專利名稱：具有定位精度修正功能的電火花線切割加工機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有對受到機(jī)械的設(shè)置狀態(tài)或加工液重量、エ件重量等的影響而惡化的定位精度進(jìn)行提高的功能的電火花線切割加工機(jī)。
背景技術(shù)：
通常，電火花線切割加工機(jī)，在裝配エ廠中使用激光干涉測長器(參照日本特開昭62 一 271633號公報)或者間距規(guī)(參照日本特開平3 — 161247號公報)等昂貴的高精度的測定設(shè)備，測定各驅(qū)動軸的定位精度，進(jìn)行間距誤差修正。
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在圖21中，(a)是說明在裝配エ廠中進(jìn)行間距誤差修正的基準(zhǔn)的狀態(tài)的圖，(b)是說明受到加工液或者エ件的影響底座彎曲的狀態(tài)的圖，(c)是說明底座強(qiáng)度弱，與底座凹陷相伴此底座彎曲的狀態(tài)的圖。(b)在底座中央部凹陷，與(a)相比兩點(diǎn)間的距離縮短。(c)在底座兩側(cè)凹陷，與(a)相比兩點(diǎn)間的距離增長。此外，所謂底座是電火花線切割加工機(jī)中放置保持工作臺移動機(jī)構(gòu)的機(jī)構(gòu)部。圖22是說明圖21的(a)、(b)、(c)的間距誤差的圖。因為激光干涉測長器或者間距規(guī)等昂貴的高精度的測定設(shè)備不能在加工液中使用，所以在裝配エ廠中在加工槽中不積存加工液的狀態(tài)下進(jìn)行定位精度的測定。但是，在實際加工エ件時，需要在積存加工液到エ件上表面的高度以上，受加工液重量或者エ件重量的影響，有時無法使エ件的間距精度收斂基準(zhǔn)值內(nèi)。另外，從裝配エ廠發(fā)貨，在用戶的エ廠內(nèi)收貨，設(shè)置設(shè)備時，由于裝配エ廠和用戶エ廠的底座強(qiáng)度的不同或設(shè)備的調(diào)平狀態(tài)的差別，機(jī)械的彎曲量不同，所以有時定位精度變化。因此，理想的是需要在用戶エ廠中在設(shè)置設(shè)備后使用激光干涉測長器或者間距規(guī)等測定設(shè)備再次進(jìn)行間距誤差修正。但是，因為需要昂貴的測定設(shè)備或者測定設(shè)備的設(shè)置以及使用方法困難，所以在現(xiàn)實中難以由用戶進(jìn)行定位精度的測定。

發(fā)明內(nèi)容
因此，鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于提供ー種電火花線切割加工機(jī)，其具有對由于機(jī)械的設(shè)置狀態(tài)或加工液重量或エ件重量等的影響而惡化的定位精度進(jìn)行提聞的功能。本發(fā)明涉及ー種電火花線切割加工機(jī)，其具有貯存加工液的加工槽，在設(shè)置在該加工槽中的工作臺上放置エ件，根據(jù)從控制裝置輸出的指令使線電極相對于上述工作臺相對移動來加工所述エ件。該電火花線切割加工機(jī)為了達(dá)成上述目的，具備(1)接觸檢測用夾具的組合，其包含具有第一接觸檢測部的第一接觸檢測用夾具和具有第二接觸檢測部的第二接觸檢測用夾具，這些第一、第二接觸檢測用夾具以面對第一、第二接觸檢測部的方式在上述工作臺上隔開預(yù)定的距離來設(shè)置；(2)接觸檢測部，其用于檢測上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具的接觸；(3)坐標(biāo)值存儲部，其用于分別存儲在上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時移動的軸的坐標(biāo)值；(4)基準(zhǔn)距離存儲部，其用于在能夠得到希望的定位精度的第一狀態(tài)下使上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸，根據(jù)在上述坐標(biāo)值存儲部中存儲的上