專利名稱：激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激光加工裝置，尤其涉及沿著工件的加工預(yù)定線照射激光束來切斷工件的激光加工裝置。
背景技術(shù)：
例如用作液晶面板的偏振片的樹脂膜是利用CO2激光切斷的。在該情況下，用會聚透鏡會聚激光束，以光軸與樹脂膜表面垂直的方式照射激光束。在這樣的切斷方法中，由于激光束得到會聚，因此，激光照射面?zhèn)鹊募庸ぶ睆阶兇?，背面?zhèn)鹊募庸ぶ睆阶冋Ｒ虼?，樹脂膜的切斷部的端面成為傾斜面(以下將該情況下的端面的傾斜稱作“端面錐面”)。近年來，關(guān)于樹脂膜的切斷部的端面錐面，根據(jù)用途和規(guī)格，要求有各種錐面角度。例如，有時(shí)要求消除錐面，有時(shí)要求有更大角度的錐面。因此，提出了專利文獻(xiàn)I所示的切斷方法，該方法雖然不是切斷樹脂膜，但是是為了消除板材等的激光加工時(shí)切斷部的錐面而提出的。該專利文獻(xiàn)I所示的方法是使用能夠在2個(gè)方向調(diào)整激光束的照射角度的加工頭進(jìn)行加工的方法。即，通過改變加工頭整體相對于工件的傾斜角度，消除工件切斷部端面的錐面。專利文獻(xiàn)1:日本特開平11-77352號公報(bào)在此，有時(shí)要求在全部切斷部中使端面錐面的角度恒定。在這樣的情況下，采用專利文獻(xiàn)I所示的方法進(jìn)行切斷，能夠使端面錐面的角度恒定。即，首先需要根據(jù)端面錐面的角度設(shè)定加工頭的傾斜角度，在保持該傾斜角度的狀態(tài)下，根據(jù)掃描方向旋轉(zhuǎn)加工頭，改變加工頭的姿態(tài)。這樣的用于變更加工頭的傾斜角度或者旋轉(zhuǎn)加工頭整體的機(jī)構(gòu)非常復(fù)雜。此外，在如專利文獻(xiàn)I的方法那樣改變加工頭的傾斜角度時(shí)，激光束的會聚位置發(fā)生改變。因此，必須根據(jù)加工頭的傾斜角度控制光學(xué)系統(tǒng)，使激光束會聚到工件的加工位置。為實(shí)現(xiàn)此目的的控制和機(jī)構(gòu)變得復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于，采用簡單的結(jié)構(gòu)使全部切斷部的端面錐面成為相同角度。本發(fā)明的另一課題在于，能夠采用簡單的結(jié)構(gòu)在保持切斷端面的質(zhì)量良好的同時(shí)任意地控制端面錐面的角度。第I發(fā)明的激光加工裝置沿著工件的加工預(yù)定線照射激光束來切斷工件，該激光加工裝置具有載置工件的工件臺；輸出激光束的激光束輸出部；偏轉(zhuǎn)單元，其具有用于使從激光束輸出部射出的激光束偏轉(zhuǎn)的至少一個(gè)楔形棱鏡；會聚透鏡，其將通過楔形棱鏡后的激光束會聚到工件的加工預(yù)定線上；掃描單元，其沿著工件的加工預(yù)定線掃描會聚后的激光束；以及旋轉(zhuǎn)控制單元。在沿著加工預(yù)定線掃描激光束時(shí)，旋轉(zhuǎn)控制單元使楔形棱鏡繞著光軸旋轉(zhuǎn)，以使得會聚透鏡形成的激光束的會聚點(diǎn)會聚于光軸上的一點(diǎn)。在該裝置中，從激光束輸出部輸出的激光束通過楔形棱鏡而被偏轉(zhuǎn)，并且由會聚透鏡會聚后照射到工件表面。此外，沿著工件的加工預(yù)定線掃描激光束。此時(shí)，能夠通過變更楔形棱鏡的規(guī)格等，控制入射到工件的激光束的光軸的傾斜。而且，在掃描激光束時(shí)旋轉(zhuǎn)楔形棱鏡，由此，使激光束的會聚點(diǎn)會聚于光軸上的一點(diǎn)。在此，能夠在保持切斷部的端面的質(zhì)量良好的同時(shí)，采用簡單的結(jié)構(gòu)在全部切斷部中使端面錐面成為相同角度。第2發(fā)明的激光加工裝置是在第I發(fā)明的裝置中，旋轉(zhuǎn)控制單元使楔形棱鏡旋轉(zhuǎn)，使得在俯視工件時(shí)激光束與加工預(yù)定線的切線垂直。