專利名稱：一種加工雙面ito玻璃的紫外激光刻蝕裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及激光加工領(lǐng)域，特別涉及一種紫外激光刻蝕雙面ITO玻璃激光刻 蝕加工裝置。
背景技術(shù)：
[0002]是銦錫氧化物的英文縮寫，它是一種透明的導(dǎo)電體，通常厚度只有幾千埃，在所有 在透明導(dǎo)電體中，其具有優(yōu)良的物理性能高的可見光透過率，高的紅外反射率，良好的機 械強度和化學(xué)穩(wěn)定性，用酸溶液等濕法刻蝕工藝能很容易形成一定的電極圖形，制備相對 比較容易等，這使它廣泛應(yīng)用于各種電子及光電子器件，如手機和電腦等平板顯示領(lǐng)域。傳 統(tǒng)的雙面ITO玻璃采用濕刻方式制作電極圖形，工序繁多，刻蝕后產(chǎn)生的廢水需要進一步 處理，同時也容易形成煙霧廢氣等環(huán)境污染物，進一步處理工藝也會繁雜。而采用紫外激光 刻蝕雙面ITO玻璃，靈活性高，工序簡單，且無任何后續(xù)廢水廢氣產(chǎn)生。本專利用于說明采 用紫外激光刻蝕雙面ITO玻璃的一種設(shè)備.[0003]本專利提出一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，可以很好的解決以上傳 統(tǒng)工藝帶來的問題。實用新型內(nèi)容[0004]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個。本實用新型提供了一 種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，所述加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置包 括紫外激光光路加工機構(gòu)，所述紫外激光光路加工機構(gòu)包括能量衰減部件、掃描部件，所述 能量衰減部件用于激光束能量調(diào)節(jié)，所述掃描部件用于對雙面ITO玻璃進行掃描；和支撐 機構(gòu)，所述支撐機構(gòu)包括上支撐機構(gòu)和下支撐機構(gòu)，所述上下支撐機構(gòu)各包含有所述紫外 激光光路加工機構(gòu)；和激光器。本實用新型提出的一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕 裝置較好的解決了目前傳統(tǒng)工藝加工雙面ITO玻璃的常見問題。[0005]加工雙面ITO玻璃原理描述如下，如圖1所示，激光刻蝕單面ITO膜玻璃時，當(dāng)紫 外激光的功率Pd大于ITO膜的刻蝕功率閾值Pdmin時，可以將玻璃表面的ITO膜除掉；而 刻蝕雙面鍍有ITO膜的玻璃時，激光束的功率密度則需要大于最小功率閾值Pdmin，且小于 最大功率閾值Pdmax時，由于紫外激光具有能量集中，影響區(qū)小的特點，可以減少廢水廢氣 的產(chǎn)生，同時具有操作過程簡便，更宜于控制等優(yōu)點。[0006]同時，構(gòu)成所述紫外激光刻蝕裝置的所述紫外激光光路加工機構(gòu)還可以包括安全 部件，所述安全部件起到一定的安全防護作用。所述下支撐機構(gòu)還包括工作臺和基座，所述 工作臺可以在X、Y向運動，便于對加工部件，如ITO玻璃，進行加工。[0007]根據(jù)本實用新型提供的一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，所述加紫外 激光刻蝕裝置包括紫外激光光路加工機構(gòu)，所述紫外激光光路加工機構(gòu)包括能量衰減部 件、掃描部件，所述能量衰減部件用于激光束能量調(diào)節(jié)，所述掃描部件用于對雙面ITO玻璃 進行掃描；和支撐機構(gòu)，所述支撐機構(gòu)包括上支撐機構(gòu)和下支撐機構(gòu)，所述上下支撐機構(gòu)各包含有所述紫外激光光路加工機構(gòu)；和激光器。[0008]進一步地，所述能量調(diào)節(jié)部件為能量衰減器或者布儒斯特鏡。[0009]可選地，所述掃描部件包括動態(tài)聚焦鏡或振鏡。[0010]優(yōu)選地，所述掃描部件包括動態(tài)聚焦鏡和振鏡。[0011]優(yōu)選地，所述紫外激光光路加工機構(gòu)還包括安全部件。[0012]進一步地，所述安全部件為光閘。[0013]優(yōu)選地，所述紫外激光光路加工機構(gòu)可以包括分光部件、反射部件，形成共用一臺激光器的兩套光路，形成的兩套光路機構(gòu)可以大大提升加工效率和速度，具有更加高效的特點。[0014]可選地，所述上支撐機構(gòu)為龍門結(jié)構(gòu)。[0015]進一步地，所述下支撐機構(gòu)包括基座和工作臺。[0016]更進一步地，所述工作臺包括X、Y向運動部件，所述Χ、Υ向運動部件可載所述工作臺作處于工作臺平面上的運動。[0017]進一步優(yōu)選地，所述工作臺還含吸附孔，所述吸附孔提供將雙面ITO玻璃固定的吸力。[0018]進一步地，所述激光器為紫外激光器，所述激光器頻率為1(Γ300ΚΗζ，功率為 O. 2 25W。[0019]更進一步地，所述激光器為ΙΟΟΚΗζ，功率0. 5W的紫外激光器。[0020]本實用新型附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型 的實踐了解到。


[0021]本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從
