專利名稱：一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微細(xì)精密加工和檢測領(lǐng)域，尤其涉及一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
隨著機(jī)械和電子技術(shù)的不斷發(fā)展，越來越多的機(jī)械或者冷卻裝置上需要加工出微細(xì)的流道，譬如微通道或者微射流結(jié)構(gòu)以及微通道或者微射流陣列結(jié)構(gòu)，主要采用特征尺寸在0. 5mm下的微孔或者微槽，這樣的微細(xì)流道的加工質(zhì)量尤其是出口的加工質(zhì)量往往決定著加工和使用效果的好壞。采用精密機(jī)械加工(鉆削或者銑削等)、電加工、化學(xué)腐蝕加工或者激光加工微細(xì)流道，一般往往難以克服的一個問題是必然產(chǎn)生小的殘留碎屑，隨著加工伴隨產(chǎn)生，這些較大的碎屑很容易由于重力和機(jī)械力的作用進(jìn)入并積存在流道內(nèi)部，鑲嵌或者阻塞在流道內(nèi)，難以甚至無法清除，尤其是在加工完成之后，這些碎屑必然影響流道的流通能力，常常造成機(jī)械或者冷卻裝置性能大幅度降低直至完全失效。另外，如果不能在加工過程中對這些精細(xì)加工的質(zhì)量進(jìn)行檢測，待加工完成后，通過其它方式進(jìn)行檢測，當(dāng)質(zhì)量不合格時，一般就只能造成廢品，因為加工量極其微小，裝卡的精密程度又特別高，很難進(jìn)行再次重新裝卡，即使可以重新加工，花費(fèi)的時間和精力也是巨大的。因此，這種微孔或者微槽的大量加工成品率一般都很低。一般情況下，對這種精細(xì)加工的質(zhì)量檢測多半是通過尺寸測量，但是這種微小尺寸的測量比較困難，而流道內(nèi)部尺寸更是無法測量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)和方法，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中加工碎屑易堵塞微細(xì)流道，影響微細(xì)流道加工質(zhì)量的問題。為了解決上述問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下一方面，本發(fā)明提供一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，包括微細(xì)流道加工裝置、待加工工件、至少一面由所述待加工工件組成的檢測腔體、與所述檢測腔體密封連接的恒壓流體產(chǎn)生裝置、以及加工微細(xì)流道時固定所述待加工工件的夾具；其中所述微細(xì)流道加工裝置，用于在所述待加工工件上，從所述檢測腔體外側(cè)向檢測腔體內(nèi)側(cè)加工微細(xì)流道；所述恒壓流體產(chǎn)生裝置，用于在加工微細(xì)流道過程中，向所述檢測腔體內(nèi)充滿恒定壓力的流體；其中，腔內(nèi)流體恒定壓力高于加工側(cè)所屬環(huán)境的壓力。優(yōu)選地，本發(fā)明所述系統(tǒng)還包括流量監(jiān)測裝置和加工控制裝置；所述流量監(jiān)測裝置，布置在所述恒壓流體產(chǎn)生裝置與檢測腔體間的流體連接通道上，用于在加工得到微細(xì)流道時，實時檢測所述微細(xì)流道外溢流體的瞬時流量；所述控制裝置，用于判斷所述流量監(jiān)測裝置監(jiān)測的流量值是否達(dá)到設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值，若是，則向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送繼續(xù)加工當(dāng)前微細(xì)流道的命令指示；否則，向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送加工下一微細(xì)流道的命令指示。進(jìn)一步地，本發(fā)明所述系統(tǒng)中所述恒壓流體產(chǎn)生裝置具體包括壓力流體產(chǎn)生源，用于產(chǎn)生壓力流體；壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置，用于控制產(chǎn)生的所述壓力流體以恒定的壓力輸出至所述檢測腔體內(nèi)。進(jìn)一步地，本發(fā)明所述系統(tǒng)中，當(dāng)所述待加工工件為腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件的內(nèi)部腔體；當(dāng)所述待加工工件為非腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件與定制的殼體密封組合后得到的腔體。