在沿著加工預(yù)定線掃描激光束時(shí)，通過如上所述地對楔形棱鏡進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制，即使在激光束的掃描方向由于加工預(yù)定線是曲線等而發(fā)生改變的情況下，也能夠使全部切斷部的端面錐面成為相同角度。第3發(fā)明的激光加工裝置是在第I發(fā)明或第2發(fā)明的裝置中，偏轉(zhuǎn)單元具有沿著光軸相對地配置的第I楔形棱鏡和第2楔形棱鏡。此外，旋轉(zhuǎn)控制單元使第I楔形棱鏡和第2楔形棱鏡中的至少任意一方旋轉(zhuǎn)來控制兩個(gè)楔形棱鏡的相位差。在此,能夠通過使相對的第I楔形棱鏡和第2楔形棱鏡中的至少一方旋轉(zhuǎn)來控制兩個(gè)楔形棱鏡的相位差，改變光軸相對于工件的傾斜角度。因此，能夠任意地控制切斷部的端面錐面的角度。第4發(fā)明的激光加工裝置是在第3發(fā)明的裝置中，旋轉(zhuǎn)控制單元具有第I中空電機(jī)，其內(nèi)部配置有第I楔形棱鏡；第2中空電機(jī)，其內(nèi)部配置有第2楔形棱鏡；以及控制部，其能夠獨(dú)立地控制第I中空電機(jī)和第2中空電機(jī)的旋轉(zhuǎn)。在以上的本發(fā)明中，能夠采用僅使楔形棱鏡旋轉(zhuǎn)的簡單的結(jié)構(gòu)，使全部切斷部的端面錐面成為相同角度。此外，在偏轉(zhuǎn)單元采用I對楔形棱鏡的情況下，能夠采用簡單的結(jié)構(gòu)在保持切斷端面的質(zhì)量良好的同時(shí)任意地控制端面錐面的角度。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的激光加工裝置的外觀立體圖。圖2是放大示出激光束照射頭的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖3是第I中空電機(jī)、第2中空電機(jī)以及會聚透鏡的放大圖。圖4是示出楔形棱鏡的相位差與激光束的光軸之間的關(guān)系的示意圖。圖5是示出矩形的加工預(yù)定線與激光束的光軸之間的關(guān)系的圖。圖6是示出曲線的加工預(yù)定線與激光束的光軸之間的關(guān)系的圖。標(biāo)號說明2 :工件臺；15 :激光輸出部；16 :光學(xué)系統(tǒng)；17 :第I中空電機(jī)；17a:第I楔形棱鏡；18 :第2中空電機(jī)；18a :第2楔形棱鏡；19 :會聚透鏡；20 :偏轉(zhuǎn)單元。
具體實(shí)施例方式[整體結(jié)構(gòu)]圖1示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的激光加工裝置的整體結(jié)構(gòu)。該激光加工裝置是用于沿著樹脂膜等工件的加工預(yù)定線照射激光束，將工件切斷成期望形狀的裝置。該裝置具有基座1、載置作為加工對象的工件的工件臺2以及用于向工件照射激光束的激光束照射頭3。在此，如圖1所示，在沿著基座I的上表面的平面中，將彼此垂直的軸定義為X軸、Y軸，將與這些軸垂直的鉛垂方向的軸定義為Z軸。此外，將沿著X軸的兩個(gè)方向(+方向和一方向)定義為X軸方向，將沿著Y軸的兩個(gè)方向定義為Y軸方向，將沿著Z軸的兩個(gè)方向定義為Z軸方向。[工件臺及其移動機(jī)構(gòu)]〈工件臺〉工件臺2形成為矩形，在工件臺2的下方設(shè)有用于使工件臺2在X軸方向和Y軸方向移動的臺移動機(jī)構(gòu)5。<臺移動機(jī)構(gòu)>如圖1所示，臺移動機(jī)構(gòu)5具有各I對的第I導(dǎo)軌8和第2導(dǎo)軌9、第I移動臺10以及第2移動臺11。I對第I導(dǎo)軌8在Y軸方向延伸而設(shè)置在基座I的上表面。第I移動臺10設(shè)在第I導(dǎo)軌8的上部，下表面具有與第I導(dǎo)軌8移動自如地卡合的多個(gè)引導(dǎo)部10a。