專利名稱：電化學(xué)加工設(shè)備及加工方法及其電極單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種加工設(shè)備及方法，尤其是指一種電化學(xué)加工設(shè)備及其方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今發(fā)展出電化學(xué)加工(electro chemical machining)，其有別于傳統(tǒng)加工方 法，是用來加工極硬材料或者傳統(tǒng)加工方法難以加工的材料或加工對(duì)象，電化學(xué)加工方法 又稱為電解加工。運(yùn)用電化學(xué)加工時(shí)，電極是陰極用于作為刀具，而加工對(duì)象是陽極，也就 是電極與加工對(duì)象分別耦接電源的陰極與陽極。電源從加工對(duì)象經(jīng)電解液至電極，如此即 可對(duì)加工對(duì)象進(jìn)行加工，而移除加工對(duì)象不要的部份，電化學(xué)加工在加工的過程中沒有和 加工對(duì)象接觸，也沒有電火花的產(chǎn)生，所以相當(dāng)安全。由上述說明可知，電極是用于作為加工刀具而控制加工對(duì)象的加工位置與深度。 例如當(dāng)欲于加工對(duì)象上形成一孔洞時(shí)，即必須在電極上形成一絕緣層，僅讓部分電極外露 于外，電極其余位置皆被絕緣層覆蓋，電極的外露部分是用于在加工對(duì)象上形成孔洞，電極 的外露的位置通常是相對(duì)于孔洞預(yù)計(jì)位于加工對(duì)象的位置，以對(duì)加工對(duì)象進(jìn)行加工，而可 于加工對(duì)象上形成孔洞。但是，因?yàn)殡姌O上的絕緣層的厚度是會(huì)影響電極的外露部分對(duì)加 工對(duì)象形成孔洞的深度，若絕緣層的厚度較厚則孔洞的深度較淺，反之則孔洞的深度較深， 所以若形成于電極的絕緣層的厚度控制不當(dāng)，則會(huì)發(fā)生所形成的孔洞的深度不符合預(yù)期的 深度，如此則必須丟棄原有電極，而更換新電極并形成絕緣層于新電極，這樣反復(fù)調(diào)整即會(huì) 提高加工成本，且不易控制加工精度。因此，如何提高加工精度與節(jié)省加工成本，乃為現(xiàn)今 電化學(xué)加工的一重要課題。因此，本發(fā)明即在針對(duì)上述問題而提出一種電化學(xué)加工設(shè)備及加工方法及其電極 單元，不僅可改善上述現(xiàn)有技術(shù)缺點(diǎn)，又可節(jié)省加工成本，以解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一，在于提供一種電化學(xué)加工設(shè)備及加工方法及其電極單元，其 藉由液態(tài)金屬填充于絕緣管內(nèi)，并伸入于孔洞而為一電極，以對(duì)工件加工，以達(dá)到提高加工 精確與節(jié)省加工成本的目的。本發(fā)明的目的之一，在于提供一種電化學(xué)加工設(shè)備及加工方法及其電極單元，其 藉由控制裝置施加一壓力或一溫度于液態(tài)金屬，而控制液態(tài)金屬伸入于孔洞的位置，以達(dá) 到提高加工精確的目的。為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明提供一種電化學(xué)加工設(shè)備，該電化學(xué)加工設(shè)備用以 加工至少一工件，該電化學(xué)加工設(shè)備包含有一槽體，具有一電解液，其中該工件位于該電解液中；一絕緣管，具有至少一孔洞，位于該電解液中；一液態(tài)金屬，填充于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極，以對(duì)該工件加工；以 及