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時的坐標(biāo)值，求出并存儲上述第一接觸檢測用夾具和上述第二接觸檢測用夾具的距離來作為基準(zhǔn)距離；(5)實際距離存儲部，其用于在與上述第一狀態(tài)不同的第二狀態(tài)下使上述線電極與第一、第二接觸檢測用夾具接觸，根據(jù)在上述坐標(biāo)值存儲部中存儲的上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時的坐標(biāo)值，存儲上述第一接觸檢測用夾具和上述第二接觸檢測用夾具的距離作為實際距離；和(6)修正部，其用于計算在上述基準(zhǔn)距離存儲部中存儲的基準(zhǔn)距離和在上述實際距離存儲部中存儲的實際距離的差，根據(jù)離開接觸位置坐標(biāo)的距離修正上述指令，以便在實際加工時消除上述差?？梢园焉鲜龅谝粻顟B(tài)作為在加工臺上不放置工件而且在加工槽中不積存加工液的狀態(tài)，把上述第二狀態(tài)作為在加工臺上放置工件，在加工槽中積存加工液到規(guī)定的加工液高度的狀態(tài)。另外，上述第二狀態(tài)也可以通過在實際加工時的加工液高度之上積存相當(dāng)于在上述工作臺上放置的工件的重量的加工液來實現(xiàn)?？梢园焉鲜龅谝粻顟B(tài)作為在能夠得到希望的定位精度的強(qiáng)度的底座上設(shè)置了上述電火花線切割加工機(jī)的狀態(tài)，另外，可以把上述第二狀態(tài)作為在底座的強(qiáng)度和上述第一·狀態(tài)不同的場所設(shè)置了上述電火花線切割加工機(jī)的狀態(tài)。上述接觸檢測用夾具的組合可以是在移動軸的每一移動方向上設(shè)置了多個接觸檢測用夾具的組合。上述接觸檢測用夾具的組合可以是并排設(shè)置了多個接觸檢測用夾具的組合。上述接觸檢測用夾具可以是在板狀部件上設(shè)置有貫通孔的接觸檢測用夾具，通過使上述線電極接觸該貫通孔的內(nèi)表面的至少3個位置求上述孔的中心坐標(biāo)，把該坐標(biāo)值作為上述接觸檢測用夾具和上述線電極接觸時的移動軸的坐標(biāo)值。上述接觸檢測用夾具的組合也可以為具有至少兩個與線電極接觸的接觸部的單一的接觸檢測用夾具。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供具有對由于機(jī)械的設(shè)置狀態(tài)、或者加工液重量或者工件重量等的影響而惡化的定位精度進(jìn)行提聞的功能的電火花線切割加工機(jī)。


通過參照附圖對于以下的實施例的說明，本發(fā)明的上述以及其他的目的以及特征將會變得明了。附圖中圖I是本發(fā)明的電火花線切割加工機(jī)的一種實施方式的概要框圖；圖2是取下了加工槽的壁面的一部分所示的電火花線切割加工機(jī)的加工槽的外觀立體圖；圖3是接觸檢測用夾具的一例的外觀立體圖；圖4是表示與裝配工廠相同的負(fù)荷狀態(tài)下的測定接觸檢測用夾具和線電極的接觸位置的樣子的圖；圖5是表示在工作臺上設(shè)置工件、積存加工液的狀態(tài)下的接觸檢測用夾具與線電極的接觸位置測定的樣子的圖；圖6是表示用于修正定位精度的變化的修正量的傾斜O(jiān)的圖；圖7是說明測定X軸方向的夾具間距離的例子的圖8是說明測定Y軸方向的夾具間距離的例子的圖；圖9是說明同時測定X軸方向以及Y軸方向的距離的例子的圖；圖10是說明同時測定X軸方向以及Y軸方向的距離的例子的圖；圖11是說明對于接觸檢測用夾具線接觸的方向的圖；圖12是說明接觸檢測部成為圓孔的接觸檢測用夾具的例子的圖；圖13是說明使用圖12的接觸檢測用夾具的夾具間距離的測定例的圖；圖14是說明求出圖12的接觸檢測用夾具中的孔中心位置的方法的一例的圖；圖15是說明在支持部件的兩個位置分別安裝線電極接觸部的接觸檢測用夾具的圖；圖16是說明在一張板上在兩個位置開出能夠進(jìn)行接觸檢測的孔的接觸檢測用夾具的圖；圖17是說明使用3個接觸檢測用夾具的情況的例子的圖；圖18是表示裝配エ廠中的夾具間距離測定的樣子的圖；圖19是表示用戶エ廠中的夾具間距離測定的樣子的圖； 圖20是說明控制裝置內(nèi)的處理的概要的框圖；圖21，(a)是說明在裝配エ廠中進(jìn)行間距誤差修正的基準(zhǔn)的狀態(tài)的圖，(b)是說明受加工液或者エ件的影響底座彎曲的狀態(tài)的圖，(c)是說明底座強(qiáng)度弱，伴隨底座凹陷，此底座彎曲的狀態(tài)的圖；圖22是說明圖21的(a)、(b)、(c)中的間距誤差的圖。
