專利名稱：耐剝離性和耐磨性優(yōu)異的金剛石包覆工具的制作方法
技術領域：
該發(fā)明涉及一種在由碳化鎢基硬質合金構成的基體表面包覆金剛石薄膜的金剛 石包覆工具，尤其涉及一種在高速切削比強度、比剛性高于金屬材料的CFRP (Carbon Fiber Reinforced Plastics.碳素纖維強化塑料)或溶敷性高的Al合金等難切削材料時，在長 期使用中發(fā)揮優(yōu)異的耐剝離性和優(yōu)異的耐磨性的金剛石包覆工具。
背景技術：
以往公知有在由碳化鎢基(WC基)硬質合金構成的基體包覆金剛石薄膜的金剛石 包覆工具，例如公知有如下金剛石包覆工具在基體表面反復進行成為金剛石的結晶生長 的起點的核附著工序及使金剛石結晶生長的結晶生長工序，由此包覆結晶粒徑微細的金剛 石薄膜，并且公知有在使用該包覆工具的Al合金的切削加工中可獲得優(yōu)異的表面精度。并且，還公知有交替層壓金剛石薄膜，即交替層壓根據(jù)拉曼光譜的非金剛石碳的 峰值強度I2對金剛石的峰值強度I1的強度比I2A1為0. 7以下的層和I2A1為0. 9以上的 層的金剛石包覆工具，并且還公知有將該包覆工具使用于Al合金的切削加工中時，韌性、 耐缺損性、耐磨性優(yōu)異。專利文獻1 日本專利公開2002-79406號公報專利文獻2 日本專利公開平6497207號公報近幾年的切削加工裝置的FA化非常顯著，另一方面對切削加工的節(jié)省勞力化及 節(jié)能化以及低成本化的要求強烈，伴隨此切削條件逐漸高速化。上述以往包覆工具在將此 使用于通常條件下的切削加工中時，雖然沒有產(chǎn)生特別的問題，但將此使用于與一般的金 屬材料相比，比強度、比剛性優(yōu)異的CFRP、溶敷性高的Al合金等難切削材料的高速切削中 時，由于CFRP為碳素纖維和環(huán)氧類樹脂的復合材料，所以工具磨損強烈。此外，存在如下問 題點由于金剛石的熱膨脹系數(shù)小，且與由WC基硬質合金構成的基體的熱膨脹差大，所以 根據(jù)切削加工時的高熱在基體-金剛石膜的界面產(chǎn)生熱應力，尤其在長時間使用之后，隨 著金剛石包覆的膜厚變薄，變得容易產(chǎn)生基于上述應力的金剛石膜的剝離，工具壽命變短。因此，在長期使用中，期望不會產(chǎn)生金剛石膜的剝離，同時發(fā)揮優(yōu)異的耐磨性的金 剛石包覆工具。本發(fā)明者們從如上所述的觀點出發(fā)，為了開發(fā)如下金剛石包覆工具進行了深入研 究的結果，獲得了以下見解該開發(fā)目的的金剛石包覆工具尤其在難切削材料CFRP或溶敷 性高的Al合金等的高速切削加工中，金剛石膜具有優(yōu)異的耐剝離性的同時具有耐磨性，在 長期使用中發(fā)揮優(yōu)異的切削性能。本發(fā)明的金剛石包覆工具通過在由WC基硬質合金構成的基體(基材)表面，例如 根據(jù)熱燈絲法等金剛石氣相合成法交替層壓結晶性分別不同的金剛石膜A層及B層(與A 層相比，B層的結晶性相對高)來構成，但在交替層壓A層、B層時，若以如下方式形成交替 層壓，即在WC基硬質合金基體(基材)側，A層的合計層厚La和B層的合計層厚Lb滿足 0. 6 ^ La/(La+Lb)的關系，并且在金剛石包覆表面?zhèn)?，A層的合計層厚La和B層的合計層厚Lb滿足0. 6 ^ Lb/(La+Lb)的關系，則由這種交替層壓結構構成的金剛石包覆工具即使 長時間使用也看不到金剛石薄膜的剝離，其結果發(fā)現(xiàn)在長期使用中發(fā)揮優(yōu)異的耐磨性。在圖1示出本發(fā)明的金剛石包覆工具的側截面的簡要圖，但在圖1所示的金剛石 包覆工具的側截面觀察時，若對形成交替層壓的A層、B層的層厚分別進行調(diào)節(jié)，以使在基 體側，沿層厚方向形成的A層所占的層厚比例多于B層所占的層厚比例，另一方面，在金剛 石包覆表面?zhèn)?，沿層厚方向形成的B層所占的層厚比例多于A層所占的層厚比例，則可通過 切削加工時的高熱緩和根據(jù)WC基硬質合金基體(基材)與金剛石膜的熱膨脹差產(chǎn)生的界 面的熱應力，其結果，即使在長時間使用之后也能夠抑制產(chǎn)生金剛石薄膜的剝離，可以謀求 工具的長壽命化的同時，在金剛石包覆表面?zhèn)纫愿弑壤嬗信cA層相比硬度相對高的B層， 由此在長時間切削加工中，能夠發(fā)揮充分的耐磨性。