I對第2導(dǎo)軌9在X軸方向延伸而設(shè)置在第I移動臺10的上表面。第2移動臺11設(shè)在第2導(dǎo)軌9的上部,下表面具有與第2導(dǎo)軌9移動自如地卡合的多個(gè)引導(dǎo)部11a。在第2移動臺11的上部通過固定部件12安裝有工件臺2。根據(jù)以上的臺移動機(jī)構(gòu)5，工件臺2在X軸方向和Y軸方向移動自如。另外，第I移動臺10和第2移動臺11由公知的電機(jī)等驅(qū)動單元驅(qū)動而省略詳細(xì)的說明。[激光束照射頭]如圖1和圖2所示 ，激光束照射頭3安裝于配置在基座I的上表面的門形框架la，具有激光束輸出部15、光學(xué)系統(tǒng)16、第I中空電機(jī)17、第2中空電機(jī)18以及會聚透鏡19。另外，由第I中空電機(jī)17和第2中空電機(jī)18構(gòu)成使激光束偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)單元20。此外，該激光加工裝置具有X軸方向移動機(jī)構(gòu)21和Z軸方向移動機(jī)構(gòu)22。X軸方向移動機(jī)構(gòu)21是用于使激光束照射頭3的整體在X軸方向移動的機(jī)構(gòu)。Z軸方向移動機(jī)構(gòu)22是用于使第I中空電機(jī)17、第2中空電機(jī)18以及會聚透鏡19在Z軸方向移動的機(jī)構(gòu)。〈激光束輸出部〉激光束輸出部15由與以往相同的激光管構(gòu)成。由該激光束輸出部15沿著Y軸向工件臺2的相反側(cè)出射例如波長9. 4 μ m的CO2激光?！垂鈱W(xué)系統(tǒng)〉光學(xué)系統(tǒng)16用于將來自激光束輸出部15的激光束導(dǎo)入第I中空電機(jī)17的中心部。如圖2所不,該光學(xué)系統(tǒng)16具有第I反射鏡25、第2反射鏡26、第3反射鏡27、第4反射鏡28以及光束擴(kuò)展器30。第I反射鏡25配置在激光束輸出部15的輸出側(cè)附近，將在Y軸方向出射的激光束向X軸方向反射。第2反射鏡26在X軸方向與第I反射鏡25排列配置，將在X軸方向行進(jìn)的激光束向Y軸方向反射，導(dǎo)入工件臺2 —側(cè)。第3反射鏡27和第4反射鏡28在X軸方向排列配置在第I中空電機(jī)17的上方。第3反射鏡27將由第2反射鏡26反射來的激光束導(dǎo)入第4反射鏡28 —側(cè)。第4反射鏡28將由第3反射鏡27反射來的激光束導(dǎo)入下方的第I中空電機(jī)17。光束擴(kuò)展器30配置在第2反射鏡26與第3反射鏡27之間,用于將由第2反射鏡26反射來的激光束擴(kuò)展成一定倍率的平行光束。該光束擴(kuò)展器30能夠?qū)⒓す馐鴷鄢筛〉狞c(diǎn)。
<偏轉(zhuǎn)單元和會聚透鏡>圖3示出偏轉(zhuǎn)單元20和會聚透鏡19的安裝構(gòu)造。另外，在圖3中，點(diǎn)劃線表示激光束。第I中空電機(jī)17由第I支承部件31支承，第2中空電機(jī)18由第2支承部件32支承。此外，會聚透鏡19由第3支承部件33支承。第I中空電機(jī)17配置在最上方，第2中空電機(jī)18配置在第I中空電機(jī)17的下方。會聚透鏡19配置在第2中空電機(jī)18的下方。第I中空電機(jī)17和第2中空電機(jī)18的中心具有在Z軸方向延伸的共同的旋轉(zhuǎn)軸，包含該旋轉(zhuǎn)軸的中央部是中空的。而且，在第I中空電機(jī)17的內(nèi)部配置有第I楔形棱鏡17a，在第2中空電機(jī)18的內(nèi)部配置有第2楔形棱鏡18a。第I楔形棱鏡17a和第2楔形棱鏡18a相對地同軸配置。此外,會聚透鏡19也與兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a同軸配置。