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激光切割裝置及具有該裝置的切條機(jī)的制作方法

文檔序號(hào):3196646閱讀:289來源:國知局
專利名稱:激光切割裝置及具有該裝置的切條機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及激光切割裝置及具有該裝置的切條機(jī)。
背景技術(shù)
偏振膜被廣泛地用于液晶板等中。以往,在偏振膜的加工工序中,進(jìn)行的是只對(duì)包含偏振膜的層壓物中的偏振膜進(jìn)行切割的偏振膜的半切割,或偏振膜的端部切割等。偏振膜的切割是用刀具來切割,但難以因被切割物而產(chǎn)生薄膜屑等的異物。因這種異物混入偏振膜中而使成品率降低。另外,近年來利用激光來進(jìn)行切割。在用激光進(jìn)行切割時(shí),與用刀具的切割相比較,難以因被切割物而產(chǎn)生薄膜屑等的異物。借此能抑制成品率的下降。因此,這種切割方法是有用的,并被開發(fā)出各種各樣的方法(例如專利文獻(xiàn)1、2)。專利文獻(xiàn)1:日本國公開專利公報(bào)“特開2008-302376號(hào)公報(bào)(2008年12月18日公開),,專利文獻(xiàn)2:日本國公開專利公報(bào)“特開2009-22978號(hào)公報(bào)(2009年2月5日公開),,然而,采用上述以往的利用激光的偏振膜切割方法的話,具有在切割相對(duì)地移動(dòng)的偏振膜之時(shí)產(chǎn)生不良情況這樣的問題。即,在用激光的低輸出功率側(cè)時(shí),存在的問題是,由于激光的輸出功率不穩(wěn)定,故不能進(jìn)行合適的切割。以下具體說明之。在切割被傳送來的偏振膜時(shí),切割基本上是在以一定速度傳送偏振膜的同時(shí)進(jìn)行的。為使生產(chǎn)效率提高,所述一定速度例如是50m/s左右的高速度。因而,從提高成品率的觀點(diǎn)來看,即使是在一定速度的前后中的加速時(shí)或減速時(shí),也可以進(jìn)行偏振膜的切割。在偏振膜的傳送速度大的一定速度的階段中,被照射激光的部分的每單位時(shí)間的能量減少。因而有必要增加切割所必要的激光的輸出功率。另一方面,在偏振膜的傳送速度小的階段中,被照射激光的部分的每單位時(shí)間的能量增加。結(jié)果,有可能由于過剩的熱量作用在偏振膜的切割面上而引起品質(zhì)的劣化。因此,有必要抑制激光的輸出功率。在為抑制激光的輸出功率而用激光的低輸出功率側(cè)時(shí),存在激光的振蕩會(huì)變得不穩(wěn)定的問題。因此,調(diào)整后的輸出功率可能在產(chǎn)生擺動(dòng),并不能照射足以切割偏振膜的能量,并且,即使在傳送速度小的階段中,也要求以穩(wěn)定的輸出而不帶來切割面品質(zhì)劣化地切割偏振膜的激光切割裝置。在專利文獻(xiàn)2中,與這樣的問題相關(guān)聯(lián)地揭示了使被加工物與激光之間的相對(duì)移動(dòng)速度加大,并使激光的照射次數(shù)減少的激光加工方法。根據(jù)該技術(shù),能避免因激光振蕩器的不穩(wěn)定輸出引起的激光的功率增大導(dǎo)致蝕刻深度變得過深的問題。然而,該技術(shù)中存在的問題是,有必要使被加工物與激光之間的相對(duì)移動(dòng)速度加大,難以適用于相對(duì)速度小的情況中。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述以往的問題而作,其目的在于提供激光光束的輸出功率不會(huì)不穩(wěn)定的、且不招致偏振膜的切割面的品質(zhì)劣化的激光切割裝置。本發(fā)明的激光切割裝置為解決上述課題,是將對(duì)偏振膜照射激光并進(jìn)行切割的激光切割裝置,其特征在于,包括:振蕩激光的激光振蕩器;將激光振蕩器振蕩的激光向偏振膜反射的反射鏡;及配置于偏振膜與反射鏡之間的、對(duì)所述激光聚光的聚光透鏡,在所述反射鏡與聚光透鏡之間,設(shè)有透射和反射所述激光的分光器。