一電源單元，其兩極分別耦接該工件與該液態(tài)金屬。本發(fā)明中，其更包含一控制裝置，包含一伸縮控制單元用以施加一壓力于該液態(tài)金屬，以控制該液態(tài) 金屬伸入該孔洞的位置。本發(fā)明中，其中該伸縮控制單元為一加壓器，該加壓器為一壓電材料所制。本發(fā)明中，其中該控制裝置依據(jù)復(fù)數(shù)個(gè)壓力控制參數(shù)而控制施加于該液態(tài)金屬的 該壓力的大小，而控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。本發(fā)明中，其中該控制裝置更包含一數(shù)據(jù)庫，儲(chǔ)存有該些壓力控制參數(shù)，該些壓力控制參數(shù)對(duì)應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入 該孔洞的位置；以及一微處理單元，讀取該些壓力控制參數(shù)，且依據(jù)該些壓力控制參數(shù)產(chǎn)生一控制訊 號(hào)；其中，該伸縮控制單元耦接該微處理單元，且依據(jù)該控制訊號(hào)控制施加于該液態(tài) 金屬的該壓力的大小，以控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。本發(fā)明中，其更包含一控制裝置，包含一伸縮控制單元用以施加一溫度于該液態(tài)金屬，以控制該液態(tài) 金屬伸入該孔洞的位置。本發(fā)明中，其中該伸縮控制單元為一加熱器，該加熱器為電阻材料所制。本發(fā)明中，其中該控制裝置依據(jù)復(fù)數(shù)個(gè)溫度控制參數(shù)而控制施加于該液態(tài)金屬的 該溫度的大小，而控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。本發(fā)明中，其中該控制裝置更包含一數(shù)據(jù)庫，儲(chǔ)存有該些溫度控制參數(shù)，該些溫度控制參數(shù)對(duì)應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入 該孔洞的位置；以及一微處理單元，讀取該些溫度控制參數(shù)，且依據(jù)該些溫度控制參數(shù)產(chǎn)生一控制訊 號(hào)；其中，該伸縮控制單元耦接該微處理單元，且依據(jù)該控制訊號(hào)控制施加于該液態(tài) 金屬的該溫度的大小，以控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。本發(fā)明中，其中該數(shù)據(jù)庫儲(chǔ)存有復(fù)數(shù)個(gè)加工電流控制參數(shù)，該些加工電流控制參 數(shù)對(duì)應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置；以及該控制裝置更包含一傳感器，偵測該電源單 元的一加工電流信息，該微處理單元依據(jù)該加工電流信息與該數(shù)據(jù)庫的該些加工電流控制 參數(shù)比較后的一差值，而更改該伸縮控制單元施加的該壓力或該溫度于該液態(tài)金屬，以致 調(diào)整該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。本發(fā)明中，其中該電源單元的一正極耦接該工件，一負(fù)極耦接該液態(tài)金屬。本發(fā)明中，其中該液態(tài)金屬為水銀或鎵。本法還同時(shí)公開了一種電化學(xué)加工方法，其包含有下列步驟提供一槽體、至少一工件與一絕緣管，其中該槽體具有一電解液，該工件與該絕緣 管位于該電解液中，該絕緣管具有至少一孔洞；填充一液態(tài)金屬于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極，以對(duì)該工件加工；以 及
分別耦接一電源單元的兩極于該工件與該液態(tài)金屬。本發(fā)明還同時(shí)公開了一種用于電化學(xué)加工的電極單元，其包含有一絕緣管，具有至少一孔洞；以及—液態(tài)金屬，填充于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極。本發(fā)明中，其中該液態(tài)金屬為水銀或鎵。本發(fā)明具有的有益效果，由于本發(fā)明藉由調(diào)整液態(tài)金屬伸入孔洞的位置，即可調(diào) 整本發(fā)明對(duì)工件進(jìn)行加工的深淺度，所以本發(fā)明可提高加工精度。此外，因?yàn)楸景l(fā)明不需更 換電極即可調(diào)整對(duì)工件進(jìn)行加工的深淺度，如此，可節(jié)省加工成本。