各個(gè)楔形棱鏡17a、18a分別具有相對于兩個(gè)中空電機(jī)17、18的旋轉(zhuǎn)軸傾斜的斜面和與旋轉(zhuǎn)軸垂直的垂直面。各個(gè)中空電機(jī)17、18能夠分別由控制部34獨(dú)立地控制旋轉(zhuǎn)?！醇す馐丈漕^的支承和輸送系統(tǒng)〉如前所述，以上的激光束照射頭3由基座I的門形框架Ia支承。更詳細(xì)地說，如圖2所示，在門形框架Ia的上表面設(shè)有在X軸方向延伸的I對第3導(dǎo)軌36，該I對第3導(dǎo)軌36和未圖示的驅(qū)動機(jī)構(gòu)構(gòu)成X軸方向移動機(jī)構(gòu)21。而且，在I對第3導(dǎo)軌36移動自如地支承有支承部件37。支承部件37具有由第3導(dǎo)軌36支承的橫支承部件38和從橫支承部件38的靠工件臺2側(cè)的一端側(cè)起向下方延伸的縱支承部件39。在縱支承部件39的側(cè)面設(shè)有在Z軸方向延伸的I對第4導(dǎo)軌40,該I對第4導(dǎo)軌40和未圖不的驅(qū)動機(jī)構(gòu)構(gòu)成Z軸方向移動機(jī)構(gòu)22。在第4導(dǎo)軌40上在Z軸方向移動自如地支承有第3移動臺41。而且,激光束輸出部15、第I反射鏡25 第4反射鏡28以及光束擴(kuò)展器30由橫支承部件38支承。此外，在第3移動臺41固定有電機(jī)支承部件42，在該電機(jī)支承部件42分別通過第I支承部件31 第3支承部件33支承有第I中空電機(jī)17、第2中空電機(jī)18以及會聚透鏡19。[動作]接著，說明激光束對樹脂膜的切斷動作。首先，在工件臺2的表面載置作為加工對象的樹脂膜。接著，由X軸方向移動機(jī)構(gòu)21使激光束照射頭3在X軸方向移動，此外，由臺移動機(jī)構(gòu)5使工件臺2在Y軸方向移動，進(jìn)行定位使得激光束照射頭3的激光束的會聚點(diǎn)來到加工預(yù)定線的起始位置。如上所述使激光束照射頭3和樹脂膜移動到加工位置之后，向樹脂膜照射激光束進(jìn)行加工。在此，從激光束輸出部15出射的激光束由第I反射鏡25反射后導(dǎo)入第2反射鏡26。入射到第2反射鏡26的激光束在Y軸方向反射，由光束擴(kuò)展器30擴(kuò)展光束后導(dǎo)入第3反射鏡27。然后，由第3反射鏡27反射進(jìn)而由第4反射鏡28反射后的激光束被輸入到設(shè)于第I中空電機(jī)17的中心部的第I楔形棱鏡17a。例如，如圖4 Ca)所示，使入射到第I楔形棱鏡17a的激光束偏轉(zhuǎn)后輸出，輸入到第2楔形棱鏡18a。在該第2楔形棱鏡18a中也同樣地使激光束偏轉(zhuǎn)后輸出。然后，激光束最終被會聚透鏡19會聚到樹脂膜上。
在此，照射到樹脂膜的激光束的光軸BI相對于入射到第I楔形棱鏡17a的光軸BO以角度Θ1傾斜。因此，圖4 (a)右側(cè)的樹脂膜的端面錐面的角度成為Θ 11，左側(cè)的樹脂膜的端面錐面的角度成為Θ 12?！炊嗣驽F面的角度調(diào)整〉在調(diào)整端面錐面的角度的情況下，由控制部34控制第I楔形棱鏡17a和第2楔形棱鏡18a的相位差。具體地說，如圖4(a)所示，在設(shè)兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a的相位差為“O”時(shí)，樹脂膜的端面錐面成為Θ11、Θ12。此外，如圖4 (b)所示，在設(shè)兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a的相位差為“η/2”時(shí)，樹脂膜的端面錐面成為Θ21、Θ22。并且，如圖4的(c)所示，在設(shè)兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a的相位差為“π”時(shí)，樹脂膜的端面錐面成為Θ 31、Θ 32。