修整顯示單元的透明基片的側(cè)表面的方法及修整設備的制作方法
【專利摘要】提供了修整用于顯示單元的透明基片的方法和使用該方法的修整設備。在該方法中，大尺寸的基片被切割成具有在顯示單元中可使用的尺寸的透明基片。通過允許第一激光束的中心沿著該透明基片的切割表面的中心路徑移動且將該第一激光束照射在該切割表面上來修整該透明基片的切割表面。通過允許第二激光束的中心從該透明基片的中心線起、沿著該切割表面的偏心路徑、單向地朝著該透明基片的一個表面移動，且將該第二激光束照射在該切割表面上，以沿著該透明基片的切割表面的一個邊緣形成連續(xù)倒角。
【專利說明】修整顯示單元的透明基片的側(cè)表面的方法及修整設備

【技術領域】
[0001]本文公開的發(fā)明涉及修整(finish)用于顯示單元的透明基片(substrate)的側(cè)表面的方法和使用該方法的修整設備(finishing apparatus),且更具體地涉及修整用于顯示單元的透明基片的側(cè)表面的方法和使用該方法的修整設備，其在制造用于該顯示器單元的具有更高的抵抗震動或外力的能力的透明基片的同時形成在顯示單元中可使用的邊緣的倒角(chamfer)ο

【背景技術】
[0002]近來，許多信息是通過顯示單元被提供給公眾的，因此顯示單元的使用越來越多。隨著移動設備近來的普及，更小尺寸的顯示單元正被廣泛地使用。透明基片位于顯示單元的最外側(cè)，以保護負責顯示功能的元件(諸如液晶和有機發(fā)光設備)免受外力或震動影響。
[0003]同時，顯示單元中使用的透明基片是通過制造大尺寸的透明基片然后將激光束照射在該大尺寸透明基片的表面上或用用于切割基片的鋸來切割大尺寸的透明基片而形成的。然而，在將該大尺寸的基片切割成最終在顯示單元中可使用的特定尺寸的過程中，如圖1中所示出的，在圍繞被切割用于顯示單元的透明基片S的周界11的切割表面12上形成細微的不平坦度。
[0004]當具有形成細微的不平坦度的切割表面12的透明基片S被直接用在該顯示單元中時，由于在該顯示單元的使用過程中作用在該透明基片S的表面或邊緣上的外力或震動，在具有細微的不平坦度的切割表面12中可能出現(xiàn)和生長裂紋，從而導致透明基片S破
m
? ο
[0005]因此，為了減小具有細微的不平坦度的透明基片S的破損可能性，通常使用精細拋光研磨機來在透明基片S的切割表面12上執(zhí)行研磨過程同時供應拋光油。在該側(cè)表面被平滑地修整之后，在該研磨過程中生成的顆粒被完全清除。此后，通過氫氟酸處理來增加由玻璃材料制成的透明基片S的硬度，然后沾染在透明基片S上的氫氟酸液體被完全清除。因此，需要復雜的四個過程。
[0006]然而，用拋光研磨機對透明基片S的切割表面12的研磨過程的執(zhí)行是機械地去除切割表面12的不平坦度。因此，在該研磨過程期間，在透明基片S的切割表面12上可能出現(xiàn)和生長裂紋，從而導致該透明基片的破損，因此減少該透明基片的良品率(yield)。而且，由于為該研磨過程供應拋光油的過程和清除該研磨顆粒的過程是必需的，所以過程數(shù)目增力口，因此生產(chǎn)率減小。此外，因為對人體有害的氫氟酸被用于增加透明基片S的硬度，所以會嚴重地威脅工人的健康和安全。
[0007]此外，為了將透明基片S容易地安裝到顯示單元上，有必要允許透明基片S與限定該顯示單元的周界的框架更緊密地接合。
[0008]為此，沿著該透明基片的周界邊緣執(zhí)行倒角修整處理。在這個情況下，通常通過研磨過程來執(zhí)行對該透明基片的周界邊緣的倒角修整過程。然而，使用研磨機對該基片的周界邊緣進行倒角的過程花費時間因此減小了生產(chǎn)率，且導致了切割表面12上的裂紋，顯著地減少了良品率。
[0009]因此，迫切需要沿著由某材料(諸如玻璃)制成的透明基片的邊緣精確地形成連續(xù)倒角且同時增加所述倒角修整的良品率的方法。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明提供了修整用于顯示單元的透明基片的側(cè)表面的方法和使用該方法的修整設備，它們通過允許用于該顯示單元的透明基片具有更高的抵抗震動或外力的能力，增加了該透明基片的耐用度。
[0011]本發(fā)明也提供了修整用于顯示單元的透明基片的側(cè)表面的方法和使用該方法的修整設備，它們通過簡單且有效率地從用于該顯示單元的透明基片的切割表面去除細微的不平坦度，縮短了制造所花費的時間同時增加了該透明基片的良品率。
[0012]本發(fā)明也提供了修整用于顯示單元的透明基片的側(cè)表面的方法和使用該方法的修整設備，它們能夠在短時間內(nèi)以高良品率基于沿著由玻璃材料制成的透明基片的邊緣的橫截面執(zhí)行用于形成連續(xù)倒角的修整過程。
[0013]本發(fā)明的實施方案提供了修整用于顯示單元的透明基片的方法，包括:將大尺寸的基片切割成具有在顯示單元中可使用的尺寸的透明基片；通過允許第一激光束的中心沿著該透明基片的切割表面的中心路徑移動，且將該第一激光束照射在該切割表面上，來修整該透明基片的切割表面；以及通過允許第二激光束的中心從該透明基片的中心線起、沿著該切割表面的偏心路徑、單向地朝著該透明基片的表面移動，且將該第二激光束照射在該切割表面上，來沿著該透明基片的切割表面的一個邊緣形成連續(xù)倒角。
[0014]換言之，本發(fā)明被配置以簡單地去除在切割表面修整過程中在該透明基片的切割表面上不可避免地生成的細微的不平坦度，其中該激光束被照射在通過使用激光束或鋸切割大尺寸的基片形成為在顯示單元中可使用的尺寸的透明基片的切割表面上。因此，本發(fā)明僅通過短時間的激光照射過程(而不像需要復雜過程的相關技術)就可以簡單地且以高良品率去除該切割表面的細微的不平坦度，可以簡單地且快速地執(zhí)行使用該激光束在側(cè)表面邊緣上形成該連續(xù)倒角的修整過程。
[0015]因為用于該透明基片的切割表面修整過程不需要供應拋光油也不要求分立的清潔過程(不像典型的研磨方法)，所以可以簡單地在短時間內(nèi)完成對該透明基片的修整過程。而且，因為從根本上排除了對人體有害的氫氟酸的使用，所以可以確保工人的健康和安全。與相關技術相比，可以確保大約5倍的高抗彎剛度(bending rigidity)。
[0016]首先，用于透明基片的倒角形成過程不需要供應拋光油或可以不要求分立的清潔過程(不像典型的研磨方法)，且可以在不生成因該激光束的焦點高度和位置的調(diào)整而導致的細微不平坦度的情況下以精確且均一的形式形成倒角，從而實現(xiàn)高良品率。
[0017]因此，上述玻璃基片過程可以被用于具有高強度和耐用度的顯示單元。
[0018]為此，在該切割表面修整過程中，該第一激光束可以被垂直地照射在該切割表面上。然而，為了使該激光束被充分地照射在該切割表面上，可以將該第一激光束以相對于與該切割表面垂直的方向成大約30度或更小的角度照射在該切割表面上。
[0019]而且，在該倒角形成過程中，當?shù)诙す馐徽丈湓谠撏该骰那懈畋砻嫔蠒r，該第二激光束可以被照射成使得該第二激光束的焦點位于該透明基片內(nèi)部。換言之，在該倒角形成過程中，該第二激光束可以被照射在該切割表面上，使得在該第二激光束先到達該切割表面再到達該第二激光束的焦點。因此，通過沿著該偏心路徑照射的該第二激光束，可以在不傳送導致該透明基片的側(cè)表面上的局部破裂的能量的情況下，在該透明基片的側(cè)表面的邊緣上形成倒角。
[0020]同時，當該第二激光束的焦點位于該透明基片的側(cè)表面上時，能量可以以極高的能量強度聚集在該透明基片的側(cè)表面的邊緣上。因此，局部的細微的不平坦度可以不規(guī)則地出現(xiàn)在該透明基片的邊緣上。另外，當該第二激光束的焦點位于該透明基片上方時，能量可以以相對低的能量強度分散在該透明基片的側(cè)表面的邊緣上。因此，倒角可能不會平滑地形成在該透明基片的側(cè)表面的邊緣上。
[0021 ] 為了沿著該透明基片的邊緣精確地形成連續(xù)倒角，該第二激光束可以被照射在該偏心路徑上，使得該第二激光束的焦點位于該透明基片內(nèi)部，同時與該切割表面(透明基片的側(cè)表面)間隔開大約5mm至大約20mm的距離。
[0022]在這個情況下，該偏心路徑可以偏離該中心線，使得該第二激光束的中心與該中心線間隔開該透明基片的厚度(wo)的七分之一或更多。這是因為，當該第二激光束的中心與該中心線間隔開該側(cè)表面的厚度(WO)的七分之一或更少時，可能不會形成該倒角而是會執(zhí)行該修整過程。然而，對于從該厚度的七分之一到該厚度的六分之一的距離，可以通過將該焦點的位置在該切割表面的向下方向調(diào)節(jié)來執(zhí)行該倒角形成過程，且可以通過將該焦點的位置在該切割表面的向上方向調(diào)節(jié)來執(zhí)行該修整過程。
[0023]而且，在該倒角形成過程中，該第二激光束可以被配置成以大約lOmm/sec至大約2mm/sec的速度沿著該切割表面相對快速地移動。
[0024]在這個情況下，關于該中心路徑，該第一激光束的中心可以位于與該中心線相距該透明基片的厚度(wo)的六分之一之內(nèi)，且該第一激光束的焦點可以位于該透明基片外部。
