專利名稱：激光加工機以及蛇腹折疊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光加工機以及蛇腹折疊裝置。
背景技術(shù)：
在向被加工物照射激光而進行加工的激光加工機中，將從激光振蕩器射出的激光沿規(guī)定的光路向被加工物上引導(dǎo)。在為了進行對焦等而需要使光路長度可變的情況下，在激光加工機中設(shè)置具有可伸縮的筒狀的蛇腹折疊部的蛇腹折疊裝置，并構(gòu)成為由蛇腹折疊部圍繞光路，在蛇腹折疊部內(nèi)使激光行進。如果由于某種原因使光路產(chǎn)生偏移，或蛇腹折疊部彎曲，從而使得激光在被加工物等上反射而向蛇腹折疊面照射，則可能使蛇腹折疊部碳化(燒焦)而損傷，并開孔。另外，在激光加工時產(chǎn)生的熔融物(飛濺物)飛濺并向蛇腹折疊部上附著的情況下，也可能使蛇腹折疊部碳化而損傷。因此，如專利文獻I所公開的那樣，嘗試在蛇腹折疊部內(nèi)編入導(dǎo)線，基于該導(dǎo)通狀態(tài)的變化對蛇腹折疊部出現(xiàn)損傷這一情況進行檢測。另外，在專利文獻2所公開的將具有發(fā)光二極管及光傳感器的煙檢測單元設(shè)置于蛇腹折疊部內(nèi)的情況下，由于可以檢測出蛇腹折疊部碳化時產(chǎn)生的煙，因此，也可以檢測出蛇腹折疊部已損傷這一情況。專利文獻I :日本特開平9 - 220691號公報專利文獻2 日本特開昭64 - 5690號公報

發(fā)明內(nèi)容
但是，在上述專利文獻I所公開的發(fā)明中，由于需要在蛇腹折疊部中編入導(dǎo)線，所以蛇腹折疊部的制造成本變高。另外，如果蛇腹折疊部的損傷沒有達到導(dǎo)線斷開的程度，則無法檢測出激光已照射在蛇腹折疊部上這一情況。并且，在向沒有設(shè)置導(dǎo)線的部分處照射激光的情況下，無法檢測出蛇腹折疊部的損傷。另外，在專利文獻2所公開的發(fā)明的將煙檢測單元設(shè)置于蛇腹折疊部內(nèi)的情況下，如果在煙檢測單元的附近不存在煙，則無法檢測出蛇腹折疊部已損傷這一情況，因此，在遠離煙檢測單元的部位處蛇腹折疊部發(fā)生碳化的情況下，無法檢測出蛇腹折疊部已損傷這一情況，或直至檢測出這一情況為止耗費時間。本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于，得到一種激光加工機以及蛇腹折疊裝置，其無論損傷的位置如何，均可以迅速地檢測出蛇腹折疊部已損傷這一情況。為了解決上述課題，實現(xiàn)目的，本發(fā)明的特征在于，具有加工工作臺，其載置被加工物；激光振蕩器，其發(fā)出激光；導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)，其使從激光振蕩器發(fā)出的激光偏轉(zhuǎn)；可伸 縮的筒狀的蛇腹折疊部，其圍繞利用導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)進行偏轉(zhuǎn)后的激光的光路；偏轉(zhuǎn)鏡，其可以在使所連結(jié)的蛇腹折疊部伸縮的同時，沿蛇腹折疊部的軸向移動，使通過蛇腹折疊部的激光向朝向加工工作臺的方向偏轉(zhuǎn)；加工頭，其將利用偏轉(zhuǎn)鏡進行偏轉(zhuǎn)后的激光向被加工物照射；異常檢測器，其具有發(fā)光部和受光部，該發(fā)光部發(fā)出與蛇腹折疊部的軸平行地行進的光束，該受光部測定光束的受光量；以及控制單元，其在受光部中的光束的受光量低于第I閾值的情況下，使激光振蕩器停止。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，具有下述效果，S卩，無論蛇腹折疊部發(fā)生損傷的位置如何，均可以迅速地檢測出蛇腹折疊部的損傷。