具體實施例方式使用圖1的概略框圖說明本發(fā)明的電火花線切割加工機(jī)的一種實施方式。在電火花線切割加工機(jī)Μ的機(jī)構(gòu)部10上設(shè)置的工作臺13上放置エ件15。然后，通過在該エ件15和線電極14之間施加電壓,一邊產(chǎn)生電火花一邊使線電極14相對于エ件15移動，對エ件15進(jìn)行電火花加工。另外，當(dāng)在加工槽3內(nèi)迅速積存水的情況下，經(jīng)由用于迅速積存水的加工液供給路徑12供給并積存加工液。其后的加工液16的補(bǔ)給經(jīng)由加工液供給路徑Lla來進(jìn)行。該加工槽3內(nèi)的加工液中混入了通過電火花加工而產(chǎn)生的加工屑等，使該加工液16流出到污水槽8內(nèi)?；厥詹①A存在污水槽8內(nèi)的加工液16通過過濾泵P1被抽上來，通過過濾器F進(jìn)行過濾，在去除加工屑等后被提供給清水槽9。在清水槽9中貯存的加工液16經(jīng)由加工液供給路徑Lla通過循環(huán)泵P3被抽上來。然后，在其排出ロ進(jìn)行分支，一方經(jīng)由加工液供給路徑Lla作為補(bǔ)給水被提供給加エ槽3，另一方被提供給加工液冷卻裝置11，在冷卻控制后經(jīng)由加工液返回路徑Lie返回到清水槽9。加工槽3內(nèi)具有用于測定加工槽3內(nèi)的加工液的液位的壓カ傳感器6。根據(jù)壓カ傳感器6的檢測信號能夠把加工槽3內(nèi)的加工液16保持在希望的液位。并且，在加工槽3內(nèi)設(shè)置排水単元，設(shè)置排水ロ 7，以使加工槽3內(nèi)的加工液流出到污水槽8內(nèi)。在該排水單元中包含排水ロ閥5以及進(jìn)行排水ロ閥5的開閉的伺服電動機(jī)4。電火花線切割加工機(jī)通過具有顯示部102的控制裝置100控制。圖2是取下了加工槽的壁面的一部分所示的電火花線切割加工機(jī)的加工槽的外觀立體圖，在加工槽3周圍，在加工液的水位調(diào)整系統(tǒng)的水位檢測單元中使用壓力傳感器，在水位調(diào)整機(jī)構(gòu)中使用伺服電動機(jī)。電火花線切割加工機(jī)關(guān)閉門(未圖示)，在加工槽3內(nèi)積存加工液16，通過壓力傳感器6檢測水壓。通過檢測水壓能夠測定加工槽3內(nèi)的水位。另外，通過伺服電動機(jī)4調(diào)整排水口閥5的開度，控制水位。在電火花加工中因為一邊從上導(dǎo)線器I以及下導(dǎo)線器2噴出加工液一邊加工工件，所以通常在將排水口閥5打開預(yù)定量的狀態(tài)下進(jìn)行控制，以便排出流入加工槽3的量。此外，即使在排水口閥5完全關(guān)閉的狀態(tài)下，也有若干量的加工液漏出。下面說明本發(fā)明的誤差修正。在實施本發(fā)明的定位精度修正功能時，在放置工件15的工作臺13上安裝多個接 觸檢測用夾具，使線電極14與接觸檢測用夾具接觸，使用該接觸位置的坐標(biāo)，能夠計算誤差。圖3是接觸檢測用夾具的一例的外觀立體圖。接觸檢測用夾具20具有線電極接觸部22和支持該線電極接觸部22的支持部件
21。線電極接觸部22是具有導(dǎo)電性的圓柱形狀的部件。希望線電極14接觸的線電極接觸部22的表面具有理想的例如Rz 5μπι以下的表面粗糙度。支持部件21為具有凹部的近似U字型，在該凹部內(nèi)配置圓柱狀的線電極接觸部22，其兩端固定在支持部件21上。通過圓柱狀的具有導(dǎo)電性的線電極接觸部22，因為線電極接觸部22和線電極14成為點(diǎn)接觸，所以接觸檢測的精度高。為了將接觸檢測用夾具20安裝在工作臺13上，在支持部件21上設(shè)置了固定單元(未圖示)。該固定單元例如由夾持工作臺的上表面和下表面的板狀部件和擰緊該板狀部件的螺栓組成。