圖1是本發(fā)明電化學(xué)加工設(shè)備的一較佳實(shí)施例的示意圖；圖2是本發(fā)明的一第一實(shí)施例電化學(xué)加工設(shè)備的控制裝置的方塊圖；以及圖3是本發(fā)明的第二實(shí)施例電化學(xué)加工設(shè)備的控制裝置的方塊圖。圖號(hào)簡單說明10槽體12色緣管14液態(tài)金屬16電源單元17電解液18工件19孔洞22數(shù)據(jù)庫24微處理單元26伸縮控制單元28傳感器30控制裝置30，控制裝置40電化學(xué)加工設(shè)備
具體實(shí)施例方式為使對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識(shí)，用以較佳的 實(shí)施例及附圖配合詳細(xì)的說明，說明如下首先，請(qǐng)參閱圖1，是本發(fā)明電化學(xué)加工設(shè)備40的示意圖。如圖所示，本發(fā)明電化 學(xué)加工設(shè)備40包含一槽體10、一絕緣管12、一液態(tài)金屬14、一電源單元16、一控制裝置30 與一電解液17。其中，絕緣管12與液態(tài)金屬14用于作為電化學(xué)加工的一電極單元。絕緣 管12、電解液17位于槽體10內(nèi)，槽體10內(nèi)更放置有欲進(jìn)行加工的工件18。絕緣管12和工 件18的相對(duì)加工區(qū)域皆浸于電解液17中，絕緣管12且具有至少一孔洞19。液態(tài)金屬14 填充于絕緣管12內(nèi)，并伸入孔洞19而作為電化學(xué)加工的一電極，以用于配合電解液17而 對(duì)工件18進(jìn)行加工。其中控制裝置30連接于電極單元，而包含一伸縮控制單元沈，其一實(shí) 施例可為壓電材料所制的一加壓器，可利用電壓大小控制其伸長量，進(jìn)而對(duì)液態(tài)金屬14進(jìn) 行擠壓控制；或者伸縮控制單元沈的另一實(shí)施例可為一電阻材料所制的一加熱器，以對(duì)液 態(tài)金屬14進(jìn)行加熱，進(jìn)而使液態(tài)金屬14體積膨脹。電源單元16具有正負(fù)兩極，其正極耦 接工件18，而負(fù)極耦接液態(tài)金屬14，即耦接于電極。如此，即可對(duì)工件18進(jìn)行電化學(xué)加工， 而移除工件18不要的部份，形成對(duì)應(yīng)孔洞19的加工區(qū)。本發(fā)明主要是藉由將液態(tài)金屬14填充于絕緣管12中，并且讓液態(tài)金屬14伸入孔 洞19，以作為電化學(xué)加工的電極，液態(tài)金屬14會(huì)于孔洞19中形成具一曲率的凸面。如此，藉由控制液態(tài)金屬14伸入孔洞19的位置，也就是液態(tài)金屬14位于孔洞19的凸點(diǎn)與絕緣 管12的外表面的間距a，或與工件18的表面的間距b，如此利用此電極進(jìn)行電化學(xué)加工，即 可控制在工件18的側(cè)向表面的加工深度，以達(dá)到提高加工精確的目的。例如，若液態(tài)金屬 14伸入孔洞19的距離較大時(shí)，使得間距a或間距b相對(duì)減小，即可加工使工件18的側(cè)向表 面形成深度較深的凹面。反之，液態(tài)金屬14伸入孔洞19的距離較小時(shí)，使得間距a或間距 b相對(duì)加大，即可加工形成深度較淺的凹面于工件18的側(cè)向表面。由上述可知，本發(fā)明僅需藉由調(diào)整液態(tài)金屬14伸入孔洞19的位置，即可調(diào)整對(duì)工 件18的側(cè)向表面進(jìn)行加工的深度。若發(fā)生形成于工件18的凹面的深度不符合預(yù)期的深度 時(shí)，僅需調(diào)整液態(tài)金屬14伸入孔洞19的位置，即可調(diào)整凹面的深度，如此則不需如同現(xiàn)有 技術(shù)必須丟棄原有電極，因此本發(fā)明即可達(dá)到節(jié)省加工成本的目的。本發(fā)明電化學(xué)加工設(shè)備40的液態(tài)金屬14的一較佳實(shí)施例為水銀或鎵。上述實(shí)施 方式僅為本發(fā)明的一較佳實(shí)施例，并不局限本發(fā)明的實(shí)施例僅為上述方式。例如，本發(fā)明亦 可在槽體10內(nèi)設(shè)置復(fù)數(shù)個(gè)工件18與填充有液態(tài)金屬14的復(fù)數(shù)條絕緣管12，以對(duì)該些工件 18進(jìn)行加工。