圖I是表示本發(fā)明所涉及的激光加工機的實施方式I的結(jié)構(gòu)的圖。圖2是表示支架的形狀的圖。 圖3是表示蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部的剖面形狀的圖。圖4是表示光束通過蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部和蛇腹折疊部之間的空間的狀態(tài)的圖。圖5A是表示由于蛇腹折疊部的碳化而產(chǎn)生煙的情況下的受光量變化的圖。圖5B是表示由激光加工中產(chǎn)生的粉塵的影響所引起的受光量變化的圖。圖6是表示傾斜的支架將光束切斷的狀態(tài)的一個例子的圖。圖7是表示本發(fā)明所涉及的激光加工機的實施方式2的結(jié)構(gòu)的圖。圖8是表示本發(fā)明所涉及的激光加工機的實施方式3的結(jié)構(gòu)的圖。圖9是表示本發(fā)明所涉及的激光加工機的實施方式4的結(jié)構(gòu)的圖。符號的說明I控制裝置2激光振蕩器3導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)4蛇腹折疊裝置5加工頭6加工工作臺7報告裝置41蛇腹折疊部41a 支架42蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部43a光束傳感器發(fā)光部43b光束傳感器受光部51偏轉(zhuǎn)鏡52加工透鏡
具體實施例方式下面，基于附圖，詳細說明本發(fā)明所涉及的激光加工機以及蛇腹折疊裝置的實施方式。此外,本發(fā)明并不受本實施方式限定。實施方式I
圖I是表示本發(fā)明所涉及的激光加工機的實施方式I的結(jié)構(gòu)的圖。激光加工機包含控制裝置I、激光振蕩器2、導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3、蛇腹折疊裝置4、加工頭5、加工工作臺6以及報告裝置7而構(gòu)成。激光加工機使從激光振蕩器2射出的激光L沿規(guī)定的光路傳播，向加工工作臺6上的工件W引導(dǎo)。激光振蕩器2是CO2激光器等振蕩形成激光L的裝置，在激光加工時，在使激光功率進行各種變化的同時射出激光L。導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3包含下述等未圖示的光學(xué)部件PR反射鏡，其使由激光振蕩器2射出的激光L部分反射；偏轉(zhuǎn)鏡，其改變從PR反射鏡傳送來的激光L的光束角度；光束最佳化單元，其對從偏轉(zhuǎn)鏡傳送來的激光L的光束直徑(直徑)進行調(diào)整；以及偏轉(zhuǎn)鏡，其使從光束最佳化單元傳送來的激光L的光束角度向水平方向偏轉(zhuǎn)。蛇腹折疊裝置4具有筒狀的蛇腹折疊部41，其配置為，在導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3和加工頭5之間的光路上沿激光L的光軸包圍光路的周邊；蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部(蛇腹折疊部引導(dǎo)部)42，其對蛇腹折疊部41的移動進行引導(dǎo)；以及作為異常檢測器的光束傳感器(光束傳感器發(fā)光部43a、光束傳感器受光部43b)。蛇腹折疊部41通過將光路環(huán)境與外部氣體隔絕開，從而對光路進行保護，防止受到外部氣體(加工屑等)的影響。蛇腹折疊部41構(gòu)成為可以沿與激光L的光路(光軸)相同的方向伸縮。蛇腹折疊部41的導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3側(cè)的端部固定在導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3中包含的偏轉(zhuǎn)鏡上，加工頭5側(cè)的端部通過追隨加工頭5而移動，從而使蛇腹折疊部41進行伸縮。在蛇腹折疊部41上，以規(guī)定的間隔安裝有大致平板狀的支架41a，經(jīng)由支架41a懸掛在蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42上。