進(jìn)一步地，本發(fā)明所述系統(tǒng)中，所述流體為液體或者氣體；所述微細(xì)流道的加工方式包括機(jī)械加工、電學(xué)加工、化學(xué)加工或者激光束加工。其中，當(dāng)所述流體為液體時，所述液體包括冷卻劑和/或潤滑劑；當(dāng)所述流體為氣體時，所述氣體包括干燥壓縮空氣。另一方面，本發(fā)明還提供一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的方法，包括步驟1，將待加工工件固定在夾具上；步驟2，利用恒壓流體產(chǎn)生裝置向至少一面由所述待加工工件組成的檢測腔體內(nèi)充滿恒定壓力的流體；步驟3，利用微細(xì)流道加工裝置在所述待加工工件上，從所述檢測腔體外側(cè)向檢測腔體內(nèi)側(cè)加工微細(xì)流道；步驟4，當(dāng)加工得到微細(xì)流道時，利用所述檢測腔體內(nèi)外存在壓力差，通過流體將所述微細(xì)流道內(nèi)加工產(chǎn)生的殘渣帶出。優(yōu)選地，本發(fā)明所述方法中，所述步驟4后還包括步驟5，利用布置在所述恒壓流體產(chǎn)生裝置與檢測腔體間流體連接通道上的流量監(jiān)測裝置實時檢測所述微細(xì)流道外溢流體的瞬時流量；步驟6，利用控制裝置判斷流量監(jiān)測裝置監(jiān)測到的流量值是否達(dá)到設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值，若是，則向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送繼續(xù)加工當(dāng)前微細(xì)流道的命令指示；否則，向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送加工下一微細(xì)流道的命令指示。進(jìn)一步地，本發(fā)明所述方法中，當(dāng)所述待加工工件為腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件的內(nèi)部腔體；當(dāng)所述待加工工件為非腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件與定制的殼體密封組合后得到的腔體。進(jìn)一步地，本發(fā)明所述方法中，所述流體為液體或者氣體，所述液體包括冷卻劑和/或潤滑劑；所述氣體包括干燥壓縮空氣；所述微細(xì)流道的加工方式包括機(jī)械加工、電學(xué)加工、化學(xué)加工和激光束加工。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明有益效果如下首先、本發(fā)明所述系統(tǒng)和方法，在非加工側(cè)施加一個正壓力，從而保證在加工過程中產(chǎn)生的加工碎屑不會進(jìn)入微流道的內(nèi)部，總是被正壓力作用向外擠壓，直至排出到外部，從而避免了加工碎屑影響加工質(zhì)量的問題；其次、本發(fā)明所述系統(tǒng)和方法，通過流量監(jiān)測裝置實時檢測被加工出的微細(xì)流道中流出的瞬時流量，直到達(dá)到合格的標(biāo)準(zhǔn)才停止加工，因此大批量加工出的需加工的工件或者被加工出的微細(xì)流道一致性非常好，進(jìn)一步提高了加工質(zhì)量；第三、本發(fā)明所述系統(tǒng)和方法，當(dāng)采用機(jī)械加工方式時，在非加工側(cè)施加一個正壓力可以使被加工部分在壓力作用下凸向加工刀具，加工更加方便和快捷，可明顯縮短加工時間，從而提高了一定流通能力的微細(xì)流道的生產(chǎn)效率；第四、本發(fā)明所述系統(tǒng)和方法，當(dāng)采用機(jī)械加工方式時，在被加工件背部施加一定壓力流體還可以在加工中起到輔助冷卻和潤滑等作用，只要微細(xì)流道出口被加工成為貫通，即使還沒有達(dá)到需要的加工質(zhì)量，流體可以立刻冷卻機(jī)械加工中高速運(yùn)轉(zhuǎn)而發(fā)熱的刀