此外，本發(fā)明的絕緣管12的孔洞19的位置與數(shù)量，是依據(jù)對(duì)工件18進(jìn)行加 工的需求而改變，而并非僅為此實(shí)施例所示的位置與數(shù)量。本發(fā)明為了便于控制液態(tài)金屬14伸入孔洞19的位置，是可進(jìn)一步藉由控制裝置 30控制液態(tài)金屬19，其用于施加壓力或溫度于液態(tài)金屬14，以控制液態(tài)金屬14伸入孔洞 19的位置，而調(diào)整對(duì)工件18加工所欲形成的凹面的深度。以下是配合第二及圖3的實(shí)施 例，而對(duì)本發(fā)明的控制裝置30進(jìn)行詳細(xì)說明。請(qǐng)參閱圖2，是本發(fā)明的第一實(shí)施例的電化學(xué)加工設(shè)備40的控制裝置30的方塊 圖，該控制裝置30為開回路(open loop)控制的設(shè)計(jì)。如圖所示，本發(fā)明的控制裝置30包 含伸縮控制單元沈，其可施加壓力推抵或施加溫度加熱于液態(tài)金屬14，以控制液態(tài)金屬14 伸入孔洞19的位置。當(dāng)施加壓力或施加溫度較大時(shí)，液態(tài)金屬14伸入孔洞19的距離較大， 也就是圖1所示之間距a或間距b減小，反之則變小，如此即可調(diào)整加工精度。復(fù)參閱圖2，本發(fā)明的控制裝置30更包含一數(shù)據(jù)庫22與一微處理單元M。數(shù)據(jù) 庫22中存有復(fù)數(shù)個(gè)控制參數(shù)，例如壓力控制參數(shù)及溫度控制參數(shù)，該些壓力控制參數(shù)與該 些溫度控制參數(shù)對(duì)應(yīng)于液態(tài)金屬14伸入孔洞19的位置，亦即該些壓力控制參數(shù)及該些溫 度控制參數(shù)對(duì)應(yīng)于凹面加工的深度?？刂蒲b置30即依據(jù)該些壓力控制參數(shù)或該些溫度控 制參數(shù)，而控制施加于液態(tài)金屬14的壓力或溫度的大小，以控制液態(tài)金屬14伸入孔洞19 的位置。此外，微處理單元M是耦接數(shù)據(jù)庫22與伸縮控制單元沈，其會(huì)依據(jù)欲對(duì)工件18 進(jìn)行加工的加工條件，例如凹面的深度，而讀取數(shù)據(jù)庫22中的控制參數(shù)，并且依據(jù)控制參 數(shù)產(chǎn)生一控制訊號(hào)，并傳送控制訊號(hào)至伸縮控制單元沈，伸縮控制單元沈即會(huì)依據(jù)所接收 到的控制訊號(hào)，而施加對(duì)應(yīng)的壓力或溫度于液態(tài)金屬14，以控制液態(tài)金屬14位于孔洞19的 位置，也就是控制液態(tài)金屬14伸入孔洞19的位置，且控制電源單元16輸出電訊號(hào)以進(jìn)行 電化學(xué)加工，并使工件18形成所對(duì)應(yīng)的凹面深度。上述的壓力及溫度控制參數(shù)是預(yù)先依據(jù) 各種加工條件與液態(tài)金屬14的種類等條件，而建立于數(shù)據(jù)庫22中。此外，請(qǐng)參閱圖3，是本發(fā)明的第二實(shí)施例的電化學(xué)加工設(shè)備40的控制裝置30’的 方塊圖，此實(shí)施例的該控制裝置30’為閉回路(closed loop)控制的設(shè)計(jì)，而不同于上一實(shí)施例的開回路設(shè)計(jì)的控制裝置30。微處理單元M會(huì)依據(jù)欲對(duì)工件18進(jìn)行加工的加工條 件，例如凹面的深度，而讀取數(shù)據(jù)庫22中的控制參數(shù)，并且依據(jù)控制參數(shù)產(chǎn)生控制訊號(hào)，并 傳送控制訊號(hào)至伸縮控制單元沈，伸縮控制單元沈即會(huì)依據(jù)所接收到的控制訊號(hào)，而施加 對(duì)應(yīng)的壓力或溫度于液態(tài)金屬14，以控制液態(tài)金屬14伸入孔洞的位置，且控制電源單元16 輸出電訊號(hào)以進(jìn)行電化學(xué)加工，并使工件18形成所對(duì)應(yīng)的凹面深度。由于，液態(tài)金屬14可能會(huì)受溫度影響而膨脹，而影響液態(tài)金屬14伸入孔洞19的 位置。此時(shí)，數(shù)據(jù)庫22中更存有復(fù)數(shù)個(gè)控制參數(shù)，例如加工電流控制參數(shù)，其對(duì)應(yīng)于液態(tài)金 屬14伸入孔洞19的位置。