專(zhuān)利名稱(chēng)：一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝裝置和工作機(jī)械，尤其涉及一種半導(dǎo)體 封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
背景技術(shù)：
在工業(yè)控制中，高速高精度運(yùn)動(dòng)控制作為制造及裝配等領(lǐng)域的通用 技術(shù)， 一直以來(lái)都是工業(yè)界和學(xué)術(shù)界研究的重點(diǎn)，尤其是在半導(dǎo)體內(nèi)引 線(xiàn)的焊接等半導(dǎo)體封裝制造領(lǐng)域。半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 一般采用 馬達(dá)為步進(jìn)馬達(dá)或者伺服馬達(dá)。步進(jìn)馬達(dá)多用于一些有定位要求的場(chǎng) 合，當(dāng)步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器接收到一個(gè)脈沖信號(hào)，它就驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)按設(shè)定的方 向轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)固定的角度(及步進(jìn)角)。伺服馬達(dá)應(yīng)用領(lǐng)域較廣，其包括 一個(gè)小型直流馬達(dá)， 一組變速齒輪組， 一個(gè)反饋可調(diào)電位器，及一塊電
子控制板；其中，高速轉(zhuǎn)動(dòng)的直流馬達(dá)提供了原始動(dòng)力，帶動(dòng)變速(減 速)齒輪組，使之產(chǎn)生扭力的輸出。步進(jìn)馬達(dá)和伺服馬達(dá)的動(dòng)作速度相 對(duì)比較慢，一^:在12G左右，G是重力加速度?，F(xiàn)有的步進(jìn)馬達(dá)通過(guò)轉(zhuǎn) 動(dòng)的步進(jìn)角度，帶動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，達(dá)到控制的目的，但難以滿(mǎn)足高速度、 高精度的要求。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種高速、高精度的半導(dǎo)體封裝機(jī)械的 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
為達(dá)到本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為 一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括固定座，所述固定座上設(shè)有
兩個(gè)相垂直的音圈馬達(dá)，每個(gè)音圈馬達(dá)的可動(dòng)子分別連接一滑動(dòng)結(jié)構(gòu)， 兩個(gè)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)軌與滑板連接，固定座上設(shè)有分別與兩滑動(dòng)結(jié)構(gòu)相 平行的光柵尺，滑動(dòng)結(jié)構(gòu)上設(shè)有可讀取光柵尺數(shù)字的讀數(shù)頭。所述音圏馬達(dá)和滑動(dòng)結(jié)構(gòu)固定在底座上，底座固定在固定座上，光 柵尺通過(guò)光柵尺座固定在底座上。
所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)軌和可在導(dǎo)軌上滑動(dòng)的連接塊。 所述導(dǎo)軌為滑動(dòng)導(dǎo)軌或者滾子交叉導(dǎo)軌。 讀數(shù)頭通過(guò)讀數(shù)頭連接板固定在滑動(dòng)結(jié)構(gòu)上。
本實(shí)用新型所述半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其動(dòng)力裝置為音圈馬
達(dá)，可提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度，最高可達(dá)60G, G為重力加速度；用光
柵尺配合運(yùn)動(dòng)平臺(tái)構(gòu)成定位系統(tǒng)，在不影響速度的情況下可達(dá)到高精
度，最高精確度可達(dá)O. ljim。

圖1是本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的立體結(jié)構(gòu)圖； 圖2是本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的立體分解圖。 主要組件符號(hào)說(shuō)明
1、固定座2、 Y底座 21、Y向音圈馬達(dá)
22、Y向連4妄塊23、 X軸滑動(dòng)導(dǎo)軌24、滑塊
25、滑板連接板26、 Y軸滑動(dòng)導(dǎo)軌27、滑塊
28、Y向可動(dòng)子3、 X底座31、 X向音圈馬達(dá)
32、x向連接塊33、 34滾子交叉導(dǎo)軌35、 X向可動(dòng)子
4、滑板5、 X向光柵尺51、光柵尺座
6、Y向光柵尺61、光纟冊(cè)尺座7、 8、讀數(shù)頭
71、81讀數(shù)頭連接板
具體實(shí)施方式
一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括固定座l,固定座l上設(shè)有
兩個(gè)相垂直的底座，分別為X底座3和Y底座2， Y底座2頂面固定有Y 向音圈馬達(dá)21和Y軸滑動(dòng)導(dǎo)軌26,側(cè)面固定有光柵尺座61, Y向光柵 尺6固定在光柵尺座61上；Y向連接塊22與Y向音圈馬達(dá)21的Y向可 動(dòng)子28水平連接，Y向連接塊22下端設(shè)有與Y軸滑動(dòng)導(dǎo)軌26相配合的滑塊27， Y向連接塊22可隨Y向可動(dòng)子28的往復(fù)運(yùn)動(dòng)沿著Y軸滑動(dòng)導(dǎo) 軌26進(jìn)行滑動(dòng)；Y向連接塊22側(cè)面固定有讀數(shù)頭連接板81，讀數(shù)頭連 接板81上固定有讀數(shù)頭8，該讀數(shù)頭8可以讀取Y向光柵尺6上的數(shù)字； Y向連接塊22與Y向音圈馬達(dá)21相對(duì)的一側(cè)固定有X軸滑動(dòng)導(dǎo)軌23, 該X軸滑動(dòng)導(dǎo)軌23具有與其相配合的滑塊24，滑塊24通過(guò)滑板連接板 25與滑板4連接。