本發(fā)明的激光切割裝置中,由分光器將激光分岔為透射光與反射光,并用透射光切割偏振膜。因此無論激光振蕩器的輸出功率多么大,也能使照射到偏振膜的激光的能量減少。其結(jié)果,即使是在激光切割裝置與偏振膜之間的相對(duì)速度小時(shí),也能以高輸出功率使用激光振蕩器。也就是說,能獲得用激光振蕩器的高輸出功率側(cè)時(shí)的優(yōu)點(diǎn)即輸出功率的穩(wěn)定性。另一方面,由于由分光器減少照射到偏振膜的能量,故能抑制用激光振蕩器的高輸出功率側(cè)時(shí)的問題即切割面品質(zhì)的劣化。發(fā)明的效果如上所述,本發(fā)明的激光切割裝置包括:振蕩激光的激光振蕩器;將由激光振蕩器振蕩的激光向偏振膜反射的反射鏡;及配置于偏振膜與反射鏡之間,并對(duì)所述激光聚光的聚光透鏡,在上述反射鏡與聚光透鏡之間,設(shè)有透射和反射上述激光的分光器。因此,即使在激光切割裝置與偏振膜之間的相對(duì)速度小時(shí),也能以高輸出功率使用激光振蕩器。也就是說,能獲得用激光振蕩器的高輸出功率側(cè)時(shí)的優(yōu)點(diǎn)即輸出功率的穩(wěn)定性。另一方面,由于用分光器減低照射至偏振膜的能量,故收到能抑制用激光振蕩器的高輸出功率側(cè)時(shí)的問題即切割面品質(zhì)的劣化的效果。


圖1是示出本發(fā)明的激光切割裝置的截面圖。圖2是不出傳送偏振膜時(shí)的時(shí)間t與輸出功率w之間的關(guān)系的曲線圖。圖3是示出本發(fā)明的切條機(jī)的截面圖。圖4是示出用本發(fā)明的切條機(jī)切割偏振膜的過程的俯視圖。 圖5是示出用實(shí)施例1與比較例I切割的偏振膜的側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式根據(jù)圖1 圖4說明本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)如下。[切割裝置]圖1是示出本發(fā)明的激光切割裝置的截面圖。激光切割裝置10包括:激光振蕩器
1、光束擴(kuò)展器2、反射鏡3、分光器4及聚光透鏡5。激光振蕩器I是振蕩激光的構(gòu)件,不作特別的限定。例如,可用CO2激光器(二氧化碳激光器)、UV激光器、半導(dǎo)體激光器、YAG激光器、EXIMA激光器等。尤其是高輸出功率且對(duì)偏振膜的切割適合的CO2激光器較為理想。激光振蕩器I的輸出功率低時(shí),激光的輸出功率容易變得不穩(wěn)定。因此,輸出功率是高的為好。另一方面,當(dāng)輸出功率過高時(shí),由于過剩的熱膨脹等會(huì)在偏振膜的切割面產(chǎn)生品質(zhì)的劣化。激光振蕩器I的具體輸出功率,優(yōu)選為根據(jù)偏振膜6的厚度、偏振膜6的傳送速度及由后述的分光器4的透射激光與反射激光的比率作適當(dāng)調(diào)整。從這些觀點(diǎn)來看,激光振蕩器I的輸出功率是30W以上、400W以下為好。另外,在激光振蕩器I的輸出功率低時(shí),輸出功率便不穩(wěn)定,具體地說,當(dāng)不滿30W時(shí),就處于變?yōu)椴环€(wěn)定的傾向中。照射的激光的頻率,宜根據(jù)激光振蕩器I的輸出功率、偏振膜6的厚度及偏振膜的傳送速度等作適當(dāng)變更,但一般可取5kHz以上,IOOkHz以下。作為較好的形態(tài),激光切割裝置10包括光束擴(kuò)展器2。光束擴(kuò)展器2是將激光擴(kuò)寬成平行光束的構(gòu)件,只要使用公知的光束擴(kuò)展器就可。利用光束擴(kuò)展器2能將激光LI的直徑擴(kuò)展為例如2倍 10倍左右,形成激光2。在將激光L6向偏振膜6照射之時(shí),通過擴(kuò)大激光的直徑,容易對(duì)準(zhǔn)激光L6的焦點(diǎn)。反射鏡3是將激光振蕩器I振蕩的激光向偏振膜6反射的構(gòu)件。