[0025]該第一激光束和該第二激光束可以被垂直地照射在該切割表面上。然而，該第二激光束可以被傾斜地照射在該切割表面上，以使得傾斜角朝著該玻璃基片的表面形成大約20度或更小的銳角。
[0026]該切割表面可以被布置在該透明基片的周界周圍。
[0027]該透明基片可以由塑料材料制成，或可以由被廣泛使用的玻璃材料制成。而且，該透明基片可以是包括具有一厚度的強化層(reinforcing layer)的強化玻璃(reinforcedglass)基片。
[0028]該第一激光束和該第二激光束可以是二氧化碳(CO2)激光束，該二氧化碳激光束具有相對于該玻璃材料的高吸收率。因此，該透明基片的硬度能夠被經(jīng)濟地制造，且能夠通過有效地去除該透明基片的周界的側(cè)表面上存在的細微的不平坦度而被有效地增強。另夕卜，在沿著該第二透明基片的邊緣形成倒角的過程中，能夠精確地形成期望類型的倒角，甚至在當該第二激光束的位置和焦點高度的調(diào)節(jié)中存在微小誤差時。
[0029]該第一激光束和該第二激光束可以具有大約8μπι至大約15 μ m的波長段(wavelength band)(高紅外線波長段)?？梢蕴峁┑氖?該第一激光束和該第二激光束的波長是低的，諸如大約200nm至大約350nm。然而，如果該波長段低于8 μ m，則在該激光束的位置、高度和輸出方面會出現(xiàn)微小誤差，因此在該透明基片的側(cè)表面上出現(xiàn)細微的不平坦度，從而使得不可能精確地形成該倒角。
[0030]使用CO2激光束將用于修整該透明基片的側(cè)表面(或切割表面)的該第一激光束以大約30W至大約300W的輸出強度照射在該切割表面上可以是最有效的。當將該第一激光束以小于大約30W的低輸出照射在該透明基片的切割表面上時，粗糙的切割表面可能未被充分地去除，使得不可能充分地加強該透明基片的側(cè)表面的強度。當將該第一激光束以大約30W或更大的高輸出照射在該透明基片的切割表面上時，施加至該切割表面的能量強度可能過高，影響該切割表面的平整度(flatness)或?qū)е录毼⒌牟黄教苟取?br> [0031]另外，將用于在該透明基片的邊緣上形成連續(xù)倒角的第二激光束以大約20W至70W的輸出強度照射在該切割表面上是最有效的。當該第二激光束的輸出強度小于大約20W時,痕跡(trace)(諸如劃痕(scratch))可以保持在該透明基片(主要是玻璃材料)的側(cè)表面上。當該第二激光束的輸出強度大于大約70W時，在缺陷(defect)(諸如細微的裂紋)中透明基片的側(cè)表面被擠壓(pushed),從而可能導致破碎(broken)。
[0032]在倒角形成過程中，可以僅在該透明基片的切割表面的一個邊緣上形成該連續(xù)倒角，但可以在該透明基片的切割表面的兩個邊緣上形成。
[0033]在本發(fā)明的其他實施方案中，修整用于顯示單元的透明基片的切割表面的設備，包括:激光束生成器，生成激光束；激光束照射器(irradiator)，接收來自該激光束生成器的激光束以照射該激光束；固定支座(fixing support),支撐被切割成可在顯示單元中使用的尺寸的透明基片；以及移動部件(moving part)，用于移動該固定支座和該激光束照射器中的至少一個，使得從該激光束照射器發(fā)射的激光束沿著該透明基片的切割表面移動且另外在該切割表面的厚度方向上移動該激光束，其中從該激光束照射器照射的第一激光束執(zhí)行該切割表面的修整，同時沿著該透明基片的切割表面移動，且然后通過允許從該激光束照射器照射的第二激光束的中心從該切割表面的中心線起沿著一條偏心路徑單向地移動，使該第二激光束在該切割表面的一側(cè)形成倒角。
[0034]在這種情況下，在將該透明基片切割成可在顯示單元中使用的尺寸的過程中，需要能夠?qū)⒃撏该骰那懈畋砻姹┞队谠摷す馐臋C械配置，以在更短時間內(nèi)執(zhí)行去除存在于該透明基片的切割表面上的細微的不平坦度的過程。為此，該固定支座可以包含第一固定構件(first fixing member)和第二固定構件,第一固定構件和第二固定構件中的每個分別接觸位于其間的透明基片的表面之一，且該第一固定構件和該第二固定構件的接觸表面可以被形成以具有小于該透明基片的尺寸，允許該固定支座固定該透明基片，使得該透明基片的切割表面暴露于該第一固定構件和該第二固定構件的外部。
[0035]因此，當該透明基片被固定地定位在該固定支座上時，通過該固定支座和該激光束照射器中的至少一個的相對移動和旋轉(zhuǎn)，可以立刻用激光來修整該透明基片的切割表面。因此，能夠在更短時間內(nèi)精確地執(zhí)行用于該透明基片的修整過程。
[0036]在這種情況下，該第一固定構件和該第二固定構件中的至少一個可以包含電磁體(electromagnet),該電磁體吸引該第一固定構件和該第二固定構件中的另一個。因此，因為通過該電磁體的磁力，該第一固定構件和該第二固定構件之間的吸引力起作用，所以該透明基片可以被固定地定位在該第一固定構件和該第二固定構件之間。
[0037]該移動部件可以包含:用于該固定支座的直線移動的平移驅(qū)動部件(translat1nal driving part)和用于旋轉(zhuǎn)該平移驅(qū)動部件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件。因此，當該透明基片被固定地定位時，該激光束照射器可以將激光束照射在該透明基片的切割表面上，且可以修整該切割表面，從而在被該平移驅(qū)動部件和該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件直線移動和旋轉(zhuǎn)的同時，在該透明基片的邊緣上形成倒角。
[0038]可以通過允許該第二激光束的焦點被定位在該透明基片內(nèi)部且與該切割表面間隔大約5mm至20mm的一段距離來在該透明基片上形成倒角。在此狀態(tài)下，可以在該透明基片上沿著該偏心路徑形成倒角。
[0039]該移動部件可以允許該激光束以關于該透明基片的大約lOmm/sec至大約20mm/sec的相對速度移動，用于對該透明基片的側(cè)表面的處理。
[0040]該第二激光束可以具有大約8 μ m至15 μ m的波長段，以在不導致該透明基片的側(cè)表面上的裂紋的情況下干凈地形成該連續(xù)倒角。
[0041]同時，可以將該第一激光束以大約30W至大約300W的輸出強度照射在該切割表面上，且可以將該第二激光束以大約20W至大約70W的輸出強度照射在該切割表面上，防止該透明基片的切割表面上的細微的不平坦度并且干凈地形成具有高強度的連續(xù)倒角。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0042]附圖被包含以提供對本發(fā)明的進一步理解，并且附圖被包含在且構成本說明書的一部分。圖例示了本發(fā)明的示例性實施方案，并且和本說明書一起起到解釋本發(fā)明的原理的作用。在圖中:
[0043]圖1是例示了由大尺寸的基片切割成的透明基片的形狀的視圖；
[0044]圖2是例示了根據(jù)本發(fā)明的一個實施方案的修整用于顯示單元的透明基片的方法的流程圖；
[0045]圖3是例示了圖2的基片切割過程的配置的視圖；
[0046]圖4是例示了一個用于顯示單元的透明基片的切割表面修整設備的示例性配置的立體視圖，其中圖2的切割表面修整過程被執(zhí)行；
[0047]圖5是圖4的平面視圖；
[0048]圖6是例示了圖4的激光束和基片的布置結構的視圖；
[0049]圖7是圖6的部分’ A’的放大的視圖；
[0050]圖8是例示了一種處理用于顯示單元的透明基片的連續(xù)倒角的配置的放大的立體視圖，其中圖7的切割表面修整過程被執(zhí)行；
[0051]圖9是例示了具有連續(xù)倒角的透明基片的橫截面視圖，該連續(xù)倒角通過圖8的倒角修整過程形成；
[0052]圖10是例示了用于顯示單元的透明基片的切割表面修整設備的另一例示性配置的側(cè)視圖，其中圖2的切割表面修整過程被執(zhí)行；
[0053]圖11是例示了使用照射在透明基片的切割表面上的激光束來去除遺留的細微的不平坦層的原理的視圖；
[0054]圖12A至12D是例示根據(jù)本發(fā)明的實施方案的在對用于顯示單元的透明基片進行修整之前和之后的切割表面的照片；
[0055]圖13是例示了透明基片的抗彎曲剛度測試器的照片；
[0056]圖14A是例示了修整之前的透明基片的抗彎曲剛度測試結果的曲線圖；
[0057]圖14B是例示了修整之后的透明基片的抗彎曲剛度測試結果的曲線圖；
[0058]圖15是例示了圖14A和14B中示出的測試結果的比較的表格；
[0059]圖16A和16D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的側(cè)表面的照片；
[0060]圖17A至17B示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片；
