一種基于特征人工節(jié)瘤缺陷的激光預(yù)處理技術(shù)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種基于特征人工節(jié)瘤缺陷的高反射薄膜激光預(yù)處理技術(shù)，包括：利用SiO2顆?；蚪饘兕w粒制備出包含不同特征人工節(jié)瘤缺陷的高反射薄膜被測(cè)樣品；分別測(cè)量獲得同種類型人工節(jié)瘤缺陷在未進(jìn)行激光預(yù)處理和進(jìn)行激光預(yù)處理后的損傷閾值，依據(jù)損傷閾值提升的幅度優(yōu)化激光預(yù)處理工序中的初始能量梯度、能量遞增梯度和最大能量梯度；在獲得單一缺陷最優(yōu)激光預(yù)處理工藝的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步研究其它類型缺陷的最優(yōu)工藝；最終可以根據(jù)實(shí)際樣品中缺陷的類型和尺寸，選擇最優(yōu)的激光預(yù)處理工藝，實(shí)現(xiàn)實(shí)際樣品損傷閾值的最大提升。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明針對(duì)高反射薄膜中損傷閾值最低、且最容易率先發(fā)生損傷的節(jié)瘤缺陷，以特征人工節(jié)瘤缺陷的損傷閾值提升為標(biāo)準(zhǔn)，能夠獲得最優(yōu)激光預(yù)處理工藝。
【專利說(shuō)明】一種基于特征人工節(jié)瘤缺陷的激光預(yù)處理技術(shù)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種高反射光學(xué)薄膜激光預(yù)處理技術(shù)，尤其是涉及利用激光預(yù)處理技術(shù)提高薄膜中節(jié)瘤缺陷損傷閾值的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]光學(xué)薄膜的激光損傷問(wèn)題是影響激光器向更高功率發(fā)展的限制性因素之一，而影響光學(xué)薄膜激光損傷閾值的因素有很多，包括激光參數(shù)、薄膜自身特性以及薄膜制備工藝等。通過(guò)改進(jìn)制備工藝、優(yōu)化膜系設(shè)計(jì)、發(fā)展新型鍍膜材料等手段能夠顯著提高薄膜的損傷閾值。但當(dāng)這些方法都已接近最優(yōu)或通過(guò)繼續(xù)優(yōu)化上述方法都無(wú)法再顯著提高損傷閾值或繼續(xù)優(yōu)化的成本急劇增加時(shí)，為了再次提高薄膜的抗激光損傷能力，國(guó)內(nèi)外的研究人員提出了激光預(yù)處理技術(shù)。激光預(yù)處理是采用低于元件損傷閾值的激光能量對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行輻照，從而使其抗激光損傷能力提升的一種技術(shù)。激光預(yù)處理作用機(jī)制比較復(fù)雜，綜合了清洗機(jī)制、加熱退火機(jī)制、缺陷改良機(jī)制和電子雜質(zhì)缺陷機(jī)制等，而且不同類型、工藝和工作波長(zhǎng)光學(xué)元件的最優(yōu)激光預(yù)處理方案并不相同，且預(yù)處理效果差異明顯。因此在實(shí)際應(yīng)用中，需要根據(jù)光學(xué)薄膜的不同工藝和類型，深入研究激光預(yù)處理作用機(jī)制，發(fā)展不同激光預(yù)處理技術(shù)和預(yù)處理效果評(píng)價(jià)方法來(lái)進(jìn)一步提高特定光學(xué)薄膜的損傷閾值，以此來(lái)滿足光學(xué)元件在工程上和技術(shù)上的要求。
[0003]最優(yōu)激光預(yù)處理工藝與高反射薄膜中所包含的缺陷類型有著密切的聯(lián)系，由于缺陷是導(dǎo)致薄膜最先發(fā)生損傷的直接誘因，也是限制損傷閾值提升的“短板”。而以往的工作中，并沒(méi)有開(kāi)展針對(duì)不同類型缺陷的激光預(yù)處理工藝研究。因此，所獲得的激光預(yù)處理工藝具有較大的不確定性，無(wú)法將缺陷損傷和薄膜本征損傷區(qū)分開(kāi)來(lái)。鑒于高反射薄膜中的缺陷具有最低的損傷閾值、且最容易率先發(fā)生損傷進(jìn)而生長(zhǎng)，利用激光預(yù)處理技術(shù)提升缺陷的損傷閾值，才能有效地獲得具有重復(fù)性和價(jià)值的激光預(yù)處理工藝。
