專利名稱：：通過多激光束照射將在基板上形成的半導(dǎo)體膜劃分成多個(gè)區(qū)域的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于通過多激光束照射將在基板上形成的半導(dǎo)體膜劃分成多個(gè)區(qū)域的方法，所述多激光束照射使用影響所述膜的基本上相同的區(qū)的至少兩個(gè)激光束處理的序列
背景技術(shù)：
：現(xiàn)今，各種太陽(yáng)能電池技術(shù)是在商業(yè)上可用的。在它們中，采用薄的非晶和/或微晶硅膜的薄膜太陽(yáng)能電池正在積極地得到研制。在低溫下和在大的面積Olm2)上處理多個(gè)這種電池的可能性使得該技術(shù)有利地成為實(shí)現(xiàn)所謂的電網(wǎng)平價(jià)的良好候選。圖1示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的包括多個(gè)薄膜太陽(yáng)能電池的常規(guī)光伏模塊1的一個(gè)部分的概略截面。在透明的絕緣體基板2上布置透明(前)電極層3。在所述透明(前)電極層3上，形成光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4，并且在該光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4上形成另一個(gè)透明(后)電極層5。所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4包括非晶和/或微晶硅子層的疊層。另外，圖1在這三個(gè)層3、4、5中示出三種不同類型的凹槽6、7、8，這些凹槽構(gòu)造光伏模塊的平面。這種構(gòu)造方法的目的在于形成由串聯(lián)電連接的多個(gè)薄膜太陽(yáng)能電池組成的光伏模塊。所述透明(前)電極層3被一組第一隔離凹槽6劃分，該組凹槽6確定了各個(gè)薄膜太陽(yáng)能電池的寬度。當(dāng)所述三個(gè)層3、4、5的疊層以如下順序在制造過程期間構(gòu)建時(shí)透明(前)電極層3、第一隔離凹槽6、光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4、凹槽7、另一個(gè)透明(后)電極層5、第二隔離凹槽8，所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4填充所述第一隔離凹槽6。填充有所述透明(后)電極層5的材料的所述凹槽7允許在相鄰電池之間的電接觸。實(shí)際上，一個(gè)電池的所述透明(后)電極層5接觸相鄰電池的所述透明(前)電極層3。所述透明(后)電極層5和所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4最后被一組所述第二隔離凹槽8劃分。這種構(gòu)造工藝優(yōu)選地通過采用激光等得以實(shí)現(xiàn)。所述薄膜光伏模塊1例如能夠如下地制造最初，例如，通過LPCVD(低壓化學(xué)氣相沉積)，在所述透明絕緣體基板2上沉積所述透明(前)電極層3。所述透明(前)電極層3，也稱為透明導(dǎo)電氧化物(TC0，例如由ZnO、SnO2或者氧化銦錫(Indiumtinoxide)構(gòu)成)，此后被激光劃線以移除所述透明(前)電極層3的一部分以形成第一組所述隔離凹槽6，該第一組所述隔離凹槽6將所述透明(前)電極層3劃分成多個(gè)隔離的、橫向相鄰的區(qū)域。隨后，在該圖案化的透明(前)電極層3上，采用等離子體化學(xué)氣相沉積以沉積所述光電轉(zhuǎn)換層4。所述光電轉(zhuǎn)換層4包含例如非晶硅的至少一個(gè)ρ摻雜子層、一個(gè)本征絕緣子層和一個(gè)η摻雜子層。子層的這種疊層可以重復(fù)以形成多結(jié)非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池。因而，第二、第三和甚至更多的p-i-n結(jié)能夠從微晶材料或者非晶和微晶材料的混合物形成，以建立所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4。所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4然后被激光劃線以移除所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4的一部分以形成一組凹槽7(在以后稱作接觸線9)，其將所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4劃分為彼此橫向分離的多個(gè)區(qū)域。隨后，所述透明(后)電極層5被沉積以填充所述凹槽7，并且由此產(chǎn)生所述接觸線9，并且還覆蓋所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4。所述透明(后)電極層5同樣能夠是透明導(dǎo)電氧化物(TCO，例如由Zn0、Sn02或者氧化銦錫構(gòu)成)。