圖2是表示支架41a的形狀的圖。圖3是表示蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42的剖面形狀的圖。在支架41a上，設(shè)置與蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42的引導(dǎo)部42a對應(yīng)的形狀的滑動部41b，在蛇腹折疊部41伸縮時，通過使滑動部41b沿引導(dǎo)部42a滑動，從而使支架41a整體移動。蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42以跨越加工工作臺6的方式設(shè)置，在一端設(shè)置有光束傳感器發(fā)光部43a,在另一端設(shè)置有光束傳感器受光部43b。因此,從光束傳感器發(fā)光部43a發(fā)出的光束B在蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42和蛇腹折疊部41之間的空間中，與蛇腹折疊部41平行地行進，到達光束傳感器受光部43b。圖4是表示光束B通過蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42和蛇腹折疊部41之間的空間的狀態(tài)的圖。光束傳感器受光部43b中的受光量向控制裝置I輸出。此外，在這里，將在蛇腹折疊部41的固定端(導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3側(cè)的端部)側(cè)配置光束傳感器發(fā)光部43a的結(jié)構(gòu)作為例子，但光束傳感器發(fā)光部43a以及光束傳感器受光部43b的設(shè)置位置可以交換。加工頭5與使通過蛇腹折疊裝置4的激 光L的光束角度向朝向加工工作臺6的方向(例如垂直下方)偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)鏡51連結(jié)，使由偏轉(zhuǎn)鏡51進行偏轉(zhuǎn)后的激光L入射。加工頭5具有加工透鏡52，該加工透鏡52使來自偏轉(zhuǎn)鏡51的激光L以較小的光斑直徑聚光，并向工件W上照射。在加工頭5的內(nèi)部，放出有對所通過的激光L的吸收率不造成影響的清掃(purge)氣體(例如N2)。在加工頭5內(nèi)部放出的清掃氣體向蛇腹折疊部41內(nèi)部流入。蛇腹折疊部41內(nèi)的清掃氣體從蛇腹折疊部41的導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3側(cè)排出。因此，在蛇腹折疊部41內(nèi)形成從加工頭5側(cè)向?qū)Ч夤鈱W(xué)系統(tǒng)3側(cè)流動的氣流。加工頭5可以在使所連結(jié)的蛇腹折疊部41伸縮的同時，沿蛇腹折疊部41的軸向移動。
在加工工作臺6上載置工件W，在加工工作臺6上進行激光加工。報告裝置7是以聽覺、視覺的方式向用戶通知異常的發(fā)生的裝置，可以使用警報、警告燈、顯示器、揚聲器等?？刂蒲b置I對激光振蕩器2的驅(qū)動 停止、加工頭5的移動、加工工作臺6的進給等進行控制。另外，還進行使用報告裝置7實現(xiàn)的報告動作的控制。另外，基于光束傳感器的檢測結(jié)果(光束傳感器受光部43b中的受光量)，對蛇腹折疊部41有無損傷進行判斷。在激光L向蛇腹折疊面照射等而使蛇腹折疊部41損傷的情況下，由于蛇腹折疊部41碳化而產(chǎn)生含有微粒的煙。如果該煙向上方上升，到達光束傳感器發(fā)光部43a和光束傳感器受光部43b之間，則光束傳感器受光部43b中的受光量與規(guī)定的第I閾值相比降低。控 制裝置I基于光束傳感器受光部43b中的受光量低于第I閾值這一情況，檢測出蛇腹折疊部41受到損傷這一情況。圖5是表示激光加工中的光束傳感器受光部43b中的受光量變化的圖。