[0004]由于高反射薄膜中包含不同類型的缺陷結(jié)構(gòu)，并且離散性大和均勻性差的特點(diǎn)，導(dǎo)致難以針對(duì)單一類型或多種類型缺陷開(kāi)展穩(wěn)定、重復(fù)的激光預(yù)處理技術(shù)研究。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明為了解決上述技術(shù)的不足，通過(guò)引入特征人工節(jié)瘤缺陷，提供了一種面向激光薄膜內(nèi)部缺陷的激光預(yù)處理技術(shù)。
[0006]為達(dá)到以上目的，本發(fā)明所采用的解決方案是:
[0007]一種損傷閾值測(cè)量裝置，其包括:
[0008]進(jìn)行損傷閾值測(cè)量和激光預(yù)處理的泵浦激光、被測(cè)樣品、電動(dòng)平移臺(tái)、照明光源、損傷監(jiān)控系統(tǒng)。
[0009]所述被測(cè)樣品由電動(dòng)平移臺(tái)控制；所述被測(cè)樣品由損傷監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)時(shí)檢測(cè)和圖像拍攝；所述損傷監(jiān)控系統(tǒng)由在線顯微鏡和外觸發(fā)式相機(jī)組成。
[0010]利用上述測(cè)量裝置針對(duì)激光薄膜內(nèi)部人工節(jié)瘤缺陷進(jìn)行激光預(yù)處理，獲得不同類型節(jié)瘤缺陷的損傷性能，包括下列步驟:
[0011]①利用旋涂法將不同尺寸的SiO2顆?；蚪饘兕w粒均勻旋涂在基底表面，然后鍍制高反射薄膜，由此制備出包含不同特征人工節(jié)瘤缺陷的被測(cè)樣品；
[0012]②將被測(cè)樣品固定在電動(dòng)平移臺(tái)，電動(dòng)平移臺(tái)控制被測(cè)樣品移動(dòng)，在線顯微鏡對(duì)準(zhǔn)泵浦激光輻照被測(cè)樣品的位置；
[0013]③泵浦激光對(duì)準(zhǔn)包含同一類人工節(jié)瘤缺陷的被測(cè)樣品中的一個(gè)缺陷，在線顯微鏡拍攝圖像Dpxy，泵浦激光輻照，然后在線顯微鏡拍攝缺陷在激光輻照后的圖像；
[0014]④設(shè)定尺寸容差S1和SD，比較Dtlxy和Dlxy中坐標(biāo)位置為X和y缺陷的差異，出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差S1的缺陷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生初始損傷；出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差Sd的缺陷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生災(zāi)難性損傷；
[0015]⑤電動(dòng)平移臺(tái)控制樣品移動(dòng)到下一個(gè)缺陷點(diǎn)，重復(fù)步驟③?④，獲得不少于10個(gè)同種類型缺陷點(diǎn)在該能量下的初始損傷幾率和災(zāi)難性損傷幾率；
[0016]⑥提升激光能量，重復(fù)步驟③?⑤，獲得同種類型缺陷點(diǎn)在不同能量下的初始損傷幾率和災(zāi)難性損傷幾率，并通過(guò)線性擬合的方式獲得該類型缺陷的零幾率初始損傷閾值F=、以及零幾率災(zāi)難性損傷閾值Fd ；
[0017]⑦對(duì)同類型缺陷進(jìn)行激光預(yù)處理，泵浦激光器未輻照前，電動(dòng)平移臺(tái)做光柵掃描運(yùn)動(dòng)，外觸發(fā)式相機(jī)在電動(dòng)平移臺(tái)每次移動(dòng)至新位置后都將拍攝一張圖片，標(biāo)記為Ntlxy ；
[0018]⑧設(shè)定初始激光能量，泵浦激光器輻照樣品，電動(dòng)平移臺(tái)做光柵掃描運(yùn)動(dòng)，外觸發(fā)式相機(jī)在電動(dòng)平移臺(tái)每次移動(dòng)至新位置后都將拍攝一張圖片，標(biāo)記為Nlxy ；
[0019]⑨比較Ntlxy和Nlxy中每個(gè)X和y位置下圖片的差異，當(dāng)出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差Sd的損傷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生災(zāi)難性損傷，激光預(yù)處理能量過(guò)高導(dǎo)致樣品損壞；否則，繼續(xù)進(jìn)行激光預(yù)處理；