最后，所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4和所述透明(后)電極層5被激光劃線，從而形成一組第二隔離凹槽8，該組第二隔離凹槽8將所述光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體層4橫向劃分成串聯(lián)電連接的多個(gè)光活區(qū)域。這樣，如圖1所示的包括薄膜太陽(yáng)能電池的所述光伏模塊1得以制造。在美國(guó)專利No.4，292，092、美國(guó)公報(bào)2005/0272175,WO2008/019066中公開了使用劃線激光器的制造方法。盡管針對(duì)包括串聯(lián)連接的薄膜太陽(yáng)能電池的光伏模塊的制造工藝的激光劃線具有已知的優(yōu)點(diǎn)，但是已知在鄰近于光伏模塊的激光處理部分的區(qū)部中發(fā)生激光引起的問題。對(duì)于一些材料，沿著激光劃線線或者凹槽的邊緣留下了導(dǎo)電脊或者“凸緣”。另外，在劃線凹槽的底部處熔化的殘余物可能引入電氣短路、在相鄰的薄膜太陽(yáng)能電池之間的不良隔離，和低的分流電阻，降低了在串聯(lián)連接的薄膜太陽(yáng)能電池陣列之上的電壓集成度。在用于所描述的意圖的現(xiàn)有技術(shù)激光處理中，通常使用具有超過計(jì)算出的、實(shí)際上有必要的功率的輸出功率的激光源。這么做是為了確保避免上述問題類似所移除材料的熔化余留物。這些高功率激光器是昂貴的并且在光路、測(cè)量等等中要求另外的努力。在WO2008/019066A2中公開了避免這些問題并且因此改進(jìn)串聯(lián)連接的薄膜太陽(yáng)能電池的電壓集成度的一種方法。在其中，描述了允許主激光束首次地沿著一條線行進(jìn)以形成具有第一和第二邊緣的凹槽。隨后，該激光束更近似地沿著同一線一次或者多次地行進(jìn)并且改進(jìn)在所述第一和所述第二邊緣之間的電隔離程度，因此形成包括所述多個(gè)薄膜太陽(yáng)能電池的所述光伏模塊。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于創(chuàng)建一種與起初述及的
技術(shù)領(lǐng)域：
有關(guān)的、用于通過多激光束照射將在基板上形成的半導(dǎo)體膜劃分成多個(gè)區(qū)域的方法，該方法允許降低所用激光系統(tǒng)的功率并且減輕或者甚至避免已知在鄰近于材料的激光處理部分的區(qū)部中發(fā)生的、激光引起的問題。權(quán)利要求1的特征規(guī)定了本發(fā)明的方案。根據(jù)本發(fā)明，除了最終激光束處理的、至少兩個(gè)激光束處理序列的處理被用于調(diào)整將被移除的經(jīng)處理的膜區(qū)，而應(yīng)用所述最終激光束處理來(lái)實(shí)際上移除材料從而形成凹槽。所述最終激光束處理可以優(yōu)選地作為單一激光束處理步驟執(zhí)行，但是遵循WO2008/019066A2的教示，還能夠被在多于一個(gè)處理步驟中以移除的形式采用。對(duì)于本發(fā)明來(lái)說用于與其一起工作的激光器包括連續(xù)波或者脈沖激光器，優(yōu)選地連續(xù)波或者具有大于IOOns的脈沖持續(xù)時(shí)間的長(zhǎng)脈沖激光器。在基板上的光束焦點(diǎn)中，它們的功率應(yīng)該在0.5W和IOW之間。適當(dāng)?shù)牟ㄩL(zhǎng)是255nm、532nm和1064nm(+/_50nm)。這個(gè)方案的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)果產(chǎn)生的所述凹槽的、與通過現(xiàn)有技術(shù)方法獲得的相比更加陡峭和更加平滑的側(cè)壁。另外地，能夠更快地并且以更好的準(zhǔn)確度地對(duì)所述凹槽劃線。進(jìn)而，避免了沿著激光劃線線或者凹槽的邊緣留下的導(dǎo)電脊或者“凸緣”以及避免了在劃線凹槽的底部處的熔化殘余物，所述熔化殘余物可能引入電氣短路、在相鄰的薄膜太陽(yáng)能電池之間的不良隔離，和低的分流電阻，降低了在串聯(lián)連接的薄膜太陽(yáng)能電池陣列之上的電壓集成度。優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的裝置包括用于除了最終激光束處理的、至少兩個(gè)激光束處理的所述序列的處理的第一調(diào)整激光器并且包括用于所述最終激光束處理的第二激光器。這允許將被移除的經(jīng)處理的膜區(qū)的所述調(diào)整的步驟和移除經(jīng)調(diào)整材料從而形成所述凹槽的步驟的最佳分離可替代地，在該創(chuàng)造性方法的背景中，所述第一調(diào)整激光器和所述第二激光器可以結(jié)合在同一激光器中，該同一激光器提供兩種不同的工作模式，即用于調(diào)整所述經(jīng)處理膜區(qū)的第一工作模式和用于移除所述經(jīng)處理膜區(qū)的材料的第二工作模式。