圖5A表示由于蛇腹折疊部41的碳化而產(chǎn)生煙的情況下的受光量的變化。圖5B表示由激光加工中產(chǎn)生的粉塵的影響所引起的受光量變化。由于在激光加工中產(chǎn)生粉塵，所以即使在不產(chǎn)生由蛇腹折疊部41的碳化引起的煙的情況下，光束傳感器受光部43b中的受光量也在激光加工中逐漸地降低。但是，對于激光加工中產(chǎn)生的粉塵，由于微粒的密度不象蛇腹折疊部41碳化時產(chǎn)生的煙那么高，所以受光量減少的程度較小。因此，控制裝置I也可以對每單位時間的受光量的減少量進行監(jiān)視，在每單位時間的受光量的減少量小于第3閾值的情況下，即使光束傳感器受光部43b中的受光量小于第I閾值，也不判斷為蛇腹折疊部41受到損傷?？刂蒲b置I在檢測出蛇腹折疊部41受到了損傷這一狀況的情況下，中止激光加工。即，使激光振蕩器2停止。并且，也可以使加工頭5的移動或加工工作臺6的進給停止。然后，驅(qū)動報告裝置7，將已經(jīng)中止了激光加工這一情況向用戶報告。例如，只要發(fā)出警報音、使燈點燈(或者閃爍)、顯示錯誤信息、或發(fā)出聲音信息即可。此外，如果以下述方式配置光束傳感器發(fā)光部43a和光束傳感器受光部43b，即，在支架41a和蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42之間產(chǎn)生滑動不良的情況下，由傾斜或翹起的支架41a遮擋光束B，則在滑動不良發(fā)生時，光束傳感器受光部43b中的受光量小于與第I閾值相比較小的第2閾值(在光束被完全遮擋的情況下受光量變?yōu)榱?。圖6是表示由傾斜的支架41a切斷光束B后的狀態(tài)的一個例子的圖。在蛇腹折疊部41因碳化而損傷的情況下，光束傳感器受光部43b中的受光量降低，但沒有成為小于第2閾值，因此，如果以下述方式配置光束傳感器發(fā)光部43a和光束傳感器受光部43b，即，在滑動不良發(fā)生時由支架41a遮擋光束B，則控制裝置I可以基于受光量是否小于第2閾值，而區(qū)別蛇腹折疊部41的損傷和支架41a的滑動不良。在檢測出支架41a的滑動不良的情況下，控制裝置I在使蛇腹折疊部41的伸縮速度(即，加工頭5的移動速度)變慢的基礎(chǔ)上，繼續(xù)進行激光加工。此外，在此情況下，也可以啟動報告裝置7，將發(fā)生了滑動不良這一情況向用戶報告。另外，在檢測出支架41a的滑動不良的情況下，也可以由控制裝置I中止激光加工。在本實施方式中，由于光束傳感器可以在蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42的全長上對煙進行檢測，所以無論蛇腹折疊部41的長度方向的哪個部分因碳化而損傷，均可以迅速地檢測出。另外，對于蛇腹折疊部41的周向，也可以不限定于特定位置而檢測出由碳化引起的損傷。而且，由于不需要在蛇腹折疊部41中編入導(dǎo)線等導(dǎo)體，所以蛇腹折疊部41的制造成本不會變高。實施方式2圖7是表示本發(fā)明所涉及的激光加工機的實施方式2的結(jié)構(gòu)的圖。在本實施方式中，光束傳感器沒有設(shè)置在蛇腹折疊部移動引導(dǎo)部42上，而是設(shè)置在蛇腹折疊部41上，這一點與實施方式I不同。在本實施方式中，光束傳感器受光部43b的受光量與蛇腹折疊部41的伸縮、即力口工頭5的位置相對應(yīng)而變化。因此，控制裝置I與加工頭5的位置相對應(yīng)而對光束傳感器受光部43b的受光量進行校正，在此基礎(chǔ)上對有無由蛇腹折疊部41的碳化引起的損傷進行判斷。 對于其他方面，由于與實施方式I相同，所以省略重復(fù)的說明。在本實施方式中，由于可以在蛇腹折疊部41的全長上對煙進行檢測，所以無論蛇腹折疊部41的長度方向的哪個部分因碳化而損傷，均可以迅速地檢測出。另外，對于蛇腹折疊部41的周向，無論在哪個部分均可以不限定于特定位置而檢測出由碳化引起的損傷。