專利名稱：線鋸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型的實(shí)施例涉及用于鋸切工件的線鋸、和在用線鋸來切割工件的過程中檢測在工件內(nèi)的線部分的裝置，該線鋸包括構(gòu)造成檢測在工件內(nèi)的線部分的至少一個(gè)傳感器。
背景技術(shù)：
線鋸用于切割工件，例如，使用線鋸切割硅工件，以進(jìn)行分段、開方和切片。線鋸還用于切割其他材料?？梢栽诰€鋸中使用不同類型的線，例如，與漿液中的碳化硅顆粒結(jié)合使用的線、和 通常與冷卻劑結(jié)合使用的金剛石線。通常，硬質(zhì)材料(例如，碳化硅或金剛石)對工件進(jìn)行研磨以進(jìn)行切割。在切割過程中，線沿著其長度(水平地)快速移動(dòng)，工件通過工件供應(yīng)板在切割方向上相對慢速地移動(dòng)，該切割方向基本正交于(垂直于)快速線移動(dòng)的方向。因此，線對于工件的垂直力沿著切割方向施加，工件對于線的反作用力引起線在與切割方向相反的方向上變形或彎曲。根據(jù)包括對彎曲的估計(jì)的幾何考慮，可以對垂直力進(jìn)行估計(jì)，垂直力通常被認(rèn)為是線張力的垂直分量的兩倍。不論估計(jì)垂直力和/或彎曲的方式如何，垂直力有助于能告知對工作臺(tái)速度和切割速度的調(diào)節(jié)，從而使生產(chǎn)率最大化，并使線的磨損和破損最小化。線鋸切的另外的問題是在工件內(nèi)存在夾雜物，這需要調(diào)節(jié)工作臺(tái)速度和切割速度以使生產(chǎn)率最大化、和/或防止線的磨損和破損。夾雜物還會(huì)影響線在鑄錠內(nèi)的形狀，并且對彎曲和垂直力的大小有影響。期望具有檢測上述夾雜物、并且還調(diào)節(jié)工作臺(tái)速度以使生產(chǎn)率最大化和/或防止線的磨損和破損的裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容根據(jù)實(shí)施例，提供了用于鋸切工件的線鋸，其用線來鋸切工件，該線鋸包括至少一個(gè)傳感器，其被定位為在鋸切工件的過程中檢測在工件內(nèi)的線部分的位置。根據(jù)實(shí)施例，至少一個(gè)傳感器可以是超聲傳感器和紅外傳感器中的至少一種。根據(jù)實(shí)施例，線鋸可以是開方機(jī)或切片機(jī)。根據(jù)實(shí)施例，至少一個(gè)傳感器可以是溫度曲線傳感器。 根據(jù)實(shí)施例，至少一個(gè)傳感器可以位于供應(yīng)板內(nèi)或在供應(yīng)板下方。根據(jù)實(shí)施例，至少一個(gè)傳感器可以位于供應(yīng)板下方，并與工件的位置相對。根據(jù)另一實(shí)施例，提供控制線鋸的方法，其包括在鋸切工件的過程中檢測在工件內(nèi)的線部分的位置。實(shí)施例還涉及用于實(shí)施上述方法的裝置，該裝置包括用于實(shí)施上述方法步驟的裝置部件。此外，實(shí)施例還涉及用來操作上述裝置的方法?？梢园ㄓ糜趯?shí)現(xiàn)裝置的功能或制造裝置的部件的的方法步驟?？梢酝ㄟ^硬件組件、固件、軟件、由適當(dāng)軟件編程的計(jì)算機(jī)、或通過上述各項(xiàng)的任意組合或以任意其他方式，來執(zhí)行方法步驟。

