專利名稱：用于借助激光處理可運(yùn)動(dòng)襯底的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于借助激光處理可運(yùn)動(dòng)襯底的方法，其中該處理導(dǎo)致釋放從襯 底分離的材料。本發(fā)明還涉及一種用于借助激光處理可運(yùn)動(dòng)襯底的設(shè)備，其中該處理導(dǎo)致釋放從 襯底分離的材料，其中該設(shè)備包括用于導(dǎo)引襯底的導(dǎo)引裝置和激光處理裝置，所述激光處 理裝置適于將激光光斑投射到襯底上，所述激光光斑在激光處理區(qū)中處理襯底。
背景技術(shù)：
當(dāng)在襯底中切割孔時(shí)，產(chǎn)生分離的部件，所述分離的部件必須以受控的方式排出， 以便防止該部件沿著朝向激光束的方向運(yùn)動(dòng)而從激光束吸收太多的能量以至于處理停止。 僅被部分切除的部件也不能朝向激光束折疊起來而覆蓋襯底的仍然待處理的部件。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供這樣一種避免這些缺點(diǎn)的方法和設(shè)備。本發(fā)明的目的通過以下這樣而實(shí)現(xiàn)在襯底的處理期間，在襯底中被激光束射到 的一側(cè)上施加的氣體壓力高于在襯底的另一側(cè)上的氣體壓力。本發(fā)明的目的還通過以下設(shè)備而實(shí)現(xiàn)，所述設(shè)備設(shè)有用于在襯底中被激光束射到 的一側(cè)上產(chǎn)生比在襯底的另一側(cè)上的氣體壓力更高的氣體壓力的裝置。由經(jīng)驗(yàn)知道，以上闡述的方法并非總是足以完全去除釋放的材料。根據(jù)優(yōu)選的實(shí)施例，在處理期間或者處理之后，迫使襯底進(jìn)入彎曲的位置中。由于材料的硬度，仍然部分地附裝到襯底的部件將不跟隨襯底的方向的改變。該 部件由此更加容易地與襯底分離。該分離還由于部分附裝的部件的質(zhì)量慣性而增強(qiáng)；這是 因?yàn)檫@些部件趨向于沿其原始路徑行進(jìn)，而襯底由于方向的改變而沿不同的路徑行進(jìn)。本發(fā)明同樣通過這種設(shè)備實(shí)施，其中導(dǎo)引裝置適于使襯底受到至少一個(gè)彎曲。根據(jù)另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，襯底在處理之后運(yùn)動(dòng)到彎曲的位置中。然后，可能切除 的部件從襯底更加完全分離，從而使這些部件更加容易地從襯底分開。例如對(duì)于粗顆粒砂 紙就是這樣的情況，其中顆粒阻止激光束在襯底中的有效性，并且襯底沒有沿著待切除的 部件的周邊到處完全穿透。由于在處理之后(即，在分開盡可能多的待切除的部件之后) 襯底被迫使進(jìn)入的彎曲位置，待切除的部件受到額外的力，由此該部件更加容易地從襯底 分開。該實(shí)施例也提供這樣的措施，即，導(dǎo)引裝置適于在襯底已經(jīng)通過激光處理之后使襯底 受到彎曲。當(dāng)導(dǎo)引裝置包括可轉(zhuǎn)動(dòng)的輥時(shí)，這在結(jié)構(gòu)上是吸引人的，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)的輥適于在 襯底已經(jīng)通過激光處理之后導(dǎo)致彎曲。然而，也可以在處理期間使襯底受到彎曲?？梢杂纱伺懦龈〉囊呀?jīng)全部切掉的 部件。實(shí)際上在激光處理中還總必要的是，激光束在襯底的表面位置處或者在襯底的厚度 內(nèi)聚焦成光斑。除了為了操縱聚焦的目的而使用適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)裝置以外，襯底還必須被定位在限定的位置處。對(duì)于網(wǎng)或者連續(xù)的條形式的襯底，這通常通過在機(jī)械張力下沿著運(yùn)動(dòng)方 向保持網(wǎng)并在激光操作區(qū)的任一側(cè)上在兩個(gè)輥上導(dǎo)引網(wǎng)而實(shí)現(xiàn)。