以下結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中[0022]圖1顯示了單面ITO玻璃刻蝕原理示意圖；[0023]圖2顯示了雙面ITO玻璃刻蝕原理示意圖；[0024]圖3顯示了本實用新型一個實施例的正視示意圖；[0025]圖4顯示了本實用新型一個實施例的側(cè)視示意圖；[0026]圖5顯示了本實用新型一個實施例的光路結(jié)構(gòu)示意圖；[0027]圖1中，4為ITO玻璃，41為ITO玻璃上表面薄膜，6為激光束，Pd為激光的功率， Pdmin為ITO膜的刻蝕最小功率閾值；[0028]圖2中，42為ITO玻璃下表面薄膜，Pdmax為ITO膜的刻蝕最小功率閾值；[0029]圖3、圖4中，I為下支撐機構(gòu)，11為基座，12位工作臺，121為工作臺支撐部分，122 為X、Y向運動部件，2為上支撐機構(gòu)，此實施例中為龍門結(jié)構(gòu)，3為等功率分布整形光路機構(gòu)；[0030]圖5中，5為激光器，31為擴束鏡，32、34為反射鏡，33為分光鏡，331、341為光閘， 332,342為能量衰減器，333、343位動態(tài)聚焦鏡，334、344為振鏡；具體實施方式
[0031]下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能解釋為對本實用新型的限制。[0032]在實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”、“X向”、“Y向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。[0033]在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“安置”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連， 對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義[0034]下面將參照附圖來描述本實用新型的采用方光斑刻蝕雙面ITO玻璃的刻蝕裝置， 其中圖1、圖2為ITO玻璃加工原理示意圖，圖3、圖4為本實用新型一個實施例的刻蝕裝置正視及側(cè)視不意圖，圖5為本實用新型一個實施例的光路不意圖。[0035]根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，包括紫外激光光路加工機構(gòu)3 (如圖3、圖4所示),所述紫外激光光路加工機構(gòu)3包括能量衰減部件332、342 (如圖6所示)，掃描部件333、343、334、344 (如圖6所示)，所述能量衰減部件332、342用于激光束能量調(diào)節(jié)，所述掃描部件333、343、334、344用于對雙面ITO玻璃進行掃描；和支撐機構(gòu)1，所述支撐機構(gòu)I包括上支撐機構(gòu)11和下支撐機構(gòu)12，所述上下支撐機構(gòu)11、12各包含有所述紫外激光光路加工機構(gòu)3 ;和激光器5 (如圖6所示)。[0036]根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述能量調(diào)節(jié)部件332、342可根據(jù)不同規(guī)格的 ITO玻璃4改變激光束5的能量， 以獲得合理的加工參數(shù)值。[0037]優(yōu)選地，所述能量調(diào)節(jié)部件332、342為能量衰減器或者布儒斯特鏡。[0038]根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述掃描部件包括動態(tài)聚焦鏡334、344或振鏡 335,345ο[0039]優(yōu)選地，所述掃描部件可以是334、344和振鏡335、345組合。[0040]根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述紫外激光光路加工機構(gòu)3包括安全部件331、 341。[0041]優(yōu)選地，其特征在于，所述安全部件331、341為光閘。[0042]根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述紫外激光光路加工機構(gòu)3可以包括分光部件 32,34和反射部件33，形成共用一臺激光器的兩套光路，如圖6所示。[0043]根據(jù)本實用新型的一個實施例，優(yōu)選地，所述上支撐機構(gòu)2為龍門結(jié)構(gòu)。[0044]根據(jù)本實用新型的一個實施例，進一步地，所述下支撐機構(gòu)I包括基座11和工作臺12。[0045]根據(jù)本實用新型的一個實施例，更進一步地，所述工作臺12包括X、Y向運動部件 122，所述Χ、Υ向運動部件122可載所述工作臺12作處于工作臺平面上的運動。[0046]根據(jù)本實用新型的一個實施例，進一步地，所述激光器5為紫外激光器。[0047]根據(jù)本實用新型的一個實施例，進一步地，述激光器為紫外激光器，所述激光器頻率為10 300ΚΗζ，功率為O. 2 25W。[0048]根據(jù)本實用新型的一個實施例，更進一步地，所述激光器為IOOKHz，功率0. 5W的紫外激光器。[0049]根據(jù)本實用新型的一個實施例，在加工過程中，附有ITO玻璃上、下表面薄膜41、 42的雙面ITO玻璃4放置在下支撐機構(gòu)I中的上，而上下支撐機構(gòu)1、2上安裝的紫外激光光路加工機構(gòu)3對置于工作臺121之上在由X、Y向運動部件122帶動的ITO玻璃上下表面薄膜41、42進行加工處理，激光束6由激光器5發(fā)出可經(jīng)由單一結(jié)構(gòu)的一套紫外激光光路加工機構(gòu)3形成的激光束， 具體過程如下，激光束6從激光器5射出，經(jīng)光閘331或341，再進入能量衰減器332或342進行能量調(diào)節(jié)進而形成所根據(jù)加工不同規(guī)格的ITO玻璃薄膜需要的能量值，最終進入動態(tài)聚焦鏡333或343，直至進入振鏡334或344，對待加工ITO玻璃 4進行加工處理。