以可以詳細(xì)理解本實(shí)用新型的上述特征的方式，可以參考實(shí)施例對上面簡要概述的本實(shí)用新型進(jìn)行更具體的描述。附圖涉及本實(shí)用新型的實(shí)施例，并且以下列順序進(jìn)行描述圖I示出典型的線鋸；圖2示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、包括至少一個(gè)傳感器的線鋸，該至少一個(gè)傳感器從工件內(nèi)部檢測線部分；圖3示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、在工件支架內(nèi)包括至少一個(gè)傳感器的線鋸；圖3B示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、在工件支架內(nèi)包括至少一個(gè)傳感器的線鋸；圖4示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、包括超聲換能器的線鋸；圖5示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、包括至少一個(gè)IR傳感器的線鋸；圖6示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、包括傳感器陣列的線鋸；圖7示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的傳感器和線鋸的(一個(gè)或多個(gè))線的相對位置；圖8示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的傳感器和線鋸的(一個(gè)或多個(gè))線的相對位置；圖9示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、線控制方法或線操作方法的流程圖；圖10示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、線控制方法或線操作方法的流程圖；和圖11示出根據(jù)本說明書中所述的實(shí)施例的、線控制方法或線操作方法的流程圖。
具體實(shí)施方式
在本說明書中，可交換地使用線鋸、線鋸裝置、線鋸切裝置和線切割裝置。在本說明書中，可交換地使用工件支撐板和工件供應(yīng)板。在本說明書中，可交換地使用術(shù)語鋸切和切割；并且可交換地使用晶片切割(wafer-cutting)線鋸和切片機(jī)。在本說明書中，線的直徑指的是線芯直徑。在本說明書中，工件可以包括一個(gè)或多個(gè)分開的部件，例如，多個(gè)半導(dǎo)體部件或鑄錠。在本說明書中，線鋸可以使用單一線、多個(gè)線、一個(gè)或多個(gè)線的一排或多排、或一個(gè)或多個(gè)線的一個(gè)或多個(gè)網(wǎng)來切割；線可以指多個(gè)線。在本說明書中，可交換地使用工件供應(yīng)板、工件支撐板、供應(yīng)板、和支撐板。在本說明書中，傳感器還可以執(zhí)行除了傳感之外的功能，例如，超聲傳感器可以是超聲換能器，反之亦然，以使得超聲傳感器可以既產(chǎn)生又檢測超聲脈沖和超聲波。在本說明書中，可交換地使用工件內(nèi)的線部分和工件內(nèi)的線，其位置或地點(diǎn)特別地但不排他地是在切割過程中位于工件內(nèi)的線部分的位置或地點(diǎn)。在本說明書中，可交換地使用短語“有關(guān)”、“關(guān)于”和“相對于”。在本說明書中，術(shù)語超聲的可以指超聲和聲學(xué)頻率或超大聲音頻率。根據(jù)本說明書中描述的實(shí)施例，頻率也可以低于或高于超聲頻率。[0029]現(xiàn)在將具體參考本實(shí)用新型的各種實(shí)施例，附圖中示出了本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)示例。通過進(jìn)行說明而非加以限制的方式來提供每個(gè)示例。此外，作為一個(gè)實(shí)施例的一部分所示出或描述的特征可以用于其他實(shí)施例中或與其他實(shí)施例結(jié)合使用，以得到另外的實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為本說明書包括這樣的修改和變化形式。圖I示出典型的線鋸，其包括由第一滑輪20和第二滑輪30所引導(dǎo)的線10。