進(jìn)料輸送系統(tǒng)和出料輸送系統(tǒng)，便可以實(shí)現(xiàn) 進(jìn)料和出料自動(dòng)化，極大地提高生產(chǎn)效率，降低操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度。 [附圖"i兌明]
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

圖1是本發(fā)明太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備的正截面視圖。 圖2是圖1中的A向一見圖。 圖3是圖1中的B向視圖。
圖4是本發(fā)明非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池的蝕刻區(qū)域和蝕刻路徑示意圖。
圖5是本發(fā)明太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備的左3見圖 圖6是本發(fā)明太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備控制拒主視圖 圖7是本發(fā)明太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)的主截 面視圖
圖8是本發(fā)明太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)的俯截 面視圖[具體實(shí)施方式
]
本發(fā)明的激光蝕刻設(shè)備用于對(duì)非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池的邊緣進(jìn)行
蝕刻去膜處理，圖4所示的陰影部分是非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池的邊緣 需要蝕刻的部分。
如圖1至圖8所示本發(fā)明太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備實(shí)施例 包括機(jī)架30、大理石的Y軸基座6、大理石的Y軸基座6安裝在機(jī)架 30之上。在Y軸基座6上安裝了 2套同樣的蝕刻系統(tǒng)，2套蝕刻系統(tǒng) 在Y軸基座6上相向布置。每套蝕刻系統(tǒng)有X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)8、 X軸基座 8，、 Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)7和激光器系統(tǒng)9。 X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)8安裝在X軸才/L座 8，上，X軸機(jī)座8，安裝在Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)7上，Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)7安裝在 Y軸基座6上，形成十字滑臺(tái)結(jié)構(gòu)。工件夾具位于Y軸基座6中部的上 方，其中，工件夾具包括周邊夾緊裝置12a和中央支承裝置12b。周邊 夾緊裝置12a安裝在機(jī)架的中部，中央支承裝置12b由安裝在Y軸基 座6中部的支柱20支承。激光器系統(tǒng)9安裝在X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，激光 器系統(tǒng)的蝕刻頭9a沿Y軸方向伸向工件夾具的下方，可以達(dá)到工件的 中心。本發(fā)明的激光器為波長(zhǎng)10 6 4nm的固體激光器。
在本實(shí)施例中Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)7和X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)8采用伺服電機(jī)帶 動(dòng)，由大導(dǎo)程、高扭矩絲桿傳動(dòng)。