[0020]⑩設(shè)定能量遞增梯度，提升激光能量，重復(fù)⑦?⑨，可以實(shí)現(xiàn)被測(cè)樣品相同區(qū)域在泵浦激光器不同能量下的輻照，完成對(duì)該類型缺陷多個(gè)能量梯度的激光預(yù)處理；
[0021]?重復(fù)③?⑥，對(duì)完成激光預(yù)處理的缺陷進(jìn)行損傷閾值檢測(cè)，分別獲得缺陷的零
[0022]幾率初始損傷閾值F’ P以及零幾率災(zāi)難性損傷閾值F’ D ；
[0023]?根據(jù)激光預(yù)處理后零幾率損傷閾值F，I和F’ D，相比于未進(jìn)行激光預(yù)處理時(shí)零幾率損傷閾值F1和Fd的提升情況，對(duì)初始激光能量、能量遞增梯度和最大激光能量進(jìn)行優(yōu)化，以獲得最強(qiáng)激光預(yù)處理效果；
[0024]?重復(fù)③--，獲得不同類型缺陷的最佳激光預(yù)處理效果；由此，根據(jù)實(shí)際樣品所包含缺陷的類型、以及對(duì)零幾率初始損傷閾值和零幾率災(zāi)難性損傷閾值的要求，選擇最優(yōu)的激光預(yù)處理工藝，實(shí)現(xiàn)實(shí)際樣品損傷閾值的最大提升。
[0025]所述的不同特征人工節(jié)瘤缺陷，包括不同橫向尺寸、縱向尺寸和吸收特性的人工節(jié)瘤缺陷；所述的最優(yōu)激光預(yù)處理工藝，包括初始激光能量、能量遞增梯度和最大激光能量。
[0026]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明利用人工節(jié)瘤缺陷優(yōu)化激光預(yù)處理工藝，從而獲得損傷閾值的最大提升。以同種類型人工節(jié)瘤缺陷在未進(jìn)行激光預(yù)處理和進(jìn)行激光預(yù)處理前后損傷閾值的差異為參照，優(yōu)化激光預(yù)處理工序中的初始能量梯度、能量遞增梯度和最大能量梯度；在獲得單一缺陷最優(yōu)激光預(yù)處理工藝的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步研究其它類型缺陷的最優(yōu)工藝；最終可以根據(jù)實(shí)際樣品中缺陷的類型和尺寸，選擇最優(yōu)的激光預(yù)處理工藝，實(shí)現(xiàn)實(shí)際樣品損傷閾值的最大提升。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1為損傷閾值測(cè)量和激光預(yù)處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2為零幾率損傷閾值擬合數(shù)據(jù)圖；
[0029]圖3為被測(cè)樣品在電動(dòng)平移臺(tái)控制下的運(yùn)行軌跡示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0031]實(shí)施例
[0032]一種基于特征人工節(jié)瘤缺陷的高反射薄膜激光預(yù)處理技術(shù)，該技術(shù)將人工節(jié)瘤缺陷引入到激光預(yù)處理工藝的優(yōu)化過(guò)程中，通過(guò)測(cè)量激光預(yù)處理前后特征人工節(jié)瘤的損傷閾值變化，確定最優(yōu)激光預(yù)處理工藝。
[0033]如圖1所示，損傷閾值測(cè)量和激光預(yù)處理的裝置包括用于發(fā)射泵浦激光的泵浦激光器1、用于帶動(dòng)被測(cè)樣品2移動(dòng)的電動(dòng)平移臺(tái)3、照明電源4和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并獲取被測(cè)樣品圖像的損傷監(jiān)控組件，所述的損傷監(jiān)控組件包括在線顯微鏡6和外觸發(fā)式相機(jī)5。所述的識(shí)別方法具體包括以下步驟:
[0034]所述被測(cè)樣品2在鍍制薄膜之前，利用旋涂法將不同尺寸的SiO2顆?；蚪饘兕w粒均勻旋涂在基底表面，然后鍍制高反射薄膜；由于初始SiO2顆?；蚪饘兕w粒的存在，薄膜在生長(zhǎng)過(guò)程中將逐步生長(zhǎng)為與初始顆粒尺寸相關(guān)的節(jié)瘤缺陷，并在縱向高度上等高，但在橫向尺寸上顯著增大，其增大的倍數(shù)與膜層厚度成正比。