在切割過程中，與沿著切割方向的垂直運(yùn)動(dòng)相比，線基本沿著其長度相對快速地移動(dòng)。線的運(yùn)動(dòng)可替換地處于往復(fù)運(yùn)動(dòng)形式，其中線沿著其長度的運(yùn)動(dòng)是周期性地倒轉(zhuǎn)的方向。使線或線的邊沿接觸工件50，以切割該工件，切割方向的運(yùn)動(dòng)相對慢速，切割方向的運(yùn)動(dòng)與線的快速運(yùn)動(dòng)基本垂直?？商鎿Q地或附加地，使工件接觸線以切割該工件。根據(jù)不同的實(shí)施方式，可以使線或形成線網(wǎng)的線相對于工件移動(dòng)，可以使工件相對于線或線網(wǎng)移動(dòng)，或者可以使線和工件彼此相對移動(dòng)。通常，使用傳感器來估計(jì)彎曲，該傳感器檢測線在工件外部的部分，盡管傳感器不 知道線在工件內(nèi)的位置。與線鋸和線鋸切相關(guān)的一個(gè)問題是如何確定工件內(nèi)的彎曲和垂直力。傳感器90可以實(shí)現(xiàn)為檢測線在工件外部的位置處的變形110，該變形110由圖I中的最左側(cè)的雙頭箭頭表示。根據(jù)這樣的假設(shè)，即，線從水平線140的變形與線在兩個(gè)滑輪20、30之間的工件中途形成的頂點(diǎn)呈線性關(guān)系，可以推斷出在工件內(nèi)估計(jì)的彎曲120。由與在工件50的每一側(cè)上引導(dǎo)線的兩個(gè)線引導(dǎo)件(例如，兩個(gè)滑輪20、30)相切的虛線來限定水平線140。切線與滑輪20、30在線離開滑輪的點(diǎn)處相交。通常根據(jù)幾何考慮(包括估計(jì)或推斷的彎曲120和線引導(dǎo)距離130)和線的張力來計(jì)算垂直力Fv，例如Fv = (B/d) X4T ；丁=張力，8=估計(jì)或推斷的彎曲120，(1=線引導(dǎo)距離130。此外，根據(jù)例如彎曲相比于線引導(dǎo)距離來說很小的假設(shè)來得出上面用于Fv的表達(dá)式，通常的情況也是如此。B/d的通常比率是約1/100，例如，彎曲(B)是約6毫米，線引導(dǎo)距離(d)是約600毫米。因此，在估計(jì)或推斷的彎曲中僅半毫米的誤差通常將導(dǎo)致接近10%的垂直力的誤差。因此，期望使在彎曲確定中的誤差最小化，該彎曲確定會(huì)是垂直力估計(jì)的誤差的重要來源。除了垂直力之外，還存在水平力(例如，摩擦力)，可以通過線引導(dǎo)電機(jī)動(dòng)力來獲得水平力。知道切割過程中的力(例如垂直和/或水平力)能實(shí)現(xiàn)例如通過反饋控制回路來控制切片工藝。期望使得原位實(shí)時(shí)線網(wǎng)彎曲測量例如向反饋控制回路提供至少一個(gè)參數(shù)(例如，垂直力或彎曲)。圖2示出根據(jù)本說明書中描述的實(shí)施例的線鋸I。例如在硅錠的開方或切片過程中切割工件50時(shí)，至少一個(gè)傳感器80檢測位于工件內(nèi)的線部分210。通過對工件內(nèi)的線部分210的位置進(jìn)行測量，在切割工藝過程中可以確定彎曲和/或垂直力。此外，至少部分地根據(jù)彎曲或垂直力，可以調(diào)節(jié)工作臺(tái)速度、工作臺(tái)位置和/或切割速度。通常，使用結(jié)構(gòu)線或金剛石線。線可以是單絲鋼線。根據(jù)某些實(shí)施例，線從約80到350微米，例如，120微米的鋼標(biāo)準(zhǔn)線。根據(jù)某些實(shí)施例，結(jié)構(gòu)線是軋花線，其中，例如，鋸切線由直徑為d的金屬線制成并具有多個(gè)軋花，其中所述軋花布置在至少兩個(gè)不同平面上，以使得在測量時(shí)，在測微計(jì)的測量桿之間，在至少兩個(gè)不同平面上包括軋花的長度當(dāng)中，所述軋花鋸切線的外接包絡(luò)直徑D在所述直徑d的I. 