專利名稱：用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置及其方法。
背景技術(shù)：
目前，用于大幅面導(dǎo)光板的加工工藝方法有以下兩種1)印刷工藝方法先根據(jù)光學(xué)要求出一份菲林，然后轉(zhuǎn)移到一個(gè)絲網(wǎng)模板上，清洗絲干凈絲網(wǎng)板(因?yàn)榻z網(wǎng)板是用酸腐蝕出來(lái)的，因此要把酸清洗掉)，再后把絲網(wǎng)板對(duì)位好放在工作板上，在絲網(wǎng)板上面刮一種專用油墨，最后用烘箱烘干。因此工序多，有腐蝕性酸產(chǎn)生，油墨有毒，有污染，手動(dòng)印刷的起點(diǎn)地方和最后提起的地方油墨較多，會(huì)影響導(dǎo)光質(zhì)量，烘烤過(guò)程容易使產(chǎn)品發(fā)生變形，而導(dǎo)致成品率低(30% )，效率一般(2分鐘/片)·’2)傳統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)與CO2激光加工工藝這種工藝克服了印刷工藝的許多不良地方，無(wú)腐蝕性酸，無(wú)油墨產(chǎn)生的毒，無(wú)印刷起點(diǎn)和終點(diǎn)，工序簡(jiǎn)單。由于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)速度有限(一般在數(shù)米每秒)，故加工效率較差(2. 5分鐘/片)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置及其方法。本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置，特點(diǎn)是包括CO2激光器、多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡和運(yùn)動(dòng)工作平臺(tái)，所述CO2激光器為波長(zhǎng)是10. 6 μ m的CO2激光器，CO2激光器的輸出端設(shè)置有多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡，所述多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡正對(duì)于運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)。進(jìn)一步地，上述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置，所述CO2激光器的輸出端與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡之間布置有激光開關(guān)。本發(fā)明用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，CO2激光器發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡后，到達(dá)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)，CO2激光作用于運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)上的被加工材料，被加工材料受激光作用后形成一個(gè)100 1000 μ m微坑，通過(guò)高速控制激光開關(guān)，以1 20KHZ頻率每秒鐘形成1000 20000個(gè)微坑，在多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡帶動(dòng)激光反射片轉(zhuǎn)動(dòng)下，激光形成一個(gè)光學(xué)掃描區(qū)域，掃描區(qū)域大小為多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描區(qū)域，配合運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)帶動(dòng)導(dǎo)光板的運(yùn)動(dòng)，使激光加工區(qū)域增大，即多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡與運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)聯(lián)動(dòng)，或多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描一個(gè)區(qū)域后、運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至下一個(gè)區(qū)域再掃描，因此在總的掃描區(qū)域內(nèi)形成一個(gè)微坑分布，微坑分布是獨(dú)立微坑，或者是不同密度的微坑群，或者是相連的微坑串而形成微槽，單個(gè)微坑結(jié)構(gòu)的深度在10 100 μ m,長(zhǎng)度在100 1000 μ m,寬度在100 600 μ m0更進(jìn)一步地，上述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，單個(gè)位置打單個(gè)或多個(gè)點(diǎn)， 運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)在加工過(guò)程中不移動(dòng)；開始加工時(shí)，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡下方相應(yīng)的位置，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡移動(dòng)至打點(diǎn)的理論位置停止不動(dòng)，延時(shí)100 600us，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡停穩(wěn)，CO2激光器出多個(gè)脈沖的激光，激光打在同一位置，激光加工一個(gè)位置點(diǎn)之后，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再移動(dòng)至下一個(gè)理論位置，延時(shí)，CO2激光器再出激光，重復(fù)進(jìn)行，直到所有的位置點(diǎn)加工結(jié)束，然后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)退出。更進(jìn)一步地，上述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡不停的獨(dú)立運(yùn)動(dòng)，CO2激光器出激光，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡下方停止不動(dòng)；首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡的下方相應(yīng)位置，定好加工的位置，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡按路徑進(jìn)行連續(xù)運(yùn)動(dòng)，路徑為一條連續(xù)的多義線，當(dāng)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始進(jìn)行一條規(guī)劃的路徑時(shí)，CO2激光器打開，按IK 25K的頻率出激光，當(dāng)規(guī)劃的路徑結(jié)束時(shí)，關(guān)掉 CO2激光器，不出激光，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡運(yùn)動(dòng)到下一條規(guī)劃路徑的起點(diǎn)，再開始運(yùn)動(dòng)， 同時(shí)又打開激光，一直重復(fù)，直到所有的路徑線條完成，加工結(jié)束后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)退出。