一種用于雙面ito激光刻蝕設備的手動升降機構的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于雙面ITO激光刻蝕設備的手動升降機構，包括高度調(diào)節(jié)結構,所述高度調(diào)節(jié)結構可以是利用進給結構通過高度調(diào)節(jié)機構進行過渡進而升降，也可以是直接使用進給機構直接進行升降，進給機構可以是螺旋機構，也可以是離散式漸進機構，還包括反射機構,所述反射機構用來改變激光路徑,所述手動升降機構還包括滑動機構,所述滑動機構用來帶動振鏡上下運動，所述手動升降機構還包括振鏡。本發(fā)明公開的雙面ITO激光刻蝕設備的手動升降機構可以對現(xiàn)有設備進行簡化，大大降低設備整體成本，操作更自由，維修更加方便。
【專利說明】一種用于雙面Iτο激光刻蝕設備的手動升降機構
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及激光加工領域，特別涉及一種用于雙面ιτο激光刻蝕設備的手動升降機構。
[0002]
【背景技術】
[0003]ΙΤ0是銦錫氧化物的英文縮寫，它是一種透明的導電體，通常厚度只有幾千埃，在所有在透明導電體中，其具有優(yōu)良的物理性能:高的可見光透過率，高的紅外反射率，良好的機械強度和化學穩(wěn)定性，用酸溶液等濕法刻蝕工藝能很容易形成一定的電極圖形，制備相對比較容易等，這使它廣泛應用于各種電子及光電子器件，如手機和電腦等平板顯示領域。按照尺寸分類，常見雙面ΙΤ0玻璃有14*14英寸，14*16英寸，20*24英寸等規(guī)格，按厚度分有 1.1mm, 0.7mm, 0.55mm, 0.4mm, 0.3mm 等規(guī)格。
[0004]雙面IT0玻璃的加工工藝要求同時對玻璃上下兩個表面加工以便提高加工效率，因此在加工過程中，上下振鏡分別相對玻璃上下表面的位置是固定的，當加工玻璃的厚度發(fā)生改變時，需要通過控制動態(tài)聚焦鏡來適應玻璃厚度的變化，同時要求調(diào)整的范圍要小，精度要高.由于動態(tài)聚焦鏡的價格較高，造成雙面ΙΤ0玻璃加工設備整體價格昂貴，同時，由于ΙΤ0玻璃厚度具有標準規(guī)格，所以振鏡操作和維修就顯得復雜，本發(fā)明提出提出一種新的裝置，可以替代動態(tài)聚焦鏡，可大大降低設備整體成本，操作更自由，維修更加方便。
[0005]
【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術中的上述缺陷中的至少一個。本發(fā)明提供了一種用于雙面ΙΤ0激光刻蝕設備的手動升降機構，所述手動升降機構包括滑動機構，所述滑動機構用來帶動振鏡位置移動；高度調(diào)節(jié)機構，所述高度調(diào)節(jié)結構可以驅(qū)動所述滑動機構進行位置移動；和反射機構，所述反射機構用來改變激光路徑。
[0007]。
[0008]在傳統(tǒng)使用的激光刻蝕設備中，動態(tài)聚焦鏡為一光學部件，使用時固定在2D振鏡后部，激光經(jīng)動態(tài)聚焦鏡后進入2D振鏡，加工過程中，通過控制動態(tài)聚焦鏡可以改變聚焦光斑的高度位置，實現(xiàn)3D掃描，動態(tài)聚焦鏡與2D振鏡的位置關系如圖1所示。激光刻蝕雙面ΙΤ0玻璃時，2D振鏡相對ΙΤ0玻璃的布局如圖2所示，圖中L為2D振鏡下端面相對玻璃表面的距離，該值為一定值，當玻璃厚度變化時，為了適應變化，由于2D振鏡的位置是固定的，因此需要使用動態(tài)聚焦鏡來滿足厚度變化要求，而動態(tài)聚焦鏡成本較高，設備上配置的數(shù)量也較大,造成了設備整體成本很高，同時維修也帶來不便。
[0009]基于以上原因，本發(fā)明提出一種新的機構，所述手動升降機構運動原理描述如下，如圖3所示，當激光束由激光器發(fā)出之后，經(jīng)反射機構反射進入振鏡中，對ΙΤ0玻璃進行加工，當ΙΤ0玻璃厚度發(fā)生變化時，可以操作高度調(diào)節(jié)機構使振鏡進行上下移動，并固定，從而對激光束焦點距離L進行調(diào)節(jié)，達到加工不同規(guī)格厚度的ITO玻璃的目的。由此可以使整體設備成本大大降低，同時使操作和維修變得更加簡便。
[0010]同時，所述手動升降機構還包括振鏡。
[0011]根據(jù)本發(fā)明提供的一種用于雙面ITO激光刻蝕設備的手動升降機構，所述手動升降機構包括滑動機構，所述滑動機構用來帶動振鏡位置移動；高度調(diào)節(jié)機構，所述高度調(diào)節(jié)結構可以驅(qū)動所述滑動機構進行位置移動；和反射機構，所述反射機構用來改變激光路徑。
[0012]進一步地，所述手動升降機構還包括進給機構，所述進給機構用來驅(qū)動所述高度調(diào)節(jié)機構進行位置移動，從而對振鏡高度進行調(diào)節(jié)，便于不同規(guī)格厚度的ITO玻璃加工。
[0013]可選地，所述進給機構可以是連續(xù)進給機構，也可以是離散進給機構。
[0014]進一步可選地，所述連續(xù)進給機構可以是螺旋進給機構。
[0015]進一步可選地，所述離散進給機構可以包括根據(jù)不同規(guī)格的雙面ITO玻璃設置的帶有離散分隔裝置的長形固體及固定所述長形固體的固定部件。
[0016]可選地，所述滑動機構可以是滑軌機構，也可以是滑道機構。
[0017]進一步地，所述高度調(diào)節(jié)機構包括具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件。