05和I. 50倍之間。金剛石線是具有涂層的線，其中，金剛石顆粒嵌入在該涂層中。通常，本說明書中指的線直徑描述了線芯直徑，即，沒有涂層和/或嵌入的顆粒的線芯的直徑、或鋸切線的不考慮軋花(即，包絡(luò))的直徑。通過可移動(dòng)工件支撐板或工件供應(yīng)板60來執(zhí)行工件的移動(dòng)。線10、工件供應(yīng)板60、和線與工件供應(yīng)板兩者都可移動(dòng)。例如，線引導(dǎo)件(例如可移動(dòng)滑輪)可以使線10移動(dòng)。本實(shí)用新型的實(shí)施例涉及工件切割，在工件切割中以前還沒有使用過從工件內(nèi)部進(jìn)行檢測的傳感器。從而，實(shí)施例使用至少一個(gè)傳感器80來從工件內(nèi)部檢測線部分210。在實(shí)施例中，通過至少一個(gè)傳感器80來確定工件內(nèi)的線部分210的彎曲和/或形狀。通過傳感器來確定在工件內(nèi)的線部分210的位置，該位置可以用于確定線在工件上的力(例如垂直力或垂直力的分布)?？商鎿Q地或附加地，實(shí)施例例如通過檢測工件內(nèi)的線部分210的不對稱變形、或通過檢測由于其相對于其周圍環(huán)境或相鄰材料(例如，工件的其 余部分)的對比彈性(例如，在夾雜物和相鄰工件材料的界面處聲阻抗或聲阻抗的不連續(xù) 性)或其他特性而引起的夾雜，來從工件內(nèi)部檢測夾雜物。在實(shí)施例中，通過確定工件內(nèi)的線部分相對于一個(gè)或多個(gè)基準(zhǔn)位置的位置，來確定彎曲；基準(zhǔn)位置例如是水平線140(如圖I所示)；或在另一示例中，兩個(gè)基準(zhǔn)位置是水平線140以及至少一個(gè)傳感器80的平面。確定工件內(nèi)的線的位置的優(yōu)點(diǎn)在于可以確定彎曲的更真實(shí)的測量結(jié)果。另一優(yōu)點(diǎn)是可以計(jì)算誤差更小的垂直力。此外，可以獲得對嵌入的線的垂直力在工件內(nèi)如何分布的估計(jì)。圖3示出根據(jù)實(shí)施例的線鋸。圖3的幾何形狀使得在切割過程中，根據(jù)線10從水平線140的變形的方向很清楚工件50向下移動(dòng)或線10向上移動(dòng)；本領(lǐng)域技術(shù)人員可以想到并很清楚其他幾何形狀。至少一個(gè)傳感器80位于工件支架311(例如，鳩尾鋼支架)內(nèi)。通過至少一個(gè)傳感器來確定在工件內(nèi)的線部分的位置。在實(shí)施例中，傳感器80確定從工件內(nèi)的線部分210到一個(gè)或多個(gè)傳感器399的平面的距離320(4)。參數(shù)的很多組合(可以包括單一參數(shù))可以用于確定線的彎曲344、或更具體地的是線在工件內(nèi)的彎曲。例如，傳感器80確定從工件內(nèi)的線部分210到(一個(gè)或多個(gè))傳感器的平面的距離320 (Cl1);從Cl1減去水平面140到至少一個(gè)傳感器的距離(d2)，以確定彎曲344(彎曲=Cl1-(I2)。通過使用例如在線引導(dǎo)件或工件供應(yīng)板上的分離位置傳感器可以確定參數(shù)屯。通過使用關(guān)系SFv= (B/d) X4T可以確定垂直力。線引導(dǎo)件之間的距離d是已知的，通過使用線鋸中的線張緊器得知線張力?？梢岳缤ㄟ^計(jì)算機(jī)或微處理器來執(zhí)行對彎曲和/或垂直力進(jìn)行計(jì)算的算法。在圖3B的實(shí)施例中，工件50通過可選的梁333和可選的膠合板322安裝到工件支架311?？商鎿Q地或附加地，還可以使用約l_50mm、或約IOmm厚度的中間環(huán)氧膠合界面和/或玻璃板來安裝工件。在實(shí)施例中，如圖4所示，至少一個(gè)傳感器是超聲換能器480，該超聲換能器480可選地位于工件支架311內(nèi)。