并且，本發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)了如下內(nèi)容關于構成形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層的 金剛石膜，在利用場致發(fā)射型掃描電子顯微鏡測定并制作的結晶面的傾斜角度數(shù)分布圖 中，(110)面或(111)面由該傾斜角度數(shù)分布圖的以0 10度的傾斜角劃分占50%以上度 數(shù)的取向金剛石膜構成時，B層的硬度進一步提高，其結果，耐磨性更進一步提高。

發(fā)明內(nèi)容
該發(fā)明是基于上述見解而完成的，其具有如下特征“ (1) 一種金剛石包覆工具，是在由碳化鎢基硬質合金構成的基體表面交替層壓包 覆結晶性互不相同的A層和B層的兩種金剛石膜，所述A層的一層平均層厚為0.03 5 μ m、 所述B層的一層平均層厚為0. 1 5 μ m，金剛石膜的合計包覆層厚為10 30 μ m的金剛石 包覆工具，其特征在于，在對構成上述A層和B層的金剛石膜進行測定波長514. 5nm的拉曼光譜時，根據(jù) 測定得到的1333 士 5cm-l的峰值最大值I1與1400 1600cm-l的峰值最大值I2之比值I2/ I1,在上述A層中為0. 7 < I2A1 < 0.9，并且在上述B層中為I2A1 < 0.6，另外，形成于基體側的金剛石膜中的A層的合計層厚La和B層的合計層厚Lb滿 足0. 6彡La/(La+Lb)的關系，并且形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊慕饎偸ぶ械腁層的合計層 厚La和B層的合計層厚Lb滿足0. 6彡Lb/ (La+Lb)的關系。(2)如上述(1)記載的金剛石包覆工具，其特征在于，對上述B層中至少形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層用傾斜角度數(shù)分布圖表示，其中，所述傾斜角度數(shù)分布圖如下制作使用場致發(fā)射型掃描電子顯微鏡對存在 于相對基體表面垂直的薄膜截面研磨面的測定范圍內(nèi)的晶粒分別照射電子射線，測定所述 晶粒的結晶面(110)面及(111)面的法線對所述基體表面的法線形成的傾斜角，按0.25度 間距劃分所述測定傾斜角中處于0 45度范圍內(nèi)的測定傾斜角，同時總計存在于各劃分區(qū) 域內(nèi)的度數(shù)而形成傾斜角度數(shù)分布圖，此時，關于(110)面或(111)面的至少任一面表示如下傾斜角度數(shù)分布圖，即在 0 10度范圍內(nèi)的傾斜角劃分區(qū)域處存在最高峰值的同時，存在于所述0 10度范圍內(nèi)的 度數(shù)的合計占傾斜角度數(shù)分布圖中的度數(shù)整體的50 %以上比例。，，接著，對該發(fā)明的金剛石包覆工具的包覆層進行詳細說明。 被交替層壓的金剛石膜內(nèi)的A層，在進行測定波長514. 5nm的拉曼光譜時，根據(jù)測定得到的1333士5cm-l的峰值最大值I1與1400 1600cm-l的峰值最大值I2之比值I2A1 為0. 7 < VI1 < 0. 9，與后述的B層相比，結晶性相對低且由微粒金剛石構成。這種結晶性低且由微粒金剛石構成的A層，例如可以在如下條件下進行成膜燈絲溫度2000 2300 °C、燈絲-基板間隔10 30mm、基板溫度750 950°C、反應壓力0.9 1. 6kPa、反應氣體(CH4/H2比)0. 025 0. 08。而且，該A層與B層相比，由于與由WC基硬質合金構成的基體的熱膨脹系數(shù)差小， 在其界面難以產(chǎn)生大的熱應力，并且A層緩和在與基體的界面產(chǎn)生的熱應力的作用大于B 層，所以即使在產(chǎn)生難切削材料的高速切削加工時的高熱的條件下，金剛石膜的剝離也被 抑制，但如果A層的一層平均膜厚不到0. 