如上所述，能夠通過調(diào)整兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a的相位差，使要切斷的樹脂膜的端面錐面成為期望角度。為了在全部切端面中使端面錐面成為相同角度，首先，由控制部34調(diào)整兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a的相位差使得端面錐面成為期望角度。然后，根據(jù)激光束的掃描方向使兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a同步地旋轉(zhuǎn)。對于此時(shí)的旋轉(zhuǎn)控制，只要使兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a同步地旋轉(zhuǎn)，使得在俯視作為工件的樹脂膜時(shí)，激光束與加工預(yù)定線的切線垂直即可。例如，如圖5所示，在沿著矩形的加工預(yù)定線掃描激光束進(jìn)行切斷而不使樹脂膜的姿勢旋轉(zhuǎn)的情況下，如下 所述對兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制。S卩，在沿著第I邊LI和第3邊L3掃描激光束B的情況下，對兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制，使得從會聚透鏡19出射的激光束B的光軸在俯視時(shí)與第I邊LI和第3邊L3垂直。此外，在沿著第2邊L2和第4邊L4掃描激光束B的情況下，對兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制，使得激光束B的光軸在俯視時(shí)與第2邊L2和第4邊L4垂直。此外，如圖6所示，在沿著曲線的加工預(yù)定線Lc掃描激光束進(jìn)行切斷而不使樹脂膜的姿勢旋轉(zhuǎn)的情況下，對兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制，使得從會聚透鏡19出射的激光束B的光軸在俯視時(shí)與整個(gè)加工預(yù)定線Lc始終垂直。通過對兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a進(jìn)行以上的旋轉(zhuǎn)控制，在沿著任何加工預(yù)定線進(jìn)行切斷加工的情況下，都能夠在全部切斷部中使端面錐面的角度相同。另外，通過使第I楔形棱鏡17a的旋轉(zhuǎn)軸、第2楔形棱鏡18a的旋轉(zhuǎn)軸以及會聚透鏡19的中心與光軸BO同軸，由會聚透鏡19將激光束會聚在光軸BO上，即使由于使第I楔形棱鏡17a和第2楔形棱鏡18a旋轉(zhuǎn)而使照射到樹脂膜的激光束的光軸的方向變化，會聚點(diǎn)也始終形成在光軸BO上。由此，即使在加工中使照射到樹脂膜的激光束的光軸的方向變化的情況下，也能夠容易地沿著加工線掃描激光束。[特征](I)能夠通過調(diào)整第I楔形棱鏡17a和第2楔形棱鏡18a的相位差，將由激光束切斷的部分的端面錐面為任意的角度。(2)能夠通過對各個(gè)中空電機(jī)17、18進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制，容易地調(diào)整兩個(gè)楔形棱鏡17a、18a的相位差。(3)由于使激光束的光軸傾斜而不使激光束照射頭3傾斜，因而能夠采用簡單的結(jié)構(gòu)調(diào)整端面錐面的角度。此外，能夠通過簡單的結(jié)構(gòu)和控制，在全部切斷部中使端面錐面的角度相同。并且，基于同樣的理由，能夠保持切斷部的端面的加工質(zhì)量良好。