本發(fā)明中的輸送系統(tǒng)包括進(jìn)料輸送系統(tǒng)11，工件夾具的中央支承 裝置12b和出料輸送系統(tǒng)13。進(jìn)料輸送系統(tǒng)11和出料輸送系統(tǒng)13， 沿Y軸方向分別布置在工件夾具的兩側(cè)，安裝在激光器系統(tǒng)上方的機(jī) 架上.進(jìn)料輸送系統(tǒng)11、出料輸送系統(tǒng)13和中央支承裝置12b都安裝有輸送皮帶14， 3套輸送皮帶的上工作平面齊平，沿Y軸方向傳輸工 件，構(gòu)成工件輸送系統(tǒng)。輸送皮帶14采用防止跑偏的多楔帶，由步進(jìn) 電機(jī)16驅(qū)動(dòng)。進(jìn)料輸送系統(tǒng)ll,工件夾具和出料輸送系統(tǒng)13沿輸送 皮帶14的兩側(cè)都有引導(dǎo)工件的軟材料導(dǎo)向輪15。工件夾具的導(dǎo)向輪 15安裝在機(jī)架的2個(gè)縱梁上。
工件4由進(jìn)料輸送系統(tǒng)11流進(jìn)工件夾具的中央支承裝置12b,然 后由周邊夾緊裝置12a夾緊。周邊夾緊裝置12a以機(jī)架30作為框架， 對(duì)工件4采用二維定位機(jī)構(gòu)三點(diǎn)定位。二維定位機(jī)構(gòu)包括3個(gè)固定定 位點(diǎn)和3個(gè)氣缸夾緊點(diǎn)；其中第一固定定位點(diǎn)1903通過1個(gè)垂直升降 氣缸18固定在機(jī)架右側(cè)的一個(gè)橫梁上，第一氣釭夾緊點(diǎn)2003沿Y軸 方向?qū)?yīng)第一固定定位點(diǎn)1903通過另1個(gè)垂直升降氣釭18設(shè)置在機(jī) 架的另1個(gè)橫梁上。第二固定定位點(diǎn)1901和第三固定定位點(diǎn)1902分 別固定在機(jī)架的1個(gè)縱梁上，第二氣缸夾緊點(diǎn)2001和第三氣缸夾緊點(diǎn) 2002沿X軸方向分別對(duì)應(yīng)第二固定定位點(diǎn)2001和第三固定定位點(diǎn)2002 設(shè)置在機(jī)架對(duì)面的另1個(gè)縱梁上。工件4流進(jìn)工件夾具的中央支承裝 置12b前，2個(gè)垂直升降氣缸18將第一固定定位點(diǎn)1903和第一氣缸夾 緊點(diǎn)2003提起，便于工件4進(jìn)入工件夾具；工件4進(jìn)入夾具后，2個(gè) 垂直升降氣缸18將第一固定定位點(diǎn)1903和第一氣缸夾緊點(diǎn)2003放下， 3夾緊氣缸將工件4夾緊。蝕刻完成后，3氣缸將工件4+>開，2個(gè)垂 直升降氣釭18再次將第一固定定位點(diǎn)1903和第一氣缸夾緊點(diǎn)2003提 起，中央支承裝置12b的輸送皮帶將工件輸往出料輸送系統(tǒng)13。
激光器系統(tǒng)包括半導(dǎo)體泵浦模塊25、聲光Q開關(guān)24、激光諧振腔膜片23;振鏡系統(tǒng)(激光頭)9a的作用是使照射在其上的激光束發(fā)生 偏轉(zhuǎn)，通過控制光學(xué)掃描振鏡的運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到控制激光光束運(yùn)動(dòng)的 目的。振鏡頭裝在激光器頭部"F-e"鏡組27下方，其驅(qū)動(dòng)器裝在激光 器頭部，驅(qū)動(dòng)器電源由主控箱提供。"F-e"鏡組27為光學(xué)聚焦系統(tǒng)， 用于將激光束聚焦于工件表面，且在垂直光軸的二維平面上的工作區(qū) 域內(nèi)均能獲得良好的聚焦效果。該鏡組安裝在激光器的頭部。本實(shí)施 例采用后聚焦方式，這種聚焦方式將聚焦透鏡安裝在振鏡掃描器的后 面。它采用的聚焦透鏡是專門設(shè)計(jì)的F-e平場(chǎng)透鏡，不管光束如何移 動(dòng)，它的焦點(diǎn)位置始終保持在一個(gè)平面上，保證了在一定區(qū)域內(nèi)光斑 大小與能量密度一致，提高了蝕刻的質(zhì)量。另外，這種方式能夠通過 調(diào)聚焦鏡的倍數(shù)來改變焦點(diǎn)的位置，起到調(diào)焦的目的。
在本發(fā)明中，所有軸的電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、控制卡、其他電器元件、氣 路元件通過電氣底板安裝在機(jī)架30中，布局緊湊合理；鍵盤鼠標(biāo)抽屜 31、顯示器21、工控機(jī)，激光發(fā)生器控制箱安裝在控制拒22中，通過 線纜波紋套管與安裝在電氣底板上電器控制器件連接。本實(shí)例中控制 部分采用電腦工控系統(tǒng)控制，該系統(tǒng)能對(duì)激光發(fā)生器控制箱、激光器 系統(tǒng)9、 X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)8、 Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)7、和圖形蝕刻范圍、位置進(jìn) 行有效協(xié)調(diào)及聯(lián)動(dòng)控制。
