專利名稱：一種合金靶材的矯直裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種合金靶材的矯直裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及一種機床加工裝置，特別是涉及一種靶材的矯直裝置。
技術(shù)背景[0002]濺射合金靶材是用物理氣相沉積技術(shù)制備薄膜的核心材料，濺射合金靶材廣泛用于信息技術(shù)、太陽能技術(shù)、電子光學(xué)技術(shù)等高技術(shù)領(lǐng)域，可應(yīng)用于真空鍍膜、耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。濺射靶材主要有金屬類、合金類、氧化物類等形式。[0003]合金靶材主要采用冶煉、軋制等方法加工制成，熔煉法獲得合金靶材的工藝包括冶煉、鍛造和軋制，采傳統(tǒng)的靶材制作工藝是熱軋、固溶和機加工，但傳統(tǒng)的靶材制作工藝的機加工余量大，生產(chǎn)出的靶材表面凸凹、平直度較差，其尺寸精度低，成材率不高。實用新型內(nèi)容[0004]為解決上述問題，本實用新型提供一種可有效提高其成材尺寸精度的合金靶材矯直裝置。[0005]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是[0006]一種合金靶材的矯直裝置，包括下模座及平行于下模座的上模架，下模座上設(shè)有引導(dǎo)上模架上下運動的導(dǎo)柱，下模座上還設(shè)有可彼此貼合的側(cè)護板和推板，側(cè)護板固定安裝于下模座上，推板的一側(cè)設(shè)有可推動推板平行運動的側(cè)液壓缸。[0007]進一步作為本實用新型技術(shù)方案的改進，下模座與側(cè)護板和推板間設(shè)有用于支承的下墊板。[0008]進一步作為本實用新型技術(shù)方案的改進，側(cè)護板和推板在與其彼此貼合的側(cè)面相對的一面設(shè)有支承塊。[0009]進一步作為本實用新型技術(shù)方案的改進，上模架的下方固定安裝有上墊板，上模架與上墊板間設(shè)有用于固定聯(lián)接的螺栓。[0010]本實用新型的有益效果此合金靶材的矯直裝置可將需加工的靶材置于推板與側(cè)護板間，并通過側(cè)液壓缸推動推板平行運動對置于推板與側(cè)護板間的靶材進行壓制，同時其上方的上模架可沿導(dǎo)柱向下運動對靶材的上下兩側(cè)進行壓制，經(jīng)過此組合模具壓制后的靶材，其加工余量可比傳統(tǒng)工藝大大減少，從而有效提高靶材成材的尺寸精度。


[0011]
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明[0012]圖1是本實用新型實施例整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0013]參照圖1，本實用新型為一種合金靶材的矯直裝置，包括下模座1及平行于下模座 1的上模架2，下模座1上設(shè)有引導(dǎo)上模架2上下運動的導(dǎo)柱3，下模座1上還設(shè)有可彼此貼3合的側(cè)護板4和推板5，側(cè)護板4固定安裝于下模座1上，推板5的一側(cè)設(shè)有可推動推板5 平行運動的側(cè)液壓缸6。[0014]此合金靶材的矯直裝置可將需加工的靶材置于推板5與側(cè)護板4間，并通過側(cè)液壓缸6推動推板5平行運動對置于推板5與側(cè)護板4間的靶材進行壓制，同時其上方的上模架2可沿導(dǎo)柱3向下運動對靶材的上下兩側(cè)進行壓制，經(jīng)過此組合模具壓制后的靶材，可將靶材側(cè)面出現(xiàn)的鐮刀彎壓平，同時其加工平面的加工余量可比傳統(tǒng)工藝大大減少，從而有效提高靶材成材的尺寸精度。[0015]作為本實用新型優(yōu)選的實施方式，下模座1與側(cè)護板4和推板5間設(shè)有用于支承的下墊板7。[0016]作為本實用新型優(yōu)選的實施方式，上模架2的下方固定安裝有上墊板9，上模架2 與上墊板9間設(shè)有用于固定聯(lián)接的螺栓10。[0017]設(shè)置于下模座1上的下墊板7和安裝于上模架2下方的上墊板9直接與所需壓制靶材的上下側(cè)面接觸，該下墊板7和上墊板9及側(cè)護板4均采用耐高溫材料，滿足合金靶材熱壓要求，經(jīng)過表面加工處理的下墊板7和上墊板9可提高靶材的側(cè)面加工精度，減少其加工余量。[0018]作為本實用新型優(yōu)選的實施方式，側(cè)護板4和推板5在與其彼此貼合的側(cè)面相對的一面設(shè)有支承塊8，支承塊8用于增強對側(cè)護板4和推板5的支撐。[0019]當(dāng)然，本發(fā)明創(chuàng)造并不局限于上述實施方式，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本實用新型精神的前提下還可作出等同變形或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種合金靶材的矯直裝置，其特征在于包括下模座(1)及平行于下模座(1)的上模架O)，所述下模座(1)上設(shè)有引導(dǎo)上模架( 上下運動的導(dǎo)柱(3)，所述下模座(1)上還設(shè)有可彼此貼合的側(cè)護板(4)和推板(5)，所述側(cè)護板固定安裝于下模座(1)上，所述推板(5)的一側(cè)設(shè)有可推動推板( 平行運動的側(cè)液壓缸(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的合金靶材的矯直裝置，其特征在于所述下模座(1)與側(cè)護板(4)和推板(5)間設(shè)有用于支承的下墊板(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的合金靶材的矯直裝置，其特征在于所述側(cè)護板(4)和推板( 在與其彼此貼合的側(cè)面相對的一面設(shè)有支承塊(8)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的合金靶材的矯直裝置，其特征在于所述上模架( 的下方固定安裝有上墊板(9)，所述上模架( 與上墊板(9)間設(shè)有用于固定聯(lián)接的螺栓(10)。
專利摘要本實用新型公開了一種合金靶材的矯直裝置，包括下模座及平行于下模座的上模架，下模座上設(shè)有引導(dǎo)上模架上下運動的導(dǎo)柱，下模座上還設(shè)有可彼此貼合的側(cè)護板和推板，側(cè)護板固定安裝于下模座上，推板的一側(cè)設(shè)有可推動推板平行運動的側(cè)液壓缸。此合金靶材的矯直裝置可將需加工的靶材置于推板與側(cè)護板間，并通過側(cè)液壓缸推動推板平行運動對置于推板與側(cè)護板間的靶材進行壓制，同時其上方的上模架可沿導(dǎo)柱向下運動對靶材的上下兩側(cè)進行壓制，經(jīng)過此組合模具壓制后的靶材，其加工余量可比傳統(tǒng)工藝大大減少，從而有效提高靶材成材的尺寸精度，此實用新型用于加工機床領(lǐng)域。
文檔編號B21D1/00GK202278035SQ20112036795
公開日2012年6月20日 申請日期2011年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月29日
發(fā)明者何軍, 梁經(jīng)湘, 王建華, 郭云峰, 陳遠里, 黃偉嘉, 黃華儉 申請人:廣東省鋼鐵研究所