優(yōu)選地，除了所述最終激光束處理，通過所述至少兩個(gè)激光束處理的所述序列的、以前的處理，基本上無(wú)任何物質(zhì)將經(jīng)由燒蝕/蒸發(fā)而被移除。特別地，凹槽(形成由所述凹槽分離的第一和第二邊緣，提供第一電絕緣水平)不通過所述以前的處理形成。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，所述以前的處理局部地改變了所述膜的材料性質(zhì)，例如對(duì)所述膜進(jìn)行退火。這個(gè)調(diào)整相當(dāng)于所述凹槽的“標(biāo)記”。這個(gè)過程在所述膜中誘發(fā)熱應(yīng)力軌跡，在熱應(yīng)力軌跡中，所述最終激光束處理對(duì)所述凹槽劃線，因此在所述多個(gè)區(qū)域中劃分所述膜。可替代地，所述以前的處理已經(jīng)能夠移除一些物質(zhì)，然而該物質(zhì)的主要部分是在最終激光束處理期間移除的。有利地，在0.Olms到1000ms、優(yōu)選地0.Ims到IOOms的時(shí)間窗口內(nèi)，在第一激光束處理之后進(jìn)行第二、第三激光束處理等等。使用較高數(shù)目的激光處理具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，在將被移除的所述經(jīng)處理膜區(qū)中的所述材料的所述調(diào)整能夠利用具有降低的功率的激光器以數(shù)目增加的調(diào)整處理執(zhí)行。這是經(jīng)濟(jì)的，因?yàn)槟軌蚴褂貌⒎悄敲磸?qiáng)大的激光器。所述時(shí)間窗口的選擇具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，在能量在由一個(gè)調(diào)整處理沉積的所述材料中的分布和合理的處理節(jié)奏之間，調(diào)整工藝得以優(yōu)化，從而所述膜的劃分能夠以最佳速度獲得。優(yōu)選地，利用連續(xù)波激光器產(chǎn)生第一調(diào)整激光束并且利用脈沖激光器產(chǎn)生第二激光束。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，被用于相應(yīng)的意圖的激光束的類型最優(yōu)地適合于所述相應(yīng)的意圖的要求。可替代地，這兩個(gè)激光束均能夠或者利用脈沖激光器或者利用連續(xù)波激光器產(chǎn)生。作為另一個(gè)替代，所述第一調(diào)整激光束能夠利用脈沖激光器產(chǎn)生并且所述第二激光束能夠利用連續(xù)波激光器產(chǎn)生。有利地，所述基板在用于支撐所述基板的桌狀(table-like)裝置上沿著一個(gè)方向移動(dòng)。這個(gè)一個(gè)方向性的移動(dòng)具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，該移動(dòng)的致動(dòng)是簡(jiǎn)單的，并且能夠容易地以高精度并且同時(shí)以成本有效方式獲得該移動(dòng)。作為替代，所述基板還可以在基板的整個(gè)平面上而不是僅僅在一個(gè)方向上在用于支撐所述基板的所述桌狀裝置上移動(dòng)。優(yōu)選地，如在其整體在此通過引用而被結(jié)合的WO2005/118440Al中公開地，該基板在所述桌狀裝置上的氣墊上移動(dòng)。優(yōu)選地，被安裝在載架上的第一調(diào)整激光器被用于執(zhí)行調(diào)整步驟并且被安裝在所述載架上并且在沿著所述載架的移動(dòng)方向定向的線中從所述第一調(diào)整激光器隔開地布置的第二激光器被用于執(zhí)行移除步驟。這允許將被移除的經(jīng)處理膜區(qū)的所述調(diào)整步驟和用于形成所述凹槽的所述移除步驟的最佳分離。此外，它具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，被用于相應(yīng)的步驟的激光器能夠最優(yōu)地適合于相應(yīng)的步驟的要求。另外地，所述調(diào)整步驟和所述移除步驟能夠在所述載架的單一移動(dòng)期間執(zhí)行，這是節(jié)約時(shí)間的并且因此成本有效的。有利地，通過使用在所述載架上安設(shè)的、與所述第一調(diào)整激光器和所述第二激光器成所述線的另一個(gè)調(diào)整激光器實(shí)現(xiàn)了激光器裝置的雙向功能性。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，在處理所述膜時(shí)，所述載架能夠沿著所述移動(dòng)方向的任一方向移動(dòng)。因此，對(duì)在此處必須形成多于一個(gè)凹槽的、大的膜區(qū)的處理能夠以時(shí)間節(jié)約的方式執(zhí)行?？商娲?，該載架能夠被重定向以在不同于初始移動(dòng)的方向的方向上移動(dòng)期間形成凹槽。