專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于雙面ito激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種用于雙面ITO激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及激光加工領(lǐng)域，特別涉及一種用于雙面ιτο激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng) 升降機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
[0002]ITO是銦錫氧化物的英文縮寫(xiě)，它是一種透明的導(dǎo)電體，通常厚度只有幾千埃，在 所有在透明導(dǎo)電體中，其具有優(yōu)良的物理性能高的可見(jiàn)光透過(guò)率，高的紅外反射率，良好 的機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性，用酸溶液等濕法刻蝕工藝能很容易形成一定的電極圖形，制備 相對(duì)比較容易等，這使它廣泛應(yīng)用于各種電子及光電子器件，如手機(jī)和電腦等平板顯示領(lǐng) 域。按照尺寸分類(lèi)，常見(jiàn)雙面ITO玻璃有14*14英寸，14*16英寸，20*24英寸等規(guī)格，按厚 度分有1. 1mm, O. 7mm, O. 55mm, O. 4mm, 0. 3mm 等規(guī)格。[0003]雙面ITO玻璃的加工工藝要求同時(shí)對(duì)玻璃上下兩個(gè)表面加工以便提高加工效率， 因此在加工過(guò)程中，上下振鏡分別相對(duì)玻璃上下表面的位置是固定的，當(dāng)加工玻璃的厚度 發(fā)生改變時(shí)，需要通過(guò)控制動(dòng)態(tài)聚焦鏡來(lái)適應(yīng)玻璃厚度的變化，同時(shí)要求調(diào)整的范圍要小， 精度要高.由于動(dòng)態(tài)聚焦鏡的價(jià)格較高，造成雙面ITO玻璃加工設(shè)備整體價(jià)格昂貴，同時(shí)， 由于ITO玻璃厚度具有標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，所以振鏡操作和維修就顯得復(fù)雜，本實(shí)用新型提出提出 一種新的裝置，可以替代動(dòng)態(tài)聚焦鏡，可大大降低設(shè)備整體成本，操作更自由，維修更加方 便。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個(gè)。本實(shí)用新型提供了一 種用于雙面ITO激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述滑 動(dòng)機(jī)構(gòu)用來(lái)帶動(dòng)振鏡位置移動(dòng)；高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)可以驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu) 進(jìn)行位置移動(dòng)；和反射機(jī)構(gòu)，所述反射機(jī)構(gòu)用來(lái)改變激光路徑。[0005]在傳統(tǒng)使用的激光刻蝕設(shè)備中，動(dòng)態(tài)聚焦鏡為一光學(xué)部件，使用時(shí)固定在2D振鏡 后部，激光經(jīng)動(dòng)態(tài)聚焦鏡后進(jìn)入2D振鏡，加工過(guò)程中，通過(guò)控制動(dòng)態(tài)聚焦鏡可以改變聚焦 光斑的高度位置，實(shí)現(xiàn)3D掃描，動(dòng)態(tài)聚焦鏡與2D振鏡的位置關(guān)系如圖1所示。激光刻蝕 雙面ITO玻璃時(shí)，2D振鏡相對(duì)ITO玻璃的布局如圖2所示，圖中L為2D振鏡下端面相對(duì)玻 璃表面的距離，該值為一定值，當(dāng)玻璃厚度變化時(shí)，為了適應(yīng)變化，由于2D振鏡的位置是固 定的，因此需要使用動(dòng)態(tài)聚焦鏡來(lái)滿足厚度變化要求，而動(dòng)態(tài)聚焦鏡成本較高，設(shè)備上配置 的數(shù)量也較大,造成了設(shè)備整體成本很高，同時(shí)維修也帶來(lái)不便。[0006]基于以上原因，本實(shí)用新型提出一種新的機(jī)構(gòu)，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)原理描述 如下，如圖3所示，當(dāng)激光束由激光器發(fā)出之后，經(jīng)反射機(jī)構(gòu)反射進(jìn)入振鏡中，對(duì)ITO玻璃 進(jìn)行加工，當(dāng)ITO玻璃厚度發(fā)生變化時(shí)，可以操作高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)使振鏡進(jìn)行上下移動(dòng)，并固 定，從而對(duì)激光束焦點(diǎn)距離L進(jìn)行調(diào)節(jié)，達(dá)到加工不同規(guī)格厚度的ITO玻璃的目的。由此可 以使整體設(shè)備成本大大降低，同時(shí)使操作和維修變得更加簡(jiǎn)便。[0007]同時(shí)，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還包括振鏡。[0008]根據(jù)本實(shí)用新型提供的一種用于雙面ITO激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，所述手 動(dòng)升降機(jī)構(gòu)包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)用來(lái)帶動(dòng)振鏡位置移動(dòng)；高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述高 度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)可以驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置移動(dòng)；和反射機(jī)構(gòu)，所述反射機(jī)構(gòu)用來(lái)改變激 光路徑。[0009]進(jìn)一步地，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還包括進(jìn)給機(jī)構(gòu)，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)用來(lái)驅(qū)動(dòng)所述高度 調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置移動(dòng)，從而對(duì)振鏡高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，便于不同規(guī)格厚度的ITO玻璃加工。