下面說明用于修正由于重量變化引起的誤差的方法。圖4是表示在與裝配工廠相同的負(fù)荷狀態(tài)下，測定接觸檢測用夾具和線電極的接觸位置的樣子的圖。這里所謂與裝配工廠相同的負(fù)荷狀態(tài)是在加工槽3內(nèi)不積存加工液16，并且在工作臺13上不放置工件15的狀態(tài)。圖5是表示在工作臺13上放置工件15，并且積存了加工液16的狀態(tài)下測定接觸檢測用夾具20與線電極14的接觸位置的樣子的圖?！磳τ谥亓孔兓祵τ谠诠ぷ髋_13上配置的兩個以上的接觸檢測用夾具20，(I)在針對能夠得到希望的定位精度的工作臺13的負(fù)荷狀態(tài)以及機(jī)械設(shè)置狀態(tài)下，通過線電極14的接觸檢測，測定并存儲第一接觸檢測用夾具20η以及第二接觸檢測用夾具20η+1分別與線電極14的接觸位置的坐標(biāo)an、an+1，求出接觸檢測用夾具20n、20n + 1間的距離Xan=an+1_an。也可以使用兩個以上的接觸檢測用夾具。在圖4的例子中，兩個接觸檢測用夾具，即第一接觸檢測用夾具20n和第二接觸檢測用夾具20n+1以在與X軸平行的軸線上對齊的方式配置在加工槽3內(nèi)的工作臺13的一邊和與其相向的一邊。通過使線電極14對于工作臺13相對移動能夠測定線電極14的接觸位置的坐標(biāo)an、an+1。圖4表示上導(dǎo)線器I以及下導(dǎo)線器2對于工作臺13在Xan的箭頭方向上相對移動到上導(dǎo)線器’以及下導(dǎo)線器2’的位置。(2)在工作臺13上設(shè)置工件15，在加工槽3內(nèi)積存加工液16直到與進(jìn)行實際加工相同的液位，如圖5所示，和上述(I)同樣，測定并存儲接觸檢測用夾具20n、20n+1與線電極14的接觸位置的坐標(biāo)bn、bn+1，求出接觸檢測用夾具間的距離Xbn = bn+1 — bn。通過使線電極14或工作臺13對于接觸檢測用夾具20n、20n+1相對移動，能夠測定接觸位置的坐標(biāo)bn、
V)
υη+1 ο(3)通過計算θη= (Xbn — Xan)/Xbn求出修正量的傾斜θη (參照圖6)。
(4)當(dāng)把離開線電極14的接觸位置(坐標(biāo)1^)的距離設(shè)為(Xbn)’時，通過計算(Xbn)’ 一 On* (Xbn)’，能夠修正由于加工槽3內(nèi)的加工液16的重量以及エ件15的重量的變化引起的定位精度的變化。根據(jù)離開線電極14的接觸位置(坐標(biāo)1^)的距離進(jìn)行修正，有時根據(jù)把坐標(biāo)bn的位置作為坐標(biāo)原點(diǎn)的接觸位置坐標(biāo)系進(jìn)行誤差修正。此外，上述(1) (4)的“η”是1以上的自然數(shù)。另外，在線電極14和接觸檢測用夾具20的線電極接觸部22之間通過電壓施加単元(未圖示)施加微弱的電壓。在包含線電極14和線電極接觸部22形成的回路中，檢測線電極14和線電極接觸部22之間的電壓變化或在該回路中流過的電流的變化，能夠檢測線電極14和線電極接觸部22是否接觸。如圖5所示，當(dāng)在與實際的エ件15的加工相同的工作臺13的位置放置エ件15時，還考慮由于エ件15引起的偏負(fù)荷重量的影響。在能夠忽略エ件15引起的偏負(fù)荷重量的影響的情況下，可以代替在工作臺13上放置エ件15，而在加工槽3內(nèi)增加工件15的重量的加エ液16。加工槽3內(nèi)的加工液16的量如使用圖1、圖2說明的那樣能夠容易地變更。為了得到高精度的定位精度，希望盡可能把接觸檢測用夾具20相對于工作臺13的設(shè)置位置設(shè)為執(zhí)行加工的場所附近。這里說明上述(1)中的“對于能夠得到希望的定位精度的工作臺13的負(fù)荷狀態(tài)以及機(jī)械設(shè)置狀態(tài)”。作為對于能夠得到希望的定位精度的工作臺13的負(fù)荷狀態(tài)以及機(jī)械設(shè)置狀態(tài)的具體例，考慮下述〈1> 〈3>的狀態(tài)。