本發(fā)明的控制裝置30’更包含一傳感器觀，其用于偵測電源單 元16的一加工電流信息，而可實(shí)時(shí)獲知該液態(tài)金屬14伸入該孔洞19的位置，藉此微處理 單元M依據(jù)加工電流信息與數(shù)據(jù)庫22的加工電流控制參數(shù)比較后的一差值，而產(chǎn)生對(duì)應(yīng) 的控制訊號(hào)至伸縮控制單元沈，進(jìn)而更改伸縮控制單元沈施加壓力或溫度于液態(tài)金屬14， 以致調(diào)整液態(tài)金屬14伸入孔洞19的位置，而改變加工電流的大小，如此反復(fù)即可達(dá)到所預(yù) 設(shè)的加工深度。此實(shí)施例僅為本發(fā)明的一實(shí)施例。由上述可知，本發(fā)明可利用控制裝置30 或30’改變液態(tài)金屬14伸入孔洞19的位置，進(jìn)而于電化學(xué)加工使工件18的加工表面形成 不同深度的加工效果，如此即方便控制加工精度。本發(fā)明控制裝置30與30’的數(shù)據(jù)庫22 與微處理單元M的一較佳實(shí)施例為一計(jì)算機(jī)。綜上所述，本發(fā)明為一種電化學(xué)加工設(shè)備及加工方法及其電極單元，其包含絕緣 管與液態(tài)金屬，以用于加工至少一工件，工件與絕緣管位于電解液中，且絕緣管具有孔洞， 液態(tài)金屬填充于絕緣管內(nèi)并伸入孔洞，而作為電極以對(duì)工件進(jìn)行加工。由于本發(fā)明藉由調(diào) 整液態(tài)金屬伸入孔洞的位置，即可調(diào)整本發(fā)明對(duì)工件進(jìn)行加工的深淺度，所以本發(fā)明可提 高加工精度。此外，因?yàn)楸景l(fā)明不需更換電極即可調(diào)整對(duì)工件進(jìn)行加工的深淺度，如此，可 節(jié)省加工成本。綜上所述，僅為本發(fā)明的一較佳實(shí)施例而已，并非用來限定本發(fā)明實(shí)施的范圍，凡 依本發(fā)明權(quán)利要求范圍所述的形狀、構(gòu)造、特征及精神所為的均等變化與修飾，均應(yīng)包括于 本發(fā)明的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電化學(xué)加工設(shè)備，該電化學(xué)加工設(shè)備用以加工至少一工件，該電化學(xué)加工設(shè)備 包含有一槽體，具有一電解液，其中該工件位于該電解液中；一絕緣管，具有至少一孔洞，位于該電解液中；一液態(tài)金屬，填充于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極，以對(duì)該工件加工；以及一電源單元，其兩極分別耦接該工件與該液態(tài)金屬。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其更包含一控制裝置，包含一伸縮控制單元用以施加一壓力于該液態(tài)金屬，以控制該液態(tài)金屬 伸入該孔洞的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該伸縮控制單元為一加壓器，該加壓 器為一壓電材料所制。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該控制裝置依據(jù)復(fù)數(shù)個(gè)壓力控制參數(shù) 而控制施加于該液態(tài)金屬的該壓力的大小，而控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該控制裝置更包含一數(shù)據(jù)庫，儲(chǔ)存有該些壓力控制參數(shù)，該些壓力控制參數(shù)對(duì)應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入該孔 洞的位置；以及一微處理單元，讀取該些壓力控制參數(shù)，且依據(jù)該些壓力控制參數(shù)產(chǎn)生一控制訊號(hào)；其中，該伸縮控制單元耦接該微處理單元，且依據(jù)該控制訊號(hào)控制施加于該液態(tài)金屬 的該壓力的大小，以控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其更包含一控制裝置，包含一伸縮控制單元用以施加一溫度于該液態(tài)金屬，以控制該液態(tài)金屬 伸入該孔洞的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該伸縮控制單元為一加熱器，該加熱 器為電阻材料所制。