03 μ m，則無法充分發(fā)揮與基體的界面的熱應力緩 和作用，另一方面，若A層的一層平均膜厚超過5 μ m,則作為金剛石包覆整體的硬度下降， 顯出耐磨性下降的傾向，因此將A層的一層平均膜厚定為0. 03 5 μ m。此外，在該發(fā)明中，為了進一步發(fā)揮根據(jù)A層和B層的交替層壓的效果，如圖1所 示，將形成于基體側的金剛石膜中的A層的合計層厚La和B層的合計層厚Lb定為滿足 0.6^La/(La+Lb)的關系(即，將沿層厚方向形成的A層所占的層厚比例設為大于B層所 占的層厚比例)，并且進一步提高金剛石膜對基體的耐剝離性。如果La/(La+Lb)的值不到0. 6，則雖然金剛石包覆具有優(yōu)異的硬度，但在難切削 材料的高速切削中卻無法發(fā)揮充分的耐剝離性，因此將La/(La+Lb)的值定為0. 6以上。并且，與A層交替層壓的金剛石膜的B層，在進行測定波長514. 5nm的拉曼光譜 時，根據(jù)測定得到的1333士5cm-l的峰值最大值I1與1400 1600cm-l的峰值最大值I2之 比值I2A1為0. 6 > I2ZI1,^ A層相比，結晶性高且由粗粒金剛石構成。這種結晶性高且由粗粒金剛石構成的B層，例如可以在如下條件下進行成膜燈絲溫度2000 2400 V、燈絲-基板間隔10 30mm、基板溫度700 900 °C、反應壓力:2.0 6. 67kPa、反應氣體(CH4/H2比)0. 005 0. 05。而且，該B層與A層相比耐磨性優(yōu)異，但如果B層的一層平均膜厚不到0. 1 μ m，則 無法繼續(xù)保持長期使用中優(yōu)異的耐磨性，另一方面，若B層的一層平均膜厚超過5 μ m，則因 晶粒粗大化而表面的平滑性下降，變得容易產(chǎn)生缺損，并且導致加工表面精度的下降，因此 將B層的一層平均膜厚定為0. 1 5 μ m。此外，在該發(fā)明中，B層通過夾入A層而被交替層壓，由此不僅抑制了 B層的晶粒 粗大化，而且在B層產(chǎn)生的裂紋等的擴展通過A層得到阻止，耐缺損性也得到提高。此外，在該發(fā)明中，為了進一步發(fā)揮根據(jù)A層和B層的交替層壓的效果，如圖1所 示，如下成膜，即形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊慕饎偸ぶ械腁層的合計層厚La和B層的合 計層厚Lb滿足0.6<Lb/(La+Lb)的關系(即，將沿層厚方向形成的B層所占的層厚比例 設為大于A層所占的層厚比例)，避免耐缺損性、加工表面精度的下降而進一步提高金剛石膜的耐磨性。如果金剛石包覆表面?zhèn)鹊慕饎偸ぶ械腖b/(La+Lb)的值不到0. 6，則在難切削材 料的高速切削中，在長期使用中無法發(fā)揮優(yōu)異的耐磨性，因此將Lb/(La+Lb)的值定為0. 6 以上。并且，對上述B層中至少形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層用傾斜角度數(shù)分布圖表 示，其中，所述傾斜角度數(shù)分布圖如下制作使用場致發(fā)射型掃描電子顯微鏡對存在于相對 基體表面垂直的薄膜截面研磨面的測定范圍內(nèi)的晶粒分別照射電子射線，測定所述晶粒的 結晶面(110)面及(111)面的法線對所述基體表面的法線形成的傾斜角，按0. 25度間距劃 分所述測定傾斜角中處于0 45度范圍內(nèi)的測定傾斜角，同時總計存在于各劃分區(qū)域內(nèi)的 度數(shù)而形成傾斜角度數(shù)分布圖，此時，關于(110)面或(111)面的至少任一面，表示如下傾 斜角度數(shù)分布圖，即在0 10度范圍內(nèi)的傾斜角劃分區(qū)域處存在最高峰值的同時，存在于 所述0 10度范圍內(nèi)的度數(shù)的合計占傾斜角度數(shù)分布圖中的度數(shù)整體的50%以上比例，由 具有這種取向的粗粒金剛石構成的B層兼具優(yōu)異的高硬度和耐熱性。