而且，由于不需要在蛇腹折疊部41中編入導(dǎo)線等導(dǎo)電體，所以蛇腹折疊部41的制造成本不會變高。實施方式3圖8是表示本發(fā)明所涉及的激光加工機的實施方式3的結(jié)構(gòu)的圖。在本實施方式中，將光束傳感器設(shè)置在蛇腹折疊部41的內(nèi)側(cè)這一點與實施方式2不同。即,在本實施方式中，從光束傳感器發(fā)光部43a發(fā)出的光束B，通過蛇腹折疊部41內(nèi)部的空間到達光束傳感器受光部43b。在工件W等處的反射光向加工頭5入射并向蛇腹折疊部41的內(nèi)表面照射的情況下，蛇腹折疊部41從內(nèi)側(cè)發(fā)生碳化，因此，在蛇腹折疊部41上開孔之前，煙不會向蛇腹折疊部41外泄漏。因此，在如上述實施方式1、2所示，在蛇腹折疊部41外設(shè)置光束傳感器的情況下，即使在蛇腹折疊部41內(nèi)部產(chǎn)生由碳化引起的損傷，也無法在蛇腹折疊部41上開孔之前檢測出。與此相對，在本實施方式中，由于光束B通過蛇腹折疊部41的內(nèi)部，所以可以迅速地檢測出蛇腹折疊部41內(nèi)部的由碳化引起的損傷的產(chǎn)生。另外，在本實施方式中，由于光束B通過蛇腹折疊部41的內(nèi)部，所以不會因粉塵的影響而使光束B散射。因此，在激光加工中，不會因粉塵的影響而使光束傳感器受光部43b中的受光量降低。但是，在本實施方式中，由于光束B在蛇腹折疊部41內(nèi)通過，所以無法進行支架41a的滑動不良的檢測。如上述所示，根據(jù)本實施方式，可以在蛇腹折疊部41上開孔之前檢測出觀察不到的蛇腹折疊部41內(nèi)部的損傷。對于其他方面，由于與實施方式2相同，所以省略重復(fù)的說明。在上述實施方式I 3中，將配置光束傳感器發(fā)光部43a及光束傳感器受光部43b，以使得光束B在蛇腹折疊部41的全長上與蛇腹折疊部41平行地行進這樣的結(jié)構(gòu)作為例子，但也可以配置光束傳感器發(fā)光部43a以及光束傳感器受光部43b，以使得光束B與蛇腹折疊部41的一部分平行地行進。例如，也可以使光束B僅與蛇腹折疊部41的加工頭5側(cè)的那一半(或者，導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3側(cè)的那一半)平行地行進，也可以使光束B僅與蛇腹折疊部41的中間部分平行地行進。實施方式4圖9是表示本發(fā)明所涉及的激光加工機的實施方式4的結(jié)構(gòu)的圖。在本實施方式中，在蛇腹折疊部41中，在清掃氣體流動的下游側(cè)即導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3側(cè)的端部內(nèi)部，設(shè)置有光束傳感器發(fā)光部43a以及光束傳感器受光部43b，這一點與實施方式3不同。從光束傳感器發(fā)光部43a發(fā)出的光束B，在蛇腹折疊部41內(nèi)沿與激光L成直角的方向橫穿，到達光束傳感器受光部43b。如上述所示，在蛇腹折疊部41內(nèi)，清掃氣體從加工頭5側(cè)朝向?qū)Ч夤鈱W(xué)系統(tǒng)3側(cè)流動。因此，無論蛇腹折疊部41內(nèi)產(chǎn)生的煙在長度方向的哪個部分處產(chǎn)生，均隨著清掃氣體的流動而移動，到達導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3側(cè)的端部。另外，蛇腹折疊部41內(nèi)部產(chǎn)生的煙由于在蛇腹折疊部41內(nèi)上升，所以隨著遠離損傷部位，而在接近蛇腹折疊部41上部的部分通過。在本實施方式中，光束傳感器發(fā)光部43a以及光束傳感器受光部43b，以使光束B在蛇腹折疊部41內(nèi)沿與激光L成直角的方向橫穿的方式，在清掃氣體流動的下游側(cè)配置于端部附近。因此，無論蛇腹折疊部41的碳化發(fā)生的部位如何，均可以檢測出蛇腹折疊部41的損傷。