[0035]利用上述測(cè)量裝置針對(duì)激光薄膜內(nèi)部人工節(jié)瘤缺陷進(jìn)行激光預(yù)處理，獲得不同類型節(jié)瘤缺陷的損傷性能，包括下列步驟:
[0036]①利用旋涂法將不同尺寸的SiO2顆?；蚪饘兕w粒均勻旋涂在基底表面，顆粒分布密度約為25個(gè)/平方厘米；然后利用電子束蒸發(fā)技術(shù)鍍制高反射薄膜，鍍膜過(guò)程中，基底上的不同顆粒因薄膜覆蓋，逐漸生長(zhǎng)成為節(jié)瘤缺陷，由此制備出包含不同特征人工節(jié)瘤缺陷的被測(cè)樣品2 ；
[0037]②將被測(cè)樣品2固定在電動(dòng)平移臺(tái)3，電動(dòng)平移臺(tái)3控制被測(cè)樣品2移動(dòng)，在線顯微鏡6對(duì)準(zhǔn)泵浦激光I輻照被測(cè)樣品2的位置；
[0038]③泵浦激光I對(duì)準(zhǔn)包含同一類人工節(jié)瘤缺陷的被測(cè)樣品2中的一個(gè)缺陷，在線顯微鏡6拍攝圖像Dpxy，泵浦激光I輻照，然后在線顯微鏡6拍攝缺陷在激光輻照后的圖像
T).[0039]④設(shè)定尺寸容差S1和SD，比較Dtlxy和Dlxy中坐標(biāo)位置為X和y缺陷的差異，出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差S1的缺陷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生初始損傷；出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差Sd的缺陷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生災(zāi)難性損傷；
[0040]⑤電動(dòng)平移臺(tái)3控制被測(cè)樣品2移動(dòng)到下一個(gè)缺陷點(diǎn)，重復(fù)步驟③?④，獲得不少于10個(gè)同種類型缺陷點(diǎn)在該能量下的初始損傷幾率和災(zāi)難性損傷幾率；
[0041]⑥提升激光能量，重復(fù)步驟③?⑤，獲得同種類型缺陷點(diǎn)在不同能量下的初始損傷幾率和災(zāi)難性損傷幾率，并通過(guò)線性擬合的方式獲得該類型缺陷的零幾率初始損傷閾值F1、以及零幾率災(zāi)難性損傷閾值Fd ;如圖2所示，其中橫坐標(biāo)為激光能量，縱坐標(biāo)為損傷幾率，數(shù)據(jù)點(diǎn)為損傷幾率數(shù)值，直線為線性擬合曲線，直線與橫坐標(biāo)的交點(diǎn)為零幾率損傷閾值；
[0042]⑦對(duì)同類型缺陷進(jìn)行激光預(yù)處理，泵浦激光I未輻照前，電動(dòng)平移臺(tái)3做光柵掃描運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)軌跡如圖3所示，X方向總的移動(dòng)距離為Sx，移動(dòng)間隔為Dx，y方向總的移動(dòng)距離為Sy，移動(dòng)間隔為Dy，由此實(shí)現(xiàn)泵浦激光對(duì)樣品的大面積輻照；外觸發(fā)式相機(jī)5在電動(dòng)平移臺(tái)3每次移動(dòng)至新位置后都將拍攝一張圖片，標(biāo)記為Ntlxy ；
[0043]⑧設(shè)定初始激光能量，泵浦激光I輻照被測(cè)樣品2，電動(dòng)平移臺(tái)3做光柵掃描運(yùn)動(dòng)，外觸發(fā)式相機(jī)5在電動(dòng)平移臺(tái)3每次移動(dòng)至新位置后都將拍攝一張圖片，標(biāo)記為Nlxy ；
[0044]⑨比較Ntlxy和Nlxy中每個(gè)X和y位置下圖片的差異，當(dāng)出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差Sd的損傷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生災(zāi)難性損傷，激光預(yù)處理能量過(guò)高導(dǎo)致樣品損壞；否則，繼續(xù)進(jìn)行激光預(yù)處理；
[0045]⑩設(shè)定能量遞增梯度，提升激光能量，重復(fù)⑦?⑨，可以實(shí)現(xiàn)被測(cè)樣品2相同區(qū)域在泵浦激光I不同能量下的輻照，完成對(duì)該類型缺陷多個(gè)能量梯度的激光預(yù)處理；