超聲換能器480可以既是發(fā)射器又是接收器，或者例如是換能器陣列。在實(shí)施例中,超聲脈沖(或超聲波)411由換能器發(fā)射并傳輸通過工件50。反射波422根據(jù)超聲脈沖在界面處(例如工件50內(nèi)的線10所形成的界面處)的反射而產(chǎn)生，并且與阻抗差(impedance contrast)成比例。換能器480檢測傳輸返回到超聲換能器480的反射波422、433。對脈沖411的發(fā)射和反射波433的檢測之間的延續(xù)時(shí)間進(jìn)行測量，以根據(jù)材料的彈性性能(例如，工件材料和任何中間材料的聲阻抗)來確定工件內(nèi)的線部分的位置。中間材料可以包括用于支架工件界面444中的材料，并可能包括工件支架311的一部分。通過超聲脈沖或超聲波在界面(例如，線和工件的界面)處的反射來產(chǎn)生反射波422、433。反射強(qiáng)度與形成界面的兩種材料(例如，工件的硅和線的鋼)的阻抗差成比例。知道彈性性能(例如，工件或工件材料的聲阻抗)能夠?qū)崿F(xiàn)例如通過具有存儲(chǔ)器的計(jì)算機(jī)或微處理器、根據(jù)延續(xù)時(shí)間來確定距離，用于彈性性能的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在該存儲(chǔ)器中。相對于至少一個(gè)基準(zhǔn)(例如，由傳感器399所限定的平面)、或該基準(zhǔn)與另一基準(zhǔn)(例如，水平面)，來確定工件內(nèi)的線部分的位置。可以通過線部分在工件內(nèi)的位置來確定彎曲和垂直力。檢 測工件內(nèi)的線部分210，導(dǎo)致根據(jù)在工件內(nèi)的線位置來確定彎曲。彎曲可選擇地用于確定垂直力，并且至少部分地根據(jù)彎曲和/或垂直力在例如線鋸的反饋控制回路中調(diào)節(jié)工作臺(tái)位置、工作臺(tái)速度、和/或切割速度。使用一個(gè)或多個(gè)超聲換能器480也可以實(shí)現(xiàn)對嵌入在工件內(nèi)的夾雜物的檢測。工件內(nèi)的夾雜物的檢測可以用于調(diào)節(jié)工作臺(tái)位置、工作臺(tái)速度和/或切割速度。通過檢測工件50內(nèi)的線部分210的非對稱彎曲，可以來檢測夾雜物。工件支架311與工件之間的支架工件界面444可以可選擇地包括結(jié)合材料，以減小超聲波在界面處的衰減。結(jié)合材料可以減小界面處的阻抗失配?？商鎿Q地或附加地，可以使用例如由約l_20mm厚或約IOmm厚的玻璃制成的中間環(huán)氧膠合界面來安裝工件50。此夕卜，支架工件界面444可以包括梁和膠合板。根據(jù)本說明書中描述的某些實(shí)施例，提出超聲技術(shù)，以測量到偽界面的聲波傳輸時(shí)間(例如，脈沖-回波)或距離(例如，聲學(xué)干涉法)，該偽界面由工件內(nèi)部的切片線網(wǎng)所產(chǎn)生。作為上述脈沖-回波測量的替換或補(bǔ)充，或此外根據(jù)可以與本說明書中所述的其他實(shí)施例結(jié)合的某些實(shí)施例，可以使用能夠?qū)崿F(xiàn)直接距離測量的超聲技術(shù)。從而，超聲源產(chǎn)生和/或被構(gòu)造成產(chǎn)生具有已知載波頻率的聲波脈沖，該聲波脈沖傳輸通過材料并在界面處被反射。多重反射作用彼此干涉，因此將接收的信號調(diào)制成從最大值到最小值交替的干涉圖樣。兩個(gè)連續(xù)的最大值之間的距離等于半波長的整數(shù)倍，知道載波頻率和介質(zhì)的彈性性能可以實(shí)現(xiàn)精確的距離測量?？商鎿Q地，可以執(zhí)行不同于超聲脈沖-回波技術(shù)的聲學(xué)方法(特別是無損的聲學(xué)方法)(例如，聲學(xué)干涉法或掃頻聲學(xué)干涉法)，以提供對工件內(nèi)的線的位置的測量。