優(yōu)選地，通過沿著所述一個(gè)方向在所述桌狀裝置上移動(dòng)所述基板并且通過沿著與所述一個(gè)方向交叉地定向的所述移動(dòng)方向移動(dòng)帶有激光器裝置的所述載架，所述基板的任何區(qū)域得以處理。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，在所述移動(dòng)方向和所述一個(gè)方向這兩者的致動(dòng)能夠被保持為一個(gè)方向并且能夠因此被保持為是簡(jiǎn)單的時(shí)，所述膜的整個(gè)區(qū)能夠得以處理。相應(yīng)地，該兩個(gè)移動(dòng)的實(shí)現(xiàn)是成本有效的并且要求很少的維護(hù)努力。優(yōu)選地，所述凹槽被形成為平行于所述移動(dòng)方向和所述線。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，在所述載架沿著所述移動(dòng)方向的一個(gè)移動(dòng)內(nèi)，所述調(diào)整步驟和所述移除步驟這兩者均能夠得以執(zhí)行。相應(yīng)地，以時(shí)間節(jié)約并且因此成本有效的方式形成了所述凹槽。有利地，激光束被從透光的所述基板的另一主表面照射通過所述基板到相應(yīng)的所述膜的所述相同區(qū)，因此將所述膜劃分/分段成所述多個(gè)區(qū)域。這可以增加所形成的凹槽的質(zhì)量，因?yàn)樗瞥牧系膰娚涞靡愿倪M(jìn)?？商娲兀軌驈乃龌宓?、與定位所述膜相同的主表面的方向照射所述激光束。優(yōu)選地，在所述膜中形成所述凹槽，其中所述載架沿著所述移動(dòng)方向在任一方向上移動(dòng)并且所述第二激光器和所述第一調(diào)整激光器和所述另一個(gè)調(diào)整激光器之一——當(dāng)在所述載架的移動(dòng)方向上看時(shí)其在所述第二激光器前面——正在運(yùn)行，從而將在此處形成所述凹槽的、在所述膜的所述相同區(qū)上的任何點(diǎn)首先用或者所述第一調(diào)整激光器或者所述另一個(gè)調(diào)整激光器處理并且隨后用所述第二激光器處理。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，在所述載架沿著所述移動(dòng)方向的任一方向的移動(dòng)內(nèi)，所述調(diào)整步驟和所述移除步驟這兩者均能夠得以執(zhí)行。相應(yīng)地，能夠以時(shí)間節(jié)約并且因此成本有效的方式形成所述凹槽。有利地，所述基板能夠在用于支撐所述基板的所述桌狀裝置上沿著一個(gè)方向移動(dòng)。這個(gè)一個(gè)方向性的機(jī)動(dòng)性具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，所述基板在所述桌狀裝置上的致動(dòng)是簡(jiǎn)單的并且它能夠容易地以高精度并且同時(shí)以成本有效的方式獲得。作為替代，所述基板還能夠在用于支撐所述基板的所述桌狀裝置上在基板的整個(gè)平面中而不是僅僅在一個(gè)方向上移動(dòng)。優(yōu)選地，如在其整體在此通過引用而被結(jié)合的WO2005/118440Al中示出地，該基板能夠在所述桌狀裝置上的氣墊上移動(dòng)。有利地，容納多個(gè)激光器的載架至少包括所述第一調(diào)整激光器和隔開的但是與第一調(diào)整激光器的移動(dòng)方向成一條線布置的所述第二激光器。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，能夠在所述載架的單一移動(dòng)期間執(zhí)行調(diào)整步驟和移除步驟，這是時(shí)間節(jié)約的并且因此成本有效的。優(yōu)選地，所述載架能夠包括與所述第一調(diào)整激光器和所述第二激光器成所述線布置的另一個(gè)調(diào)整激光器從而允許所述激光器裝置的雙向功能性。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，通過沿著所述移動(dòng)方向的任一方向移動(dòng)所述載架，對(duì)在此處必須形成多于一個(gè)凹槽的、大的膜區(qū)的處理能夠以時(shí)間節(jié)約的方式執(zhí)行?？商娲?，該載架可以是能夠被重定向的，以在不同于初始移動(dòng)的方向的方向上在移動(dòng)期間形成凹槽。有利地，所述第一調(diào)整激光器是連續(xù)波激光器并且所述第二激光器是脈沖激光器。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，被用于相應(yīng)的意圖的激光器的類型能夠最優(yōu)地適合于所述具體意圖的要求?？商娲?，兩個(gè)激光器均能夠是脈沖激光器或者連續(xù)波激光器。作為另外的替代，所述第一調(diào)整激光器能夠是脈沖激光器并且所述第二激光器能夠是連續(xù)波激光器。