[0061]圖18A至18D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片；
[0062]圖19A至19D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片；
[0063]圖20A至20C示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片；
[0064]圖20D和20F示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220ym”的強化玻璃基片；
[0065]圖21A和21B示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片；
[0066]圖22A和22B示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片；
[0067]圖23A至23D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作6Οι.?11&220μπι的強化玻璃基片的照片；以及
[0068]圖24示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片。

【具體實施方式】
[0069]下面將參照附圖更詳細地描述本發(fā)明的優(yōu)選的實施方案。然而，可以以不同形式實施本發(fā)明，且不應被理解為限制于本文所述的實施方案。相反，提供這些實施方案使得本公開內(nèi)容將是徹底和完整的，并且將本發(fā)明的范圍完全傳達給本領域的技術人員。
[0070]在下文中，將與附圖結合來描述本發(fā)明的示例性實施方案。
[0071]在下文中，將參照附圖詳細地描述本發(fā)明的示例性實施方案。然而，為了本發(fā)明的解釋，公知功能或配置的詳細描述將被省略，以便闡明本發(fā)明的要點。
[0072]—種根據(jù)本發(fā)明的實施方案的修整用于顯示單元的透明基片的方法(S100)可以包含:將大尺寸的基片So切割成具有可在顯示單元(諸如液晶顯示單元或有機發(fā)光二極管(OLED)設備)中使用的尺寸的透明基片S (S110);修整透明基片S的切割表面12同時沿著被切割成可在顯示單元中使用的尺寸的透明基片S的切割表面12的中心路徑Pc移動和照射第一激光束LI (S120);以及通過沿著透明基片S的切割表面12的偏心路徑Pe移動且照射第二激光束L2來形成在透明基片S的切割表面12或側(cè)表面上的連續(xù)倒角Cf (S130)。
[0073]在這種情況下，從照射器130照射的激光束L可以在透明基片S的切割表面12的修整過程中照射第一激光束LI (S120)，且在連續(xù)倒角Cf的形成過程中可以照射具有不同高度的焦點F的第二激光束L2 (S130)。
[0074]如圖3中所示出的，在大尺寸的基片的切割過程中(S110)，當大尺寸的透明基片So被放置時，可以沿預定的虛擬線21將激光束L’照射在大尺寸的透明基片So的表面上，以把大尺寸的透明基片So分成具有可在顯示單元中使用的尺寸的透明基片S。
[0075]激光束照射器110可以通過光纖111接收由激光束生成器118生成的激光束，以將該激光束豎直地照射在大尺寸的透明基片So的所述虛擬線上，以切割大尺寸的透明基片So。因此，大尺寸的透明基片So可以被切割成具有適合用于待被使用的顯示單元的適當尺寸的多個透明基片S。因此，如圖1中示出的，被切割的透明基片S可能具有在其切割表面12上的細微的不平坦度。
[0076]在此，透明基片S可以是由塑料材料制成的，但可以是主要由在該顯示單元中使用的玻璃材料制成的。該玻璃基片可以包含:其中未形成強化層的典型的玻璃基片(例如在本領域中被稱作蘇打石灰玻璃(Soda Lime)、10X-FS)和強化玻璃基片(例如在本領域中被稱作 Gorilla220 μ m 和 Dragon20 μ m)。
[0077]—般，本公開內(nèi)容中使用的術語“透明”將被定義為包含由完全傳輸光的材料制成的基片，且也包含由部分傳輸光的半透明材料制成的基片。因此，該透明基片可以包含通過布置在該透明基片之外的液晶元件接收光的所有種類的基片，即使該透明基片自身不傳輸光。本公開內(nèi)容中使用的切割表面將被定義為圍繞該透明基片的周界的側(cè)表面。
[0078]根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案，可以通過用于切割該透明基片的鋸(未示出)代替在大尺寸透明基片So的表面上的激光束L’的照射來執(zhí)行大尺寸的基片的切割(S110)。
[0079]激光束照射器110可以等同于用于修整透明基片S的側(cè)表面的激光束照射器130。然而，當將透明基片S切割成可在顯示單元中使用的尺寸和修整透明基片S的側(cè)表面的切割表面被分立地執(zhí)行時，可以將用于切割的激光束照射器110和用于修整該側(cè)表面的激光束照射器130彼此不同地配置。
[0080]如圖4中所示出的，切割表面的修整(S120)的實施可以通過如下方式執(zhí)行:允許第一激光束LI沿著位于被切割成或形成可在顯示單元中使用的尺寸的透明基片S的邊緣處的切割表面12的中心路徑Pc照射，且允許第一激光束LI在Y軸方向(99)上移動。在此，中心路徑Pc (第一激光束LI的中心在該中心路徑Pc上移動)可以沿著切割表面12的中心線12c形成，但中心路徑Pc可以在一個范圍(圖7中的斜線)內(nèi)形成，該范圍具有對應于透明基片S的厚度的Wl的六分之一的偏差。
[0081]可以通過在垂直于切割表面12的方向上照射第一激光束LI的激光束照射器130，來執(zhí)行去除在透明基片S的切割表面12上遺留有細微的不平坦層的過程。因此，當透明基片S相對于第一激光束LI (12d)移動、同時將第一激光束LI照射在透明基片S的切割表面12上時，照射在透明基片S的切割表面12上的激光束LI的能量被分布，且遺留在切割表面12上的細微的不平坦層12x可以如圖11中所示出的被去除。因此，干凈的表面12ο可以被暴露，且透明基片S的強度可以增加。
[0082]一般，當使用者長時間使用移動顯示單元(諸如智能手機)時，由于掉落或外力造成的震動可以破損移動顯示單元。在這種情況下，當震動或外力被施加到該透明基片S時，裂紋可以發(fā)生在透明基片S的制造過程中遺留的邊緣表面12的細微的不平坦度中，且可以生長而導致透明基片S破裂。然而，如上面所描述的，當已通過將激光束L照射在圍繞透明基片S的周界的切割表面12上而將帶有細微的不平坦度的細微的不平坦層12χ去除，從而允許暴露干凈的表面12ο時，裂紋很難發(fā)生在透明基片S的邊緣的切割表面12中，即使向其施加外力或震動。因此，透明基片S可以具有高抵抗能力(resistance ability),而不被較大的震動或外力所破損。
[0083]將激光束L照射在透明基片S的切割表面12上的激光束照射器130，可以將激光束L照射在垂直于切割表面12的方向(z軸方向)上。然而，如圖6中所示出的，可以將該激光束從激光束照射器130’或130’ ’照射在切割表面12的中心路徑Pc上，激光束照射器130’或130’ ’分別關于垂直于切割表面12的方向在y軸方向上傾斜角度Φ或關于垂直于該切割表面的方向在X軸方向上傾斜角度Θ，同時激光束照射器130’或130’’被移動以去除切割表面12的細微的不平坦層12x。然而，當激光束照射器130’或130’ ’關于垂直方向以傾斜角Φ或Θ傾斜時，該傾斜表面可能不會被精確地形成。因此，傾斜角Φ或Θ需要被維持在關于z軸方向成大約20度或更小的角度處。
[0084]未解釋的參考數(shù)字131、131’和131’ ’可以是將激光束傳輸?shù)郊す馐丈淦?30、130’或130，’的光纖。
[0085]在此，當透明基片S由玻璃材料制成時，從激光束照射器130、130’或130’ ’照射的第一激光束LI可以是CO2激光束，CO2激光束具有關于該玻璃材料的高吸收率。如圖7中所示出的，從激光束照射器130、130’或130’’照射的第一激光束LI的焦點F可以被定位在透明基片S外部——在大約5mm至大約20mm (z軸方向)高度Hl處與透明基片S的側(cè)表面(或切割表面12)向上(z軸方向)間隔開。
[0086]這是因為當?shù)谝患す馐鳯I的焦點F被定位在切割表面12下方時(S卩，當?shù)谝患す馐鳯I被垂直照射時，在透明基片S內(nèi)部)時，第一激光束LI的能量強度可以被局部地聚集在基片S的側(cè)表面上，導致切割表面12破損同時未去除細微的不平坦層12x。在另一方面，當?shù)谝患す馐鳯I的焦點F位于基片S的切割表面12上方時，第一激光束LI通過焦點F的能量分布可以變得平均，便于均一地去除細微的不平坦層12x。
[0087]因此，去除透明基片S的細微的不平坦層12x的效率能夠被增加，并且用于切割表面修整的設備的成本能夠被減小。
[0088]因此，當被照射在透明基片S的切割表面12上的第一激光束LI的焦點F被形成在切割表面12上方時，第一激光束LI可以形成切割表面12上的激光束中心Lc周圍的特定區(qū)域Lr。
