激光加工設備用工作臺裝置制造方法
【專利摘要】一種激光加工設備用工作臺裝置，其包括工作臺(12)和直線伺服電機(14)，該工作臺(12)的兩側(cè)下部被具有能沿彼此平行地設置的一對導軌(15)移動的滑塊(16)的直線引導件(13)支承，該直線伺服電機(14)用于使工作臺沿導軌移動，作為直線伺服電機使用帶芯型的直線伺服電機，直線伺服電機的定子(17)以朝向工作臺側(cè)的狀態(tài)配置在導軌的外側(cè)的比導軌高的位置，并且，在工作臺的兩側(cè)部，直線伺服電機的動子(18)配置在與定子的靠工作臺的一側(cè)相對的位置。由此，能夠消除因工作臺自身的重量而導致的工作臺中央部向下方撓曲，還能夠可靠地進行采用激光的超微細加工。
【專利說明】激光加工設備用工作臺裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光加工設備用工作臺裝置，詳細而言，涉及在對金屬薄板實施微細的激光加工時使用的工作臺裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]例如，在利用激光加工制造在印刷電路板上印刷膏狀釬焊料時所使用的金屬掩模時，使金屬薄板與激光加工頭相對移動，利用激光照射金屬薄板的規(guī)定位置來進行制造。用于這樣的加工的工作臺通常以利用直線引導件而能夠直線移動的狀態(tài)設置工作臺，并且使用直線伺服電機作為工作臺移動用的驅(qū)動源(例如，參照專利文獻I)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開2004 - 112864號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

_6] 發(fā)明要解決的問題
[0007]作為使金屬薄板和激光加工頭相對移動的單元，有使激光加工頭固定、使保持有金屬薄板的工作臺移動的結(jié)構(gòu)和使金屬薄板固定、使搭載有激光加工頭的工作臺移動的結(jié)構(gòu)。對于使金屬薄板移動的結(jié)構(gòu)來說，在金屬薄板的面積變大時，隨著工作臺的大型化、重量增加而容易產(chǎn)生振動，這成為導致出現(xiàn)加工誤差的原因，因此優(yōu)選使激光加工頭移動的結(jié)構(gòu)。但是，對于使激光加工頭移動的結(jié)構(gòu)來說也存在如下問題:若金屬薄板的面積較大，則搭載激光加工頭的工作臺變長，重量也增加，因此工作臺由于自身的重量而其中央向下方撓曲。即使工作臺的撓曲很小，在進行激光加工金屬掩模這樣的超微細的加工時，哪怕是數(shù)微米程度的撓曲也會影響產(chǎn)品的品質(zhì)。
[0008]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種激光加工設備用工作臺裝置，其能夠消除因工作臺自身的重量而導致的工作臺中央部向下方撓曲，還能夠可靠地進行采用激光的超微細加工。
_9] 用于解決問題的方案
[0010]為了達到上述目的，本發(fā)明的激光加工設備用工作臺裝置包括工作臺和直線伺服電機，上述工作臺被設置為其兩側(cè)下部被直線引導件支承而能夠沿導軌的長度方向移動，該直線引導件包括彼此平行地設置的一對上述導軌和被各導軌分別引導而沿導軌移動的滑塊，上述直線伺服電機用于使該工作臺沿上述導軌移動，其特征在于，上述直線伺服電機使用帶芯型的直線伺服電機，在上述導軌的外側(cè)，該直線伺服電機的定子分別以與各導軌平行且朝向工作臺側(cè)的狀態(tài)配置在比該導軌高的位置，并且，在上述工作臺的兩側(cè)部，上述直線伺服電機的動子配置在與上述定子的靠工作臺的一側(cè)相對的位置。
[0011]發(fā)明的效果
[0012]采用本發(fā)明的激光加工設備用工作臺裝置，由于配置于一對導軌的外側(cè)上方位置的定子和安裝在工作臺的兩側(cè)部的動子之間的吸引力而在比導軌高的位置產(chǎn)生從兩側(cè)拉拽工作臺的張力，因此能夠防止工作臺的中央部因工作臺自身的重量而向下方撓曲。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是表示本發(fā)明的激光加工設備用工作臺裝置的一實施例的主要部分的主視圖。
[0014]圖2是該工作臺裝置的主視圖。
[0015]圖3是該工作臺裝置的俯視圖。
【具體實施方式】