優(yōu)選地，所述第一調(diào)整激光器和所述另一個(gè)調(diào)整激光器是相同的并且所述第一調(diào)整激光器和所述另一個(gè)調(diào)整激光器在所述第二激光器的相同距離處但是在相反的方向定位。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，獨(dú)立于所述載架沿著所述移動(dòng)方向的移動(dòng)的方向，激光器的參數(shù)和所述載架的移動(dòng)速度是相同的。這簡(jiǎn)化了在制造所述凹槽期間對(duì)所述裝置的控制。相應(yīng)地，所述裝置的研發(fā)和生產(chǎn)是成本有效的。作為替代，激光器之間的距離可以改變并且所述第一調(diào)整激光器和所述另一個(gè)調(diào)整激光器的類型可以是不同的。在存在將在具有不同性質(zhì)的不同的膜中形成的凹槽的情形中，在所述載架上的相應(yīng)裝置可以是有利的。在該情形中，同一載架能夠被用于對(duì)不同膜的處理。有利地，通過沿著所述一個(gè)方向在所述桌狀裝置上移動(dòng)所述基板并且通過沿著被與所述一個(gè)方向交叉地定向的所述移動(dòng)方向移動(dòng)帶有激光器裝置的所述載架，所述基板的任何區(qū)域均能夠得以處理。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，在所述移動(dòng)方向和所述一個(gè)方向這兩者的致動(dòng)能夠被保持為一個(gè)方向并且能夠因此被保持為是簡(jiǎn)單的時(shí)，所述膜的整個(gè)區(qū)能夠得以處理。相應(yīng)地，所述裝置的實(shí)現(xiàn)是成本有效的并且要求很少的維護(hù)努力。以下詳細(xì)說明和所有的權(quán)利要求給出了其它有利的實(shí)施例和特征組合。被用于解釋實(shí)施例的附圖示出圖1是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的層和激光劃線凹槽的裝置；圖2是根據(jù)本發(fā)明的激光器的裝置；圖3是指示移動(dòng)方向的基板和激光器的裝置；以及圖4是在WO2005/118440Al中公開的桌狀裝置。在圖中，相同的構(gòu)件被給予相同的引用符號(hào)。具體實(shí)施例方式圖2示出容納多個(gè)激光器的載架10的概略表示。這個(gè)載架10至少包括被配置為執(zhí)行如上所述的調(diào)整步驟的第一調(diào)整激光器11，和，隔開的但是與所述第一調(diào)整激光器11的移動(dòng)方向成一條線布置的第二激光器12，該第二激光器12被配置為執(zhí)行在本發(fā)明中如上所述的移除步驟。為了允許所述激光裝置的即所述載架10的雙向功能性，可以在所述載架10上安設(shè)另一個(gè)調(diào)整激光器13，再次與所述第一調(diào)整激光器11和所述第二激光器12成所述線，如由雙向箭頭指示地，所述線平行于所述載架10的移動(dòng)方向。箭頭14指示激光的方向。圖3示出根據(jù)本發(fā)明的、用于通過在半導(dǎo)體膜中劃線一組凹槽15而將透明絕緣體基板2上的所述膜劃分成多個(gè)區(qū)域的裝置。所述透明絕緣體基板2具有平坦厚片狀的形狀。它在桌狀裝置16(圖4所示)上被以水平定向安裝，在它的下主表面上帶有所述半導(dǎo)體膜。它能夠沿著垂直于所述凹槽15的一個(gè)方向17(由雙向箭頭指示)移動(dòng)。在所述透明絕緣體基板2的上主表面上方，所述載架10安裝有被布置在沿著所述凹槽15并且垂直于所述一個(gè)方向17的所述線中的所述第一調(diào)整激光器11、所述第二激光器12和所述另一個(gè)調(diào)整激光器13。所述第一調(diào)整激光器11、所述第二激光器12和所述另一個(gè)調(diào)整激光器13的光被向下引導(dǎo)。所述載架10能夠沿著平行于所述線和所述凹槽15并且垂直于所述一個(gè)方向16的移動(dòng)方向18(由雙向箭頭指示)移動(dòng)。通過沿著所述移動(dòng)方向18為每一個(gè)所述凹槽15移動(dòng)所述載架10，該組所述凹槽15在所述膜中劃線。在這個(gè)移動(dòng)期間，所述第二激光器12運(yùn)行。另外地，所述第一調(diào)整激光器11和所述另一個(gè)調(diào)整激光器13中的一個(gè)激光器運(yùn)行，所述這個(gè)激光器沿著所述載架10的移動(dòng)方向遠(yuǎn)離所述第二激光器12定位。在所述凹槽15中的所述一個(gè)凹槽被劃線之后，所述透明絕緣體基板2以相應(yīng)于在所述凹槽15中的兩個(gè)之間的距離的步長(zhǎng)沿著所述一個(gè)方向17移動(dòng)，而所述第一調(diào)整激光器11、所述第二激光器12和所述另一個(gè)調(diào)整激光器13中無(wú)任何一個(gè)激光器被致動(dòng)。隨后，在所述第二激光器12和或者所述第一調(diào)整激光器11或者所述另一個(gè)調(diào)整激光器13被致動(dòng)的情況下，通過沿著所述移動(dòng)方向18移動(dòng)所述載架10，所述凹槽15中的下一個(gè)得以劃線。