具；第五、本發(fā)明所述系統(tǒng)和方法，當(dāng)采用激光加工方式時，在被加工件背部施加一定壓力流體的方法還可以在加工中起到防止被加工部分的材料熔化向微細(xì)流道內(nèi)流動等作用，被加工部分的材料熔化向微細(xì)流道外流動則很容易被觀察到，也便于處理。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明系統(tǒng)實施例一提供的一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明系統(tǒng)實施例一提供的又一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明系統(tǒng)實施例二提供的一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明方法實施例提供的一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的方法流程圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)和方法，所述系統(tǒng)和方法能夠在工件的外表面加工微小精密的孔、槽等作為流體的出口，可以保證加工高速快捷，不在流道內(nèi)部殘留難以清除的碎屑，并且可以同步檢測該流體出口的通暢性和一定條件下的流通能力，便于在線修理不合格品直至達(dá)到合格要求。下面分別從系統(tǒng)和方法兩個方面對本發(fā)明所述的技術(shù)方案進(jìn)行闡述。系統(tǒng)實施例一本實施例提供一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，如圖1所示，所述系統(tǒng)包括待加工工件110、至少一面由所述待加工工件110組成的檢測腔體120、與所述檢測腔體120密封連接的恒壓流體產(chǎn)生裝置130、加工微細(xì)流道的微細(xì)流道加工裝置140、以及加工微細(xì)流道時固定所述待加工工件的夾具150，其中待加工工件110為準(zhǔn)備加工微細(xì)流道的工件，在進(jìn)行微細(xì)流道加工時，其固定在夾具150上。檢測腔體120在待加工工件110為腔體結(jié)構(gòu)時(即待加工工件具有內(nèi)部空間)，為待加工工件110內(nèi)部的腔體，如圖1中所示的檢測腔體結(jié)構(gòu)；檢測腔體120在待加工工件110為非腔體結(jié)構(gòu)時(即待加工工件不具有內(nèi)部空間)，為待加工工件Iio與定制殼體160密封組合后得到的腔體，其結(jié)構(gòu)如圖2所示。恒壓流體產(chǎn)生裝置130，用于在加工微細(xì)流道過程中，向檢測腔體120內(nèi)充滿恒定壓力的流體；其中，所述腔內(nèi)流體恒定壓力高于加工側(cè)(即檢測腔體外側(cè))所屬環(huán)境的壓力，從而形成正壓力；所述流體可以為液體或者氣體，只需要瞬時流量對壓力和流通截面積比較敏感即可。具體的，當(dāng)采用液體流體時，本發(fā)明可以給出以下優(yōu)選方案所述流體可以為待加工工件110在實際被使用時所使用的流體；或者，可以為一種或幾種液體的混合體，便于實現(xiàn)冷卻(冷卻劑)和輔助潤滑(潤滑劑)作用；當(dāng)采用氣體流體時，可以但不限于為干燥壓縮空氣。進(jìn)一步地，在具體實施上，該恒壓流體產(chǎn)生裝置130具體包括壓力流體產(chǎn)生源131和壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置132 ；其中壓力流體產(chǎn)生源131，用于產(chǎn)生壓力流體；該壓力流體產(chǎn)生源131可以為各種形式的機(jī)械壓縮裝置，也可以為已經(jīng)預(yù)先充灌一定壓力的壓力容器；壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置132，用于控制產(chǎn)生的所述壓力流體以恒定的壓力輸出至檢測腔體120內(nèi)。該壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置132進(jìn)一步包括壓力流體入口壓力測量儀表1321和壓力流體出口壓力測量儀表1322，分別監(jiān)測輸入壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置132的流體壓力值和輸出壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置132的流體壓力值。微細(xì)流道加工裝置140，用于在待加工工件110上，從檢測腔體120外側(cè)向檢測腔體120內(nèi)側(cè)加工微細(xì)流道；其中，微細(xì)流道加工裝置加工微細(xì)流道的方式包括但不限于為機(jī)械加工、電學(xué)加工、化學(xué)加工或者激光束加工。綜上所述，本發(fā)明實施例所述系統(tǒng)進(jìn)行微細(xì)流道加工時，在非加工側(cè)通過恒壓流體產(chǎn)生裝置130為需加工的工件110背面施加一個合適的恒定的正壓力，使得在加工側(cè)對需加工的工件110進(jìn)行機(jī)械或者其它方式的加工時，一旦加工到需加工的工件110貫通，由于檢測腔體120內(nèi)外存在壓力差，腔體內(nèi)的壓力流體可以從被加工出的微細(xì)流道(微孔或者微槽)中流出，并一直保持一定內(nèi)部壓力向外流出，從而保證加工過程中產(chǎn)生的碎屑不在流道內(nèi)部殘留。