[0010]可選地，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以是連續(xù)進(jìn)給機(jī)構(gòu)，也可以是離散進(jìn)給機(jī)構(gòu)。[0011 ] 進(jìn)一步可選地，所述連續(xù)進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以是螺旋進(jìn)給機(jī)構(gòu)。[0012]進(jìn)一步可選地，所述離散進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以包括根據(jù)不同規(guī)格的雙面ITO玻璃設(shè)置的 帶有離散分隔裝置的長(zhǎng)形固體及固定所述長(zhǎng)形固體的固定部件。[0013]可選地，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)可以是滑軌機(jī)構(gòu)，也可以是滑道機(jī)構(gòu)。[0014]進(jìn)一步地，所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件。[0015]進(jìn)一步優(yōu)選地，所述具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件可以是楔型塊，或者具有弧形 面高度調(diào)節(jié)部件。[0016]同時(shí)，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還可以包括振鏡。[0017]本實(shí)用新型附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述 中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。


[0018]本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從
以下結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中 將變得明顯和容易理解，其中[0019]圖1顯示了傳統(tǒng)激光加工設(shè)備加工不同厚度規(guī)格加工件激光束焦點(diǎn)調(diào)節(jié)的示意 圖；[0020]圖2顯示了傳統(tǒng)激光加工設(shè)備加工不同厚度規(guī)格加工件激光束焦點(diǎn)調(diào)節(jié)的示意 圖；[0021]圖3顯示了本實(shí)用新型實(shí)施例的原理示意圖；[0022]圖4顯示了本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的示意圖；[0023]圖5顯示了本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)示意圖；[0024]圖6顯示了本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及連續(xù)進(jìn)給機(jī)構(gòu)示意圖；[0025]圖7顯示了本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的離散進(jìn)給機(jī)構(gòu)及長(zhǎng)性固體A向視圖的示意 圖；[0026]圖1中，L為2D振鏡下端面相對(duì)玻璃表面的距離為一定值，Z為上下運(yùn)動(dòng)方向，Max 為向上方向最大變化范圍，Min向下方向最大變化范圍；[0027]圖2中，L為2D振鏡下端面相對(duì)玻璃表面的距離為一定值；[0028]圖3中，I為滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，2為反射機(jī)構(gòu)，3為高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，4為振鏡，5為激光束；[0029]圖4中，11為滑動(dòng)機(jī)構(gòu)中的支座，12位滑動(dòng)機(jī)構(gòu)中的滑動(dòng)部件，21、22為反射機(jī)構(gòu) 中的反射鏡，6為設(shè)備支撐部分；[0030]圖5、圖6中，31為高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)中的支座，32、33分別為高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)中的具有曲面的上下部件，6為刻蝕設(shè)備與手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)連接部分，7為進(jìn)給機(jī)構(gòu)；[0031]圖7中，A為對(duì)離散進(jìn)給機(jī)構(gòu)中的長(zhǎng)形固體的觀測(cè)方向，右側(cè)圖為長(zhǎng)形固體A向視 圖不意圖。
具體實(shí)施方式
[0032]下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始 至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參 考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能解釋為對(duì)本實(shí)用新型的 限制。[0033]在實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”、“左”、“右”、“Z向”、“A向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅 是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特 定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。[0034]在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安 裝”、“安置”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可 拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連， 對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義[0035]下面將參照附圖來(lái)描述本實(shí)用新型的用于雙面ITO激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī) 構(gòu)，其中圖1、圖2為傳統(tǒng)ITO玻璃加工過(guò)程使用振鏡進(jìn)行激光束焦點(diǎn)調(diào)節(jié)示意圖，圖3為本 實(shí)用新型聞度調(diào)節(jié)不意圖，圖4_圖7為本實(shí)用新型的實(shí)施例不意圖。