[0050]根據(jù)本實用新型的另一個實施例，激光束6由激光器5發(fā)出可經(jīng)由擴束鏡31進行擴束，再進入分光鏡33將激光束一分為二，進入兩套紫外激光光路加工機構(gòu)3形成的激光束，為了更合理的利用空間，光路過程中可以增加反射鏡32，在激光束被擴束之后，對其進行反射進入分光鏡33，當(dāng)然反射鏡32的作用是為了更合理的利用空間，而另一束激光束則經(jīng)反射鏡34進入同樣的紫外激光光路加工機構(gòu)3，如圖6所示，具體過程如下，激光束6從激光器5射出，經(jīng)擴束鏡31經(jīng)反射鏡32，由分光鏡33將激光束一分為二，分別進入兩套紫外激光光路加工機構(gòu)3，一束經(jīng)光閘331，再進入能量衰減器332進行能量調(diào)節(jié)進而形成所根據(jù)加工不同規(guī)格的ITO玻璃薄膜需要的能量值，最終進入動態(tài)聚焦鏡333，直至進入振鏡 334，對待加工ITO玻璃4進行加工處理；另一束經(jīng)反光鏡34進入同樣的紫外激光光路加工機構(gòu)3，經(jīng)光閘341，再進入能量衰減器342進行同樣的能量調(diào)節(jié)，最終進入動態(tài)聚焦鏡 343，直至進入振鏡344，對待加工ITO玻璃4進行加工處理。[0051]由本實用新型公開的一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，可以形成能量集中的激光束，對雙面ITO玻璃的加工品質(zhì)和加工效率有著非常的效果。[0052]任何提及“ 一個實施例”、“實施例”、“示意性實施例”等意指結(jié)合該實施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點包含于本實用新型的至少一個實施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點時，所主張的是，結(jié)合其他的實施例實現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。[0053]盡管參照本實用新型的多個示意性實施例對本實用新型的具體實施方式
進行了詳細的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計出多種其他的改進和實施例，這些改進和實施例將落在本實用新型原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進，而不會脫離本實用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，包括 紫外激光光路加工機構(gòu)，所述紫外激光光路加工機構(gòu)包括能量衰減部件、掃描部件，所述能量衰減部件用于激光束能量調(diào)節(jié)，所述掃描部件用于對雙面ITO玻璃進行掃描； 和支撐機構(gòu)，所述支撐機構(gòu)包括上支撐機構(gòu)和下支撐機構(gòu)，所述上下支撐機構(gòu)各包含有所述紫外激光光路加工機構(gòu)； 和激光器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述能量調(diào)節(jié)部件包括能量衰減器或者布儒斯特鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述掃描部件包括動態(tài)聚焦鏡或振鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述掃描部件包括動態(tài)聚焦鏡和振鏡。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述紫外激光光路加工機構(gòu)還包括安全部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述安全部件為光閘。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述紫外激光光路加工機構(gòu)可以包括分光部件、反射部件，形成共用一臺激光器的兩套光路。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述上支撐機構(gòu)為龍門結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述下支撐機構(gòu)包括基座和工作臺。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述工作臺包括X、Y向運動部件，所述X、Y向運動部件可載所述工作臺作處于工作臺平面上的運動。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述工作臺還含吸附孔，所述吸附孔提供將雙面ITO玻璃固定的吸力。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述激光器為紫外激光器，所述激光器頻率為l(T300KHz，功率為0. 2 25W。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述激光器為lOOKHz，功率0.5W的紫外激光器。
專利摘要本實用新型公開了一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，可以使用紫外激光將照射部位薄膜去除,達到對雙面ITO玻璃的加工目的,本實用新型公開的刻蝕裝置包括支撐機構(gòu)和紫外激光光路加工機構(gòu)，所述支撐機構(gòu)包括上支撐裝置和下支撐裝置，所述上下支撐裝置各包含一套紫外激光光路加工機構(gòu)，用于提供加工雙面ITO玻璃的紫外激光束，同時所述紫外激光刻蝕裝置還包括吸附孔，提供固定雙面ITO玻璃的吸附力。
文檔編號B23K26/40GK202825013SQ20122048242
公開日2013年3月27日 申請日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月21日
發(fā)明者魏志凌, 寧軍, 高永強 申請人:昆山思拓機器有限公司