激光切割裝置10中,具有一個(gè)反射鏡3,但只要能將激光L2作成激光L3向偏振膜6反射就行,具有多個(gè)也沒關(guān)系。用圖2說明一般的激光切割裝置中的激光振蕩器的輸出功率。圖2是示出傳送偏振膜時(shí)的時(shí)間t與激光振蕩器的輸出功率w之間的關(guān)系的曲線圖。在傳送偏振膜的同時(shí)進(jìn)行切割的情況下,首先,使偏振膜加速(加速區(qū)域),其后,為適宜于切割的一定速度(等速區(qū)域),使偏振膜減速(減速區(qū)域),偏振膜的切割結(jié)束。在加速區(qū)域和減速區(qū)域中因偏振膜的速度小,如果是相同的照射條件,則對(duì)偏振膜的每單位時(shí)間的能量增加。從而,有必要降低激光振蕩器的輸出功率。因此,在加速區(qū)域和減速區(qū)域的一部分中,激光振蕩器的輸出功率低,且激光振蕩器的輸出變得不穩(wěn)定(不穩(wěn)定區(qū)域)。結(jié)果,在加速區(qū)域和減速區(qū)域中,由于激光振蕩器的輸出是不穩(wěn)定的,故可能產(chǎn)生未切斷的情況。有上述那樣的限制,采用一般的激光切割裝置的話,不能在加速區(qū)域和減速區(qū)域中提高激光振蕩器的輸出功率。另一方面,本發(fā)明的激光切割裝置10中,在反射鏡3與聚光透鏡5之間有分光器
4。分光器4是透射和反射上述激光L3的構(gòu)件,可使用公知的分光器。由分光器4將激光L3分岔為作為透射光的激光L4和作為反射光的激光L5。分光器4的透射激光與反射激光的比率,沒有特別的限定,但優(yōu)選為根據(jù)上述激光振蕩器I的輸出功率、偏振膜6的厚度及偏振膜6的傳送速度等作適當(dāng)調(diào)整。一般,在上述激光振蕩器的輸出功率為30W以上、400W以下時(shí),分光器的透射激光與反射激光的比率以3: 7 7: 3為好。如是上述的設(shè)定范圍,則能在偏振膜的切割中合適地使用激光切割裝置10。激光切割裝置10中,激光L3被分光器4分岔為透射光和反射光,并用透射光切割偏振膜6。因此,根據(jù)激光切割裝置10,無論激光振蕩器I的輸出功率多么大,也能使照射至偏振膜6的激光L6的能量減低。也就是說,即使是加速區(qū)域和減速區(qū)域,也能以高輸出功率使用激光振蕩器1,并能獲得用激光振蕩器I的高輸出功率側(cè)時(shí)的優(yōu)點(diǎn)即輸出的穩(wěn)定性。另一方面,因用分光器4減低被照射至偏振膜的能量,故能抑制用激光振蕩器I的高輸出功率側(cè)時(shí)的問題即切割面上的品質(zhì)的劣化。激光L4通過聚光透鏡5聚光于偏振膜6上。聚光透鏡5不作特殊限定,只要用球面透鏡、非球面透鏡等就可。因由激光L6的聚光直徑?jīng)Q定切割寬度,故在切割偏振膜時(shí),激光L6的聚光直徑是5 μ m以上、500 μ m以下為好,ΙΟμπι以上、400 μ m以下更好。作為激光切割裝置10的切割對(duì)象的偏振膜6,只要是用公知的偏振膜就可。作為本發(fā)明中的偏振膜而言,通常使用長尺寸的偏振膜,但也可用短尺寸或板形的偏振膜。所謂長尺寸是指切割方向上的偏振膜的長度為IOm以上,所謂短尺寸是指2m以上、不滿10m,所謂板形是指IOcm以上、不滿2m。作為偏振膜6,具體來說是如下這樣的結(jié)構(gòu):在偏振元件膜的兩面上貼合TAC (三醋酸纖維素)膜、COP (環(huán)烯烴聚合物)膜等作為保護(hù)膜,通過粘接劑將保護(hù)膜層壓于相對(duì)于激光切割裝置10為反面的TAC薄膜上。偏振膜6之中,作為位于中心的偏光元件膜,可舉出將TAC等的保護(hù)膜貼合到用碘等對(duì)聚乙烯醇薄膜染色并拉伸的膜等上的薄膜。又,也可使用部分聚合物化聚乙烯醇系膜、乙烯-醋酸乙烯基共聚合物系部分皂化膜、纖維素系膜等的親水性高分子膜等、聚乙烯醇的脫水處理物或聚氯化乙烯的脫氯化氫處理物等的多烯(')工 >)配向膜等,來代替上述聚乙烯醇膜。包含有偏振膜6和保護(hù)膜的總厚度,不作特別限定,但可取100 μ m以上、500 μ m以下。又,偏振膜6中的偏光兀件膜的厚度,一般為10 μ m以上、50 μ m以下。