[0046]?重復(fù)③?⑥，對(duì)完成激光預(yù)處理的缺陷進(jìn)行損傷閾值檢測(cè)，分別獲得缺陷的零幾率初始損傷閾值F’工、以及零幾率災(zāi)難性損傷閾值F’ D ;
[0047]?根據(jù)激光預(yù)處理后零幾率損傷閾值F’工和？’ D，相比于未進(jìn)行激光預(yù)處理時(shí)零幾率損傷閾值F1和Fd的提升情況，對(duì)初始激光能量、能量遞增梯度和最大激光能量進(jìn)行優(yōu)化，以獲得最強(qiáng)激光預(yù)處理效果；
[0048]?重復(fù)③--，獲得不同類型缺陷的最佳激光預(yù)處理效果；由此，根據(jù)實(shí)際樣品所包含缺陷的類型、以及對(duì)零幾率初始損傷閾值和零幾率災(zāi)難性損傷閾值的要求，選擇最優(yōu)的激光預(yù)處理工藝，實(shí)現(xiàn)實(shí)際樣品損傷閾值的最大提升。
[0049]所述的不同特征人工節(jié)瘤缺陷，包括不同橫向尺寸、縱向尺寸和吸收特性的人工節(jié)瘤缺陷；所述的光柵掃描移動(dòng)間隔為Dx和Dy，由激光光斑90%峰值功率處的直徑?jīng)Q定；所述的最優(yōu)激光預(yù)處理工藝，包括初始激光能量、能量遞增梯度和最大激光能量
[0050]上述的對(duì)實(shí)施例的描述是為便于該【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員能理解和應(yīng)用本發(fā)明。熟悉本領(lǐng)域技術(shù)的人員顯然可以容易地對(duì)這些實(shí)施例做出各種修改，并把在此說(shuō)明的一般原理應(yīng)用到其他實(shí)施例中而不必經(jīng)過(guò)創(chuàng)造性的勞動(dòng)。因此，本發(fā)明不限于這里的實(shí)施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明的揭示，對(duì)于本發(fā)明做出的改進(jìn)和修改都應(yīng)該在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于特征人工節(jié)瘤缺陷的高反射薄膜激光預(yù)處理技術(shù)，用于優(yōu)化高反射薄膜激光預(yù)處理工藝、以獲得最大的激光損傷閾值提升。 所述的損傷閾值測(cè)量和激光預(yù)處理裝置包括用于發(fā)射泵浦激光的泵浦激光器、用于帶動(dòng)高反射薄膜被測(cè)樣品移動(dòng)的電動(dòng)平移臺(tái)、照明電源和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并獲取被測(cè)樣品圖像的損傷監(jiān)控組件，所述的損傷監(jiān)控組件包括在線顯微鏡和外觸發(fā)式相機(jī)。 利用上述裝置針對(duì)高反射薄膜人 工節(jié)瘤缺陷進(jìn)行激光預(yù)處理，包括以下步驟: ①利用旋涂法將不同尺寸的SiO2顆粒或金屬顆粒均勻旋涂在基底表面，顆粒分布密度約為25個(gè)/平方厘米；然后利用電子束蒸發(fā)技術(shù)鍍制高反射薄膜，鍍膜過(guò)程中，基底上的不同顆粒因薄膜覆蓋，逐漸生長(zhǎng)成為節(jié)瘤缺陷，由此制備出包含不同特征人工節(jié)瘤缺陷的被測(cè)樣品； ②將被測(cè)樣品固定在電動(dòng)平移臺(tái)，電動(dòng)平移臺(tái)控制被測(cè)樣品移動(dòng)，在線顯微鏡對(duì)準(zhǔn)泵浦激光輻照被測(cè)樣品的位置； ③泵浦激光對(duì)準(zhǔn)包含同一類人工節(jié)瘤缺陷的被測(cè)樣品中的一個(gè)缺陷，在線顯微鏡拍攝圖像Dt^xy ,栗浦激光福照,然后在線顯微鏡拍攝缺陷在激光福照后的圖像Dhy ； ④設(shè)定尺寸容差S1和SD，比較Dtlxy和Dlxy中坐標(biāo)位置為X和y缺陷的差異，出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差S1的缺陷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生初始損傷；出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差Sd的缺陷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生災(zāi)難性損傷； ⑤電動(dòng)平移臺(tái)控制被測(cè)樣品移動(dòng)到下一個(gè)缺陷點(diǎn)，重復(fù)步驟③~④，獲得不少于10個(gè)同種類型缺陷點(diǎn)在該能量下的初始損傷幾率和災(zāi)難性損傷幾率； ⑥提升激光能量，重復(fù)步驟③~⑤，獲得同種類型缺陷點(diǎn)在不同能量下的初始損傷幾率和災(zāi)難性損傷幾率，并通過(guò)線性擬合的方式獲得該類型缺陷的零幾率初始損傷閾值Fp以及零幾率災(zāi)難性損傷閾值Fd ； ⑦對(duì)同類型缺陷進(jìn)行激光預(yù)處理，泵浦激光未輻照前，電動(dòng)平移臺(tái)做光柵掃描運(yùn)動(dòng)，外觸發(fā)式相機(jī)在電動(dòng)平移臺(tái)每次移動(dòng)至新位置后都將拍攝一張圖片，標(biāo)記為Ntlxy ； ⑧設(shè)定初始激光能量，泵浦激光輻照被測(cè)樣品，電動(dòng)平移臺(tái)做光柵掃描運(yùn)動(dòng)，外觸發(fā)式相機(jī)在電動(dòng)平移臺(tái)每次移動(dòng)至新位置后都將拍攝一張圖片，標(biāo)記為Nlxy ； ⑨比較Ntlxy和Nlxy中每個(gè)X和y位置下圖片的差異，當(dāng)出現(xiàn)超過(guò)尺寸容差Sd的損傷點(diǎn)時(shí)，判定樣品發(fā)生災(zāi)難性損傷，激光預(yù)處理能量過(guò)高導(dǎo)致樣品損壞；否則，繼續(xù)進(jìn)行激光預(yù)處理； ⑩設(shè)定能量遞增梯度，提升激光能量，重復(fù)⑦~⑨，可以實(shí)現(xiàn)被測(cè)樣品相同區(qū)域在泵浦激光I不同能量下的輻照，完成對(duì)該類型缺陷多個(gè)能量梯度的激光預(yù)處理； ?重復(fù)③~⑥，對(duì)完成激光預(yù)處理的缺陷進(jìn)行損傷閾值檢測(cè)，分別獲得缺陷的零幾率初始損傷閾值F’工、以及零幾率災(zāi)難性損傷閾值F’ D ; ?根據(jù)激光預(yù)處理后零幾率損傷閾值F’工和？’ D，相比于未進(jìn)行激光預(yù)處理時(shí)零幾率損傷閾值&和&的提升情況，對(duì)初始激光能量、能量遞增梯度和最大激光能量進(jìn)行優(yōu)化，以獲得最強(qiáng)激光預(yù)處理效果； ?重復(fù)③~?，獲得不同類型缺陷的最佳激光預(yù)處理效果；由此，根據(jù)實(shí)際樣品所包含缺陷的類型、以及對(duì)零幾率初始損傷閾值和零幾率災(zāi)難性損傷閾值的要求，選擇最優(yōu)的激光預(yù)處理工藝，實(shí)現(xiàn)實(shí)際樣品損傷閾值的最大提升。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的人工節(jié)瘤缺陷，其特征在于被測(cè)樣品在鍍制薄膜之前，利用旋涂法將不同尺寸的SiO2顆?；蚪饘兕w粒均勻旋涂在基底表面，然后鍍制高反射薄膜；由于初始SiO2顆?；蚪饘兕w粒的存在，薄膜在生長(zhǎng)過(guò)程中將逐步生長(zhǎng)為與初始顆粒尺寸相關(guān)的節(jié)瘤缺陷，并在縱向高度上等高，但在橫向尺寸上顯著增大，其增大的倍數(shù)與膜層厚度成正比。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不同特征人工節(jié)瘤缺陷，其不同特征包括不同橫向尺寸、縱向尺寸和吸收特性。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光柵掃描運(yùn)動(dòng)，其特征在于光柵掃描移動(dòng)間隔為Dx和Dy，由激光光斑90%峰值功率處的直徑?jīng)Q定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的最優(yōu)激光預(yù)處理工藝，其特征包括初始激光能量、能量遞增梯度和最大激光能量。
【文檔編號(hào)】B23K26/00GK103949771SQ201410050350
【公開(kāi)日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2014年2月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月13日
【發(fā)明者】馬彬, 馬宏平, 程鑫彬, 焦宏飛, 陸夢(mèng)蕾, 王占山 申請(qǐng)人:同濟(jì)大學(xué)