由此在兩個(gè)輥之間張緊 網(wǎng)，并且較好地限定該網(wǎng)的位置(尤其是沿著激光的主要方向的位置)。由于例如網(wǎng)的張 力的改變、空氣壓差、和網(wǎng)形式的襯底的任一側(cè)上的變化，仍然可以在襯底的期望的位置中 出現(xiàn)偏差。對(duì)于分離的頁或片形式的襯底，情況更是如此，其中前邊緣借助夾緊構(gòu)件夾緊并 且頁或者片的其余部分被拉靠著吸板。在兩種情況下，當(dāng)激光操作區(qū)較大時(shí)變得更難以準(zhǔn) 確地維持襯底的位置?？梢詰?yīng)用以上闡述的根據(jù)優(yōu)選實(shí)施例的措施，以便也減小這些問題。 這些措施利用通常易曲的襯底的硬度，當(dāng)在該襯底中布置有彎曲部時(shí)所述硬度增大。換言 之，彎曲的襯底與平坦的襯底相比更能抵抗垂直于襯底的偏轉(zhuǎn)。該實(shí)施例還提出適于使襯 底在激光操作區(qū)中受到彎曲的導(dǎo)引裝置。襯底的硬度通常隨著曲率半徑越小而增大。在確定半徑方面還有其它考慮因素 起作用。從而激光束必須從襯底的凸側(cè)或者凹側(cè)瞄準(zhǔn)襯底。當(dāng)激光束射到襯底的凸側(cè)上 時(shí)，對(duì)于保持激光光斑焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的光學(xué)裝置具有較高的要求。這是因?yàn)?，沿著朝向凸?cè)的方 向，不但必須在激光束相對(duì)于垂直位置偏轉(zhuǎn)的情況下補(bǔ)償在平坦的襯底的情況下已經(jīng)存在 的較大的距離，而且還要補(bǔ)償由彎曲部產(chǎn)生較大的距離。另一個(gè)缺點(diǎn)是激光束以顯著地小 于90°的角射到襯底上，由此襯底的平面中的定位的準(zhǔn)確度降低，而光斑的形狀(當(dāng)激光 束以直角射到襯底上時(shí)假定是圓形)也變成橢圓形。單位表面積的激光功率由此顯著地減 小。在極端情況下，為了滿意地執(zhí)行期望的處理，甚至必須增大激光功率。為了減輕這些缺 點(diǎn)，優(yōu)選的實(shí)施例提供這樣的措施，即，襯底的凹側(cè)朝向激光束。同一實(shí)施例也提供這樣的 措施，即，導(dǎo)引裝置適于使襯底的凹側(cè)朝向激光束。襯底的凹側(cè)上的偏離以及增大凸側(cè)上的 距離的偏差至少部分地彼此補(bǔ)償，由此對(duì)于擔(dān)負(fù)激光光斑焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的光學(xué)裝置具有較低的 要求。該措施還具有這樣的優(yōu)點(diǎn)，即，在激光處理期間被分開的部件位于襯底的遠(yuǎn)離激光處 理裝置的側(cè)上，在該處沒有阻擋激光束的危險(xiǎn)并且通常更多的空間是可用的。應(yīng)當(dāng)注意到， 彎曲部的軸線可以沿著不同的方向延伸；該彎曲部的軸線不但可以與運(yùn)動(dòng)方向平行和垂直 地延伸；而且可以相對(duì)于運(yùn)動(dòng)方向以小于90°的角延伸。又一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例提供這樣的措施，S卩，在處理期間襯底被彎曲成弧，所述弧的 中心與可控制的偏轉(zhuǎn)鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線重合，所述可控制的偏轉(zhuǎn)鏡在襯底的彎曲平面中偏轉(zhuǎn)激 光束，并且提供這樣的措施，即導(dǎo)引裝置適于迫使襯底形成圓弧并且激光處理裝置的偏轉(zhuǎn) 鏡的軸線位于圓弧的中心。由于這些措施，不管偏轉(zhuǎn)鏡的偏轉(zhuǎn)角如何，偏轉(zhuǎn)鏡和襯底之間的 距離都保持相同。如已經(jīng)闡述的，當(dāng)實(shí)施處理時(shí)，在襯底的運(yùn)動(dòng)期間，通常使用細(xì)長的激光操作區(qū)， 雖然通常這樣，但是所述細(xì)長的激光操作區(qū)的最長距離不必沿著運(yùn)動(dòng)方向延伸。