另外,在偏振膜6的實(shí)用上不成問題的范圍中,也可再含有上述3層以外的其他層。作為上述保護(hù)膜,也可用聚酯膜、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(*。工f f > 7夕9一卜)膜等。至于上述保護(hù)膜的厚度和寬度,沒有特別的限定,但從用作偏振膜的保護(hù)膜的觀點(diǎn)來看,優(yōu)選使用例如5μπι以上、50μπι以下的厚度,200mm以上、1500mm以下的寬度的保護(hù)膜。用激光切割裝置10進(jìn)行的偏振膜6的切割,是在移動(dòng)激光切割裝置10或偏振膜6的同時(shí)來進(jìn)行的。由此能在偏振膜6上形成切割面。具體地說,能用后述的切條機(jī)在移動(dòng)偏振膜的同時(shí)進(jìn)行切割。固定激光切割裝置10并以傳送偏振膜6的狀態(tài)來進(jìn)行切割的情況下,能夠進(jìn)行穩(wěn)定的切割,因此是合適的。本發(fā)明中的對(duì)偏振膜的所謂“切割”,是指對(duì)偏振膜“至少切割一部分”,也包含對(duì)偏振膜形成規(guī)定深度的加工。例如,偏振膜的端部的切割、半切割、標(biāo)識(shí)加工等也包含在“切害IJ”的行為中。[切條機(jī)]其次,說明本發(fā)明的切條機(jī)20。圖3是示出本發(fā)明的切條機(jī)20的截面圖。切條機(jī)20包括激光切割裝置10、放卷部11、傳送輥12、12a、12b、12c、12d、12e、12f (以下略作“12 12f”)、長度測量計(jì)14、及卷取部13a、13b。放卷部11是保持長尺寸形狀的偏振膜6并向傳送輥12放卷的構(gòu)件。作為放卷部11而言,沒有特別的限定,可用公知的放卷部。切條機(jī)20中,可用圓筒狀的軸作為放卷部11,并保持卷繞著偏振膜6的紙管或塑料管等。在放卷部11的側(cè)面具有未圖示的使放卷部11旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置,通過旋轉(zhuǎn)裝置使放卷部11旋轉(zhuǎn),并向傳送方向?qū)ζ衲?進(jìn)行放卷。對(duì)偏振膜6所施加的張力和偏振膜的傳送速度可通過旋轉(zhuǎn)裝置來設(shè)定。另外,可適當(dāng)調(diào)整放卷部11的高度和放卷部11的在水平方向上的位置。放卷部11被設(shè)置于一處,但也可與卷取部13a、13b —樣被設(shè)置于兩處。這樣,在一方的放卷部11的偏振膜6全被放卷之前,可與另一方的放卷部的偏振膜連接,并可減少交換偏振膜卷筒的時(shí)間。傳送輥12 12f沿偏振膜6的傳送路徑被配置于切條機(jī)20中。各傳送輥的配置場所只要根據(jù)偏振膜6的傳送路徑作適當(dāng)變更就行。上述傳送輥不作特別限定,使用公知的構(gòu)件就可。又,上述傳送輥的直徑和寬度也不限定。通常,傳送輥的寬度為1.5m 2.5m左右。也可在切條機(jī)20中包括將偏振膜6壓在傳送輥上的接觸輥。在傳送輥12b與傳送輥12c之間,配置有激光切割裝置10。這樣,只要將激光切割裝置10這樣地配置于放卷部11與卷取部13之間就可。關(guān)于激光切割裝置10的構(gòu)造已如上述。卷取部13a、13b是卷取已被切割加工的偏振膜6的構(gòu)件。與放卷部11同樣,在卷取部13a、13b的側(cè)面設(shè)有未圖示的使卷取部13a、13b旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置,通過旋轉(zhuǎn)裝置使卷取部13a、13b旋轉(zhuǎn),并在傳送方向上卷取偏振膜6。對(duì)偏振膜6所施加的張力和偏振膜的傳送速度可通過旋轉(zhuǎn)裝置來設(shè)定。另外,可適當(dāng)調(diào)整卷取部13a、13b的高度和在水平方向上的位置。根據(jù)切條機(jī)20,用放卷部11和卷取部13a傳送偏振膜6。偏振膜的傳送速度不作特別限定,作為一例,可取lm/s以上,100m/s以下。