在該發(fā)明中，如果由A層和B層的交替層壓結構構成的金剛石膜的合計包覆層厚 不到10 μ m，則在難切削材料的高速切削中，無法在長期使用中發(fā)揮優(yōu)異的耐磨性，另一方 面，若金剛石膜的合計包覆層厚超過30 μ m，則產(chǎn)生缺損、剝離的危險性提高，并且加工表面 精度也顯出下降傾向，因此將金剛石膜的合計包覆層厚定為10 30μπι。發(fā)明效果該發(fā)明的金剛石包覆工具的由微粒金剛石構成的A層和由粗粒金剛石構成的B層 形成交替層壓結構，此外，在基體側，A層的合計層厚La的比率增高，另一方面，在金剛石包 覆表面?zhèn)?，B層的合計層厚Lb的比率增高，因此可謀求工具基體-金剛石膜界面處的應力 緩和，并且具備如下特性耐剝離性優(yōu)異，防止晶粒的粗大化，不存在被切削材料加工表面 精度的下降，耐裂紋傳播性優(yōu)異。此外，B層具有(110)或(111)取向性，因此該發(fā)明的金剛石包覆工具兼具優(yōu)異的 高硬度和耐熱性。從而，即使將該發(fā)明的金剛石包覆工具使用于CFRP、Al合金等難切削材料的高 速切削加工中時，也具備優(yōu)異的耐剝離性、耐缺損性的同時，在長期使用中發(fā)揮優(yōu)異的耐磨性。


圖1表示本發(fā)明的金剛石包覆工具的側截面的簡要圖。圖2表示本發(fā)明立銑刀1的關于形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層(110)面的傾斜 角度數(shù)分布圖。圖3表示本發(fā)明立銑刀5的關于形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層(111)面的傾斜 角度數(shù)分布圖。
具體實施例方式接著，根據(jù)實施例具體說明該發(fā)明的金剛石包覆工具。[實施例1]
作為原料粉末，準備具有平均粒徑5. 5 μ m的中粗粒WC粉末、同0. 8 μ m的微粒WC 粉末、同1. 3 μ m的TaC粉末、同1. 2 μ m的NbC粉末、同1. 2 μ m的ZrC粉末、同2. 3 μ m的 Cr3C2 粉末、同 1.5μπι 的 VC 粉末、同 Ι.Ομπι 的(Ti、W)C[以質量比計，TiC/WC = 50/50]粉 末、以及同1. 8 μ m的Co粉末，將這些原料粉末分別配合成表1所示的配合組成，另外加入 石蠟在丙酮中球磨混合M小時，減壓干燥之后以IOOMPa的壓力擠壓成型為預定形狀的各 種壓坯，將這些壓坯在6 的真空氣氛中以7°C /分鐘的升溫速度升溫至1370 1470°C范 圍內(nèi)的預定溫度，在該溫度保持1小時之后，在爐冷的條件下進行燒結而形成直徑為13mm 的工具基體形成用圓棒燒結體，另外，從所述圓棒燒結體以磨削加工分別制造了刀刃部的 直徑X長度為IOmmX 22mm的尺寸、以及具有螺旋角30度的2片刃四角形形狀的WC基硬 質合金制工具基體(立銑刀)C-I C-8。接著，在丙酮中超聲波清洗這些工具基體(立銑刀)C-I C-8的表面，干燥之后 進行基于酸溶液的蝕刻和/或基于堿溶液的蝕刻處理，另外使用金剛石粉末泥漿液在超聲 波清洗器中進行超聲波處理之后，(al)首先，在燈絲溫度2200°C、燈絲-基板間隔15mm、基板溫度850°C、反應壓力0.9kPa、反應氣體CH4/H2 = 0.05(其中為體積比)的條件下，在工具基體表面成膜由微粒金剛石構成的A層(根據(jù)拉曼光譜的峰值 強度比0. 7 < I2A1 <0.9)，(bl)接著，在燈絲溫度2200°C、燈絲-基板間隔15mm、基板溫度800°C、反應壓力4kPa、反應氣體CH4/H2 = 0. 035 (其中為體積比)的條件下，在上述A層上成膜由粗粒金剛石構成的B層(根據(jù)拉曼光譜的峰值強 度比=I2A1 <0.6)，(cl)對A層、B層各自的一層膜厚進行調(diào)整，以使在基體側滿足0.6彡La/ (La+Lb)，并且在金剛石包覆表面?zhèn)葷M足0. 6 ( Lb/(La+Lb)，同時將上述(al)、(bl)反復進 行所需次數(shù)，成膜表2所示的、所希望的層壓數(shù)、所希望的合計包覆層厚的金剛石薄膜，從 而分別制造了作為本發(fā)明金剛石包覆工具的本發(fā)明金剛石包覆立銑刀(以下，稱為本發(fā)明 立銑刀)1 8。