在本實施方式中，將清掃氣體從加工頭5側(cè)向?qū)Ч夤鈱W(xué)系統(tǒng)3側(cè)流動的結(jié)構(gòu)作為例子而進行了說明，但也可以從蛇腹折疊部41的固定端側(cè)(導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)3側(cè))供給清掃氣體，使清掃氣體向移動端側(cè)(加工頭5側(cè))流動。當然，在此情況下，只要在成為清掃氣體流動的下游側(cè)的蛇腹折疊部41的加工頭5側(cè)，設(shè)置光束傳感器發(fā)光部43a以及光束傳感器受光部43b即可。在本實施方式中，由于可以減小光束傳感器發(fā)光部43a和光束傳感器受光部43b之間的距離，所以傳感器的位置匹配等組裝作業(yè)容易。對于其他方面，由于與實施方式3相同，所以省略重復(fù)的說明。工業(yè)實用性如上述所示，本發(fā)明所涉及的激光加工機以及蛇腹折疊裝置，從無論位置如何均可以檢測出蛇腹折疊部的損傷這一點上來說是有用的，特別地，適用于抑制裝置制造成本的急劇上漲。權(quán)利要求
1.一種激光加工機，其特征在于，具有 加工工作臺，其載置被加工物； 激光振蕩器，其發(fā)出激光； 導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)，其使從所述激光振蕩器發(fā)出的所述激光偏轉(zhuǎn)； 可伸縮的筒狀的蛇腹折疊部，其圍繞利用所述導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)進行偏轉(zhuǎn)后的所述激光的光路； 偏轉(zhuǎn)鏡，其可以在使所連結(jié)的所述蛇腹折疊部伸縮的同時，沿該蛇腹折疊部的軸向移動，使通過該蛇腹折疊部的所述激光向朝向所述加工工作臺的方向偏轉(zhuǎn)； 加工頭，其將利用所述偏轉(zhuǎn)鏡進行偏轉(zhuǎn)后的所述激光向所述被加工物照射； 異常檢測器，其具有發(fā)光部和受光部，該發(fā)光部發(fā)出與所述蛇腹折疊部的軸平行地行進的光束，該受光部測定所述光束的受光量；以及 控制單元，其在所述受光部中的所述光束的受光量低于第I閾值的情況下，使所述激光振蕩器停止。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光加工機，其特征在于， 以下述方式配置所述發(fā)光部以及所述受光部，即，使得所述光束在所述蛇腹折疊部的全長上與所述蛇腹折疊部的軸平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工機，其特征在于， 還具有蛇腹折疊部引導(dǎo)部，其比所述蛇腹折疊部長，用于懸掛并引導(dǎo)該蛇腹折疊部，所述發(fā)光部配置在所述蛇腹折疊部引導(dǎo)部的一端附近的下部，所述受光部配置在所述蛇腹折疊部引導(dǎo)部的另一端附近的下部。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工機，其特征在于， 所述發(fā)光部配置在所述蛇腹折疊部的一端附近且位于筒外的上部，所述受光部配置在所述蛇腹折疊部的另一端附近且位于筒外的上部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的激光加工機，其特征在于， 所述控制單元在所述受光部中的所述光束的受光量小于與所述第I閾值相比較小的第2閾值的情況下，使所述加工頭的移動速度降低。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的激光加工機，其特征在于， 所述控制單元在所述受光部中的所述光束的受光量的每單位時間的減少量小于第3閾值的情況下，即使所述受光部中的所述光束的受光量低于所述第I閾值，也不使所述激光振蕩器停止。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工機，其特征在于， 所述發(fā)光部配置在所述蛇腹折疊部的一端附近且位于筒內(nèi)的上部，所述受光部配置在所述蛇腹折疊部的另一端附近且位于筒內(nèi)的上部。