確定工件內(nèi)的線部分的位置的方法可以例如基于到達(dá)線在工件內(nèi)部的界面的聲波傳輸時(shí)間(例如，脈沖-回波)或距離(例如，聲學(xué)干涉法)?？梢栽谇懈钸^程中確定位置。在圖5中，示出了可以與任意其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例，在該實(shí)施例中傳感器包括至少一個(gè)IR傳感器580。例如，IR傳感器是IR傳感器的陣列。根據(jù)可以與本說明書中描述的其他實(shí)施例結(jié)合的某些實(shí)施例，微小紅外溫度探針可以設(shè)置在鑄錠支架內(nèi)部，測量在切片過程中工件、硅磚或鑄錠的溫度曲線。溫度測量能夠?qū)崿F(xiàn)以兩種能預(yù)見的方式改進(jìn)上面提出的聲學(xué)方法。根據(jù)可以與本說明書中描述的其他實(shí)施例結(jié)合的某些實(shí)施例，可以引入依賴溫度的彈性性能和/或通過斷層攝影原理可以重構(gòu)每個(gè)時(shí)刻磚的熱曲線，即，最熱點(diǎn)很可能是切縫產(chǎn)生的部位(即，在硅工件內(nèi)部的線的位置)。在實(shí)施例中，IR傳感器確定工件中的溫度分布，并且可以確定熱的部位，然后之后可以確定切割位置(即，工件內(nèi)的線部分210的位置)。除了超聲傳感器之外，可以使用溫度探針或IR傳感器。將IR傳感器與超聲傳感器結(jié)合的優(yōu)點(diǎn)是測量溫度能夠?qū)崿F(xiàn)通過對切割處理中涉及的材料(例如工件、線和漿液的材料)的依賴溫度的彈性性能進(jìn)行校正，而改進(jìn)通過超聲波方式獲得的工件內(nèi)的線部分的位置。在實(shí)施例中，支架工件界面444包括至少一個(gè)IR透射通道544，以適于將IR輻射透射到IR傳感器。IR透射通道例如由硅制成。可替換地或附加地，通過斷層攝影原理可以構(gòu)造工件的熱曲線，最熱點(diǎn)是切縫產(chǎn)生的可能部位，也就是說，工件內(nèi)的線部分的位置。在圖6中所示的實(shí)施例中，傳感器是傳感器的二維陣列680，盡管也可以想到傳感器的一維陣列。圖6的視角是從供應(yīng)板60的下方觀察的。例如，二維傳感器陣列680用于 切片機(jī)中，盡管也可以用于開方機(jī)、分段機(jī)、或其他類型的線鋸中。切片機(jī)具有兩個(gè)引導(dǎo)件620、630，所述兩個(gè)引導(dǎo)件形成大致恒定間距的凹槽，槽將每個(gè)線分段與相鄰的分開。線分段610形成平行線的水平網(wǎng)絡(luò)、線排或線網(wǎng)。線網(wǎng)開始運(yùn)動(dòng)，以使得線以5-20米/秒來水平地移動(dòng)。可以使用包含磨料顆粒的漿液。在例如切割過程中將工件推向水平移動(dòng)的線網(wǎng)時(shí)，傳感器確定線分段610的位于一個(gè)或多個(gè)工件內(nèi)的部分的位置。傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)原位實(shí)時(shí)線網(wǎng)彎曲測量以及可選的垂直力的確定。此外，工作臺(tái)位置、工作臺(tái)速度和/或切割速度的反饋控制可以基于一個(gè)或多個(gè)彎曲、平均彎曲、一個(gè)或多個(gè)垂直力、平均垂直力或其組合。根據(jù)本說明書中描述的實(shí)施例，圖7示出傳感器780相對于線網(wǎng)710的相對位置。作為非限制性的示例，圖7中示出位于線網(wǎng)的節(jié)點(diǎn)上的三個(gè)傳感器。根據(jù)本說明書中描述的實(shí)施例，圖8示出位于相鄰節(jié)點(diǎn)之間(例如，接近相鄰節(jié)點(diǎn)的中途)的傳感器。每個(gè)傳感器可以位于用以確定在工件的不同部分內(nèi)的相應(yīng)線部分的彎曲的位置。