更進(jìn)一步地，上述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，單個(gè)位置打多個(gè)點(diǎn)，之后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再移至下一個(gè)點(diǎn)，加工過(guò)程中運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡交替進(jìn)行； 首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)運(yùn)動(dòng)至相應(yīng)的加工位置，然后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)停止延時(shí)，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡運(yùn)動(dòng)到規(guī)劃位置，表現(xiàn)為加工的單點(diǎn)，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡停止延時(shí)，CO2激光器出單個(gè)或多個(gè)激光脈沖，加工結(jié)束后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡移到下一個(gè)加工位置，接下來(lái)CO2激光器再出單個(gè)或多個(gè)激光脈沖，重復(fù)下去，直至整個(gè)圖形中的一塊的點(diǎn)加工結(jié)束，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)相應(yīng)的位置，接下來(lái)再重復(fù)上面的過(guò)程加工完成第二塊區(qū)域的點(diǎn)，直到所有的塊加工完成，每塊通過(guò)拼接而形成一個(gè)完整的圖形。

更進(jìn)一步地，上述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡與CO2激光器同步出光，但運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡交替工作；首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)運(yùn)動(dòng)到多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡下方初始加工位置，延時(shí)停止，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始按規(guī)劃的路徑連續(xù)運(yùn)動(dòng)，路徑為一條連續(xù)的多義線，直到多義線結(jié)束，CO2激光器在多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始運(yùn)動(dòng)時(shí)即開始出激光，當(dāng)規(guī)劃的路徑結(jié)束時(shí)，關(guān)掉激光，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再掃描運(yùn)動(dòng)至下一條規(guī)劃路徑開始處，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始按規(guī)劃路徑運(yùn)動(dòng)，CO2激光器開始出激光， 重復(fù)上面動(dòng)作，直到一塊內(nèi)的所有路徑加工完成，接下來(lái)平臺(tái)移動(dòng)到下一塊的位置，再重復(fù)上面的過(guò)程，直到所有的分塊加工完成。更進(jìn)一步地，上述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，單個(gè)位置打單個(gè)點(diǎn)或多個(gè)點(diǎn)， 完成之后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再移至下一個(gè)位置，打點(diǎn)過(guò)程以及多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描過(guò)程的同時(shí)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)也在同步移動(dòng)；運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)首先移動(dòng)至加工位置，然后移動(dòng)，開始進(jìn)行加工，這時(shí)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始移動(dòng)到開始加工的位置，然后停止運(yùn)動(dòng)，這時(shí)CO2激光器出多個(gè)脈沖激光，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再運(yùn)動(dòng)到下一個(gè)點(diǎn)位置，CO2激光器再出多個(gè)脈沖激光，這樣重復(fù)下去，直至整個(gè)圖形加工結(jié)束，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)停止運(yùn)動(dòng)，然后退回至下料位置。再進(jìn)一步地，上述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡與CO2激光器出光同步，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡及CO2激光器出光同步，即三者同步工作； 首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)運(yùn)動(dòng)至加工位置，然后繼續(xù)運(yùn)行下去，同時(shí)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始按規(guī)劃的路徑進(jìn)行掃描，路徑為一條連續(xù)的多義線，同時(shí)CO2激光器開始出激光，當(dāng)一條路徑結(jié)束時(shí)，CO2激光器關(guān)光，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始到下一條路徑開始處，然后按路徑開始運(yùn)動(dòng)， CO2激光器出激光，重復(fù)下去直至所有的規(guī)劃路徑掃描完，整個(gè)過(guò)程中運(yùn)動(dòng)平臺(tái)一直在運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明技術(shù)方案突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的進(jìn)步主要體現(xiàn)在本發(fā)明采用CO2激光器結(jié)合掃描振鏡和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可以將微坑分布的區(qū)域擴(kuò)大到所需要的尺寸，從而加工出符合各種應(yīng)用要求的大幅面導(dǎo)光板(如60英寸)。