〈1>在用戶的エ廠內(nèi)設(shè)置電火花線切割加工機(jī)后，與通過激光干涉測長器測定定位精度進(jìn)行間距誤差修正時相同的、對于工作臺13的負(fù)荷狀態(tài)以及機(jī)械設(shè)置狀態(tài)。<2>與エ件15的加工結(jié)果的測定值滿足要求精度時相同的對于工作臺13的負(fù)荷狀態(tài)以及機(jī)械設(shè)置狀態(tài)?！?>在設(shè)置電火花線切割加工機(jī)的用戶的エ廠的底座的強(qiáng)度與裝配電火花線切割加工機(jī)的裝配エ廠相同，電火花線切割加工機(jī)的調(diào)平步驟也通過與裝配エ廠相同的步驟進(jìn)行，能夠再現(xiàn)裝配エ廠中的電火花線切割加工機(jī)的設(shè)置狀態(tài)的情況下，與在裝配エ廠中測定定位精度進(jìn)行間距誤差修正時相同的對于工作臺13的負(fù)荷狀態(tài)以及機(jī)械設(shè)置狀態(tài)。圖4以及圖5是通過接觸檢測用夾具20測定X軸方向的夾具間距離的例子，但是如圖7、圖8、圖9、圖10所示，也可以同時測定X軸方向(參照圖7)和Υ軸方向(參照圖8)、和ΧΥ軸方向(參照圖9)。另外，實際的加工間距相對于ΧΥ軸的行程短的情況下，如圖10所示，也可以通過相對于ΧΥ軸的行程短的距離進(jìn)行測定。另外，為了高精度地檢測接觸檢測用夾具20的位置，如圖11所示，希望使線電極14垂直接觸接觸檢測用夾具20。這里說明通過在圖3等中圖示的具有圓柱形狀的導(dǎo)電性的部件形成接觸檢測部的接觸檢測用夾具20以外的方式。圖12是說明接觸檢測部成為圓孔的接觸檢測用夾具的例子的圖。接觸檢測用夾具30，在具有導(dǎo)電性的板狀的支持部件31上設(shè)置具有適宜直徑的圓形的貫通孔的線電極接觸部32。
圖13是說明使用圖12的接觸檢測用夾具的夾具間距離的測定例的圖。使用兩個在圖12中表示的接觸檢測用夾具30，把這兩個接觸檢測用夾具30與圖4、圖5同樣地在加工槽3內(nèi)的工作臺13的兩個位置互相相向地同軸安裝。接觸檢測用夾具30的線電極接觸部32和線電極14的接觸位置的測定，與圖4和圖5同樣，可以通過使線電極14對于加工槽3內(nèi)的工作臺13相對移動來進(jìn)行。但是，在該例中，在檢出一方的貫通孔的線電極接觸部32的接觸位置后，需要暫時切斷線電極，在通過另一方的貫通孔的線電極接觸部32再次接線后進(jìn)行接觸位置的檢測。線電極14和線電極接觸部32的接觸位置也可以為形成線電極接觸部32的貫通孔的壁面的位置，但是也可以為貫通孔的中心位置。圖14是說明求出圖12的接觸檢測用夾具中的孔中心位置的方法的一例的圖。測定形成線電極接觸部32的貫通孔的三個任意不同的壁面位置的坐標(biāo)。圓的中心因為位于圓弧上的任意的弦的垂直平分線上，所以根據(jù)通過在圓弧上不重合的任意的3個點(diǎn)得到的兩個弦，通過運(yùn)算求出貫通孔的中心。對于線電極14，可以根據(jù)通過運(yùn)算求出的貫通孔的中心位置進(jìn)行誤差評價的運(yùn)算，來代替作為線電極接觸部32的貫通孔的壁面位置?！ひ陨险f明了圖3表示的接觸檢測用夾具20具有一個與線電極14接觸的線電極接觸部22的方式、以及圖12表示的觸檢測用夾具30具有一個貫通孔，來作為與線電極14接觸的線電極接觸部32的方式，但是也可以由支持部件支持兩個以上的線電極接觸部。在這種情況下，與使用兩個接觸檢測用夾具相同。使用圖15說明在支持部件41的兩個位置分別安裝線電極接觸部42a、42b的接觸檢測用夾具40。在支持部件41上安裝的兩個線電極接觸部42a、42b分別是具有導(dǎo)電性的成為圓柱形狀的部件。這些線電極接觸部42a、42b從支持部件31的側(cè)面開始互相平行豎立地安裝在支持部件41上。在進(jìn)行誤差修正時，測定兩個線電極接觸部42a和42b位置即可。線電極接觸部42a、42b與線電極14的接觸位置的檢測和圖4以及圖5同樣，通過使線電極14對于工作臺13相對移動來進(jìn)行。圖16表示接觸檢測用夾具50，其在支持部件51的兩個位置設(shè)置能夠進(jìn)行與線電極14的接觸檢測的貫通孔即線電極接觸部52a、52b。線電極接觸部52a、52b與線電極14的接觸位置的檢測與圖4以及圖5相同，通過使線電極14對于工作臺13相對移動來進(jìn)行。