以比較的目的，在對上述工具基體(立銑刀)C-I C-8的表面施以與上述同樣的 涂覆前處理的狀態(tài)下，分別制造了以與上述實施例1的(al)相同的條件成膜金剛石薄膜的 比較立銑刀1，以與上述實施例1的(bl)相同的條件成膜金剛石薄膜的比較立銑刀2，將上 述實施例1的(al)、(bl)反復進行所需次數(shù)(其中，La/(La+Lb)或Lb/(La+Lb)的值為在 膜厚方向幾乎一定的值)而成膜所希望的層壓數(shù)、所希望的合計包覆層厚的金剛石薄膜的比較立銑刀3 8。在表3示出各個薄膜的一層膜厚、層壓數(shù)、合計包覆層厚。接著，對上述本發(fā)明立銑刀1 8的形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層及上述比較 立銑刀2 8的粗粒金剛石薄膜制作了傾斜角度數(shù)分布圖，該傾斜角度數(shù)分布圖如下制作 使用場致發(fā)射型掃描電子顯微鏡對存在于相對基體表面垂直的薄膜截面研磨面的測定范 圍內(nèi)的晶粒分別照射電子射線，測定所述晶粒的結晶面(110)面及(111)面的法線對基體 表面的法線形成的傾斜角，按0. 25度間距劃分所述測定傾斜角中處于0 45度范圍內(nèi)的 測定傾斜角的同時，總計存在于各劃分區(qū)域內(nèi)的度數(shù)而形成。作為一例子，在圖2示出本發(fā)明立銑刀1的關于形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層 的(110)面的傾斜角度數(shù)分布圖，但本發(fā)明立銑刀1 8及比較立銑刀2 8的粗粒金剛 石薄膜的(110)面的傾斜角度數(shù)分布圖均表示幾乎相同的傾斜角度數(shù)分布圖，在0 10度 范圍內(nèi)的傾斜角劃分區(qū)域處存在最高峰值的同時，存在于所述0 10度范圍內(nèi)的度數(shù)的合 計占傾斜角度數(shù)分布圖中的度數(shù)整體的50 %以上的比例。作為一例子，在圖3示出本發(fā)明立銑刀5的關于形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層 的(111)面的傾斜角度數(shù)分布圖，但本發(fā)明立銑刀1 8及比較立銑刀2 8的粗粒金剛 石薄膜的(111)面的傾斜角度數(shù)分布圖均表示幾乎相同的傾斜角度數(shù)分布圖，在0 10度 范圍內(nèi)的傾斜角劃分區(qū)域處存在最高峰值的同時，存在于所述0 10度范圍內(nèi)的度數(shù)的合 計占傾斜角度數(shù)分布圖中的度數(shù)整體的50 %以上的比例。在表2、表3表示關于本發(fā)明立銑刀1 8及上述比較立銑刀1 8的粗粒金剛石 薄膜測定的存在最高峰值的傾斜角劃分區(qū)域、存在于0 10度范圍內(nèi)的度數(shù)比例等。并且，對本發(fā)明立銑刀1 8及比較立銑刀2 4的粗粒金剛石薄膜測定平均 金剛石粒徑的結果，在比較立銑刀2 8的粗粒金剛石薄膜中，平均金剛石粒徑為2. 9 7. 5 μ m，另一方面，在本發(fā)明立銑刀1 8的粗粒金剛石薄膜(B層)中，平均金剛石粒徑為 0.8 1.8μπι，因此可知，在本發(fā)明的粗粒金剛石薄膜(B層)中充分抑制了金剛石晶粒的 粗大化。接著，對上述本發(fā)明立銑刀1 8及上述比較立銑刀1 8分別進行如下條件(切 削條件Α)，即碳素纖維和熱硬化型環(huán)氧類樹脂具有正交層壓結構的被切削材料-平面尺寸 IOOmmX 250mm、厚度5mm的碳素纖維強化樹脂復合材料(CFRP)的板材、切削速度240m/min.、槽深(切深量)徑向(ae)2.5mm、軸向(ap)8mm、工作臺進給速度1500mm/分鐘、送風條件下的上述CFRP的干式高速側面切削加工試驗，以及如下條件(切削條件B)，即被切削材料-平面尺寸100_X250mm、厚度50_的、JIS · ADC12的板材、切削速度420m/min.、槽深(切深量)徑向(ae)2.5mm、軸向(ap)8mm、工作臺進給速度1200mm/分鐘、送風條件下的上述Al合金的干式高速側面切削加工試驗，在任意切削加工試驗中都測定在刀刃部產(chǎn)生缺損為止的切削槽長度或在被切削材料產(chǎn)生毛刺為止的切削槽長度。將這些測定結果分別示于表4。[表 1]