采用CO2激光對(duì)導(dǎo)光材料的非接觸刻蝕加工方法比其他傳統(tǒng)方法有更高的效率；更容易加工出所需要的不同形狀的微坑分布，所加工產(chǎn)品不變形，能夠顯著提高成品率。加工方法微坑形成速度可以達(dá)到每秒20000個(gè)，加工效率高；采用CO2激光進(jìn)行無(wú)接觸蝕刻，加工出的產(chǎn)品不變形， 大大提高成品率；掃描平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)路徑與導(dǎo)光板微坑分布設(shè)計(jì)相關(guān)，運(yùn)動(dòng)路徑可以使用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件生成，并可以進(jìn)行調(diào)整修改。所形成的導(dǎo)光板最終是由點(diǎn)光源(如LED)變成一個(gè)面光源點(diǎn)光源從側(cè)面入射進(jìn)入導(dǎo)光板，從導(dǎo)光板表面發(fā)出的光在均勻度及亮度(輝度) 上達(dá)到應(yīng)用要求。


下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作進(jìn)一步說(shuō)明圖1 本發(fā)明裝置的構(gòu)造示意圖。圖中各附圖標(biāo)記的含義I-CO2激光器，2-多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡，3-運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明使用高速光學(xué)掃描振鏡、CO2激光器和運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)實(shí)現(xiàn)蝕刻工藝。此工藝由光學(xué)掃描裝置帶動(dòng)反射鏡片(質(zhì)量很輕，約100克)，通過(guò)鏡片反射激光而形成激光運(yùn)動(dòng)， 因此運(yùn)動(dòng)速度可以有很大的提高，比傳統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的整體速度提高許多倍。此工藝方法加工不使用無(wú)腐蝕性酸，無(wú)油墨產(chǎn)生的毒，可達(dá)100%的良率，加工效率很高(1分鐘/片)。如圖1所示，用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置，包括CO2激光器1、多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2和運(yùn)動(dòng)工作平臺(tái)3，CO2激光器1為波長(zhǎng)是10. 6 μ m的CO2激光器，CO2激光器1的輸出端設(shè)置有多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2，且在CO2激光器1的輸出端與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2之間布置有激光開關(guān)，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2正對(duì)于運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3。通過(guò)將CO2激光器發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)光學(xué)擴(kuò)束、聚焦等整形后，根據(jù)掃描角度實(shí)時(shí)進(jìn)行焦距調(diào)整，從而在被加工材料表面得到所需要的激光光斑尺寸及激光能量，再通過(guò)掃描振鏡以合適的速度運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)激光光束的移動(dòng)，配合加工平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)，最終在導(dǎo)光材料(如亞克力)上形成符合尺寸(長(zhǎng)、寬、深)，密度分布要求的微坑或槽。而通過(guò)這些微坑或槽，點(diǎn)光源可以在導(dǎo)光板上形成均勻的發(fā)光以滿足不同的照明要求。用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，CO2激光器1發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)多維運(yùn) 動(dòng)掃描振鏡2 后，到達(dá)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3，CO2激光作用于運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)上的被加工材料，被加工材料受激光作用后形成一個(gè)100 1000 μ m微坑，通過(guò)高速控制激光開關(guān)，以1 20KHz頻率每秒鐘形成1000 20000個(gè)微坑，在多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡帶動(dòng)激光反射片轉(zhuǎn)動(dòng)下，激光形成一個(gè)光學(xué)掃描區(qū)域，掃描區(qū)域大小為多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描區(qū)域，配合運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)帶動(dòng)導(dǎo)光板的運(yùn)動(dòng)，使激光加工區(qū)域增大，即多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡與運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)聯(lián)動(dòng)，或多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描一個(gè)區(qū)域后、運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至下一個(gè)區(qū)域再掃描，因此在總的掃描區(qū)域內(nèi)形成一個(gè)微坑分布，微坑分布是獨(dú)立微坑，或者是不同密度的微坑群，或者是相連的微坑串而形成微槽，單個(gè)微坑結(jié)構(gòu)的深度在10 100 μ m,長(zhǎng)度在100 1000 μ m,寬度在100 600 μ m。上述 微坑蝕刻裝置工作時(shí)，CO2激光器1在軟件的控制下發(fā)出工藝要求的激光，一般通過(guò)軟件設(shè)置激光的出光頻率，以及激光的功率，在軟件中通過(guò)PWM信號(hào)的占空比來(lái)進(jìn)行實(shí)現(xiàn)激光的功率調(diào)整。