[0089]在本公開內(nèi)容中使用的描述或與其類似的描述(S卩，“激光束的焦點被形成在切割表面或側(cè)表面上方”)意味著該焦點可以被定位成距激光束照射器比距透明基片S的切割表面更近。因此，該描述或與其類似的描述一“激光束的焦點被形成在切割表面或側(cè)表面上方”，將不限制于下述意義，即，基于豎直方向，該焦點需要被物理地定位在透明基片S的切割表面上方。
[0090]類似地，本公開內(nèi)容中使用的描述或與其類似的描述，(即，“激光束的焦點被形成在切割表面或側(cè)表面的下方”)意味著該焦點可以被定位成距激光束照射器比距透明基片S的切割表面更遠。因此，該描述或與其類似的描述一“激光束的焦點被形成在切割表面或側(cè)表面下方”，將不限制于下述意義，即，基于豎直方向，該焦點需要被物理地定位在透明基片S的切割表面的下方。
[0091]來自激光束照射器130、130’和130’ ’的激光束L可以被以大約30W至大約300W的輸出照射在透明基片S的切割表面12上。
[0092]當激光束L的輸出小于大約30W時，可能很難將切割表面12的細微的不平坦度從強化玻璃基片完全地去除。另一方面，當激光束L的輸出大于大約300W時，生成激光束L的成本可能增加，且可能局部聚集過多的能量，導致切割表面12的破損。因此，優(yōu)選的是激光束L的輸出范圍從大約30W至大約300W。然而，根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案，具有大于大約300W的輸出的激光束或具有小于大約30W的輸出的激光束也可以分別被用來用于強度比現(xiàn)有強化玻璃或由塑料材料制成的透明基片高的透明基片。
[0093]本發(fā)明不限制于該激光束的使用，且根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案，除CO2激光束之外的其他種類的公知的激光束也可以被用在修整透明基片S的側(cè)表面的過程中。
[0094]在連續(xù)倒角的形成期間，當沿透明基片S的側(cè)表面12的偏心路徑Pe移動第二激光束L2時，通過改變從激光束照射器130、130’和130’ ’照射的第一激光束LI的焦點高度和照射位置，可以在透明基片S的側(cè)表面(或切割表面)12上形成該連續(xù)倒角Cf。
[0095]為此，可以在指示為130x的方向上移動激光束照射器130、130’和130’ ’的位置，允許從該激光束照射器照射第二激光束L2到達在X軸方向上移動的偏心路徑Pe。另外，關于從激光束照射器130、130’和130’’照射的第二激光束L2，焦點F可以被控制以位于側(cè)表面12下方大約5mm至大約20mm的深度H2處。因此，第二激光束L2的光束中心Lc可以被定位在偏心路徑Pe上，且在該光束中心Lc周圍第二激光束L2可以被照射在透明基片S的側(cè)表面12的特定區(qū)域Lr上。在這種情況下，當?shù)诙す馐鳯2在y方向上沿偏心路徑Pe (99)移動時，由于在豎直方向上照射的第二激光束12，大約45度的剪切力(shearingforce)可以作用在透明基片S的側(cè)表面12上，且如圖9中所示出的，可以將透明基片S的邊緣的一部分以特定角度Y傾斜地分離，以形成倒角Cf。
[0096]在此，當?shù)诙す馐鳯2的傾斜角(圖6的Θ )在y軸方向上增加時，由第二激光束L2形成的倒角Cf的傾斜角(圖9的Y )可以被減小。因此，該倒角的傾斜角度能夠被控制。
[0097]另外，因為第二激光束L2的焦點F被定位在透明基片S的側(cè)表面12的下方，如圖8中所示出的，當?shù)诙す馐鳯2被垂直地照射在側(cè)表面12上時，第二激光束L2的焦點F可以被定位在透明基片S內(nèi)部。第二激光束L2的焦點F可以是在側(cè)表面12下方，且第二激光束L2可以被照射在偏心路徑Pe上。隨著照射區(qū)域Lr的半徑變得距第二激光束L2的中心Lc更遠，越來越小的高斯分布能量強度到達側(cè)表面12的偏心路徑Pe。因此，如圖9中所示出的，倒角Cf的寬度L可以被確定，與距偏心路徑Pe (第二激光束12被照射在其上)的距離成反比例。
[0098]在這種情況下，當?shù)诙す馐鳯2的焦點與側(cè)表面12間隔一段小于大約5mm的距離時，通過控制第二激光束L2的輸出強度可以減少側(cè)表面12的破損程度。然而，因為由第二激光束L2傳送的能量強度變得非常高，所以對側(cè)表面12造成破損的可能性會變高。因此，不期望第二激光束L2的焦點與側(cè)表面12間隔小于大約5_的一段距離。另外，當?shù)诙す馐鳯2的焦點與側(cè)表面12的間隔大于大約20mm的距離時，在側(cè)表面12上的第二激光束L2的照射區(qū)域Lr可以變得過于高且第二激光束L2可以達到側(cè)表面12，在其具有的能量分布中，中心部分處的能量強度高于外圍部分處的能量強度。因此，存在側(cè)表面12局部破損可能性增加的限制。
[0099]因此，當?shù)诙す馐鳯2的焦點與側(cè)表面12間隔大約5mm至大約20mm的一段距離時，連續(xù)倒角Cf可以被形成在透明基片S的側(cè)表面12上，透明基片S是由普通玻璃材料或涂鍍有強化層的強化玻璃材料以低廢品率制成的。
[0100]同時，可以在y_軸路徑方向上將偏心路徑Pe (第二激光束L2被照射在其上)確定在如下位置處，該位置與透明基片S的中心線12c間隔一厚度w2(對應于總厚度wo的七分之一)。偏心路徑Pe的外端也可以被定位在透明基片S的邊緣處。因此，通過從第二激光束12照射的第二激光束L2，連續(xù)倒角Cf可以被形成在側(cè)表面12上。
[0101]另外，將用于形成透明基片S的邊緣上的連續(xù)倒角Cf的第二激光束L2以大約20W至70W的輸出強度照射在透明基片S的側(cè)表面12上時是最有效的。當?shù)诙す馐鳯2的輸出強度小于大約20W時，痕跡(諸如劃痕)會留在由玻璃材料制成的透明基片S的側(cè)表面12上。在另一方面，當?shù)诙す馐鳯2的輸出強度大于大約70W時，在缺陷(諸如細微的裂紋)中透明基片S的側(cè)表面12被擠壓，從而可能導致破碎。
[0102]當透明基片S由玻璃材料制成時，第二激光束L2可以被選作具有大約8μπι至大約15 μ m的波長段的激光束(例如，紅外線激光和CO2激光)。這是因為激光束在玻璃材料上的能量吸收率等于或大于大約8μπι至大約15 μ m的波長段中的大約70%，所以使用第二激光束L2的能量能夠更有效地執(zhí)行由玻璃材料制成的透明基片S的側(cè)表面12的修整。
[0103]同時，當透明基片S由玻璃材料制成時，第二激光束L2可以被選為具有大約150nm至大約350nm的波長段的激光束(例如，紫外線激光)。由于由玻璃材料制成的激光束的能量吸收率等于或大于該波長段中的大約95%，因此能量效率能夠增加。然而，由于具有大約150nm至大約350nm的波長段的激光束的價格非常高，因此可大量生產(chǎn)性被減小。另外，因為能量吸收高，所以在該透明玻璃基片的側(cè)表面的修整期間甚至當輕微誤差發(fā)生在與激光束的中心線或焦點高度間隔的位置處時，存在具有缺陷的高可能性。
[0104]因此，為了以低成本和高良品率且不依賴于工人的技術水平來修整該透明玻璃基片的側(cè)表面，最期望第二激光束L2具有大約8 μ m至15 μ m的波長段。
[0105]根據(jù)本發(fā)明的實施方案，在修整該透明基片的側(cè)表面的方法(S100)中，根據(jù)顯示單元的形狀和配置，可以僅在透明基片S的側(cè)表面12的一個邊緣處形成連續(xù)倒角Cf。然而，如圖9中示出的，也可以在透明基片S的側(cè)表面12的兩個邊緣處形成連續(xù)倒角Cf。
[0106]在下文中，將詳細描述使用修整方法(S100)來修整用于顯示單元的透明基片S的側(cè)表面的設備100的配置。
[0107]根據(jù)本發(fā)明的實施方案的側(cè)表面修整設備100可以包含:激光束生成器120，生成激光束；激光束照射器130，接收來自激光束生成器120的激光束，以照射激光束L ;固定支座，它固定被切割成可在顯示器單元中使用的尺寸的透明基片S以移動透明基片S ;移動部件160和170，它們以平移方向和旋轉(zhuǎn)方向移動用于固定透明基片S的所述固定支座；以及可拆卸的臂180，它附接和拆卸該固定支座的第二固定構件150。
[0108]激光束生成器120可以生成具有大約8 μ m至大約15 μ m的波長段的CO2激光束，以將該激光束通過光纖131傳輸?shù)郊す馐丈淦?30。
[0109]激光束照射器130可以將通過光纖131傳輸?shù)募す馐丈湓谕该骰琒的側(cè)表面12上，以去除在透明基片S的側(cè)表面上遺留的細微的不平坦層(圖11的12x)或沿著透明基片S的側(cè)表面的邊緣形成倒角Cf。為此，激光束照射器130可以被配置以通過替代光纖系統(tǒng)或控制光纖系統(tǒng)的位置來允許將激光束(L1、L2 ；L)的焦點高度定位在側(cè)表面12的上方或下方。