[0018]進一步優(yōu)選地，所述具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件可以是楔型塊，或者具有弧形面高度調(diào)節(jié)部件。
[0019]同時，所述手動升降機構還可以包括振鏡。
[0020]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。
[0021]
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1顯示了傳統(tǒng)激光加工設備加工不同厚度規(guī)格加工件激光束焦點調(diào)節(jié)的示意圖；
圖2顯示了傳統(tǒng)激光加工設備加工不同厚度規(guī)格加工件激光束焦點調(diào)節(jié)的示意圖；
圖3顯示了本發(fā)明實施例的原理示意圖；
圖4顯示了本發(fā)明一個實施例的示意圖；
圖5顯示了本發(fā)明一個實施例的高度調(diào)節(jié)機構示意圖；
圖6顯示了本發(fā)明一個實施例的高度調(diào)節(jié)機構及連續(xù)進給機構示意圖；
圖7顯示了本發(fā)明一個實施例的離散進給機構及長性固體A向視圖的示意圖；
圖1中，L為2D振鏡下端面相對玻璃表面的距離為一定值，Z為上下運動方向，Max為向上方向最大變化范圍，Min向下方向最大變化范圍；
圖2中，L為2D振鏡下端面相對玻璃表面的距離為一定值；
圖3中，I為滑動機構，2為反射機構，3為高度調(diào)節(jié)機構，4為振鏡，5為激光束；
圖4中，11為滑動機構中的支座，12位滑動機構中的滑動部件，21、22為反射機構中的反射鏡，6為設備支撐部分；
圖5、圖6中，31為高度調(diào)節(jié)機構中的支座，32、33分別為高度調(diào)節(jié)機構中的具有曲面的上下部件，6為刻蝕設備與手動升降機構連接部分，7為進給機構；
圖7中，A為對離散進給機構中的長形固體的觀測方向，右側圖為長形固體A向視圖示意圖。
[0023]【具體實施方式】
[0024]下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。
[0025]在發(fā)明的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”、“左”、“右”、“Z向”、“A向”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0026]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“安裝”、“安置”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本發(fā)明中的具體含義
下面將參照附圖來描述本發(fā)明的用于雙面ΙΤ0激光刻蝕設備的手動升降機構，其中圖
1、圖2為傳統(tǒng)ΙΤ0玻璃加工過程使用振鏡進行激光束焦點調(diào)節(jié)示意圖，圖3為本發(fā)明高度調(diào)節(jié)示意圖，圖4-圖7為本發(fā)明的實施例示意圖。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述手動升降機構，包括:滑動機構1，所述滑動機構1用來帶動振鏡4位置移動；高度調(diào)節(jié)機構3，所述高度調(diào)節(jié)結構3可以驅(qū)動所述滑動機構1進行位置移動，進而帶動振鏡4進行移動，從而調(diào)節(jié)激光束5焦點位置對ΙΤ0玻璃進行加工；和反射機構2，所述反射機構2用來改變激光束5的路徑，如圖3所示。
[0028]進一步地，根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述手動升降機構還包括進給機構7，所述進給機構7用來驅(qū)動所述高度調(diào)節(jié)機構進行位置移動，如圖6、7所示。
[0029]根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述進給機構7可以是連續(xù)進給機構，也可以是離散進給機構，如圖6、7所示。
[0030]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述連續(xù)進給機構可以是螺旋進給機構，如圖6所示，所示螺旋進給機構可以包括螺旋部件和支撐部件，當螺旋部件在支撐部件中旋轉時，螺旋部件可以進行前后或左右或上下運動時，可帶動與所述螺旋部件相連的高度調(diào)節(jié)機構進行相應運動，進而帶動振鏡4進行運動，從而對激光束5的焦點位置進行調(diào)節(jié)對ΙΤ0玻璃進行加工。
[0031]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述離散進給機構，如圖7所示，可以包括根據(jù)不同規(guī)格的雙面ΙΤ0玻璃設置的帶有離散分隔裝置的長形固體及固定所述長形固體的固定部件，當雙面ΙΤ0玻璃的厚度發(fā)生變化時，可以將帶有離散分割裝置的長形固體進行前后移動，因為雙面ΙΤ0玻璃的厚度具有一定的離散標準值，所以離散分割裝置的距離可以根據(jù)此離散標準值進行確定，在本實施例中，長形固體可以是外表面具有離散凸起的圓柱，固定部件可以是內(nèi)環(huán)有相應凹陷，對長形固體的凸起進行固定，當然長形固體也可以是外表面具有凹陷的圓柱，而固定部件則可以在內(nèi)環(huán)有相應凸起，如此可以移動圓柱體，對高度調(diào)節(jié)機構進行調(diào)節(jié)，大大簡化操作過程，也使維修過程及成本大大降低。