[0036]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)1，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)I 用來(lái)帶動(dòng)振鏡4位置移動(dòng)；高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3，所述高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)3可以驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu) I進(jìn)行位置移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)振鏡4進(jìn)行移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)激光束5焦點(diǎn)位置對(duì)ITO玻璃進(jìn)行加 工；和反射機(jī)構(gòu)2，所述反射機(jī)構(gòu)2用來(lái)改變激光束5的路徑，如圖3所示。[0037]進(jìn)一步地，根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還包括進(jìn)給機(jī)構(gòu)7，所述 進(jìn)給機(jī)構(gòu)7用來(lái)驅(qū)動(dòng)所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置移動(dòng)，如圖6、7所示。[0038]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)7可以是連續(xù)進(jìn)給機(jī)構(gòu)，也可以是離散 進(jìn)給機(jī)構(gòu)，如圖6、7所示。[0039]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述連續(xù)進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以是螺旋進(jìn)給機(jī)構(gòu)，如圖6 所示，所示螺旋進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以包括螺旋部件和支撐部件，當(dāng)螺旋部件在支撐部件中旋轉(zhuǎn)時(shí)， 螺旋部件可以進(jìn)行前后或左右或上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)與所述螺旋部件相連的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 進(jìn)行相應(yīng)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)振鏡4進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，從而對(duì)激光束5的焦點(diǎn)位置進(jìn)行調(diào)節(jié)對(duì)ITO玻璃 進(jìn)行加工。[0040]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述離散進(jìn)給機(jī)構(gòu)，如圖7所示，可以包括根據(jù)不 同規(guī)格的雙面ITO玻璃設(shè)置的帶有離散分隔裝置的長(zhǎng)形固體及固定所述長(zhǎng)形固體的固定 部件，當(dāng)雙面ITO玻璃的厚度發(fā)生變化時(shí)，可以將帶有離散分割裝置的長(zhǎng)形固體進(jìn)行前后 移動(dòng)，因?yàn)殡p面ITO玻璃的厚度具有一定的離散標(biāo)準(zhǔn)值，所以離散分割裝置的距離可以根 據(jù)此離散標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行確定，在本實(shí)施例中，長(zhǎng)形固體可以是外表面具有離散凸起的圓柱，固 定部件可以是內(nèi)環(huán)有相應(yīng)凹陷，對(duì)長(zhǎng)形固體的凸起進(jìn)行固定，當(dāng)然長(zhǎng)形固體也可以是外表面具有凹陷的圓柱，而固定部件則可以在內(nèi)環(huán)有相應(yīng)凸起，如此可以移動(dòng)圓柱體，對(duì)高度調(diào) 節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)節(jié)，大大簡(jiǎn)化操作過(guò)程，也使維修過(guò)程及成本大大降低。[0041]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)I可以是滑軌機(jī)構(gòu)，也可以是滑道機(jī)構(gòu)。[0042]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3包括具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部 件 32、33。[0043]優(yōu)選地，所述具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件可以是楔型塊32、33，(如圖5所示)，或 者具有弧形面高度調(diào)節(jié)部件32、33，(如圖6所示)。[0044]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還包括振鏡4。[0045]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，激光束5由激光器發(fā)出，經(jīng)反射機(jī)構(gòu)2中的反射鏡21、 22進(jìn)行反射進(jìn)入振鏡4，對(duì)ITO玻璃進(jìn)行加工；當(dāng)ITO玻璃厚度發(fā)生變化時(shí)，可以調(diào)節(jié)高度 調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3對(duì)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)I進(jìn)行位置移動(dòng)，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3可以是具有曲面的部件構(gòu)成，如上 下楔型塊或者具有弧度的上下弧度塊31、32，當(dāng)進(jìn)給機(jī)構(gòu)7前后運(yùn)動(dòng)時(shí)，連續(xù)進(jìn)給機(jī)構(gòu)可根 據(jù)需要進(jìn)行調(diào)節(jié)至預(yù)設(shè)位置并固定，離散進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以使用同樣的過(guò)程調(diào)節(jié)到預(yù)設(shè)位置并 固定，如此，可以調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3的位置，進(jìn)而對(duì)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)I及振鏡4的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)， 從而達(dá)到對(duì)不同規(guī)格厚度的ITO玻璃加工的目的。