圖4示出當(dāng)桌狀裝置16能夠被用于如在圖3中所指示的基板和激光器的裝置時(shí)用于沿著所述一個(gè)方向17在氣墊上移動(dòng)所述透明絕緣體基板2的所述桌狀裝置16的實(shí)施例。在以其整體在這里并入的WO2005/118440Al中公開了這個(gè)具體實(shí)施例所述桌狀裝置16包括被劃分成第一半部19.1和第二半部19.2的桌面19。所述第一半部19.1和所述第二半部19.2的上主表面一起地形成用于所述透明絕緣體基板2的、所述桌狀裝置16的平坦支撐區(qū)20。所述平坦支撐區(qū)20包括流體(這里空氣)在此處流出的、大數(shù)目的噴射口21并且包括所述平坦支撐區(qū)20上的所述流體的至少一些部分在此處被吸出的大數(shù)目的排放口22。所述排放口22是在所述平坦支撐區(qū)20中形成淺凹并且沿著所述平坦支撐區(qū)20的寬度23具有鋸齒形或者蛇狀形狀的流道。它們沿著所述平坦支撐區(qū)20的長(zhǎng)度24被同等地隔開地分布。它們的數(shù)目依賴于所述長(zhǎng)度24并且被選擇為在整個(gè)所述平坦支撐區(qū)20上保證所述流體被均勻地吸出。在所述排放口22之間，具有圓狀截面的所述噴射口21沿著所述平坦支撐區(qū)20的所述寬度23和所述長(zhǎng)度24被同等地分布。所述噴射口21的面積顯著地小于所述排放口22的面積。在所述桌面19的所述第一半部19.1和所述第二半部19.2之間，線性間隙25沿著整個(gè)寬度23將所述平坦支撐區(qū)20劃分成兩個(gè)部分。在所述線性間隙25和所述第一半部19.1之間，第一方塊26.1被聯(lián)結(jié)到所述第一半部19.1。所述第一方塊26.1的上表面與所述第一半部19.1的所述上主表面齊平。以相同的方式，在所述線性間隙25和所述第二半部19.2之間，第二方塊26.2被聯(lián)結(jié)到所述第二半部19.2。所述第二方塊26.2的上表面與所述第二半部19.2的所述上表面齊平。在所述第一方塊26.1的所述上表面中，平行的兩行26.11被同等地隔開的第二噴射口被沿著所述第一方塊26.1的長(zhǎng)度即沿著所述平坦支撐區(qū)20的所述寬度23放置。在所述平行的兩行26.11的所述被同等地隔開的第二噴射口之間，定位一行第二排放口26.12。所述一行第二排放口26.12的開口具有圓狀截面，其具有比所述平行的兩行26.11的所述第二噴射口的直徑顯著更大的直徑。在所述第二方塊26.2的所述上主表面中，一行被同等地隔開的開口26.21被沿著所述第二方塊26.2的長(zhǎng)度即沿著所述平坦支撐區(qū)20的所述寬度23布置。所述開口26.21由具有雙T狀形狀的內(nèi)部排放口構(gòu)成，方形外部噴射口構(gòu)成其外框。所有的排放口均被排放系統(tǒng)連接并且被與所述桌狀裝置16的一側(cè)上的分散孔27關(guān)聯(lián)。所述分散孔27被與通過所述排放口分散所述流體的泵(未示出)連接。以相同的方式，所有的噴射口均經(jīng)由帶有壓縮機(jī)(未示出)的管道系統(tǒng)而被連接，該壓縮機(jī)允許以電子方式控制的過壓調(diào)節(jié)并且因此允許對(duì)流出所述噴射口的所述流體流進(jìn)行調(diào)節(jié)。所述透明的絕緣體基板2以水平定向位于所述平坦支撐區(qū)20上方從而帶有所述膜的表面指向下。所述流出所述噴射口的所述流體流在所述平坦支撐區(qū)20和所述透明絕緣體基板2之間產(chǎn)生氣墊，從而所述透明絕緣體基板2在頂上浮動(dòng)并且能夠在所述支撐區(qū)20上沿著所述一個(gè)方向17(沿著所述長(zhǎng)度24定向)移動(dòng)。這個(gè)移動(dòng)的進(jìn)給由致動(dòng)系統(tǒng)(未示出)提供，該致動(dòng)系統(tǒng)被附于線性引導(dǎo)件28，線性引導(dǎo)件28被聯(lián)結(jié)到所述桌面19的所述第一半部19.1和所述第二半部19.2的兩個(gè)長(zhǎng)度側(cè)邊緣(在圖4中，僅僅在一個(gè)長(zhǎng)度側(cè)邊緣上示出所述線性引導(dǎo)件28從而了解下面的物體的情況)。所述致動(dòng)系統(tǒng)包括被聯(lián)結(jié)到所述線性引導(dǎo)件28的兩個(gè)導(dǎo)軌。四個(gè)載架在所述兩個(gè)導(dǎo)軌上行進(jìn)。在位于所述兩個(gè)導(dǎo)軌中的第一個(gè)上的第一載架和位于所述兩個(gè)導(dǎo)軌中的第二個(gè)上的第二載架之間，放置第一保持器。第二保持器被放置在位于所述兩個(gè)導(dǎo)軌中的所述第一個(gè)上的第三載架和位于所述兩個(gè)導(dǎo)軌中的所述第二個(gè)上的第四載架之間。所述透明絕緣體基板2被放置在所述第一保持器和所述第二保持器之間并且通過沿著所述兩個(gè)導(dǎo)軌移動(dòng)帶有所述第一和所述第二保持器的所述四個(gè)載架而沿著所述一個(gè)方向17移動(dòng)。