[0032]根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述滑動機構I可以是滑軌機構，也可以是滑道機構。
[0033]根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述高度調(diào)節(jié)機構3包括具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件
32、33。
[0034]優(yōu)選地，所述具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件可以是楔型塊32、33，(如圖5所示)，或者具有弧形面高度調(diào)節(jié)部件32、33，(如圖6所示)。
[0035]根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述手動升降機構還包括振鏡4。
[0036]根據(jù)本發(fā)明的實施例，激光束5由激光器發(fā)出，經(jīng)反射機構2中的反射鏡21、22進行反射進入振鏡4，對ITO玻璃進行加工；當ITO玻璃厚度發(fā)生變化時，可以調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)機構3對滑動機構I進行位置移動，高度調(diào)節(jié)機構3可以是具有曲面的部件構成，如上下楔型塊或者具有弧度的上下弧度塊31、32，當進給機構7前后運動時，連續(xù)進給機構可根據(jù)需要進行調(diào)節(jié)至預設位置并固定，離散進給機構可以使用同樣的過程調(diào)節(jié)到預設位置并固定，如此，可以調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)機構3的位置，進而對滑動機構I及振鏡4的位置進行調(diào)節(jié)，從而達到對不同規(guī)格厚度的ITO玻璃加工的目的。
[0037]由本發(fā)明公開的一種用于雙面ITO激光刻蝕設備的手動升降機構，可以手動對加工不同厚度規(guī)格的ITO玻璃進行調(diào)節(jié)，可以大大降低整體設備成本，簡化和降低操作和維修過程及其成本，有著很好的技術效果。
[0038]任何提及“ 一個實施例”、“實施例”、“示意性實施例”等意指結合該實施例描述的具體構件、結構或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實施例。而且，當結合任何實施例描述具體構件、結構或者特點時，所主張的是，結合其他的實施例實現(xiàn)這樣的構件、結構或者特點均落在本領域技術人員的范圍之內(nèi)。
[0039]盡管參照本發(fā)明的多個示意性實施例對本發(fā)明的【具體實施方式】進行了詳細的描述，但是必須理解，本領域技術人員可以設計出多種其他的改進和實施例，這些改進和實施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進，而不會脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其范圍由所附權利要求及其等同物限定。
【權利要求】
1.一種用于雙面ITO激光刻蝕設備的手動升降機構，包括: 滑動機構，所述滑動機構用來帶動振鏡位置移動； 高度調(diào)節(jié)機構，所述高度調(diào)節(jié)結構可以驅(qū)動所述滑動機構進行位置移動； 和反射機構，所述反射機構用來改變激光路徑。
2.根據(jù)權利要求1所述的手動升降機構，其特征在于，所述手動升降機構還包括進給機構，所述進給機構與所述高度調(diào)節(jié)機構相連，用來驅(qū)動所述高度調(diào)節(jié)機構進行位置移動。
3.根據(jù)權利要求2所述的手動升降機構，其特征在于，所述進給機構可以是連續(xù)進給機構，也可以是離散進給機構。
4.根據(jù)權利要求3所述的手動升降機構，其特征在于，所述連續(xù)進給機構可以是螺旋進給機構。
5.根據(jù)權利要求3所述的手動升降機構，其特征在于，所述離散進給機構可以包括根據(jù)不同規(guī)格的雙面ITO玻璃設置的帶有離散分隔裝置的長形固體及固定所述長形固體的固定部件。
6.根據(jù)權利要求1所述的手動升降機構，其特征在于，所述滑動機構可以是滑軌機構，也可以是滑道機構。
7.根據(jù)權利要求1所述的手動升降機構，其特征在于，所述高度調(diào)節(jié)機構包括具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件。
8.根據(jù)權利要求7所述的手動升降機構，其特征在于，所述具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件可以是楔型塊，或者具有弧形面高度調(diào)節(jié)部件。
9.根據(jù)權利要求1所述的手動升降機構，其特征在于，所述手動升降機構還包括振鏡。
【文檔編號】B23K26/046GK103658974SQ201210351709
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2012年9月21日 優(yōu)先權日:2012年9月21日
【發(fā)明者】魏志凌, 寧軍, 高永強 申請人:昆山思拓機器有限公司