圖4是示出偏振膜6的切割過程的俯視圖。如圖4的(a) (C)所示,隨著偏振膜6被傳送,利用激光切割裝置10在偏振膜6上形成切口 S。圖4中,設(shè)置激光切割裝置10以切割偏振膜6的端部周圍。這是切割偏振膜6的端部的情況。激光切割裝置10的設(shè)置位置不作特別的限定,只要能在偏振膜6上照射激光就行。例如,如果設(shè)置激光切割裝置10以將激光照射到偏振膜6的中央部分,則可將偏振膜6分割為2個(gè)。因本發(fā)明的切條機(jī)20設(shè)有激光切割裝置10,故即使是在使偏振膜6加速或減速時(shí)、即在偏振膜的傳送速度小時(shí),也能以高輸出功率使用激光振蕩器I。結(jié)果,能獲得用激光振蕩器I的高輸出功率側(cè)時(shí)的優(yōu)點(diǎn)即輸出的穩(wěn)定性。另一方面,由于用分光器4減低被照射到偏振膜上的能量,故能抑制用激光振蕩器I的高輸出功率側(cè)時(shí)的問題即偏振膜的切割面上的品質(zhì)的劣化。另外,本發(fā)明中包含以下的形態(tài)。本發(fā)明的激光切割裝置中,上述激光振蕩器的輸出功率是30W以上、400W以下,上述分光器的透射激光與反射激光的比率是3:7 7:3為好。上述激光振蕩器的輸出功率是30W以上、400W以下時(shí),如果分光器的透射激光與反射激光的比率是在上述的范圍內(nèi),那么能合適地使用于偏振膜的切割中。又,本發(fā)明的激光切割裝置中,上述激光振蕩器是CO2激光振蕩器為好。CO2激光振蕩器是高輸出功率的,能適合偏振膜的切割。又,本發(fā)明的切條機(jī),包括對(duì)偏振膜進(jìn)行放卷的放卷部、和卷取偏振膜的卷取部,在上述放卷部與卷取部之間配置有上述激光切割裝置。本發(fā)明的切條機(jī)因包括激光切割裝置,故即使在偏振膜的傳送速度小時(shí)也能以高輸出功率使用激光振蕩器。結(jié)果,能獲得用激光振蕩器的高輸出功率側(cè)時(shí)的優(yōu)點(diǎn)即輸出功率的穩(wěn)定性。另一方面,因通過分光器減低照射到偏振膜上的能量,故能抑制用激光振蕩器的高輸出功率側(cè)時(shí)的問題即偏振膜的切割面上的品質(zhì)的劣化。另外,本發(fā)明不限定上述的各實(shí)施形態(tài),能夠在權(quán)利要求項(xiàng)中所示的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更,有關(guān)適當(dāng)組合不同的實(shí)施形態(tài)中分別揭示的技術(shù)手段而得到的實(shí)施形態(tài)也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。實(shí)施例[實(shí)施例1]用圖3所述的切條機(jī)20實(shí)施偏振膜的切割。偏振膜6的結(jié)構(gòu)為,按接近于激光切害I]裝置10的聚光透鏡5的順序,層壓PET膜(38μπι)、粘接層(22μπι,粘接層與保護(hù)層一起剝離)、TAC膜(80 μ m)、聚乙烯醇膜(30 μ m)及COP (環(huán)烯烴聚合物)膜(70 μ m)作為保護(hù)膜,并在COP膜上隔著粘接層層壓PET膜(38 μ m)作為隔離膜。首先,利用放卷部11和卷取部13a的旋轉(zhuǎn)裝置,使偏振膜6從偏振膜6靜止的狀態(tài)開始,在5秒鐘后,加速到50m/s。在使其加速至50m/s的期間,以下述的條件實(shí)施偏振膜6的切割。激光振蕩器:C02激光器激光振蕩器的輸出功率:20W以上、280W以下激光波長:9.4μπι激光頻率:20kHzL6的聚光直徑:54 μ m透射光與反射光的比率:5: 5[比較例I]使用從切條機(jī)20的激光切割裝置10中去除了分光器4的比較用切割裝置實(shí)施偏振膜6的切割。偏振膜6的結(jié)構(gòu)是與實(shí)施例1相同的。與實(shí)施例1同樣地使偏振膜6加速至50m/s。又,切割的條件如下。