根據(jù)圖3所示裝置，所述載架10位于所述桌狀裝置16上方從而所述第一調(diào)整激光器11、所述第二激光器12和所述另一個(gè)調(diào)整激光器13的光通過所述透明絕緣體基板而被從上方照射到所述透明絕緣體基板2的下主表面上的所述膜上。本發(fā)明不限于上述實(shí)施例。其它實(shí)施例同樣是可能的，即，例如其中多于所述兩個(gè)或者三個(gè)的激光器被布置于所述載架10上的示例實(shí)施例。在該情形中，所述第二激光器12和幾個(gè)調(diào)整激光器能夠被沿著所述線布置。相應(yīng)地，在所述載架10的移動(dòng)方向從所述第二激光器12定位的、所述多于一個(gè)的調(diào)整激光器能夠被致動(dòng)。相應(yīng)地，通過所述多于一個(gè)的調(diào)整激光器的處理局部地改變所述膜的材料性質(zhì)，例如對(duì)所述膜進(jìn)行退火。這個(gè)過程在所述膜中誘發(fā)熱應(yīng)力軌跡，在熱應(yīng)力軌跡內(nèi)，利用所述第二激光器12的所述最終激光束處理對(duì)所述凹槽劃線，因此在所述多個(gè)區(qū)域中劃分所述膜。在帶有多于兩個(gè)或者三個(gè)的、被布置于所述載架10上的激光器的相同情形中，每組帶有一個(gè)第二激光器和至少一個(gè)調(diào)整激光器的、多于一組的激光器能夠沿著平行線被布置于所述載架10上。這允許在所述載架10沿著所述移動(dòng)方向18的一個(gè)移動(dòng)期間每組激光器對(duì)一個(gè)凹槽進(jìn)行劃線。根據(jù)本發(fā)明，所述透明絕緣體基板2被以水平定向安裝在所述桌狀裝置16上(在它的下主表面上帶有所述膜的情況下)不是必須的。在它的上主表面上帶有所述膜的情況下在所述桌狀裝置16上安裝所述透明絕緣體基板2也是可能的。進(jìn)而，在所述透明絕緣體10基板2下面在所述桌狀裝置16的所述間隙25中布置所述載架10并且將激光器的光從下面照射在所述膜上是可能的。此外，所述第一調(diào)整激光器11、第二激光器12或者另一個(gè)調(diào)整激光器13中的任一個(gè)如上所述地被安裝在所述載架10上并非必要。同樣地能夠在所述桌狀裝置16側(cè)向的固定位置中安裝這些激光器并且利用纖維或者反射鏡系統(tǒng)將激光器的所述光引導(dǎo)到所述載架10并且將所述光從那里引導(dǎo)在所述膜上。另外地，并不要求使得所述載架10能夠沿著所述移動(dòng)方向18移動(dòng)。相反，同樣地能夠在所述透明絕緣體基板2上方或者下面的固定位置中安裝所述載架并且沿著所述移動(dòng)方向18將激光器的所述光引導(dǎo)在所述膜上。圖4所示并且在WO2005/118440Al中公開的桌狀裝置是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。雖然如此，存在能夠被用作本發(fā)明的實(shí)施例的、提供相同功能性的桌狀裝置的其它實(shí)施例?？傊?，應(yīng)該指出本發(fā)明提供一種用于通過多激光束照射將在基板上形成的半導(dǎo)體膜劃分成多個(gè)區(qū)域的方法，該方法允許降低所用激光系統(tǒng)的功率并且減輕或者甚至避免已知在鄰近于材料的激光處理部分的區(qū)部中發(fā)生的、激光引起的問題。權(quán)利要求1.一種通過多激光束照射將在基板上形成的半導(dǎo)體膜劃分成多個(gè)區(qū)域的方法，所述多激光束照射使用影響所述膜的基本上相同的區(qū)的至少兩個(gè)激光束處理的序列，其特征在于，除了最終激光束處理，至少兩個(gè)激光束處理的所述序列的處理被用于調(diào)整將被移除的經(jīng)處理的膜區(qū)，并且在于應(yīng)用所述最終激光束處理以實(shí)際上移除材料從而形成凹槽。2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于除了所述最終激光束處理，通過所述至少兩個(gè)激光束處理的所述序列的、以前的處理，基本上無(wú)任何物質(zhì)將經(jīng)由燒蝕/蒸發(fā)而被移除。3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2的方法，其特征在于，在0.Olms到1000ms、優(yōu)選地0.Ims到IOOms的時(shí)間窗口內(nèi)，在第一激光束處理后進(jìn)行第二、第三激光束處理等等。4.根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的方法，其特征在于，利用連續(xù)波激光器產(chǎn)生第一調(diào)整激光束并且在于利用脈沖激光器產(chǎn)生第二激光束。5.根據(jù)權(quán)利要求1到4之一的方法，其特征在于，所述基板在用于支撐所述基板的桌狀裝置上在一個(gè)方向上移動(dòng)。6.