激光束沿 著該方向的偏轉(zhuǎn)因此大于激光束沿著與該方向橫向的方向的偏轉(zhuǎn)。通過使彎曲部的軸線相 對(duì)于激光束操作區(qū)的最大尺寸橫向地延伸，從該措施得到最大的優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)?，如上所述，激光束操作區(qū)的最大尺寸通常沿著運(yùn)動(dòng)方向延伸，彎曲部的軸線 相對(duì)于襯底的運(yùn)動(dòng)方向橫向地延伸是吸引人的。可以以不同的方式獲得期望的襯底的彎曲部，例如，通過彎曲的導(dǎo)引件，沿著所述 彎曲的導(dǎo)引件導(dǎo)引襯底，所述彎曲的導(dǎo)引件必須設(shè)有用于將襯底推壓抵靠導(dǎo)引件的加壓裝 置。彎曲的導(dǎo)引件可以采用固定布置的圓柱體分段的形式或者可轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱體的形式。
然而，也可以采用空氣軸承形式的彎曲導(dǎo)引件?？諝廨S承具有最小摩擦的優(yōu)點(diǎn)，使 得由于襯底與空氣軸承之間的最小摩擦，用于將襯底推壓抵靠空氣軸承的裝置同樣能夠沿 著運(yùn)動(dòng)方向驅(qū)動(dòng)襯底，以便使該實(shí)施例尤其但不排它地適用于傳輸分離的片形式的襯底。 由于在空氣軸承與襯底之間的最少接觸或者甚至沒有接觸，該實(shí)施例還尤其適用于處理其 表面可能由于接觸而破壞的襯底。根據(jù)又一個(gè)實(shí)施例，通過至少一個(gè)傳動(dòng)帶將襯底壓靠在至少一個(gè)導(dǎo)引件上，并且 加壓裝置包括至少一個(gè)傳動(dòng)帶，所述至少一個(gè)傳動(dòng)帶適于將襯底壓靠在每個(gè)導(dǎo)引件上。傳 動(dòng)帶在此還尤其適用于共同位移襯底，這對(duì)于片形式的襯底是尤其重要的。代替?zhèn)鲃?dòng)帶或 者多個(gè)傳送帶，也可以使用可能與傳動(dòng)帶結(jié)合的輥來將襯底壓靠在導(dǎo)引件上?？赊D(zhuǎn)動(dòng)的圓柱體和空氣軸承二者可以采用成對(duì)的形式，以便提供用于激光處理裝 置的空間。該實(shí)施例繼而導(dǎo)致其中設(shè)備包括兩個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的同心圓柱體或者兩個(gè)平行延伸的 空氣軸承，并且其中激光處理裝置至少部分地位于兩個(gè)圓柱體或者空氣軸承之間。為了簡化構(gòu)造以及使相關(guān)設(shè)備能夠容易地適用于不同的襯底尺寸和襯底上的處 理位置，當(dāng)可轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱體或空氣軸承以及加壓裝置與用于排出所得到的分離的材料的裝 置一起被放置在單個(gè)托架上并且該托架根據(jù)用于處理的襯底的需要而可以優(yōu)選地相對(duì)于 襯底的傳輸方向橫向地放置和固定時(shí)，這是有吸引力的。最后，可以在同一個(gè)托架上放置遮蔽裝置以用于遮蔽周圍的區(qū)域以防激光輻射， 由此這些裝置與處理裝置的位移同步位移。雖然根據(jù)本發(fā)明的方法尤其可應(yīng)用于襯底連續(xù)地運(yùn)動(dòng)的上述狀況中，這些方法還 可應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)逐步進(jìn)行的狀況中，在該狀況中在襯底的停頓期間實(shí)施襯底的處理。以上闡述的方法可以應(yīng)用到連續(xù)托架形式的襯底，而且還可以應(yīng)用到分離的片形 式的襯底。


以下將參照附圖闡明本發(fā)明，其中圖1是在受到激光處理之后在輥上導(dǎo)引的襯底的示意圖；圖IA是通過激光束處理的襯底的示意圖，其中在襯底的兩側(cè)之間施加壓差；圖2是在受到激光處理的同時(shí)在彎曲的導(dǎo)引件上導(dǎo)引的襯底的示意圖；圖3是圖2中所示的狀況的示意性剖視圖；圖4A和4B示出與圖3相對(duì)應(yīng)的可替代狀況的視圖；圖5是圖3中所示的結(jié)構(gòu)的實(shí)施例的示意性透視圖；圖6是圖3中所示的結(jié)構(gòu)的另一個(gè)實(shí)施例的剖視圖；以及圖7是圖6中所示的實(shí)施例的變型的剖視圖。