此外，在該種情況下，與圖13相同，在檢測出一方的貫通孔的線電極接觸部52a的接觸位置后，需要暫時切斷線電極，在用另一方的貫通孔的線電極接觸部52b再次接線后進(jìn)行接觸位置的檢測。因為在上述圖15和圖16的方式中在一個支持部件上設(shè)置兩個線電極接觸部，所以能夠減輕作業(yè)者在加工槽3內(nèi)的工作臺13上固定支持部件的作業(yè)。位置匹配與使用兩個接觸檢測用夾具相比變得容易。接著說明使用3個接觸檢測用夾具的情況。通過使用多個接觸檢測用夾具，能夠通過計算平均值等更正確地進(jìn)行誤差的評價。圖17是說明使用3個接觸檢測用夾具的情況的例子的圖。各接觸檢測用夾具60由支持部件61和在該支持部件61的側(cè)面豎立地設(shè)置的線電極接觸部62組成。在支持部件61上安裝的線電極接觸部62是具有導(dǎo)電性的圓柱形狀的部件。
如圖17所示，線電極14對于接觸檢測用夾具6(^的線電極接觸部62、接觸檢測用夾具602的線電極接觸部62、接觸檢測用夾具603的線電極接觸部62相對移動。檢測線電極14接觸各線電極接觸部62、62、62時的位置。以上說明電火花線切割加工機(jī)的重量變化。下面說明電火花線切割加工機(jī)的設(shè)置狀況(底座強(qiáng)度)的變化。對于在工作臺13上配置的兩個以上的接觸檢測用夾具20，[1]在電火花線切割加工機(jī)的裝配エ廠中在發(fā)貨前進(jìn)行線電極14的接觸檢測，測定并存儲第一接觸檢測用夾具20n、第二接觸檢測用夾具20n+1與線電極14的接觸位置的坐標(biāo)an、an+1，如圖18所示，求出接觸檢測用夾具20n、20n+1間的距離Xan=an+1 — an。也可以使 用兩個以上的接觸檢測用夾具。在加工槽3內(nèi)的工作臺13的相向的兩邊，在與X軸平行的軸線上對齊地分別配置接觸檢測用夾具。在圖18中，在加工槽3內(nèi)的工作臺13的相向的兩邊，分別配置接觸檢測用夾具，即第一接觸檢測用夾具20η以及第二接觸檢測用夾具20η+1。然后，通過使線電極14對于エ作臺13的第一接觸檢測用夾具20η、第二接觸檢測用夾具20η+1相對移動，能夠測定線電極14的接觸位置的坐標(biāo)an、an+1。 [2]在與裝配エ廠底座強(qiáng)度不同的用戶的エ廠(用戶エ廠)內(nèi)設(shè)置電火花線切割加エ機(jī)后，執(zhí)行與在裝配エ廠中進(jìn)行的上述[1]相同的測定，測定并存儲接觸檢測用夾具20n、20n+1與線電極14的接觸位置的坐標(biāo)bn、bn+1，求出接觸檢測用夾具之間的距離Xbn=bn+1 — bn(參照圖19)。通過使線電極14對于固定在工作臺13上的接觸檢測用夾具20n、20n + 1相對移動，能夠測定接觸位置的坐標(biāo)bn、bn+1。[3]通過Θη= (Xbn — Xan) /Xbn的計算求出修正量的傾斜θη。[4]當(dāng)設(shè)離開線電極14的接觸位置(坐標(biāo)比)的距離為(Xbn)’時，通過計算(Xbn)’ 一 On* (Xbn)’，能夠修正由于設(shè)置電火花線切割加工機(jī)的底座強(qiáng)度的不同，調(diào)平的差異導(dǎo)致的定位精度的變化。關(guān)于根據(jù)離開坐標(biāo)比位置的距離進(jìn)行修正，有時根據(jù)把坐標(biāo)K的位置作為坐標(biāo)原點(diǎn)的接觸位置坐標(biāo)系進(jìn)行誤差修正。圖20是說明控制裝置內(nèi)的處理的概要的框圖。參照圖1、圖2進(jìn)行說明。壓カ傳感器6是用于測定加工槽3內(nèi)的加工液16的液位的傳感器。從壓カ傳感器6輸出的檢測信號輸入到CPU101。109是當(dāng)前值計數(shù)器，接受來自在X軸電動機(jī)105、Y軸電動機(jī)107中內(nèi)置的各個位置檢測器106、108的位置檢測信號，向CPU101傳遞工作臺13的當(dāng)前位置信息。103是本發(fā)明的存儲修正信息的存儲部。預(yù)先用上述方法測定本發(fā)明的誤差修正的基準(zhǔn)距離以及實際距離，并存儲在存儲部103中作為基準(zhǔn)距離信息以及實際距離信息。104是伺服控制部，向各軸電動機(jī)105、107發(fā)送與從CPU101輸出的移動指令對應(yīng)的輸出，驅(qū)動エ作臺13或者上導(dǎo)線器1、下導(dǎo)線器2。CPU101計算上述基準(zhǔn)距離信息和實際距離信息的差，為了在實際加工時消除上述差，進(jìn)行根據(jù)離開接觸位置坐標(biāo)的距離修正上述指令的修正運(yùn)算，然后向伺服控制部104輸出。