[0046]由本實(shí)用新型公開(kāi)的一種用于雙面ITO激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，可以手動(dòng) 對(duì)加工不同厚度規(guī)格的ITO玻璃進(jìn)行調(diào)節(jié)，可以大大降低整體設(shè)備成本，簡(jiǎn)化和降低操作 和維修過(guò)程及其成本，有著很好的技術(shù)效果。[0047]任何提及“ 一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”等意指結(jié)合該實(shí)施例描述的 具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例中。在本說(shuō)明書(shū)各處的該示 意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特 點(diǎn)時(shí)，所主張的是，結(jié)合其他的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)均落在本領(lǐng)域技術(shù)人 員的范圍之內(nèi)。[0048]盡管參照本實(shí)用新型的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
進(jìn)行了 詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改 進(jìn)和實(shí)施例將落在本實(shí)用新型原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開(kāi)、附圖以及權(quán) 利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改 進(jìn)，而不會(huì)脫離本實(shí)用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所 附權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種用于雙面ITO激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，包括 滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)用來(lái)帶動(dòng)振鏡位置移動(dòng)； 高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)可以驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置移動(dòng)； 和反射機(jī)構(gòu)，所述反射機(jī)構(gòu)用來(lái)改變激光路徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還包括進(jìn)給機(jī)構(gòu)，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)與所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)相連，用來(lái)驅(qū)動(dòng)所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以是連續(xù)進(jìn)給機(jī)構(gòu)，也可以是離散進(jìn)給機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連續(xù)進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以是螺旋進(jìn)給機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述離散進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以包括根據(jù)不同規(guī)格的雙面ITO玻璃設(shè)置的帶有離散分隔裝置的長(zhǎng)形固體及固定所述長(zhǎng)形固體的固定部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)可以是滑軌機(jī)構(gòu)，也可以是滑道機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述具有曲面特征的高度調(diào)節(jié)部件可以是楔型塊，或者具有弧形面高度調(diào)節(jié)部件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還包括振鏡。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于雙面ITO激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，包括高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),所述高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)可以是利用進(jìn)給結(jié)構(gòu)通過(guò)高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行過(guò)渡進(jìn)而升降，也可以是直接使用進(jìn)給機(jī)構(gòu)直接進(jìn)行升降，進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以是螺旋機(jī)構(gòu)，也可以是離散式漸進(jìn)機(jī)構(gòu)，還包括反射機(jī)構(gòu),所述反射機(jī)構(gòu)用來(lái)改變激光路徑,所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu),所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)用來(lái)帶動(dòng)振鏡上下運(yùn)動(dòng)，所述手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)還包括振鏡。本實(shí)用新型公開(kāi)的雙面ITO激光刻蝕設(shè)備的手動(dòng)升降機(jī)構(gòu)可以對(duì)現(xiàn)有設(shè)備進(jìn)行簡(jiǎn)化，大大降低設(shè)備整體成本，操作更自由，維修更加方便。
文檔編號(hào)B23K26/36GK202824997SQ201220482448
公開(kāi)日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月21日
發(fā)明者魏志凌, 寧軍, 高永強(qiáng) 申請(qǐng)人:昆山思拓機(jī)器有限公司