系統(tǒng)實施例二本實施例提供一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，如圖3所示，本實施例所述系統(tǒng)包括實施例一所述系統(tǒng)的所有結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步地，本實施例所述系統(tǒng)還包括流量監(jiān)測裝置和加工控制裝置，也就是說本實施例是對實施例一的進(jìn)一步擴(kuò)展，所以對于實施例一已描述的結(jié)構(gòu)組成本實施例不再贅述，但為了表述清楚，將實施例一中的各裝置的標(biāo)號與圖3相適應(yīng)。下面對本實施例擴(kuò)展的功能模塊進(jìn)行詳細(xì)描述，本發(fā)明實施例所述的系統(tǒng)還包括
流量監(jiān)測裝置370，用于在加工得到微細(xì)流道時，實時檢測所述微細(xì)流道外溢流體的瞬時流量；需要說明的是，流量監(jiān)測裝置370優(yōu)選的布置在恒壓流體產(chǎn)生裝置330與檢測腔體320間的流體傳輸通道上，所述流體傳輸通道可以為檢測腔體320與壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置332間的傳輸通道，也可以為壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置332與壓力流體產(chǎn)生源331間的傳輸通道上。加工控制裝置380，用于判斷流量監(jiān)測裝置370監(jiān)測的流量值是否達(dá)到設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值，若是，則向微細(xì)流道加工裝置340發(fā)送繼續(xù)加工當(dāng)前微細(xì)流道的命令指示；否則，向微細(xì)流道加工裝置340發(fā)送加工下一微細(xì)流道的命令指示。也就是說，本實施例，通過流量監(jiān)測裝置370對加工得到的微細(xì)流道的質(zhì)量進(jìn)行測量，使得當(dāng)存在微細(xì)流道不符合規(guī)格時，可以在當(dāng)前加工位置未變的前提下繼續(xù)對不合格的微細(xì)流道進(jìn)行加工，直到符合規(guī)格為止，這樣不僅實現(xiàn)了各微細(xì)流道的一致性，而且極大的提高了微細(xì)流道的合格率。綜上所述，本實施例所述的系統(tǒng)進(jìn)行微細(xì)流道加工時，在非加工側(cè)通過恒壓流體產(chǎn)生裝置330為需加工的工件310背面施加一個合適的恒定的正壓力，使得在加工側(cè)對需加工的工件310進(jìn)行機(jī)械或者其它方式的加工，一旦加工到需加工的工件310貫通，檢測腔體內(nèi)的壓力流體可以從被加工出的微細(xì)流道中流出，并一直保持一定內(nèi)部壓力向外流出，從而保證加工過程中產(chǎn)生的碎屑不在流道內(nèi)部殘留。另外，本實施例中，當(dāng)需加工的工件310貫通后，流量監(jiān)測裝置370隨時檢測被加工出的微細(xì)流道中流出的流體的瞬時流量，直到流通能力達(dá)到合格要求。其中，檢測瞬時流量的目的是由于充滿一定壓力流體的檢測腔體420的壓力恒定，出口外的壓力為大氣壓，也為恒定，所以只要加工合格，加工得到的微細(xì)流道的流通能力也是一定值。所以，當(dāng)流量監(jiān)測裝置370檢測被加工出的微細(xì)流道中流出的流體的瞬時流量符合規(guī)格時，可移動微細(xì)流道加工裝置340到新的加工位置，繼續(xù)加工；然而，當(dāng)流量監(jiān)測裝置370檢測被加工出的微細(xì)流道中流出的流體的瞬時流量不符合規(guī)格時，此時，由于被加工的工件310的位置未改變，即相對加工位置未發(fā)生任何變化，所以可以繼續(xù)利用微細(xì)流道加工裝置340繼續(xù)一次或者多次加工，直至達(dá)到合格要求。當(dāng)一件需加工的工件310上所有的微細(xì)流道都加工完成之后，需要加工下一件工件時，卸下固定待加工工件310的夾具350，取下加工合格的工件，更換為另一件需加工的工件，安裝固定好夾具350，重復(fù)上述操作，就可以進(jìn)行下一件工件的加工。方法實施例本實施例提供一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的方法，該方法應(yīng)用在上述實施例一、二所述的系統(tǒng)中，如圖4所示，所述方法包括步驟S401，將待加工工件固定在夾具上；步驟S402，利用恒壓流體產(chǎn)生裝置向至少一面由所述待加工工件組成的檢測腔體內(nèi)充滿恒定壓力的流體；其中，當(dāng)所述待加工工件為腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件的內(nèi)部腔體；當(dāng)所述待加工工件為非腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件與定制的殼體密封組合后得到的腔體；