本發(fā)明的設(shè)備在工作時(shí)，工件以基板向下，鍍膜面朝上的方位進(jìn) 入夾具，在傳輸過程中，鍍膜面不會(huì)拉傷。工件進(jìn)入夾具后中部由中 央支承裝置支承，周邊由周邊夾緊裝置定位夾緊，兩者在工件周邊的邊 緣處有一圈空隙，便于激光頭工作對(duì)工件進(jìn)行蝕刻。激光頭產(chǎn)生的激光由下向上透過J41照射到鍍膜層，去除工件表面的4 層。
本發(fā)明的2套蝕刻系統(tǒng)安裝在2套能分別作X、 Y方向運(yùn)動(dòng)的十字 滑臺(tái)結(jié)構(gòu)上。2套激光蝕刻系統(tǒng)的激光器蝕刻頭相向布置，同時(shí)工作。 如圖3和圖4所示，2套激光蝕刻系統(tǒng)的蝕刻頭以Y軸為對(duì)稱軸，分 別位于工件2個(gè)側(cè)邊的中點(diǎn)開始工作時(shí)，同時(shí)沿各自的U字形路徑順 時(shí)針或逆時(shí)針地作蝕刻運(yùn)動(dòng)。l個(gè)激光器沿l、 2、 3的路徑順時(shí)針進(jìn)行 蝕刻，另l個(gè)激光器沿r、 2，、 3'的路徑也順時(shí)針地進(jìn)^f亍蝕刻。兩個(gè)U 字形蝕刻路徑合成工件的矩形蝕刻周邊，聯(lián)合完成對(duì)工件周邊的蝕刻 工作。
為了改善操作環(huán)境，及時(shí)地將蝕刻產(chǎn)生的粉塵抽吸掉，本實(shí)施例 在工件夾具的上方的機(jī)架上裝有吸塵罩17。
在上述實(shí)施例中，僅對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了示范性描述，但是本領(lǐng)域技 術(shù)人員在不脫離本發(fā)明所保護(hù)的范圍和精神的情況下，可根據(jù)不同的 實(shí)際需要設(shè)計(jì)出各種實(shí)施方式。
權(quán)利要求
1. 一種太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，包括機(jī)架、Y軸基座、工件夾具和蝕刻系統(tǒng)，機(jī)架與Y軸基座固定連接，其特征在于，所述的蝕刻系統(tǒng)為2套，相向布置在Y軸基座上；每套蝕刻系統(tǒng)包括X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、X軸基座、Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和激光器系統(tǒng)；所述的X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在X軸機(jī)座上，X軸機(jī)座安裝在Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在Y軸基座上，形成十字滑臺(tái)結(jié)構(gòu)；所述的工件夾具位于Y軸基座中部的上方，工件夾具的周邊夾緊裝置安裝在機(jī)架上，工件夾具的中央支承裝置安裝在由位于Y軸基座中部的支柱上；所述的激光器系統(tǒng)安裝在X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上；激光器系統(tǒng)的蝕刻頭伸向工件夾具的下方。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，其特征在 于，所述的工件夾具的周邊夾緊裝置包括二維定位才幾構(gòu)，所述的二 維定位機(jī)構(gòu)包括3個(gè)固定定位點(diǎn)和3個(gè)氣缸夾緊點(diǎn)；其中第一固定 定位點(diǎn)固定在機(jī)架的一個(gè)橫梁上，第一氣缸夾緊點(diǎn)沿Y軸方向?qū)?yīng) 第一固定定位點(diǎn)設(shè)置在才幾架的另l個(gè)橫梁上；第二固定定位點(diǎn)和第 三固定定位點(diǎn)分別固定在機(jī)架的1個(gè)縱梁上，第二氣缸夾緊點(diǎn)和第 三氣缸夾緊點(diǎn)沿X軸方向分別對(duì)應(yīng)第二固定定位點(diǎn)和第三固定定位 點(diǎn)設(shè)置在機(jī)架的另1個(gè)縱梁上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，其特征在 于，所述的第一固定定位點(diǎn)和第一氣缸分別安裝在2個(gè)垂直升降氣缸上，所述的2個(gè)垂直升降氣缸分別安裝在機(jī)架的橫梁上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，其特征在 