權(quán)利要求
1.一種電火花線切割加工機(jī)，其具有貯存加工液的加工槽，在設(shè)置在該加工槽中的工作臺上放置工件，根據(jù)從控制裝置輸出的指令使線電極相對于上述工作臺相對移動來加工所述工件，所述電火花線切割加工機(jī)的特征在于，具備 接觸檢測用夾具的組合，其包含具有第一接觸檢測部的第一接觸檢測用夾具和具有第二接觸檢測部的第二接觸檢測用夾具，這些第一、第二接觸檢測用夾具以面對第一、第二接觸檢測部的方式在上述工作臺上在同一軸線上隔開預(yù)定的距離來設(shè)置； 接觸檢測部，其用于檢測上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具的接觸； 坐標(biāo)值存儲部，其用于分別存儲在上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時移動的軸的坐標(biāo)值； 基準(zhǔn)距離存儲部，其用于在能夠得到希望的定位精度的第一狀態(tài)下使上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸，根據(jù)在上述坐標(biāo)值存儲部中存儲的上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時的坐標(biāo)值，求出并存儲上述第一接觸檢測用夾具和上述第二接觸檢測用夾具的距離來作為基準(zhǔn)距離； 實際距離存儲部，其用于在與上述第一狀態(tài)不同的第二狀態(tài)下使上述線電極與第一、第二接觸檢測用夾具接觸，根據(jù)在上述坐標(biāo)值存儲部中存儲的上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時的坐標(biāo)值，存儲上述第一接觸檢測用夾具和上述第二接觸檢測用夾具的距離作為實際距離；和 修正部，其用于計算在上述基準(zhǔn)距離存儲部中存儲的基準(zhǔn)距離和在上述實際距離存儲部中存儲的實際距離的差，根據(jù)離開接觸位置坐標(biāo)的距離修正上述指令，以便在實際加工時消除上述差。
2.一種電火花線切割加工機(jī)，其具有貯存加工液的加工槽，在設(shè)置在該加工槽中的工作臺上放置工件，根據(jù)從控制裝置輸出的指令使線電極相對于上述工作臺相對移動來加工所述工件，所述電火花線切割加工機(jī)的特征在于，具備 接觸檢測用夾具的組合，其包含具有第一接觸檢測部的第一接觸檢測用夾具和具有第二接觸檢測部的第二接觸檢測用夾具，這些第一、第二接觸檢測用夾具以面對第一、第二接觸檢測部的方式在上述工作臺上在相互不同的軸線上隔開預(yù)定的距離來設(shè)置； 接觸檢測部，其用于檢測上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具的接觸； 坐標(biāo)值存儲部，其用于分別存儲在上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時移動的軸的坐標(biāo)值； 基準(zhǔn)距離存儲部，其用于在能夠得到希望的定位精度的第一狀態(tài)下使上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸，根據(jù)在上述坐標(biāo)值存儲部中存儲的上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時的坐標(biāo)值，求出并存儲上述第一接觸檢測用夾具和上述第二接觸檢測用夾具的各移動軸方向的距離來作為基準(zhǔn)距離； 