具體實(shí)施例方式圖1示出位于激光處理設(shè)備下游的襯底1的一部分。襯底1在此在輥15上被導(dǎo) 引，所述輥15形成用于襯底1的導(dǎo)引裝置的一部分。與以下將說明的導(dǎo)引裝置一起，設(shè)置 輥15以用于襯底1的曲率和方向改變。襯底1的該曲率使得在激光處理期間僅被部分地 分開的部件16更容易從襯底1脫離。隨著襯底的曲率半徑減小和襯底的硬度增大，這更加容易實(shí)施。激光處理和相關(guān)聯(lián)的襯底1的傳輸也通常以較高的速度實(shí)施。當(dāng)襯底的方向改變 時(shí)，與襯底1分離或者有限地附裝到襯底1的部件16將不但由于其自身的硬度而且由于其 質(zhì)量慣性而趨向于沿著其原始路徑繼續(xù)。這也構(gòu)成增強(qiáng)松的部件16和襯底1之間的分離 的機(jī)構(gòu)。很清楚，可以應(yīng)用其它的方向改變元件來代替任選的共同轉(zhuǎn)動(dòng)的輥15。圖IA再次示出通過激光束處理的襯底1，但是在此布置有用于在襯底中激光束2 所射到的一側(cè)與襯底的另一側(cè)之間產(chǎn)生壓差的裝置。為此布置有盒10，所述盒10設(shè)有在周 圍延伸的空隙11，并且襯底1延伸通過該空隙11。然而，也可以使用兩個(gè)空隙，每個(gè)空隙都 布置在相對(duì)側(cè)中，并且襯底延伸通過所述兩個(gè)空隙。在激光源一側(cè)上在盒10的壁12中布置 的窗13，激光束12延伸通過所述窗13。該窗13可以用對(duì)于相關(guān)頻率的激光透明的材料關(guān) 閉。盒11的容積從而被襯底分成兩個(gè)部件。如此形成的部件通過空氣泵14彼此聯(lián)接，所 述空氣泵14用于在兩個(gè)部件之間產(chǎn)生壓差。當(dāng)然可以布置有各種隔板(附圖中未示出)， 以在襯底的任一側(cè)上防止空氣壓差的短路。由于該壓差，襯底的分離的部件將通過壓差而運(yùn)動(dòng)到襯底1的遠(yuǎn)離激光源的一 側(cè)，例如因?yàn)榧す馐?的光斑3穿過封閉的曲線而導(dǎo)致所述分離的部件。這防止這些分開 的部件干擾激光束2的進(jìn)一步操作。另外，在假定盒10具有足夠大的尺寸的情況下，還可 以將激光的偏轉(zhuǎn)設(shè)備布置在盒10中。如前文中已經(jīng)闡述，在激光處理期間將襯底1 (尤其是具有較小的硬度的襯底)推 壓到彎曲位置中是有吸引力的。這不但增強(qiáng)了在襯底1和分開的部件之間由于襯底所受到 的方向改變而導(dǎo)致的分離，而且還由此更好地限定襯底1的位置，以便使襯底1的位置與激 光束2的焦點(diǎn)更加精確地一致。圖2示出導(dǎo)引裝置的包括彎曲的導(dǎo)引件20、前輥21和后 輥22的一部分。通過襯底1中的張力的輔助，兩個(gè)彎曲的導(dǎo)引件20將襯底1推壓成單條 曲線的形式，由此增大襯底的硬度并且由此穩(wěn)定在激光操作區(qū)中相對(duì)于激光束的主要方向 橫向的位置。另外，對(duì)于襯底還可以繞與運(yùn)動(dòng)方向平行地延伸或相對(duì)于運(yùn)動(dòng)方向傾斜地延 伸的軸線彎曲。圖3示出同樣狀況的剖視圖，其中還示出執(zhí)行處理的激光束2以及控制激光光斑 4的位置的元件的一部分。該圖示出如何在通過鏡25的圖平面中進(jìn)行激光束2的偏轉(zhuǎn)，所 述鏡25的軸線27與圓弧的中心重合，通過彎曲的導(dǎo)引件20迫使襯底1進(jìn)入所述圓弧中。 由于該方法，鏡25和襯底1之間的距離R并不依賴于通過鏡25的激光束2的偏轉(zhuǎn)角，由此 放置在激光源18與鏡15之間的激光束2的聚焦裝置26不必執(zhí)行任何調(diào)節(jié)。在圖4A和4B中進(jìn)一步闡明這些方法。