類別工具基體S己合組成(質量％)記號Co(Ti、W) CTaCNbCZrCCr3C2VCWC工 具C-I55-----中粗粒殘余C-26-10.5---微粒殘余基C-36-1-10.50.5微粒殘余體C-48----0.50.5微粒殘余■“·S 立C-5925101---中粗粒殘余銑C-610----1-微粒殘余刀C-I121791---中粗粒殘余C-86----0.5-中粗粒殘余
權利要求
1.一種金剛石包覆工具，是在由碳化鎢基硬質合金構成的基體表面交替層壓包覆結晶 性互不相同的A層和B層的兩種金剛石膜，所述A層的一層平均層厚為0. 03 5 μ m、所述 B層的一層平均層厚為0. 1 5 μ m，金剛石膜的合計包覆層厚為10 30 μ m的金剛石包覆 工具，其特征在于，在對構成上述A層和B層的金剛石膜進行測定波長514. 5nm的拉曼光譜時，根據(jù)測定 得到的1333士5cm-l的峰值最大值I1與1400 1600cm_l的峰值最大值I2之比值12/11; 在上述A層中為0. 7 < I2A1 < 0. 9，并且在上述B層中為I2A1 < 0. 6，另外，形成于基體側的金剛石膜中的A層的合計層厚La和B層的合計層厚Lb滿足 0. 6 ^ La/(La+Lb)的關系，并且形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊慕饎偸ぶ械腁層的合計層厚 La和B層的合計層厚Lb滿足0. 6彡Lb/ (La+Lb)的關系。
2.如權利要求1所述的金剛石包覆工具，其特征在于，對上述B層中至少形成于金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層用傾斜角度數(shù)分布圖表示， 其中，所述傾斜角度數(shù)分布圖如下制作使用場致發(fā)射型掃描電子顯微鏡對存在于相 對基體表面垂直的薄膜截面研磨面的測定范圍內(nèi)的晶粒分別照射電子射線，測定所述晶粒 的結晶面(110)面及(111)面的法線對所述基體表面的法線形成的傾斜角，按0. 25度間距 劃分所述測定傾斜角中處于0 45度范圍內(nèi)的測定傾斜角，同時總計存在于各劃分區(qū)域內(nèi) 的度數(shù)而形成傾斜角度數(shù)分布圖，此時，關于(110)面或(111)面中的至少任一面表示如下傾斜角度數(shù)分布圖，即在0 10度范圍內(nèi)的傾斜角劃分區(qū)域處存在最高峰值的同時，存在于所述0 10度范圍內(nèi)的度數(shù) 的合計占傾斜角度數(shù)分布圖中的度數(shù)整體的50 %以上比例。
全文摘要
本發(fā)明提供一種耐剝離性和耐磨性優(yōu)異的金剛石包覆工具，其在難切削材料的高速切削加工中，發(fā)揮優(yōu)異的耐剝離性、耐磨性。一種在由WC基硬質合金構成的基體表面交替層壓結晶性互不相同的A層和B層的兩種金剛石膜的金剛石包覆工具，根據(jù)拉曼光譜的1333±5cm-1的峰值最大值I1與1400～1600cm-1的峰值最大值I2之比值，在A層中為0.7＜I2/I1＜0.9，并且在B層中為I2/I1＜0.6，另外在基體側，A層的合計層厚(La)和B層的合計層厚(Lb)滿足0.6≤La/(La+Lb)，并且在金剛石包覆表面?zhèn)?，A層的合計層厚(La)和B層的合計層厚(Lb)滿足0.6≤Lb/(La+Lb)，此外，根據(jù)情況金剛石包覆表面?zhèn)鹊腂層在(110)或(111)具有取向性。
文檔編號B23P15/28GK102059361SQ201010529479
公開日2011年5月18日 申請日期2010年10月25日 優(yōu)先權日2009年11月16日
發(fā)明者大島秀夫, 松木竜一 申請人:三菱綜合材料株式會社