實際距離存儲部，其用于在與上述第一狀態(tài)不同的第二狀態(tài)下使上述線電極與第一、第二接觸檢測用夾具接觸，根據(jù)在上述坐標(biāo)值存儲部中存儲的上述線電極與上述第一、第二接觸檢測用夾具接觸時的坐標(biāo)值，存儲上述第一接觸檢測用夾具和上述第二接觸檢測用夾具的各移動軸方向的距離作為實際距離；和 修正部，其用于計算在上述基準(zhǔn)距離存儲部中存儲的基準(zhǔn)距離和在上述實際距離存儲部中存儲的實際距離的差，根據(jù)離開接觸位置坐標(biāo)的距離修正上述指令，以便在實際加工時消除上述差。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的電火花線切割加工機(jī)，其特征在于， 上述第一狀態(tài)是在加工臺上不放置工件，并且在加工槽中不積存加工液的狀態(tài)，上述第二狀態(tài)是在加工臺上放置了工件，在加工槽中直到預(yù)定的加工液高度為止積存了加工液的狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電火花線切割加工機(jī)，其特征在于， 上述第二狀態(tài)通過在實際加工時的加工液高度之上積存相當(dāng)于放置在上述工作臺上的工件的重量的加工液來實現(xiàn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的電火花線切割加工機(jī)，其特征在于， 上述第一狀態(tài)是在能夠得到希望的定位精度的強(qiáng)度的底座上設(shè)置了上述電火花線切割加工機(jī)的狀態(tài)，上述第二狀態(tài)是在底座的強(qiáng)度與上述第一狀態(tài)不同的場所設(shè)置了上述電火花線切割加工機(jī)的狀態(tài)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5的任意一項所述的電火花線切割加工機(jī)，其特征在于， 上述接觸檢測用夾具的組合在移動軸的每個移動方向上設(shè)置了多個接觸檢測用夾具。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至5的任意一項所述的電火花線切割加工機(jī)，其特征在于， 上述接觸檢測用夾具的組合并排設(shè)置了多個接觸檢測用夾具。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至7的任意一項所述的電火花線切割加工機(jī)，其特征在于， 上述接觸檢測用夾具在板狀部件上設(shè)置有貫通孔，通過使上述線電極接觸該貫通孔的內(nèi)表面的至少3個位置，求出上述孔的中心的坐標(biāo)，把該坐標(biāo)值作為上述接觸檢測用夾具與上述線電極接觸時的移動的軸的坐標(biāo)值。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至8的任意一項所述的電火花線切割加工機(jī)，其特征在于，上述一對接觸檢測用夾具構(gòu)成為具有至少兩個與線電極接觸的接觸部的單一的接觸檢測用夾具。
全文摘要
一種具有定位精度修正功能的電火花線切割加工機(jī)，在電火花線切割加工機(jī)中放置應(yīng)加工的工件的工作臺上分開安裝兩個接觸檢測用夾具，首先在成為基準(zhǔn)的狀態(tài)下，通過使線電極接觸這些接觸檢測用夾具來測定這兩個接觸檢測用夾具間的距離(基準(zhǔn)距離)。接著在實際使用的狀態(tài)下，同樣使線電極接觸這些接觸檢測用夾具測定兩個接觸檢測用夾具間的距離(實際距離)。然后，根據(jù)這些基準(zhǔn)距離和實際距離的差，求出修正使線電極對于上述工作臺移動的指令的修正量。
文檔編號B23H7/02GK102950345SQ201210292530
公開日2013年3月6日 申請日期2012年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者國府田尚德 申請人:發(fā)那科株式會社