對(duì)CO2激光器1發(fā)出的激光在多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2的配合下，依出激光時(shí)振鏡的位置是否在同時(shí)變化來(lái)分，有兩種工作方式來(lái)進(jìn)行打點(diǎn)，其一是以單個(gè)打點(diǎn)方式加工(多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2掃描至打點(diǎn)位置停住，出激光一段時(shí)間下打點(diǎn)，可以是打多個(gè)點(diǎn))，其二是多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2 —直高速運(yùn)動(dòng)，激光按照固定的頻率出激光，這樣當(dāng)速度快時(shí)，形成每個(gè)點(diǎn)是一個(gè)脈沖，點(diǎn)之間有一定距離，當(dāng)速度慢時(shí)多個(gè)點(diǎn)有一定的重合率， 當(dāng)重合率高時(shí)就形成一個(gè)微槽。方式一當(dāng)以單個(gè)打點(diǎn)方式加工時(shí)，通過(guò)控制每個(gè)打點(diǎn)的時(shí)間，再配合設(shè)置的頻率來(lái)決定每個(gè)點(diǎn)要出多少個(gè)脈沖的激光，單個(gè)打點(diǎn)的時(shí)間越長(zhǎng)也就是脈沖個(gè)數(shù)越多。在功率一定，頻率一定的情況下，每個(gè)脈沖的能量(單脈沖能量)也就一樣的，如激光功率為100W時(shí)(占空比對(duì)應(yīng)下的平均功率，如占空比為Tp 50% )，頻率為10KHZ 時(shí)，每個(gè)脈沖的能量為100W/10000 = 0. Olff0每個(gè)點(diǎn)作用的時(shí)間為l/10K*Tp = 0. 0001*0. 5 秒=ο. 05毫秒(ms).如單個(gè)打點(diǎn)時(shí)間設(shè)為0. 05ms則相應(yīng)位置打一個(gè)點(diǎn)，為0. Ims則在相就位置重復(fù)打2個(gè)點(diǎn)(疊加)，這樣由于作用的能量多，則打出的點(diǎn)越深越大。方式二當(dāng)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2運(yùn)動(dòng)與CO2激光器1出光同時(shí)工作時(shí)，假如多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2出光掃描速度設(shè)置為10000mm/S(10米/秒)時(shí)，CO2激光器1的頻率設(shè)置為IOKHz (10000Hz) 時(shí)，CO2激光器1功率為100W時(shí)(當(dāng)為這個(gè)功率時(shí)激光作用在日本三菱導(dǎo)光板材料上的微坑為0. 5mm，具體值視材料的不同而不同)，那么每個(gè)相鄰點(diǎn)之間的距離為(10000mm/S)/ (10000Hz) = lmm.每個(gè)點(diǎn)的大小為0. 5mm，這時(shí)點(diǎn)沒有重疊，刻蝕長(zhǎng)度與沒刻蝕長(zhǎng)度它們的比值是1 1，此時(shí)表現(xiàn)為點(diǎn)。當(dāng)速度為1000mm/S時(shí)其余條件不變此時(shí)利用上用公司得出， 相鄰兩點(diǎn)之間的距離為0. 1mm，此時(shí)點(diǎn)的重疊率已達(dá)到90%，因此表現(xiàn)為一個(gè)微槽。當(dāng)速度為10000mm/S時(shí)，頻率為20KHz時(shí)激光功率不變情況下(此時(shí)作用在材料上的每個(gè)微坑大小為0. 4mm (點(diǎn)大小與頻率也有關(guān)系)，此時(shí)相鄰兩點(diǎn)之間的距離為0. 5mm，此時(shí)刻蝕長(zhǎng)度與沒刻蝕長(zhǎng)度比為0.4 0.1 = 4 1。總之，通過(guò)軟件可以達(dá)到控制激光點(diǎn)的大小，及深度， 點(diǎn)的深度與大小對(duì)應(yīng)的關(guān)系因?qū)Ч獠牧系臎]同而不同?？煽氐募す馐紫冉?jīng)過(guò)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2是采用三維動(dòng)態(tài)掃描振鏡，光首先通過(guò)一個(gè)焦距可調(diào)的光學(xué)模組(由軟件控制運(yùn)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行調(diào)節(jié))，然后通過(guò)第一片X掃描鏡片進(jìn)行全反射掃描運(yùn)動(dòng)。再然后通過(guò)第二片Y掃描鏡片進(jìn)行全反射運(yùn)動(dòng)， x、Y兩塊全反射鏡片互相垂直。從而形成一個(gè)二維的光學(xué)掃描運(yùn)動(dòng)。以上三個(gè)部件(焦距可調(diào)的光學(xué)模組、X振鏡、Y振鏡)就構(gòu)成了三維動(dòng)態(tài)掃描振鏡。激光經(jīng)過(guò)這個(gè)三維動(dòng)態(tài)掃描振鏡之后就作用于工件上(運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3上的工件)。CO2激光作用于加工平臺(tái)3的被加工材料上，被加工材料受激光作用形成一個(gè) 100 1000 μ m的微坑。通過(guò)控制高速激光開關(guān)，以1 20KHz頻率每秒鐘蝕刻出1000 20000個(gè)微坑，在掃描區(qū)域內(nèi)形成一個(gè)所需要的微坑分布。這些分布可以是獨(dú)立微坑， 可以是不同密度的微坑群，也可以是相連的微坑串而形成微槽。這些微結(jié)構(gòu)的深度在 10-100 μ m,長(zhǎng)度在100-1000 μ m,寬度在200-600 μ m。再通過(guò)加工平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)超過(guò)掃描振鏡范圍的蝕刻加工。
運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)的工作方式有3種方式一運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3運(yùn)動(dòng)至振鏡的正下方， 然后平臺(tái)在整個(gè)加工過(guò)程處于停止?fàn)顟B(tài)，然后通過(guò)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2進(jìn)行二維掃描加工 (幅面一般為750*750mm)，直到樣品加工結(jié)束，這時(shí)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)退出下料。平臺(tái)只起送料和下料的作用。方式二 運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2交互工作完成整個(gè)加工工件。首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3運(yùn)動(dòng)至加工位置，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2掃描整個(gè)幅面的第一塊區(qū)域數(shù)據(jù)(如750*5mm)，掃描結(jié)束后平臺(tái)移動(dòng)5mm，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2掃描整個(gè)幅面的第二塊區(qū)域數(shù)據(jù)，此時(shí)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2的掃描位置仍然是在第一塊掃描區(qū)域的位置(此時(shí)數(shù)據(jù)經(jīng)過(guò)平移處理)，掃描結(jié)束后，平臺(tái)再移動(dòng)一距離(掃描區(qū)域的寬度5mm)，如此交替進(jìn)行(但每次掃描的圖形內(nèi)容是不一樣的)直至整個(gè)圖形掃描結(jié)束，整個(gè)導(dǎo)光板加工結(jié)束。