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該控制裝置依據(jù)復(fù)數(shù)個(gè)溫度控制參數(shù) 而控制施加于該液態(tài)金屬的該溫度的大小，而控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該控制裝置更包含一數(shù)據(jù)庫，儲(chǔ)存有該些溫度控制參數(shù)，該些溫度控制參數(shù)對(duì)應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入該孔 洞的位置；以及一微處理單元，讀取該些溫度控制參數(shù)，且依據(jù)該些溫度控制參數(shù)產(chǎn)生一控制訊號(hào)；其中，該伸縮控制單元耦接該微處理單元，且依據(jù)該控制訊號(hào)控制施加于該液態(tài)金屬 的該溫度的大小，以控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求5或9所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該數(shù)據(jù)庫儲(chǔ)存有復(fù)數(shù)個(gè)加工電流 控制參數(shù)，該些加工電流控制參數(shù)對(duì)應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置；以及該控制裝置 更包含一傳感器，偵測該電源單元的一加工電流信息，該微處理單元依據(jù)該加工電流信息 與該數(shù)據(jù)庫的該些加工電流控制參數(shù)比較后的一差值，而更改該伸縮控制單元施加的該壓 力或該溫度于該液態(tài)金屬，以致調(diào)整該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該電源單元的一正極耦接該工件，一 負(fù)極耦接該液態(tài)金屬。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該液態(tài)金屬為水銀或鎵。
13.—種電化學(xué)加工方法，其包含有下列步驟提供一槽體、至少一工件與一絕緣管，其中該槽體具有一電解液，該工件與該絕緣管位 于該電解液中，該絕緣管具有至少一孔洞；填充一液態(tài)金屬于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極，以對(duì)該工件加工；以及 分別耦接一電源單元的兩極于該工件與該液態(tài)金屬。
14.一種用于電化學(xué)加工的電極單元，其包含有 一絕緣管，具有至少一孔洞；以及一液態(tài)金屬，填充于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于電化學(xué)加工的電極單元，其中該液態(tài)金屬為水銀或
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種電化學(xué)加工設(shè)備及加工方法及其電極單元，其包含一絕緣管與一液態(tài)金屬，以用于加工至少一工件，工件與絕緣管位于一電解液中，絕緣管具有至少一孔洞，液態(tài)金屬填充于絕緣管內(nèi)并伸入孔洞，而為一電極以對(duì)工件加工。由于本發(fā)明是利用液態(tài)金屬作為電極，所以藉由調(diào)整液態(tài)金屬伸入孔洞的位置，即可控制加工工件的深度，如此可提高加工精度與節(jié)省加工成本。
文檔編號(hào)B23H3/00GK102107304SQ20091025976
公開日2011年6月29日 申請(qǐng)日期2009年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月25日
發(fā)明者吳文杰, 林大裕, 洪榮洲, 許志成 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心