[0110]另外，激光束照射器130可以被配置成是在X軸方向(圖4的130x)方向上可移動的，或是基于y軸精細地可旋轉(zhuǎn)的。當在透明基片S的側(cè)表面上執(zhí)行修整過程(S120)時，激光束照射器130可以被配置以將第一激光束LI沿著透明基片S的中心線12c照射在中心路徑Pc上。另外，當在透明基片S上執(zhí)行倒角形成過程(S130)時，激光束照射器130可以被配置以將第二激光束L2照射在與透明基片S的中心線12c間隔的偏心路徑Pe上。
[0111]因此，在通過激光束或鋸(僅用一個設備)將大尺寸的基片切割成透明基片S的過程中，可以通過第一激光束去除在透明基片S的側(cè)表面上生成的細微的不平坦層12x，且可以在透明基片S的側(cè)表面上精確地形成連續(xù)倒角Cf而不存在裂紋，使得該透明基片S可以被組裝到顯示單元中。因此，通過去除在側(cè)表面12 (它是該透明基片S的切割表面)上生成的細微的不平坦層能夠確保高硬度，并且在形成倒角Cf (不存在裂紋)的同時能夠可靠地確保充分的耐用度，以將該透明基片應用于各種顯示單元。
[0112]固定支座可以固定透明基片S，且可以和透明基片S—起移動(140d)和旋轉(zhuǎn)(360)。該固定支座可以粘附至透明基片S的兩個表面，且可以包含第一固定構件和第二固定構件150，它們的尺寸小于透明基片S的尺寸。電磁體140a可以被設置在第一固定構件140中，且第二固定構件150可以由磁體(magnet)或受磁力影響的金屬形成。因此，當將在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程的透明基片S通過機械臂(robot arm)粘附至第一固定構件140的一個表面140s、并且第二固定構件150被定位以便面對第一固定構件140的所述一個表面140s時，電流可以被施加至第一固定構件140的電磁體140a以生成磁力，該磁力允許透明基片S被固定，同時第一固定構件140和第二固定構件150彼此分開。
[0113]如圖4和5中所示出的，構成該固定支座的第一固定構件140和第二固定構件150具有的接觸表面小于透明基片S的表面。因此，當透明基片S被固定地定位在第一固定構件140與第二固定構件150之間時，透明基片S的側(cè)表面12可以變得全部暴露至外部。
[0114]移動部件160和170可以包含:平移驅(qū)動部件160，它使第一固定構件140在固定支座140和150之間直線地移動，以固定透明基片S ;以及旋轉(zhuǎn)移動部件170，它使該平移驅(qū)動部件160和該固定支座一起旋轉(zhuǎn)(360)。
[0115]平移驅(qū)動部件160可以包含:平移驅(qū)動馬達161，其固定地定位在旋轉(zhuǎn)托架(bracket) 168處；螺桿(screw rod) 162，其由平移驅(qū)動馬達161旋轉(zhuǎn)且具有與該固定支座的第一固定構件140的凹形螺旋部分接合的凸形螺紋(thread);以及支座165，其可旋轉(zhuǎn)地支撐螺桿162的端部。因此，當平移驅(qū)動馬達161以向前的方向和向后的方向旋轉(zhuǎn)時，第一固定構件140可以移動透明基片S，同時根據(jù)螺桿162的向前旋轉(zhuǎn)和向后旋轉(zhuǎn)以平移方向(表示為140d)移動。導軌(guide rail) 168g可以被形成在旋轉(zhuǎn)托架168中，以引導第一固定構件140的直線移動，允許第一固定構件140沿著預定路徑精確地且直線地移動。
[0116]根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案，平移驅(qū)動部件160還可以被配置以允許第一固定構件140除通過導引螺桿(lead screw)原理之外還通過線性馬達(linear motor)原理來直線地移動。
[0117]平移驅(qū)動部件160可以沿著旋轉(zhuǎn)托架168中的導軌168g直線地移動。另外，因為旋轉(zhuǎn)移動部件170包括通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動馬達171旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸172并且旋轉(zhuǎn)托架168被固定在旋轉(zhuǎn)軸172的端部，所以旋轉(zhuǎn)托架168可以被旋轉(zhuǎn)移動部件170旋轉(zhuǎn)。因此，透明基片S可以與旋轉(zhuǎn)托架168 —起被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動馬達171旋轉(zhuǎn)。在圖中，盡管被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動馬達171旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸172被固定至旋轉(zhuǎn)托架168，使得旋轉(zhuǎn)托架168被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動馬達171直接旋轉(zhuǎn)，根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案，動力傳輸單元(power transfer unit)(諸如減速器(decelerator)或帶(belt))還可以被設置在旋轉(zhuǎn)托架168與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動馬達171之間。
[0118]可拆卸的臂180可以被設置以向著第一固定構件140往復運動(reciprocate),并且可以包含電磁體150a，電磁體150a被設置在其中以通過當電流被施加至電磁體150a時生成的磁力選擇性地抓握第二固定構件或使該第二固定構件分開。換言之，為了將透明基片S固定地定位在固定支座上，當通過機械臂(未示出)抓握的透明基片S的表面被定位成靠近第一固定構件140的一個表面140s時，電流可以被施加至電磁體180a,以允許可拆卸的臂180向著第一固定構件140移動，同時由于磁力該第二固定構件將被粘附至可拆卸的臂180。此后，當電流被施加至第一固定構件140的電磁體140a時，供應至可拆卸的臂180的電磁體180a的電流的強度可以逐漸地減小，允許粘附至可拆卸的臂180的第二固定構件150通過第一固定構件140的磁力粘附至第一固定構件140。因此，透明基片S可以被固定地定位在第一固定構件140和第二固定構件140之間，同時其側(cè)表面12的全部被暴露至外部。
[0119]在這種情況下，第一固定構件140的一個表面140s可以向右突出超過平移驅(qū)動馬達161和支座165的側(cè)表面161s和165s。因此，盡管第一固定構件140和平移驅(qū)動部件160被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動馬達171旋轉(zhuǎn)，但是激光束L可以從激光束照射器130照射至透明基片S的側(cè)表面12。同時地，第一固定構件140的第一個表面140s的位置可以被確定，使得從激光束照射器130照射的激光束L到達透明基片S的側(cè)表面12。
[0120]如圖9中的另一實施方案所示出的，為了防止透明基片S的位置被旋轉(zhuǎn)支座140和150的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動馬達171改變，連接至旋轉(zhuǎn)托架168’的旋轉(zhuǎn)軸172’的橫截面可以是大的，并且由于位置固定部件190允許端部173a被定位在僅一段小距離中，可以防止偏差發(fā)生在以徑向方向從旋轉(zhuǎn)軸172’延伸的延伸部件173的端部173a處。因此，即使當透明基片S由于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動馬達171的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)或移動時，激光束照射器130的照射位置可以被維持在最初的位置而沒有改變。
[0121]在下文中，將詳細描述根據(jù)本發(fā)明的實施方案的修整用于顯示器的透明基片S的側(cè)表面的設備100的工作原理。
[0122]步驟1:首先，當透明基片S的表面與第一固定構件140的一個表面140s接觸時，第二固定構件150可以粘附至透明基片S的相對的表面。因此，透明基片S可以被固定地定位。
[0123]步驟2:此后，當從激光束照射器130將第一激光束L照射在透明基片S的側(cè)表面12的中心路徑Pc上時，平移驅(qū)動部件160可以使透明基片S與支座140和150 —起在y軸方向上以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度直線地移動(99)。因此,可以在透明基片S的一個側(cè)表面12上執(zhí)行去除細微的不平坦度的過程。