8.一種激光加工機，其特征在于，具有 加工工作臺，其載置被加工物； 激光振蕩器，其發(fā)出激光； 導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)，其使從所述激光振蕩器發(fā)出的所述激光偏轉(zhuǎn)； 可伸縮的筒狀的蛇腹折疊部，其圍繞利用所述導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)進行偏轉(zhuǎn)后的所述激光的光路；偏轉(zhuǎn)鏡，其可以在使所連結(jié)的所述蛇腹折疊部伸縮的同時，沿該蛇腹折疊部的軸向移動，使通過該蛇腹折疊部的所述激光向朝向所述加工工作臺的方向偏轉(zhuǎn)； 加工頭，其將利用所述偏轉(zhuǎn)鏡進行偏轉(zhuǎn)后的所述激光向所述被加工物照射； 向所述蛇腹折疊部內(nèi)供給清掃氣體，以形成將所述導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)側(cè)作為下游的氣流的單元； 異常檢測器，其具有發(fā)光部和受光部，該發(fā)光部在所述蛇腹折疊部的所述導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)側(cè)的端部附近，沿與所述激光成直角的方向發(fā)出光束，該受光部測定所述光束的受光量；以及 控制單元，其在所述受光部中的所述光束的受光量低于第I閾值的情況下，使所述激光振蕩器停止。
9.一種蛇腹折疊裝置，其具有可伸縮的筒狀的蛇腹折疊部， 其特征在于， 具有發(fā)出與所述蛇腹折疊部的軸平行地行進的光束的發(fā)光部、以及測定所述光束的受光量的受光部， 所述蛇腹折疊裝置可以基于所述受光部的輸出，對所述蛇腹折疊部的異常進行檢測。
10.一種蛇腹折疊裝置，其具有可伸縮的筒狀的蛇腹折疊部，該蛇腹折疊裝置設(shè)置在激光加工機中，所述蛇腹折疊部圍繞向所述激光加工機的加工頭入射的激光的光路，并且清掃氣體從所述蛇腹折疊部內(nèi)通過， 該蛇腹折疊裝置的特征在于，具有 發(fā)光部，其在成為所述清掃氣體流動的下游側(cè)的端部附近，沿與所述激光成直角的方向發(fā)出光束；以及 受光部，其測定所述光束的受光量， 所述蛇腹折疊裝置可以基于所述受光部的輸出，對所述蛇腹折疊部的異常進行檢測。
全文摘要
具有加工工作臺(6)，其載置工件(W)；激光振蕩器(2)，其發(fā)出激光(L)；導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)(3)，其使由激光振蕩器(2)發(fā)出的激光(L)偏轉(zhuǎn)；可伸縮的筒狀的蛇腹折疊部(41)，其圍繞利用導(dǎo)光光學(xué)系統(tǒng)(3)進行偏轉(zhuǎn)后的激光(L)的光路；偏轉(zhuǎn)鏡(51)，其在使蛇腹折疊部(41)伸縮的同時，沿蛇腹折疊部(41)的軸向移動，使通過蛇腹折疊部(41)的激光(L)向加工工作臺(6)側(cè)偏轉(zhuǎn)；加工頭(5)，其將利用偏轉(zhuǎn)鏡(51)進行偏轉(zhuǎn)后的激光向工件(W)照射；異常檢測器，其具有光束傳感器發(fā)光部(43a)和光束傳感器受光部(43b)，該光束傳感器發(fā)光部(43a)發(fā)出與蛇腹折疊部(41)的軸平行地行進的光束(B)，該光束傳感器受光部(43b)測定光束(B)的受光量；以及控制裝置(1)，其在光束傳感器受光部(43b)中的光束(B)的受光量低于第1閾值的情況下，使激光振蕩器(2)停止。
文檔編號B23K26/08GK102639279SQ201180004855
公開日2012年8月15日 申請日期2011年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月15日
發(fā)明者橫井茂 申請人:三菱電機株式會社