圖4A在此示出在平坦的導(dǎo)引件的情況下， 并且從而平坦地定位襯底的情況下，偏轉(zhuǎn)鏡和襯底之間的距離如何依賴于鏡的偏轉(zhuǎn)角，這 需要光學(xué)動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)以便保持聚焦。激光束2還以非90°的角度射到襯底1上，由此大體圓 的激光束2在襯底1上產(chǎn)生橢圓形的光斑4'，這減小了能量密度，由此降低了效率。圖4B 示出如何通過選擇幾何結(jié)構(gòu)避免這些缺點(diǎn)。應(yīng)當(dāng)指出，激光束2不但在圖3和4的圖平面中偏轉(zhuǎn)，而且沿著其橫向的方向偏 轉(zhuǎn)。原則上能夠使襯底在相關(guān)的方向上沿著曲線導(dǎo)弓丨，以便于獲得同樣的優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)橥ǔ?不能使襯底沿著兩個(gè)方向彎曲，所以也不能結(jié)合兩種構(gòu)造，從而仍然總是必須執(zhí)行光學(xué)調(diào) 節(jié)以便補(bǔ)償激光束的改變的路徑長度。
7
圖5示出用于將襯底推壓成曲線的導(dǎo)引裝置的實(shí)施例的示意圖。作為圖2的彎曲 的條狀導(dǎo)引件的替代方案，在此使用定位成繞同一幾何軸線31轉(zhuǎn)動(dòng)的中空的圓柱體30。這 些圓柱體30各自安裝在軸端32上。圓柱體30在其外表面33上設(shè)有穿孔34。在圓柱體 30的內(nèi)部，可以施加負(fù)壓，所述負(fù)壓經(jīng)由穿孔34將襯底1拉靠在外表面33上。優(yōu)選在圓 柱體30的內(nèi)部布置有裝置用于僅在穿孔34處以與導(dǎo)引角相對(duì)應(yīng)的角施加真空，以便使襯 底1可以容易地與圓柱體31分離。例如，為此可以使用分段狀的部件，所述分段狀的部件 布置在圓柱體30中并且連接到真空泵。另外，為了將襯底1壓靠在圓柱體30上，還可以使 用導(dǎo)輥或者導(dǎo)帶。很清楚，圓柱體30之間的空間可用于通過激光處理襯底。圖6示出圖2的構(gòu)造的第二可替代方案的剖視圖。代替導(dǎo)引件20或者圓柱體30， 在此應(yīng)用設(shè)有彎曲導(dǎo)引面42的兩個(gè)盒41，在導(dǎo)引面42中布置有穿孔43。盒41的內(nèi)部連 接到壓力泵，由此空氣從穿孔43流出并且在導(dǎo)引面和襯底之間形成空氣的薄層。從而，形 成空氣軸承。因?yàn)榭諝廨S承不能在襯底上施加任何力，借助帶44實(shí)施驅(qū)動(dòng)，所述帶44將襯 底壓在空氣軸承42上并且所述帶44在帶輪45、46和47上張緊，這些帶輪中的一個(gè)帶輪47 被驅(qū)動(dòng)。另外，還可以使用其它的用于襯底的驅(qū)動(dòng)和張緊裝置(附圖中未示出)。還有用于 帶44的張緊裝置48。此外布置有輥49。當(dāng)然，為了將襯底推壓在空氣軸承42上，可以使 用其它的輥和帶的構(gòu)造。圖7示出圖6中所示的激光處理設(shè)備的示意性剖視圖，其中襯底的運(yùn)動(dòng)方向相對(duì) 于附圖的平面橫向地延伸。該圖示出在該實(shí)施例中圖6的構(gòu)造的空氣軸承42被組合以在 襯底1的頂側(cè)上的兩側(cè)形成單元50?？梢瞥娜萜?1布置在該單元50中，該容器51可以 被去除以用于清潔目的。該容器至少在其上表面上設(shè)有對(duì)于施加的激光束透明的開口或者 窗。在下側(cè)上，帶和導(dǎo)輥被組合成相對(duì)應(yīng)的單元52。在該單元內(nèi)部還設(shè)置有可移除的容器 53。為了能夠?qū)τ诓煌募垙埑叽绾鸵r底內(nèi)的處理位置設(shè)定和調(diào)節(jié)激光束處理設(shè)備，在襯 底1上方和下方設(shè)置的兩個(gè)單元經(jīng)由托架55彼此剛性地連接，所述托架55可以相對(duì)于襯 底的傳輸方向橫向地位移和固定。
權(quán)利要求