X向音圈馬達(dá)31及X底座3固定在固定座l上，X底座3頂面固定 有滾子交叉導(dǎo)軌34，側(cè)面固定有光柵尺座51， X向光柵尺5固定在光柵 尺座51上；X向連接塊32與X向音圈馬達(dá)31的X向可動(dòng)子35水平連 接，X向連接塊32側(cè)面固定有讀數(shù)頭連接板71,讀數(shù)頭7固定在讀數(shù) 頭連接板71上，讀數(shù)頭7可以讀取X向光柵尺5上的數(shù)字，X向連接塊 32底部與滾子交叉導(dǎo)軌34連接，X向連接塊32在X向可動(dòng)子35的帶 動(dòng)下沿著滾子交叉導(dǎo)軌34往復(fù)滑動(dòng)；滑板4通過(guò)滾子交叉導(dǎo)軌33與X 向連接塊32連接。
工作時(shí)當(dāng)Y向音圈馬達(dá)21通電時(shí)，Y向音圈馬達(dá)21的Y向可動(dòng) 子28帶動(dòng)Y向連接塊22沿著Y軸滑動(dòng)導(dǎo)軌26在Y底座2上做Y向直 線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，而Y向連接塊22帶動(dòng)滑板4沿著滾子交叉導(dǎo)軌33做Y向直線(xiàn) 運(yùn)動(dòng)。
當(dāng)X向音圈馬達(dá)31通電時(shí)，X音圏馬達(dá)31中的X向可動(dòng)子35帶動(dòng) X向連接塊32， X向連接塊32帶動(dòng)滑板4沿著滾子交叉導(dǎo)軌34和滑塊 24做X向直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。
當(dāng)作Y向直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，在Y向連接塊22的帶動(dòng)下，滑塊24帶動(dòng)滑 板4沿著滾子交叉導(dǎo)軌34做X向平移運(yùn)動(dòng)。
當(dāng)作X向直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，在X向連接塊32的帶動(dòng)下，滑塊24帶動(dòng)滑 板4沿著滾子交叉導(dǎo)軌33做Y向平移運(yùn)動(dòng)。
這樣就實(shí)現(xiàn)了滑板4的一個(gè)平面運(yùn)動(dòng)。
速度由音圈馬達(dá)確定， 一般可達(dá)到30G， G為重力加速度，最高可 達(dá)到60G。
光柵尺上有精確的刻度，可達(dá)0. 1 mm，當(dāng)Y向連接塊22做Y向直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，與Y向連接塊22連接的讀數(shù)頭8跟著在Y向光柵尺6上移動(dòng)， 并讀取數(shù)據(jù)，反^t到控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)對(duì)Y向音圏馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行控 制；同理，讀數(shù)頭7跟著在X向光柵尺5上移動(dòng)，并讀取數(shù)據(jù)，反饋到 控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)對(duì)X向音圈馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行控制；從而實(shí)現(xiàn)對(duì)高速 度、高精度運(yùn)動(dòng)的工作平臺(tái)進(jìn)行了精確控制。
權(quán)利要求1、一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括固定座，其特征在于所述固定座上設(shè)有兩個(gè)相垂直的音圈馬達(dá)，每個(gè)音圈馬達(dá)的可動(dòng)子分別連接一滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，兩個(gè)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)軌與滑板連接，固定座上設(shè)有分別與兩滑動(dòng)結(jié)構(gòu)相平行的光柵尺，滑動(dòng)結(jié)構(gòu)上設(shè)有可讀取光柵尺數(shù)字的讀數(shù)頭。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特 征在于所述音圈馬達(dá)和滑動(dòng)結(jié)構(gòu)固定在底座上，底座固定在固定座上， 光柵尺通過(guò)光4冊(cè)尺座固定在底座上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特 征在于所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)軌和可在導(dǎo)軌上滑動(dòng)的連接塊。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)， 其特征在于所述導(dǎo)軌為滑動(dòng)導(dǎo)軌或者滾子交叉導(dǎo)軌。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特 征在于讀數(shù)頭通過(guò)讀數(shù)頭連接板固定在滑動(dòng)結(jié)構(gòu)上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體封裝機(jī)械的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括固定座，所述固定座上設(shè)有兩個(gè)相垂直的音圈馬達(dá)，每個(gè)音圈馬達(dá)的可動(dòng)子分別連接一滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，兩個(gè)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)軌與滑板連接，固定座上設(shè)有分別與兩滑動(dòng)結(jié)構(gòu)相平行的光柵尺，滑動(dòng)結(jié)構(gòu)上設(shè)有可讀取光柵尺數(shù)字的讀數(shù)頭。其動(dòng)力裝置為音圈馬達(dá)，可提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度，最高可達(dá)60G，G為重力加速度；用光柵尺配合運(yùn)動(dòng)平臺(tái)構(gòu)成定位系統(tǒng)，在不影響速度的情況下可達(dá)到高精度，最高可達(dá)0.1μm。
文檔編號(hào)B23Q1/25GK201229936SQ200820094368
公開(kāi)日2009年4月29日 申請(qǐng)日期2008年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月2日
發(fā)明者宋勇飛 申請(qǐng)人:深圳市創(chuàng)唯星自動(dòng)化設(shè)備有限公司