技術(shù)編號：2326546
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明涉及一種高精度的納米操作機器人結(jié)構(gòu)，具體的說是一種可以以極高的位移分辨率快速地對微小物體在三維空間內(nèi)進行操作的操作裝置。 背景技術(shù) 微納操作器是納米操作機器人系統(tǒng)的核心部件，納米操作機器人可以用于微型機械零件裝配、微機電系統(tǒng)(MEMS)組裝、超精密加工、光學調(diào)整、生物細胞操作等領(lǐng)域。目前，納米操作機器人系統(tǒng)還處于研究發(fā)展階段，還沒有完全產(chǎn)業(yè)化，主要還是集中在一些高校和研究機構(gòu)?？偨Y(jié)國內(nèi)外技術(shù)現(xiàn)狀，納米操作器已經(jīng)由一個自由度發(fā)展為多個自由度，在驅(qū)...
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