根據(jù)權(quán)利要求1到5之一的方法，其特征在于，被安裝在載架上的第一調(diào)整激光器被用于執(zhí)行調(diào)整步驟并且被安裝在所述載架上并且在沿著所述載架的移動(dòng)方向定向的線中從所述第一調(diào)整激光器隔開地布置的第二激光器被用于執(zhí)行移除步驟。7.根據(jù)權(quán)利要求6的方法，其特征在于，通過使用在所述載架上安設(shè)的、與所述第一調(diào)整激光器和所述第二激光器成所述線的另一個(gè)調(diào)整激光器實(shí)現(xiàn)了激光器裝置的雙向功能性。8.根據(jù)權(quán)利要求5和6或者權(quán)利要求5和7的方法，其特征在于，通過沿著所述一個(gè)方向在所述桌狀裝置上移動(dòng)所述基板并且通過沿著與所述一個(gè)方向交叉地定向的所述移動(dòng)方向移動(dòng)帶有激光器裝置的所述載架，所述基板的任何區(qū)域得以處理。9.根據(jù)權(quán)利要求6到8之一的方法，其特征在于，所述凹槽被形成為平行于所述移動(dòng)方向和所述線。10.根據(jù)權(quán)利要求1到9之一的方法，其特征在于，激光束被從透光的所述基板的另一主表面照射通過所述基板到相應(yīng)的所述膜的所述相同的區(qū)，因此將所述膜劃分/分段成所述多個(gè)區(qū)域。11.根據(jù)權(quán)利要求1到10之一的方法，其特征在于，在所述膜中形成所述凹槽，其中所述載架沿著所述移動(dòng)方向移動(dòng)在任一方向上移動(dòng)并且所述第二激光器和所述第一調(diào)整激光器和所述另一個(gè)調(diào)整激光器之一一當(dāng)在所述載架的移動(dòng)方向上看時(shí)其在所述第二激光器前面一正在運(yùn)行，從而將在此處形成所述凹槽的、在所述膜的所述相同的區(qū)上的任何點(diǎn)首先用或者所述第一調(diào)整激光器或者所述另一個(gè)調(diào)整激光器處理并且隨后用所述第二激光器處理。12.一種用于通過多激光束照射將在基板上形成的半導(dǎo)體膜劃分成多個(gè)區(qū)域的裝置，所述多激光束照射使用影響所述膜的基本上相同的區(qū)的至少兩個(gè)激光束處理的序列，其特征在于，所述裝置包括用于除了最終激光束處理的、至少兩個(gè)激光束處理的所述序列的處理的第一調(diào)整激光器并且在于所述裝置包括用于所述最終激光束處理的第二激光器。13.根據(jù)權(quán)利要求12的裝置，其特征在于，所述基板能夠在用于支撐所述基板的桌狀裝置上在一個(gè)方向上移動(dòng)。14.根據(jù)權(quán)利要求12或者13的裝置，其特征在于，容納多個(gè)激光器的載架至少包括所述第一調(diào)整激光器和隔開的但是與第一調(diào)整激光器的移動(dòng)方向成一條線布置的所述第二激光器。15.根據(jù)權(quán)利要求14的裝置，其特征在于，所述載架能夠包括與所述第一調(diào)整激光器和所述第二激光器成所述線布置的另一個(gè)調(diào)整激光器從而允許所述激光器裝置的雙向功能性。16.根據(jù)權(quán)利要求12到15之一的裝置，其特征在于，所述第一調(diào)整激光器是連續(xù)波激光器并且在于所述第二激光器是脈沖激光器。17.根據(jù)權(quán)利要求15的裝置，其特征在于，所述第一調(diào)整激光器和所述另一個(gè)調(diào)整激光器是相同的并且在于所述第一調(diào)整激光器和所述另一個(gè)調(diào)整激光器在所述第二激光器的相同距離處但是在相反的方向上定位。18.根據(jù)權(quán)利要求13和14的裝置，其特征在于，通過沿著所述一個(gè)方向在所述桌狀裝置上移動(dòng)所述基板并且通過沿著與所述一個(gè)方向交叉地定向的所述移動(dòng)方向移動(dòng)帶有激光器裝置的所述載架，所述基板的任何區(qū)域均能夠得以處理。全文摘要本發(fā)明涉及一種通過多激光束照射將在基板上形成的半導(dǎo)體膜劃分成多個(gè)區(qū)域的方法，該多激光束照射使用影響所述膜的基本上相同的區(qū)的至少兩個(gè)激光束處理的序列。除了最終激光束處理，至少兩個(gè)激光束處理的所述序列的處理被用于調(diào)整將被移除的經(jīng)處理的膜區(qū)。應(yīng)用所述最終激光束處理以實(shí)際上移除材料從而形成凹槽。此外，本發(fā)明涉及一種通過多激光束照射將在基板上形成的半導(dǎo)體膜劃分成多個(gè)區(qū)域的裝置，該多激光束照射使用影響所述膜的基本上相同的區(qū)的至少兩個(gè)激光束處理的序列。所述裝置包括用于除了最終激光束處理的、至少兩個(gè)激光束處理的所述序列的處理的第一調(diào)整激光器并且所述裝置包括用于所述最終激光束處理的第二激光器。文檔編號(hào)B23K26/40GK102203943SQ200980143338公開日2011年9月28日申請(qǐng)日期2009年10月20日優(yōu)先權(quán)日2008年10月29日發(fā)明者I·西尼科,J·京斯特申請(qǐng)人:歐瑞康太陽(yáng)能股份公司(特呂巴赫)