[0016]本實施例所示的激光加工設備用工作臺裝置在基臺11的兩側(cè)部分分別具有用于將門型構(gòu)造的工作臺12以能夠移動的方式支承的直線引導件13和用于使工作臺12移動的作為驅(qū)動源的直線伺服電機14。直線引導件13包括彼此平行地設置的一對導軌15、15和被各導軌15、15分別引導而能沿導軌15的長度方向移動的滑塊16、16，滑塊16安裝于被形成在工作臺12的臺面部12a的兩側(cè)下部的腿部12b的下表面，以從導軌15的上方騎跨在導軌15上的方式設置。
[0017]上述直線伺服電機14為帶芯型的直線伺服電機，由磁極交替地排列設置的定子17和在芯上纏繞導線而成的動子18構(gòu)成。在豎立于上述導軌15的外側(cè)的支承構(gòu)件Ila的內(nèi)表面(靠工作臺側(cè)的表面)的比導軌15高的位置，上述定子17以朝向工作臺12側(cè)的狀態(tài)且以與導軌15平行地沿著導軌15的狀態(tài)在基臺11的整個長度范圍內(nèi)配置。并且，在上述工作臺12的上部外表面、即腿部12b的上部的臺面部12a的兩側(cè)部且是在比上述導軌15高的位置，上述動子18分別安裝在成為與上述定子17的靠工作臺12的一側(cè)相對的狀態(tài)的位置，在導軌15和動子18之間設有規(guī)定的間隔。
[0018]這樣，設置為能夠借助直線引導件13的以從上方騎跨在導軌15上的方式形成的滑塊16使門型構(gòu)造的工作臺12沿導軌15移動，并且，將帶芯型的直線伺服電機14以相對的面朝向鉛垂方向地橫向配置在基臺11的支承構(gòu)件Ila與工作臺12的臺面部12a之間的比導軌15靠上方的位置，從而利用直線伺服電機14的定子17和動子18之間的磁力，在比導軌15高位置產(chǎn)生從工作臺12的兩側(cè)拉拽工作臺12的方向的較大的吸引力。
[0019]由此，能夠利用上述直線伺服電機14的定子17和動子18之間的吸引力抵消因自重而導致工作臺12的中央部向下方撓曲時作用于腿部12b的上部的朝向工作臺12的中心方向的力，能夠?qū)⑼炔?2b保持為直立狀態(tài)并防止工作臺12的中央部因工作臺12的自重而向下方撓曲。
[0020]因而，能夠保持工作臺12的平面度，能夠保持搭載于工作臺12并沿引導件21在工作臺12的長度方向上移動的激光加工頭22的上下方向位置恒定。由此，配置于激光加工頭22的下方的金屬薄板與激光加工頭22之間的距離不受激光加工頭22的移動位置影響地保持為恒定，能夠確保對金屬薄板實施超微細加工而形成金屬掩模時的加工精度，能夠謀求品質(zhì)的穩(wěn)定化、成品率的提聞。
[0021]帶芯型的直線伺服電機14相對于上述直線引導件13的導軌15的高度能夠根據(jù)工作臺12的重量、剛性、一對導軌15、15之間的距離、撓曲容許量、定子17與動子18之間的吸引力等各種條件來設定，優(yōu)選配置在成為從兩側(cè)將工作臺12的臺面部的兩端拉拽為一直線狀的狀態(tài)的位置。
[0022]另外，工作臺裝置所使用的位置檢測單元、移動控制單元并不特別限定，工作臺裝置的使用目的也為任意。
[0023]附圖標記說明
[0024]11，基臺；lla，支承構(gòu)件；12，工作臺；12a，臺面部；12b，腿部；13，直線引導件；14，直線伺服電機；15，導軌；16，滑塊；17，定子；18，動子；21，引導件；22，激光加工頭。
【權(quán)利要求】
1.一種激光加工設備用工作臺裝置， 其包括工作臺和直線伺服電機， 上述工作臺被設置為其兩側(cè)下部被直線引導件支承而能夠沿導軌的長度方向移動，該直線引導件包括彼此平行地設置的一對上述導軌和被各導軌分別引導而沿導軌移動的滑塊， 上述直線伺服電機用于使該工作臺沿上述導軌移動， 其特征在于， 上述直線伺服電機使用帶芯型的直線伺服電機，在上述導軌的外側(cè)，該直線伺服電機的定子分別以與各導軌平行且朝向工作臺側(cè)的狀態(tài)配置在比該導軌高的位置，并且，在上述工作臺的兩側(cè)部，上述直線伺服電機的動子配置在與上述定子的靠工作臺的一側(cè)相對的位置。
【文檔編號】B23K26/08GK103930236SQ201180074785
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2011年11月11日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月11日
【發(fā)明者】西脅靖樹 申請人:日本車輛制造株式會社