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所述流體為液體或者氣體，所述液體可以但不限于為冷卻劑和/或潤滑劑；所述氣體可以但不限于為干燥壓縮空氣。步驟S403，利用微細(xì)流道加工裝置在所述待加工工件上，從所述檢測腔體外側(cè)向檢測腔體內(nèi)側(cè)加工微細(xì)流道；其中，所述微細(xì)流道的加工方式包括機(jī)械加工、電學(xué)加工、化學(xué)加工和激光束加工。步驟S404，當(dāng)加工得到微細(xì)流道時，利用所述檢測腔體內(nèi)外存在壓力差，通過流體將所述微細(xì)流道內(nèi)加工產(chǎn)生的殘渣帶出。優(yōu)選地，在所述步驟S404后還包括步驟S405，利用布置在所述恒壓流體產(chǎn)生裝置與檢測腔體間流體連接通道上的流量監(jiān)測裝置實時檢測所述微細(xì)流道外溢流體的瞬時流量；步驟S406，利用控制裝置判斷流量監(jiān)測裝置監(jiān)測到的流量值是否達(dá)到設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值，若是，則向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送繼續(xù)加工當(dāng)前微細(xì)流道的命令指示；否則，向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送加工下一微細(xì)流道的命令指示。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，其特征在于，包括微細(xì)流道加工裝置、待加工工件、至少一面由所述待加工工件組成的檢測腔體、與所述檢測腔體密封連接的恒壓流體產(chǎn)生裝置、以及加工微細(xì)流道時固定所述待加工工件的夾具；所述微細(xì)流道加工裝置，用于在所述待加工工件上，從所述檢測腔體外側(cè)向檢測腔體內(nèi)側(cè)加工微細(xì)流道；所述恒壓流體產(chǎn)生裝置，用于在加工微細(xì)流道過程中，向所述檢測腔體內(nèi)充滿恒定壓力的流體；其中，腔內(nèi)流體恒定壓力高于加工側(cè)所屬環(huán)境的壓力。
2.如權(quán)利要求1所述的提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括流量監(jiān)測裝置和加工控制裝置；所述流量監(jiān)測裝置，布置在所述恒壓流體產(chǎn)生裝置與檢測腔體間的流體連接通道上，用于在加工得到微細(xì)流道時，實時檢測所述微細(xì)流道外溢流體的瞬時流量；所述控制裝置，用于判斷所述流量監(jiān)測裝置監(jiān)測的流量值是否達(dá)到設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值，若是，則向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送繼續(xù)加工當(dāng)前微細(xì)流道的命令指示；否則，向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送加工下一微細(xì)流道的命令指示。
3.如權(quán)利要求1或2所述的提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，其特征在于，所述恒壓流體產(chǎn)生裝置具體包括壓力流體產(chǎn)生源，用于產(chǎn)生壓力流體；壓力調(diào)節(jié)和穩(wěn)定裝置，用于控制產(chǎn)生的所述壓力流體以恒定的壓力輸出至所述檢測腔體內(nèi)。
4.如權(quán)利要求1或2所述的提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述待加工工件為腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件的內(nèi)部腔體；當(dāng)所述待加工工件為非腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件與定制的殼體密封組合后得到的腔體。