[0124]下一步，可以通過將激光束L照射在透明基片S的頂點部分的側(cè)表面12上，同時在不拆掉固定透明基片S的第一固定構件140和第二固定構件150的情況下，使用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件170將旋轉(zhuǎn)托架168旋轉(zhuǎn)90度來去除細微的不平坦層120x。
[0125]下一步，可以通過直線地移動固定支座140和150以允許沿著透明基片的另一側(cè)表面照射透明基片S的該另一側(cè)表面(不被來自激光束照射器130的第一激光束LI照射在其上)來將細微的不平坦度從透明基片S的另一側(cè)表面去除。
[0126]步驟3:此后，當將第二激光束L2 (它是通過降低焦點高度、照射位置，并且將從激光束照射器130照射的激光束L的輸出強度降低至大約20W至大約70W而生成的)照射在偵U表面12的偏心路徑Pe上時，可以通過平移驅(qū)動部件160來使透明基片S與固定支座140和150 —起在y軸方向上以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度直線地移動,在透明基片S的一個表面12的邊緣上形成連續(xù)倒角Cf，而不存在裂紋。
[0127]下一步，可以通過將激光束L照射在透明基座S的頂點部分的側(cè)表面12上，同時在不拆掉固定透明基片S的第一固定構件140和第二固定構件150的情況下使用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件170將旋轉(zhuǎn)托架168旋轉(zhuǎn)90度來在頂點部分的側(cè)表面12上形成連續(xù)倒角Cf。
[0128]下一步，可以通過直線地移動固定支座140和150以允許沿著透明基片的另一側(cè)表面照射透明基片S的該另一側(cè)表面(不被來自激光束照射器130的第一激光束LI照射在其上)來在透明基片S的另一側(cè)表面上形成連續(xù)倒角Cf。
[0129]如圖9中所示出的，當?shù)菇荂f需要被形成在待要被修整的透明基片S的兩個邊緣上時，從激光束照射器130照射的激光束L的照射位置可以被改變到偏心路徑Pe，與側(cè)表面12的中心線相對，且然后可以通過運行平移驅(qū)動部件160和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件170來在透明基片S的另一側(cè)表面12上形成連續(xù)倒角Cf。
[0130]步驟4:因此,通過重復步驟3和4,可以在不拆掉固定誘明基片S的第一固定構件140和第二固定構件150的情況下通過激光束L來在透明基片S的整個周界的側(cè)表面12上執(zhí)行去除細微的不平坦層120x的過程。
[0131]前述過程可以被配置成使得沿著透明基片S的側(cè)表面12照射激光束L，同時固定激光束照射器130的位置且通過移動部件160和170來直線地移動和旋轉(zhuǎn)固定透明基片S的固定支座140和150。因此,盡管透明基片S的位置固定工作(locat1n fixing work)被執(zhí)行一次，但遺留在透明基片S的整個周界的側(cè)表面12上的細微的不平坦度可以被完全去除，且可以在透明基片S的側(cè)表面12上形成連續(xù)倒角Cf，在更短的時間內(nèi)有效率地執(zhí)行透明基片S的側(cè)表面修整過程S120和倒角形成過程S130。
[0132]實施例1:修糖討稈
[0133]圖12A至12D示出了通過將大約120W的激光束以大約130W的輸出照射在由玻璃材料制成的透明基片S上來執(zhí)行側(cè)表面修整過程之前和之后的切割表面(側(cè)表面)照片。圖12A例示了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃(Soda Lime)”的普通玻璃基片，且圖12B例示了在移動顯示單元中使用的被稱作“10X-FS”的普通玻璃基片。圖12C例示了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220ym”的強化玻璃基片，且圖12D例示了在移動顯示單元中使用的被稱作“Dragon20ym”的強化玻璃基片。在它們之中，在圖12C和12D中示出的Gorilla220ym和Dragon20 μ m可以具有大約20 μ m厚度的強化層。
[0134]能夠被證實的是，在應用側(cè)表面修整過程之前，細微的不平坦度可以被形成在圖12A至12D中所示出的所有透明基片S的側(cè)表面上。然而，能夠被證實的是，在側(cè)表面修整過程之后，所有的粗糙的細微的不平坦層已被去除。
[0135]另外，如圖13中所示出的，在應用根據(jù)本發(fā)明的實施方案的側(cè)表面修整過程之前和之后，在透明基片上執(zhí)行了硬度測試。換言之，透明基片S被放置在彼此間隔開的機架(stands )上，且將力F漸增地施加至透明基片S直到透明基片S破碎。在玻璃基片“ 1X-FS ”上執(zhí)行該測試。作為該測試的結果，在根據(jù)本發(fā)明的實施方案的側(cè)表面修整過程之前，該玻璃基片在大約7.53kgf的力F和大約0.8mm的彎曲位移(bending displacement)(中心部分)處破碎(參見圖14A)，但是在該側(cè)表面修整過程之后，該玻璃基片承受住了大約36.92kgf的力F和大約3.496mm的彎曲位移(中心部分)(參見圖14B)。
[0136]換言之，如圖14C的表格中所示出的，當執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的實施方案的側(cè)表面修整過程時，能夠被證實的是，用于顯示單元的透明基片S的硬度增加了大約5倍。
[0137]實施例2:倒角形成過程
[0138]關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖16A和16D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作6Οι.?11&220μπι的強化玻璃基片的側(cè)表面的照片，在它們上通過以大約26.4W和58W的輸出分別照射具有大約9.4 μ m的波長和大約40kHz的頻率的CO2第二激光束L2，同時在第二激光束L2的焦點F被維持在側(cè)表面12下方大約5mm至大約20mm的距離處的狀態(tài)中以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度移動,來形成連續(xù)倒角。(圖16A示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片，且圖16D示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220 μ m”的強化玻璃基片。
[0139]根據(jù)前述的條件，能夠被證實的是能夠在玻璃基片S的側(cè)表面上干凈地形成倒角Cf，而不存在裂紋。在強化玻璃基片的情況中，能夠被證實的是當以比該普通玻璃基片更高的輸出強度照射第二激光束L2時，形成具有更干凈的修整表面的倒角Cf。
[0140]同時，如圖13中所示出的，在已倒角的玻璃基片上執(zhí)行硬度測試。作為本測試的結果，關于被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片，在根據(jù)本發(fā)明的實施方案的側(cè)表面修整過程和倒角形成過程之前，該玻璃基片在大約7.53kgf的力F和大約0.8mm的彎曲位移(中心部分)處破碎(參見圖14A)，但是在該側(cè)表面修整過程和該倒角形成過程之后，該玻璃基片承受大約64kgf的力F和大約2.757mm的彎曲位移(中心部分)(參見圖16B和16C)。
[0141]換言之，當執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的實施方案的側(cè)表面修整過程和倒角形成過程時，由于在邊緣上形成的倒角，硬度可以被減小。然而，在該測試中能夠被證實的是，用于顯示單元的透明基片S的硬度可以被維持在大約4.5倍至大約5倍的增長狀態(tài)處。
[0142]對比實施例1:改變焦點高度
[0143]同時，關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖17A至17B示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片，通過以大約26.4W和58W的輸出分別照射具有大約9.4 μ m的波長和大約40kHz的頻率的CO2第二激光束L2，同時在第二激光束L2的焦點F被維持在側(cè)表面12下方大約18mm和大約25mm的距離處的狀態(tài)中以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度移動，來在它們上形成連續(xù)倒角Cf。