然后平臺(tái)退出，進(jìn)行下料。方式三平臺(tái)與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡同時(shí)工作(聯(lián)動(dòng)加工)。首先平臺(tái)運(yùn)動(dòng)至加工位置，激光開始出光、振鏡開始掃描、平臺(tái)開始按一定計(jì)算速度運(yùn)動(dòng)，三者同時(shí)進(jìn)行，直至加工結(jié)束。平臺(tái)開始退回，進(jìn)行導(dǎo)光板的下料。以上三種加工方式與出光的兩種方式進(jìn)行配合可以產(chǎn)生六種不同的工作模式。這六種模式針對(duì)不同的產(chǎn)品有不同的結(jié)果。其中速度最快，幅面最大的方式是平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的工作方式三與出光工作方式二(激光出光與振鏡同時(shí)工作)的配合。這種方法中激光掃描速度可以達(dá)到30m/s。具體應(yīng)用時(shí)，六種工作模式分別為工作模式一單個(gè)位置打單個(gè)或多個(gè)點(diǎn)，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)在加工過(guò)程中不移動(dòng)。

開始加工時(shí)，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2下面相應(yīng)的位置，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2移動(dòng)至打點(diǎn)的理論位置停止不動(dòng)，延時(shí)一定時(shí)間(一般延時(shí)100 600us)，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2停穩(wěn)，CO2激光器1出多個(gè)脈沖的激光，激光打在同一位置，激光加工一個(gè)位置點(diǎn)之后，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2再移動(dòng)至下一個(gè)理論位置，延時(shí)，CO2激光器1 再出激光，重復(fù)進(jìn)行，直到所有的位置點(diǎn)加工結(jié)束，然后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3退出。這種加工方式的優(yōu)點(diǎn)是坑的深度可以達(dá)到很深，可應(yīng)用于幅面較小、深度要求深的導(dǎo)光板。工作模式二 多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2不停的獨(dú)立運(yùn)動(dòng)，CO2激光器1按一固定頻率出激光，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2下方停止不動(dòng)。首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2的下方相應(yīng)位置，定好加工的位置，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2按路徑進(jìn)行連續(xù)運(yùn)動(dòng)(路徑為一條連續(xù)的多義線)，當(dāng)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2開始進(jìn)行一條規(guī)劃的路徑時(shí)，CO2激光器1打開，按一定的頻率(1K 25K)出激光，當(dāng)規(guī)劃的路徑結(jié)束時(shí)，就關(guān)掉CO2激光器1，不出激光，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2運(yùn)動(dòng)到下一條規(guī)劃路徑的起點(diǎn)，再開始運(yùn)動(dòng)，同時(shí)又打開激光，一直重復(fù)下去，直到所有的路徑線條完成，加工結(jié)束后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)退出。這種工作模式要求CO2激光器1的頻率與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2的速度配合好。如要求兩個(gè)點(diǎn)之間的距離為lOOOum，每個(gè)點(diǎn)的大小為500um，激光頻率為4KHz，為了達(dá)到這個(gè)效果，那么多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2的速度應(yīng)當(dāng)為4000mm/s.(因?yàn)槊棵腌姇?huì)出4000個(gè)激光點(diǎn)， 每秒種掃描振鏡運(yùn)動(dòng)了 4000mm，即每個(gè)點(diǎn)之間距離為Imm(IOOOum)。這種加工方式的特點(diǎn)是速度很快，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡在每個(gè)激光點(diǎn)不需停止延時(shí)。
工作模式三單 個(gè)位置打多個(gè)點(diǎn)，之后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2再移至下一個(gè)點(diǎn)，加工過(guò)程中運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2交替進(jìn)行。運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3首先運(yùn)動(dòng)至相應(yīng)的加工位置，同時(shí)也起到定位作用。然后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)停止延時(shí)，接下來(lái)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2運(yùn)動(dòng)到規(guī)劃位置(表現(xiàn)為加工的單點(diǎn))，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2停止延時(shí)，接下來(lái)出單個(gè)(或多個(gè))激光脈沖。加工結(jié)束后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2移到下一個(gè)加工位置，接下來(lái)再出單個(gè)或多個(gè)激光脈沖，這樣重復(fù)下去，至到整個(gè)圖形中的一塊(處于振鏡加工幅面大小內(nèi)，如2*700mm的一塊)的點(diǎn)加工結(jié)束，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)相應(yīng)的位置(如2mm)，接下來(lái)再重復(fù)上面的過(guò)程加工完成第二塊區(qū)域的點(diǎn) (2*700mm)，直到所有的塊加工完成，每塊通過(guò)這樣的拼接而形成一個(gè)完整的圖形。