5.如權(quán)利要求1或2所述的提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，其特征在于，所述流體為液體或者氣體；所述微細(xì)流道的加工方式包括機(jī)械加工、電學(xué)加工、化學(xué)加工或者激光束加工。
6.如權(quán)利要求5所述的提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述流體為液體時，所述液體包括冷卻劑和/或潤滑劑；當(dāng)所述流體為氣體時，所述氣體包括干燥壓縮空氣。
7.—種如權(quán)利要求1所述系統(tǒng)提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的方法，其特征在于，包括步驟1，將待加工工件固定在夾具上；步驟2，利用恒壓流體產(chǎn)生裝置向至少一面由所述待加工工件組成的檢測腔體內(nèi)充滿恒定壓力的流體；步驟3，利用微細(xì)流道加工裝置在所述待加工工件上，從所述檢測腔體外側(cè)向檢測腔體內(nèi)側(cè)加工微細(xì)流道；步驟4，當(dāng)加工得到微細(xì)流道時，利用所述檢測腔體內(nèi)外存在壓力差，通過流體將所述微細(xì)流道內(nèi)加工產(chǎn)生的殘渣帶出。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述步驟4后還包括步驟5，利用布置在所述恒壓流體產(chǎn)生裝置與檢測腔體間流體連接通道上的流量監(jiān)測裝置實時檢測所述微細(xì)流道外溢流體的瞬時流量；步驟6，利用控制裝置判斷流量監(jiān)測裝置監(jiān)測到的流量值是否達(dá)到設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值，若是，則向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送繼續(xù)加工當(dāng)前微細(xì)流道的命令指示；否則，向所述微細(xì)流道加工裝置發(fā)送加工下一微細(xì)流道的命令指示。
9.如權(quán)利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述方法中當(dāng)所述待加工工件為腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件的內(nèi)部腔體；當(dāng)所述待加工工件為非腔體結(jié)構(gòu)時，所述檢測腔體為所述待加工工件與定制的殼體密封組合后得到的腔體。
10.如權(quán)利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述方法中所述流體為液體或者氣體，所述液體包括冷卻劑和/或潤滑劑；所述氣體包括干燥壓縮空氣；所述微細(xì)流道的加工方式包括機(jī)械加工、電學(xué)加工、化學(xué)加工和激光束加工。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種提高微細(xì)流道加工質(zhì)量的系統(tǒng)和方法，所述系統(tǒng)包括微細(xì)流道加工裝置、待加工工件、至少一面由所述待加工工件組成的檢測腔體、與所述檢測腔體密封連接的恒壓流體產(chǎn)生裝置、以及加工微細(xì)流道時固定所述待加工工件的夾具；所述微細(xì)流道加工裝置，用于在待加工工件上，從檢測腔體外側(cè)向檢測腔體內(nèi)側(cè)加工微細(xì)流道；所述恒壓流體產(chǎn)生裝置，用于在加工微細(xì)流道過程中，向檢測腔體內(nèi)充滿恒定壓力的流體；其中，腔內(nèi)流體恒定壓力高于加工側(cè)所屬環(huán)境的壓力。本發(fā)明在非加工側(cè)施加一個正壓力，保證在加工過程中產(chǎn)生的加工碎屑不會進(jìn)入微流道的內(nèi)部，從而避免了加工碎屑影響加工質(zhì)量的問題。
文檔編號B23Q15/00GK102554589SQ20121000347
公開日2012年7月11日 申請日期2012年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月6日
發(fā)明者劉剛, 劉洋, 劉磊, 唐曉軍, 徐鎏婧, 梁興波, 王超, 趙鴻, 陳三斌 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第十一研究所