[0144]可以看到細微的裂紋(諸如劃痕或破裂)發(fā)生在以下位置處:第二激光束L2的焦點F與側(cè)表面12分別間隔大約18mm和大約25mm處,超過大約15mm。因此，當在透明基片S的側(cè)表面上形成細微的裂紋時，即使小的震動也可以使裂紋生長，從而在該透明基片S被安裝在顯示單元中之后導致整個破裂。
[0145]實施例3:改變頻率
[0146]同時，關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖18A至18D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片，在它們上通過將具有大約9.4 μ m的波長和大約50kHz和33kHz的頻率的CO2第二激光束L2分別以大約26.4W和58W的輸出照射在普通玻璃基片和強化玻璃基片上，同時在第二激光束L2的焦點F被維持在側(cè)表面12下方大約5mm至大約15mm的距離處的狀態(tài)中以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度移動,來形成連續(xù)倒角Cf。(圖18A和18B示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片，且圖18C和18D示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220ym”的強化玻璃基片。)
[0147]因此，關于普通玻璃基片“蘇打石灰玻璃”，如圖18A (50kHz)和18B (33kHz)中所示出的，無論頻率是否變化，細微的裂紋(諸如劃痕)不會發(fā)生在側(cè)表面上。另外，關于強化玻璃基片“Gorilla220ym”，如圖18C (50kHz)和18D (33kHz)中所示出的，無論頻率是否變化，細微的裂紋(諸如劃痕)不會發(fā)生在側(cè)表面上。
[0148]對比實施例2:改變輸出強度
[0149]同時，關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖19A至19D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片，通過將具有大約9.4 μ m的CO2第二激光束L2分別以大約17W和58W的輸出照射在普通玻璃基片上和分別以35W和75W的輸出照射在強化玻璃基片上，同時在第二激光束L2的焦點F被維持在側(cè)表面12下方大約5mm至大約15mm的距離處的狀態(tài)中以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度移動,來在其上形成連續(xù)倒角Cf。(圖19A和19B示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片，且圖19C和19D示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220ym”的強化玻璃基片。)
[0150]因此，關于普通玻璃基片“蘇打石灰玻璃”，如圖19A (17W)和19B (58W)中所示出的，在大約20W至大約50W的范圍之外，細微的裂紋(諸如劃痕或斷紋(crease ))會發(fā)生在側(cè)表面12上。另一方面，關于強化玻璃基片“Gorilla220ym”，如圖19C (35W)和19D (75W)中所示出的，在大約40W至大約70W的范圍之外，斷紋或細微的裂紋發(fā)生在側(cè)表面12上。
[0151]對比實施例3:改變照射位置
[0152]同時，關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖20A至20D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片，通過將具有大約9.4 μ m波長和大約50kHz和33kHz頻率的CO2第二激光束L2分別以大約26.4W和58W的輸出照射在普通玻璃基片上和強化玻璃基片上，使得激光束的中心Lc位于偏心路徑(它與玻璃基片的中心線12c間隔大約300 μ m的距離w2)處和位于距中心線12c大約600 μ m和大約1000 μ m的距離處，同時在第二激光束L2的焦點F被維持在側(cè)表面12下方大約5mm至大約15mm的距離處的狀態(tài)中以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度移動,來在它們上面形成倒角Cf。(圖20A至20C示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片，且圖20D和20F示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220ym”的強化玻璃基片。)
[0153]因此，關于普通玻璃基片“蘇打石灰玻璃”，當將第二激光束L2照射在與中心線12c間隔大約300 μ m的距離(基片厚度wo的0.42)的偏心路徑Pe上時，會形成干凈的倒角Cf。然而，當將第二激光束L2照射在與中心線12c間隔大約600 μ m (基片厚度的0.85)和大約1000 μ m (基片厚度的1.42)的距離的位置上時，會發(fā)生嚴重的裂紋。
[0154]另外，關于強化玻璃基片“Gorilla220”，當將第二激光束L2照射在與中心線12c間隔大約300 μ m (基片厚度wo的0.42)的偏心路徑Pe上時，會形成干凈的倒角Cf。然而，當將第二激光束L2照射在與中心線12c間隔大約600 μ m (基片厚度的0.85)和大約1000 μ m (基片厚度的1.42)的距離的位置時，會發(fā)生嚴重的裂紋。
[0155]實施例4:改變波長段
[0156]同時，關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖21A和21B示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作Gorilla220 μ m的強化玻璃基片的照片，通過將具有大約10.4 μ m波長的CO2第二激光束L2分別以37.1W和54W的輸出照射在普通玻璃基片上和強化玻璃基片上，同時在第二激光束L2的焦點F被維持在側(cè)表面12下方大約5_至大約15_的距離處的狀態(tài)中以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度移動,來在它們上形成連續(xù)倒角Cf。(圖21A示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片，且在圖21B中示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220ym”的強化玻璃基片。)
[0157]因此，盡管第二激光束L2的波長段被轉(zhuǎn)換成大約10.6 μ m，但是細微的裂紋(諸如劃痕)不會發(fā)生在透明基片S的側(cè)表面12上。
[0158]實施例5:改變波長段
[0159]同時，關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖22A和22B示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作6Οι.Π1&220μπι的強化玻璃基片的照片，通過將具有大約355nm波長的紫外光第二激光束L2以13W的輸出分別照射在普通玻璃基片和強化玻璃基片上，同時在第二激光束L2的焦點F被維持在側(cè)表面12下方大約5mm至大約15mm的距離處的狀態(tài)中以大約2.8mm/sec的速度移動，來在它們上面形成連續(xù)倒角Cf。(圖22A示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片，且圖22B示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220 μ m”的強化玻璃基片。)
[0160]因此，盡管該第二激光束L2的波長段被轉(zhuǎn)換成大約350nm，但是當輸出強度被顯著地減小至大約13W且同時該第二激光束L2和該基片的側(cè)表面的移動速度被顯著地減小至1/5到1/10時，可形成干凈的倒角，而不存在細微的裂紋。然而，因為移動速度被顯著地減小，所以生產(chǎn)率的減小會是不可避免的。
[0161]對比實施例4:改變波長段和移動速度
[0162]同時，關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖23A至23D示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作GoriIla220 μ m的強化玻璃基片的照片，通過將具有大約355nm的波長的紫外光第二激光束L2以13W的輸出分別照射在普通玻璃基片和強化玻璃基片上，同時在該第二激光束L2的焦點F被維持在與側(cè)表面12距大約5mm至大約15mm的距離處的狀態(tài)中分別以大約2.0mm/sec和大約4.0mm/sec的速度移動，來在它們上面形成連續(xù)倒角Cf。(圖23A和23B示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片，且圖23C和23D示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“Gorilla220ym”的強化玻璃基片。)