這種加工模式的優(yōu)點(diǎn)是每個(gè)點(diǎn)的深度可以很深，幅面可以很大，取決于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)工作行程(一般采用直線電機(jī)，可以做到10米長(zhǎng))。工作模式四多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2與CO2激光器1同步出光，但運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2交替工作。首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3運(yùn)動(dòng)到多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2下方初始加工位置，延時(shí)停止，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2開始按規(guī)劃的路徑(多義線)連續(xù)運(yùn)動(dòng)，直到多義線結(jié)束，CO2激光器1在多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2開始運(yùn)動(dòng)時(shí)就開始出激光，當(dāng)一條規(guī)劃的路徑(多義線)結(jié)束時(shí)，這時(shí)關(guān)掉激光，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2再掃描運(yùn)動(dòng)至下一條規(guī)劃路徑(多義線)開始處， 多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2開始按規(guī)劃路徑運(yùn)動(dòng)，CO2激光器1開始出激光，重復(fù)上面動(dòng)作，直到一塊內(nèi)(如2mm*700mm)的所有路徑加工完成，接下來(lái)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3移動(dòng)到下一塊的位置 (如平臺(tái)移動(dòng)2mm)，再重復(fù)上面的過(guò)程，這樣重復(fù)下去直到所有的分塊加工完成。此種加工模式優(yōu)點(diǎn)速度較快，幅面較大。工作模式五單個(gè)位置打單個(gè)點(diǎn)或多個(gè)點(diǎn)，完成之后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2再移至下一個(gè)位置，打點(diǎn)過(guò)程以及多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2掃描過(guò)程的同時(shí)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3也在同步移動(dòng)。運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3首先移動(dòng)至加工位置，然后以給定的速度一直移動(dòng)，開始進(jìn)行加工，這時(shí)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2開始移動(dòng)到開始加工的位置，然后停止運(yùn)動(dòng)，這時(shí)CO2激光器1 出光(出多個(gè)脈沖激光)，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2再運(yùn)動(dòng)到下一個(gè)點(diǎn)位置，這時(shí)CO2激光器1再出光(出多個(gè)脈沖激光)，這樣重復(fù)下去，直至整個(gè)圖形加工結(jié)束，這時(shí)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái) 3停止運(yùn)動(dòng)，然后退回至下料位置。這種加工方式優(yōu)點(diǎn)速度較快，加工幅面也大。工作模式六多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2與CO2激光器1出光同步，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2及CO2激光器1出光同步，即三者同步工作。首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3運(yùn)動(dòng)至加工位置，然后以一定的設(shè)置速度繼續(xù)運(yùn)行下去，同時(shí)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2開始按規(guī)劃的路徑(多義線)以一定的速度進(jìn)行掃描，同時(shí)CO2激光器1開始以一定的頻率出激光，當(dāng)一條路徑結(jié)束時(shí)，CO2激光器1關(guān)光，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡2 開始到下一條路徑(多義線)開始處，然后按此路徑開始以一定的速度運(yùn)動(dòng)，CO2激光器1 開光，以一定的頻率出激光，這樣重復(fù)下去直至所有的規(guī)劃路徑掃描完，整個(gè)過(guò)程中運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)3—直在移動(dòng)。這種方式優(yōu)點(diǎn)速度最快(因?yàn)镃O2激光器、多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡和運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)同步工作)，幅面大。 綜上所述，本發(fā)明加工方法微坑形成速度可以達(dá)到每秒20000個(gè)，加工效率高；采用CO2激光進(jìn)行無(wú)接觸蝕刻，加工出的產(chǎn)品不變形，大大提高成品率；掃描平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)路徑與導(dǎo)光板微坑分布設(shè)計(jì)相關(guān)，運(yùn)動(dòng)路徑可以使用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件生成，并可以進(jìn)行調(diào)整修改。 所形成的導(dǎo)光板最終是由點(diǎn)光源(如LED)變成一個(gè)面光源點(diǎn)光源從側(cè)面入射進(jìn)入導(dǎo)光板，從導(dǎo)光板表面發(fā)出的光在均勻度及亮度(輝度)上達(dá)到應(yīng)用要求。這種面光源適用于 LED電視機(jī)行業(yè)，大幅面平板顯示器行業(yè)、燈箱廣告的光源行業(yè)、照明行業(yè)等。需要理解到的是以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置，其特征在于包括CO2激光器、多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡和運(yùn)動(dòng)工作平臺(tái)，所述CO2激光器為波長(zhǎng)是10. 6 μ m的CO2激光器，CO2激光器的輸出端設(shè)置有多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡，所述多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡正對(duì)于運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置，其特征在于所述CO2激光器的輸出端與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡之間布置有激光開關(guān)。