于，包括進(jìn)料輸送系統(tǒng)和出料輸送系統(tǒng)，所述的進(jìn)料輸送系統(tǒng)和出 料輸送系統(tǒng)沿Y軸方向分別布置在工件夾具的兩側(cè)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻設(shè)備，其特征在 于，所述的進(jìn)料輸送系統(tǒng)和出料輸送系統(tǒng)安裝在蝕刻系統(tǒng)上方的機(jī) 架上，進(jìn)料輸送系統(tǒng)、出料輸送系統(tǒng)和工件夾具中央支承裝置都安 裝有輸送皮帶，3套輸送皮帶的上工作平面齊平，沿Y軸方向傳輸 工件，構(gòu)成工件輸送系統(tǒng)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一權(quán)利要求所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光 蝕刻設(shè)備，其特征在于，所述激光器系統(tǒng)包括半導(dǎo)體泵浦模塊、聲 光Q開關(guān)、激光諧振腔膜片、擴(kuò)束鏡、光學(xué)掃描振鏡、"F-e"鏡組。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一權(quán)利要求所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光 蝕刻設(shè)備，其特征在于，在工件夾具的上方的機(jī)架上裝有吸塵罩。
8. —種太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻方法，其特征在于，采用2套蝕刻 系統(tǒng)，2套激光蝕刻系統(tǒng)的激光器蝕刻頭相向布置，同時(shí)工作，分 別沿U字形路徑作蝕刻運(yùn)動(dòng)，聯(lián)合完成對(duì)工件周邊的蝕刻工作。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻方法，其特征在 于，2套激光蝕刻系統(tǒng)的激光器蝕刻頭同時(shí)作順時(shí)針的蝕刻運(yùn)動(dòng)， 或同時(shí)作逆時(shí)針的蝕刻運(yùn)動(dòng)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的太陽(yáng)能薄膜電池的激光蝕刻方法，其特征在于，工件的鍍膜面朝上，激光由下向上透過基板照射到鍍膜層，去 除工件表面的鍍膜層。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種太陽(yáng)能薄膜電池激光蝕刻設(shè)備及蝕刻方法。設(shè)備包括2套蝕刻系統(tǒng)，相向布置在Y軸基座上，每套蝕刻系統(tǒng)包括X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和激光器系統(tǒng)。X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和Y軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，形成十字滑臺(tái)結(jié)構(gòu)；工件夾具位于Y軸基座中部的上方，工件夾具的周邊夾緊裝置安裝在機(jī)架上，工件夾具的中央支承裝置安裝在由位于Y軸基座中部的支柱上；激光器系統(tǒng)安裝在X軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，激光器系統(tǒng)的蝕刻頭伸向工件夾具的下方。本發(fā)明Y軸方向的進(jìn)給距離小，2套蝕刻系統(tǒng)同時(shí)工作，分別沿U字形路徑作蝕刻運(yùn)動(dòng)，聯(lián)合蝕刻掉工件周邊10毫米帶狀區(qū)域的鍍膜層，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，提高了生產(chǎn)效率，成品率和產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號(hào)B23K26/00GK101417370SQ20081021749
公開日2009年4月29日 申請(qǐng)日期2008年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月19日
發(fā)明者倪鵬玉, 吳志宏, 李世印, 建 謝, 鄭國(guó)云, 陳明金, 高云峰 申請(qǐng)人:深圳市大族激光科技股份有限公司