一種用于借助激光處理可運(yùn)動(dòng)襯底的方法，其中該處理導(dǎo)致釋放從所述襯底分離的材料，其特征在于，在所述襯底的處理期間，所述襯底的被激光束射到一側(cè)上施加的壓力高于在所述襯底的另一側(cè)上的壓力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述處理期間或者在所述處理之后，所 述襯底受到彎曲。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述處理之后，所述襯底被推壓到 彎曲的位置中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，在所述處理期間，所述襯底被推壓 到彎曲的位置中。
5.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述襯底的彎曲部的凹側(cè)朝 向所述激光源。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，在所述處理期間，所述襯底彎曲成弧，所 述弧的中心與可控制的偏轉(zhuǎn)鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線重合，所述可控制的偏轉(zhuǎn)鏡在所述襯底的彎曲平 面中偏轉(zhuǎn)激光束。
7.根據(jù)權(quán)利要求3、4、5或6所述的方法，其特征在于，所述激光在細(xì)長的操作區(qū)內(nèi)處理 所述襯底，并且所述彎曲部的軸線相對(duì)于所述操作區(qū)的最大尺寸橫向地延伸。
8.根據(jù)權(quán)利要求3至7中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述彎曲部的軸線相對(duì)于所 述襯底的運(yùn)動(dòng)方向橫向地延伸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，在所述激光處理期間，在至少一個(gè)彎曲的 導(dǎo)引件上導(dǎo)引所述襯底。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述導(dǎo)引件起空氣軸承的作用。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，通過至少一個(gè)傳送帶將所述襯底推壓 抵靠所述至少一個(gè)空氣軸承。
12.一種用于借助激光處理可運(yùn)動(dòng)襯底的設(shè)備，其中所述處理導(dǎo)致釋放從所述襯底分 離的材料，其中，所述設(shè)備包括-用于導(dǎo)引所述襯底的導(dǎo)引裝置；-激光處理裝置，其能夠?qū)⒓す夤獍咄渡涞剿鲆r底上，所述激光光斑在激光處理區(qū)中 處理所述襯底，其特征在于，用于在所述襯底的被激光束射到的一側(cè)上產(chǎn)生比所述襯底的 另一側(cè)上的壓力更高的壓力的裝置。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)引裝置能夠使所述襯底受到至 少一個(gè)彎曲。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)引裝置能夠使所述襯底在已經(jīng) 通過激光處理之后受到彎曲。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)引裝置包括能夠?qū)е滤鰪澢?的可轉(zhuǎn)動(dòng)輥。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)引裝置能夠使所述襯底在所述 激光操作區(qū)中受到彎曲。