3.利用權(quán)利要求1所述的裝置用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于C02激光器發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡后，到達(dá)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)，CO2激光作用于運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)上的被加工材料，被加工材料受激光作用后形成一個(gè)100 1000 μ m微坑，通過(guò)高速控制激光開關(guān)，以1 20KHz頻率每秒鐘形成1000 20000個(gè)微坑，在多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡帶動(dòng)激光反射片轉(zhuǎn)動(dòng)下，激光形成一個(gè)光學(xué)掃描區(qū)域，掃描區(qū)域大小為多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描區(qū)域，配合運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)帶動(dòng)導(dǎo)光板的運(yùn)動(dòng)，使激光加工區(qū)域增大，即多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡與運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)聯(lián)動(dòng)，或多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描一個(gè)區(qū)域后、運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至下一個(gè)區(qū)域再掃描，因此在總的掃描區(qū)域內(nèi)形成一個(gè)微坑分布，微坑分布是獨(dú)立微坑，或者是不同密度的微坑群，或者是相連的微坑串而形成微槽，單個(gè)微坑結(jié)構(gòu)的深度在10 100 μ m,長(zhǎng)度在100 1000 μ m,寬度在 100 600 μ m。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于單個(gè)位置打單個(gè)或多個(gè)點(diǎn)，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)在加工過(guò)程中不移動(dòng)；開始加工時(shí)，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡下方相應(yīng)的位置，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡移動(dòng)至打點(diǎn)的理論位置停止不動(dòng)，延時(shí)100 600us，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡停穩(wěn)，CO2激光器出多個(gè)脈沖的激光，激光打在同一位置，激光加工一個(gè)位置點(diǎn)之后，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再移動(dòng)至下一個(gè)理論位置，延時(shí)，CO2激光器再出激光，重復(fù)進(jìn)行，直到所有的位置點(diǎn)加工結(jié)束，然后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)退出。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡不停的獨(dú)立運(yùn)動(dòng)，CO2激光器出激光，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡下方停止不動(dòng)；首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)至多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡的下方相應(yīng)位置，定好加工的位置，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡按路徑進(jìn)行連續(xù)運(yùn)動(dòng)，路徑為一條連續(xù)的多義線，當(dāng)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始進(jìn)行一條規(guī)劃的路徑時(shí)，CO2激光器打開，按IK 25K的頻率出激光，當(dāng)規(guī)劃的路徑結(jié)束時(shí)，關(guān)掉CO2激光器，不出激光，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡運(yùn)動(dòng)到下一條規(guī)劃路徑的起點(diǎn)，再開始運(yùn)動(dòng)，同時(shí)又打開激光，一直重復(fù)，直到所有的路徑線條完成，加工結(jié)束后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)退出ο
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于單個(gè)位置打多個(gè)點(diǎn)，之后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再移至下一個(gè)點(diǎn)，加工過(guò)程中運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡交替進(jìn)行；首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)運(yùn)動(dòng)至相應(yīng)的加工位置，然后運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)停止延時(shí)， 多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡運(yùn)動(dòng)到規(guī)劃位置，表現(xiàn)為加工的單點(diǎn)，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡停止延時(shí)， CO2激光器出單個(gè)或多個(gè)激光脈沖，加工結(jié)束后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡移到下一個(gè)加工位置，接下來(lái)CO2激光器再出單個(gè)或多個(gè)激光脈沖，重復(fù)下去，直至整個(gè)圖形中的一塊的點(diǎn)加工結(jié)束，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)移動(dòng)相應(yīng)的位置，接下來(lái)再重復(fù)上面的過(guò)程加工完成第二塊區(qū)域的點(diǎn)，直到所有的塊加工完成，每塊通過(guò)拼接而形成一個(gè)完整的圖形。