根據(jù)實(shí)施例，圖9示出操作或控制線鋸的方法的流程圖，其包括確定線在工件內(nèi)的部分的位置和調(diào)節(jié)切割參數(shù)。切割參數(shù)例如是工作臺(tái)速度、工作臺(tái)位置等。圖10示出類似實(shí)施例，在調(diào)節(jié)切割參數(shù)之前增加了確定彎曲的步驟，圖11還在調(diào)節(jié)切割參數(shù)之前增加了確定垂直力的步驟。確定彎曲可以包括相對于一個(gè)或多個(gè)基準(zhǔn)(例如，水平線或傳感器的水平線和平面)來確定工件內(nèi)的線部分的步驟。確定線在工件內(nèi)的部分的位置的優(yōu)點(diǎn)是可以確定更真實(shí)的彎曲的測量結(jié)果，產(chǎn)生更真實(shí)的垂直力的測量結(jié)果。這導(dǎo)致對線鋸的更好的操作控制，因?yàn)槔缈梢詢?yōu)化工作臺(tái)速度來以更小誤差維持接近恒定的目標(biāo)垂直力。此外，可以檢測夾雜物，這可以實(shí)現(xiàn)對線鋸的操作或控制的調(diào)節(jié)，以使破損和磨損最小化并增加生產(chǎn)率。雖然以上所述涉及本實(shí)用新型的實(shí)施例，在不脫離本實(shí)用新型的基本范圍的情況下可以想到本實(shí)用新型的其他和另外的實(shí)施例，本實(shí)用新型的范圍由權(quán)利要求書來確定。
權(quán)利要求1.一種線鋸(1)，其用線(10)來鋸切工件(50)，所述線鋸(I)包括 至少一個(gè)傳感器(80)，其被定位為在鋸切所述工件(50)的過程中檢測在所述工件(50)內(nèi)的線部分(210)的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的線鋸(1)，其中 所述至少一個(gè)傳感器(80)是超聲傳感器和紅外傳感器中的至少一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的線鋸(1)，其中 所述線鋸(I)是開方機(jī)或切片機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的線鋸(1)，其中 所述至少一個(gè)傳感器(80)是溫度曲線傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線鋸(1)，其中 所述至少一個(gè)傳感器(80)是溫度曲線傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線鋸(1)，其中 所述至少一個(gè)傳感器(80)是溫度曲線傳感器。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6中任一權(quán)利要求所述的線鋸(I)，其中 所述至少一個(gè)傳感器(80)位于供應(yīng)板(60)內(nèi)或在所述供應(yīng)板(60)下方。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至6中任一權(quán)利要求所述的線鋸(I)，其中 所述至少一個(gè)傳感器(80)位于供應(yīng)板下方，并與所述工件(50)的位置相對。
專利摘要本實(shí)用新型涉及線鋸，描述了用線10來鋸切工件50的線鋸1。線鋸包括至少一個(gè)傳感器80，其被定位為在鋸切所述工件50的過程中檢測在所述工件50內(nèi)的線部分210的位置。
文檔編號B23Q17/09GK202606988SQ20112056852
公開日2012年12月19日 申請日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月20日
發(fā)明者菲利普·那斯卡 申請人:應(yīng)用材料瑞士股份有限公司