[其它實(shí)施方式]本發(fā)明不限于以上的實(shí)施方式，能夠在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下進(jìn)行各種變形和修正。(a)在上述實(shí)施方式中，作為偏轉(zhuǎn)單元20設(shè)有2個(gè)楔形棱鏡17a、18a，但是，只要是使全部切斷部的端面錐面的角度相同的目的，僅由I個(gè)楔形棱鏡構(gòu)成也能夠達(dá)到目的。(b)激光束照射頭和臺的移動機(jī)構(gòu)不限于上述實(shí)施方式。(C)光學(xué)系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu)不限于上述實(shí)施方式。只要能夠使激光束輸出部15的激光束容易調(diào)整光軸地且有效地輸入到第I中空電機(jī)17的第I楔形棱鏡17a即可。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，其沿著工件的加工預(yù)定線照射激光束來切斷工件，該激光加工裝置具有 工件臺，其載置工件； 激光束輸出部，其輸出激光束； 偏轉(zhuǎn)單元，其具有用于使從激光束輸出部射出的激光束偏轉(zhuǎn)的至少一個(gè)楔形棱鏡； 會聚透鏡，其使通過上述楔形棱鏡后的激光束會聚到工件的加工預(yù)定線上； 掃描單元，其沿著工件的加工預(yù)定線掃描會聚后的激光束；以及旋轉(zhuǎn)控制單元，在沿著加工預(yù)定線掃描上述激光束時(shí)，該旋轉(zhuǎn)控制單元使上述楔形棱鏡繞光軸旋轉(zhuǎn)，以使得上述會聚透鏡形成的激光束的會聚點(diǎn)會聚于光軸上的一點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其中，上述旋轉(zhuǎn)控制單元使上述楔形棱鏡旋轉(zhuǎn)，使得在俯視工件時(shí)激光束與加工預(yù)定線的切線垂直。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其中， 上述偏轉(zhuǎn)單元具有沿著光軸相對地配置的第I楔形棱鏡和第2楔形棱鏡， 上述旋轉(zhuǎn)控制單元使上述第I楔形棱鏡和上述第2楔形棱鏡中的至少任意一方旋轉(zhuǎn)來控制上述兩個(gè)楔形棱鏡的相位差。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工裝置，其中， 上述旋轉(zhuǎn)控制單元具有 第I中空電機(jī)，其內(nèi)部配置有上述第I楔形棱鏡； 第2中空電機(jī)，其內(nèi)部配置有上述第2楔形棱鏡；以及 控制部，其能夠獨(dú)立地控制上述第I中空電機(jī)和第2中空電機(jī)的旋轉(zhuǎn)。
全文摘要
本發(fā)明提供激光加工裝置，能夠采用簡單的結(jié)構(gòu)使全部切斷部的端面錐面為相同角度。該激光加工裝置具有激光束輸出部(15)；第1楔形棱鏡(17a)和第2楔形棱鏡(18a)，它們用于使從激光束輸出部(15)出射的激光束偏轉(zhuǎn)；第1中空電機(jī)(17)和第2中空電機(jī)(18)，它們用于使各個(gè)楔形棱鏡(17a、18a)旋轉(zhuǎn)；會聚透鏡(19)，其使通過第2楔形棱鏡(18a)后的激光束會聚到工件的加工預(yù)定線上；掃描單元，其沿著工件的加工預(yù)定線掃描會聚后的激光束；以及控制部(34)。在沿著加工預(yù)定線掃描激光束時(shí)，控制部(34)使各個(gè)楔形棱鏡(17a、18a)繞光軸旋轉(zhuǎn)，使得會聚透鏡(19)導(dǎo)致的激光束的會聚點(diǎn)會聚于光軸上的一點(diǎn)。
文檔編號B23K26/00GK103056512SQ20121039391
公開日2013年4月24日 申請日期2012年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月18日
發(fā)明者國生智史, 伊藤建心, 福原健司, 山本幸司 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司