激光振蕩器:C02激光器激光振蕩器的輸出功率:10W以上、140W以下激光波長:9.4μπι激光頻率:20kHzL6的聚光直徑:54 μ m圖5是示出通過實(shí)施例1與比較例I切割的偏振膜6的側(cè)視圖。圖5的(a)是實(shí)施例I的偏振膜6,圖5的(b)是比較例I的偏振膜6。由兩者結(jié)果可見,比較例I的偏振膜6在其截面上因熱膨脹而產(chǎn)生變形。而且還觀察到在最上面的PET膜上因熱膨脹生成的塊狀物。另一方面,實(shí)施例1的偏振膜6與比較例I不同,切割面上沒有產(chǎn)生變形。而且,在最上面的PET膜上沒有生成塊狀物。根據(jù)本發(fā)明的切條機(jī)(激光切割裝置),即使是50m/s那樣的傳送速度,也能夠抑制偏振膜的切割面上的品質(zhì)劣化,明顯地顯示出本發(fā)明的優(yōu)越性。而且,對(duì)偏振膜6的切割面良好與否進(jìn)行了試驗(yàn)。試驗(yàn)方法是,從所切割的偏振膜上剝離隔離膜,隔著粘接層將COP膜面貼附到玻璃板上。如果COP膜上產(chǎn)生變形,則氣泡混入COP膜與玻璃板之間。對(duì)實(shí)施例1與比較例I的切割后的偏振膜6進(jìn)行了試驗(yàn),在貼附后,實(shí)施例1的偏振膜6上沒有觀察到氣泡混入,但貼附后在比較例I的偏振膜6上觀察到氣泡的混入。這是因偏振膜6之中的從上面起第4層的COP膜的變形狀態(tài)引起的結(jié)果。從該結(jié)果也證明本發(fā)明的優(yōu)越性。
工業(yè)上的可利用性本發(fā)明的激光切割裝置是可用作合適地切割偏振膜的裝置。因此,本發(fā)明可廣泛地利用于使用偏振膜的領(lǐng)域中。符號(hào)的說明I激光振蕩器2光束擴(kuò)展器3反射鏡4分光器5聚光透鏡6偏振膜10激光切割裝置11放卷部12、12a、12b、12c、12d、12e、12f 傳送輥 13a、13b 卷取部14長度測量計(jì)20切條機(jī)LI L6激光S切口。
權(quán)利要求
1.一種激光切割裝置,是對(duì)偏振膜照射激光并進(jìn)行切割的激光切割裝置,其特征在于,包括:振蕩激光的激光振蕩器;將由激光振蕩器振蕩的激光反射向偏振膜的反射鏡;及配置于偏振膜與反射鏡之間的、對(duì)所述激光進(jìn)行聚光的聚光透鏡,在所述反射鏡與聚光透鏡之間,設(shè)有透射和反射所述激光的分光器。
2.如權(quán)利要求1所述的激光切割裝置,其特征在于,所述激光振蕩器的輸出功率為30W以上、400W以下,對(duì)所述分光器的激光進(jìn)行透射與反射的比率為3: 7 7: 3。
3.如權(quán)利要求1所述的激光切割裝置,其特征在于,所述激光振蕩器是CO2激光振蕩器。
4.一種切條機(jī),其特征在于,包括對(duì)偏振膜進(jìn)行放卷的放卷部和卷取偏振膜的卷取部,在所述放卷部與卷取部之間,設(shè)有權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的激光切割裝置。
全文摘要
本發(fā)明揭示的激光切割裝置(10)是將激光(L6)照射到偏振膜(6)上并進(jìn)行切割的裝置,包括振蕩激光(L1)的激光振蕩器(1),將由激光振蕩器(1)振蕩的激光向偏振膜(6)反射的反射鏡(3),以及配置于偏振膜(6)與反射鏡(3)之間,并聚焦激光(L6)的聚集透鏡(5),在反射鏡(3)與聚集透鏡(5)之間,備置透射和反射激光(L3)的分光器(4)。
文檔編號(hào)B23K26/40GK103153526SQ201180048178
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2011年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月6日
發(fā)明者植田幸治, 岸崎和范 申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社
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