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡與CO2激光器同步出光，但運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡交替工作；首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)運(yùn)動(dòng)到多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡下方初始加工位置，延時(shí)停止，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始按規(guī)劃的路徑連續(xù)運(yùn)動(dòng)，路徑為一條連續(xù)的多義線，直到多義線結(jié)束，CO2激光器在多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始運(yùn)動(dòng)時(shí)即開始出激光，當(dāng)規(guī)劃的路徑結(jié)束時(shí)，關(guān)掉激光，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再掃描運(yùn)動(dòng)至下一條規(guī)劃路徑開始處，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始按規(guī)劃路徑運(yùn)動(dòng)，CO2激光器開始出激光，重復(fù)上面動(dòng)作，直到一塊內(nèi)的所有路徑加工完成，接下來(lái)平臺(tái)移動(dòng)到下一塊的位置，再重復(fù)上面的過(guò)程，直到所有的分塊加工完成。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的 用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于單個(gè)位置打單個(gè)點(diǎn)或多個(gè)點(diǎn)，完成之后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再移至下一個(gè)位置，打點(diǎn)過(guò)程以及多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描過(guò)程的同時(shí)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)也在同步移動(dòng)；運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)首先移動(dòng)至加工位置， 然后移動(dòng)，開始進(jìn)行加工，這時(shí)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始移動(dòng)到開始加工的位置，然后停止運(yùn)動(dòng)，這時(shí)CO2激光器出多個(gè)脈沖激光，然后多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡再運(yùn)動(dòng)到下一個(gè)點(diǎn)位置，CO2激光器再出多個(gè)脈沖激光，這樣重復(fù)下去，直至整個(gè)圖形加工結(jié)束，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)停止運(yùn)動(dòng)， 然后退回至下料位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡與CO2激光器出光同步，運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)與多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡及CO2激光器出光同步，即三者同步工作；首先運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)運(yùn)動(dòng)至加工位置，然后繼續(xù)運(yùn)行下去，同時(shí)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始按規(guī)劃的路徑進(jìn)行掃描，路徑為一條連續(xù)的多義線，同時(shí)CO2激光器開始出激光， 當(dāng)一條路徑結(jié)束時(shí)，CO2激光器關(guān)光，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡開始到下一條路徑開始處，然后按路徑開始運(yùn)動(dòng)，CO2激光器出激光，重復(fù)下去直至所有的規(guī)劃路徑掃描完，整個(gè)過(guò)程中運(yùn)動(dòng)平臺(tái)一直在運(yùn)動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置及其方法，CO2激光器的輸出端設(shè)置有多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡，多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡正對(duì)于運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)。CO2激光器發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡后，到達(dá)運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)，CO2激光作用于運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)上的被加工材料，被加工材料受激光作用后形成一個(gè)100～1000μm微坑，通過(guò)高速控制激光開關(guān)，以1～20KHz頻率每秒鐘形成1000～20000個(gè)微坑，在多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡帶動(dòng)激光反射片轉(zhuǎn)動(dòng)下，激光形成一個(gè)光學(xué)掃描區(qū)域，掃描區(qū)域大小為多維運(yùn)動(dòng)掃描振鏡掃描區(qū)域，配合運(yùn)動(dòng)加工平臺(tái)帶動(dòng)導(dǎo)光板的運(yùn)動(dòng)，使激光加工區(qū)域增大，加工出符合各種應(yīng)用要求的大幅面導(dǎo)光板。容易加工出所需要的不同形狀的微坑分布，所加工產(chǎn)品不變形，顯著提高成品率。
文檔編號(hào)B23K26/36GK102179631SQ201110128548
公開日2011年9月14日 申請(qǐng)日期2011年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月18日
發(fā)明者余建華, 趙裕興 申請(qǐng)人:江陰德力激光設(shè)備有限公司, 蘇州德龍激光有限公司