17.根據(jù)權(quán)利要求14、15或16所述的設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)引裝置能夠使所述襯底 的凹側(cè)朝向所述激光束。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)引裝置能夠迫使所述襯底形成 圓弧形式的彎曲部，并且偏轉(zhuǎn)鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線位于所述圓弧的中心，所述偏轉(zhuǎn)鏡能夠在所述 襯底的彎曲平面內(nèi)偏轉(zhuǎn)激光束。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的設(shè)備，其特征在于，激光能夠在細(xì)長的操作區(qū)內(nèi)處理 所述襯底，并且所述彎曲部的軸線相對(duì)于所述操作區(qū)的最大尺寸橫向地延伸。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的設(shè)備，其特征在于，所述彎曲部的軸線相對(duì)于所述襯底的 運(yùn)動(dòng)方向橫向地延伸。
21.根據(jù)權(quán)利要求12至20中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)引裝置包括至少 一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱體，所述至少一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱體具有用于將所述襯底推壓抵靠所述可 轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱體的加壓裝置或者抽吸裝置。
22.根據(jù)權(quán)利要求17至20中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)引裝置包括至少 一個(gè)具有彎曲導(dǎo)引面的空氣軸承。
23.根據(jù)權(quán)利要求21或22所述的設(shè)備，其特征在于，所述加壓裝置包括至少一個(gè)傳送 帶，其中每個(gè)所述傳送帶都能夠?qū)⑺鲆r底壓靠在所述空氣軸承或者圓柱體中的一個(gè)上。
24.根據(jù)權(quán)利要求22或23所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括兩個(gè)平行延伸的空 氣軸承或者圓柱體，并且所述激光處理裝置至少部分地位于所述兩個(gè)空氣軸承之間。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的設(shè)備，其特征在于，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱體或空氣軸承以及 所述加壓裝置與用于排出所得到的分離的材料的裝置一起被放置在單個(gè)托架上。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的設(shè)備，其特征在于，在所述托架上還放置有遮蔽裝置，用于 遮蔽周圍區(qū)域以防激光輻射。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于借助激光處理可運(yùn)動(dòng)襯底的方法，其中該處理導(dǎo)致釋放從襯底分離的材料，其中在襯底的處理期間，在襯底的被激光束射到的一側(cè)上施加的壓力高于在襯底的另一側(cè)上的壓力，并且本發(fā)明涉及一種用于執(zhí)行這種處理的設(shè)備，其中該設(shè)備包括用于導(dǎo)引襯底的導(dǎo)引裝置；和激光處理裝置，其適于將激光光斑投射到襯底上，所述激光光斑在激光處理區(qū)中處理襯底，并且該設(shè)備包括用于在襯底的被激光束射到的一側(cè)上產(chǎn)生比襯底的另一側(cè)上的壓力更高的壓力的裝置。
文檔編號(hào)B23K26/12GK101925435SQ200980102981
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2009年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月24日
發(fā)明者J·I·M·科本 申請(qǐng)人:Iai工業(yè)系統(tǒng)有限責(zé)任公司