[0163]因此，當具有大約355nm波長的紫外光激光束被用作第二激光束L2時，許多裂紋會發(fā)生在普通玻璃基片“蘇打石灰玻璃”和強化玻璃基片“Gorilla220 μ m”上，盡管大約0.8mm/sec的速度偏差與大約2.8mm/sec的移動速度(通常以該移動速度執(zhí)行倒角修整)相比是微小的。因此，對于工人根據(jù)他的/她的技術水平在透明基片S的側(cè)表面上形成倒角可能是非常困難的。這可能是因為激光束的能量吸收率關于玻璃基片是非常敏感的，即，在大約355nm的波長段中等于或大于大約90%。
[0164]對比實施例5:改變波長段
[0165]同時，關于在其上執(zhí)行側(cè)表面修整過程S120的由玻璃材料制成的具有大約0.7mm厚度的透明基片S，圖24示出了例示了被稱作蘇打石灰玻璃的普通玻璃基片和被稱作6Οι.Π1&220μπι的強化玻璃基片的照片，通過將具有大約532nm的波長的綠的第二激光束L2以20.6W的輸出照射在普通玻璃基片和強化玻璃基片上，同時在該第二激光束L2的焦點F被維持在與側(cè)表面12距大約5mm至大約15mm的距離處的狀態(tài)中以多種速度移動，來在它們上形成連續(xù)倒角Cf。(圖24示出了在移動顯示單元中使用的被稱作“蘇打石灰玻璃”的普通玻璃基片。)
[0166]因此，當具有大約532nm波長的綠色的激光束被用作第二激光束L2時，可以在所有普通玻璃基片和強化玻璃基片上執(zhí)行不存在裂紋的倒角修整，即使移動速度被各種改變。這可能是因為激光束的能量吸收率關于玻璃基片非常低，即，在大約532nm的波長段中等于或小于大約15%。
[0167]如上文所描述的，在短時間內(nèi)在切割表面修整過程中，本發(fā)明可以實現(xiàn)去除在透明基片的切割表面上不可避免地生成的細微的不平坦度的有利效果，在該切割表面修整過程中，激光束被照射在透明基片的切割表面上，通過使用激光束或鋸切割大尺寸的基片來將該透明基片形成可在顯示單元中使用的尺寸。
[0168]另外，因為連續(xù)倒角能夠被形成精確的形狀，同時接受激光束的焦點高度和路徑誤差，從而抗彎曲剛度可以被進一步提高，而不存在細微的裂紋，具有高硬度和耐用度的透明基片能夠被用于顯示單元。
[0169]如上面所描述的，在短時間內(nèi)僅通過激光束照射過程，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)去除在透明基片的切割表面上不可避免地生成的細微的不平坦度的有利效果，在激光照射過程中，以垂直的或高的照射角度將該激光束照射在該透明基片的切割表面上，通過使用激光束或鋸切割大尺寸的基片來將該透明基片形成可在顯示單元中使用的尺寸。
[0170]換言之，因為可以在短時間內(nèi)執(zhí)行透明基片的修整過程，所以不像典型的研磨方法那樣需要拋光油。因此，透明基片的周圍能夠被維持干凈，且不需要在研磨過程中供應拋光油的設備。另外，可以省略清理被研磨顆粒和拋光油沾污的透明基片的過程。
[0171]另外，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)根據(jù)透明基片的側(cè)表面的邊緣來將連續(xù)的倒角精確地形成特定形式而不生成細微的裂紋的有利效果，通過沿著與透明基片的側(cè)表面的中心線間隔開的偏心路徑移動激光束，且控制該激光束的焦點高度以使得該激光束位于該透明基片的內(nèi)部。
[0172]因此，因為能夠在更短的時間內(nèi)以更高的良品率執(zhí)行透明基片的側(cè)表面修整，所以能夠更經(jīng)濟地處理透明基片(諸如在顯示單元中使用的玻璃)。
[0173]同時，在顯示單元中使用的透明基片通常被安裝為玻璃基片。特別地，在本發(fā)明的實施方案中，因為使用具有大約8 μ m至15 μ m的波長段的CO2激光束來修整透明基片的側(cè)表面以形成倒角，所以可以稍微接受該激光束的焦點高度和路徑誤差以執(zhí)行期望的修整。
[0174]此外，因為透明基片彼此分開，使得其周界的切割表面被全部暴露，且被固定地定位在第一固定構件和第二固定構件之間，同時該透明基片的切割表面被暴露至該第一固定構件和該第二固定構件的外部，可以僅在一次設定中通過一個激光束來修整該透明基片的切割表面，使該修整過程能夠在更短時間內(nèi)執(zhí)行。
[0175]上文所公開的主題應被認為是例示性的，而非限制性的，且所附權利要求旨在覆蓋所有這樣的改型、增強和其他實施方案，它們落入本發(fā)明的真實精神和范圍內(nèi)。因此，為了達到法律允許的最大限度，本發(fā)明的范圍將由下面的權利要求及其等效物的最廣泛的可允許解釋來確定，并且不應被前述的詳細的描述所約束或限制。
【權利要求】
1.一種修整用于顯示單元的透明基片的方法，包括: 將大尺寸的基片切割成具有在顯示單元中可使用的尺寸的透明基片； 通過照射第一激光束以沿著該透明基片的切割表面上的中心路徑移動，來修整該透明基片的該切割表面；以及 通過照射第二激光束以沿著在橫向方向上與在該透明基片的所述切割表面上的所述中心路徑間隔開的偏心路徑移動，來沿著該透明基片的該切割表面的一個邊緣形成連續(xù)倒角。
2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中該連續(xù)倒角的形成包括:將第二激光束照射在該切割表面上，使得該第二激光束先到達該切割表面再到達該第二激光束的焦點。
3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其中該第二激光束的焦點位于該透明基片的內(nèi)部，以與該切割表面間隔開大約5mm至大約20_的距離。
4.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中所述偏心路徑被配置成使得該第二激光束的中心與該切割表面的中心線間隔開該透明基片的厚度的七分之一或更多。
5.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中該中心路徑落入與該切割表面的該中心線間隔開該透明基片的厚度的六分之一或更少的范圍內(nèi)。
6.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中該連續(xù)倒角的形成包括:允許該第二激光束以大約10mm/sec至大約20mm/sec的速度沿著該切割表面移動。
7.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中該第二激光束被垂直地照射在該切割表面上。
8.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中該透明基片由玻璃材料制成。
9.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中該透明基片是強化玻璃基片，包括具有一厚度的強化層。
10.根據(jù)權利要求1至9中任一項權利要求所述的方法，其中該激光束是CO2激光束。
11.根據(jù)權利要求1至9中的任一項權利要求所述的方法，其中該激光束具有大約8 μ m至大約15 μ m的波長段。
12.根據(jù)權利要求1至9中的任一項權利要求所述的方法，其中該第一激光束以大約30W至大約300W的輸出強度照射在該切割表面上。
13.根據(jù)權利要求1至9中的任一項權利要求所述的方法，其中該第二激光束以大約20W至大約70W的輸出強度照射在該切割表面上。
14.一種修整用于顯示單元的透明基片的切割表面的設備，該設備包括: 激光束生成器，生成激光束； 激光束照射器，接收來自該激光束生成器的激光束以照射該激光束； 固定支座，支撐被切割成在該顯示單元中可使用的尺寸的透明基片；以及 移動部件，用于移動該固定支座和該激光束照射器中的至少一個，使得從該激光束照射器發(fā)射的該激光束沿著該透明基片的切割表面移動，且該移動部件還在該切割表面的橫向方向上移動該激光束， 其中從該激光束照射器照射的第一激光束在沿著該透明基片的該切割表面移動的同時執(zhí)行該切割表面的修整，然后從該激光束照射器照射的第二激光束通過允許該第二激光束的中心沿著在該橫向方向上與該切割表面的中心線間隔開的偏心路徑移動來在該切割表面的一側(cè)形成倒角。
15.根據(jù)權利要求14所述的設備，其中該固定支座包括第一固定構件和第二固定構件，該第一固定構件和第二固定構件中的每個分別接觸位于其間的該透明基片的表面之一，且該第一固定構件和該第二固定構件的接觸表面被形成為具有比該透明基片小的尺寸，從而允許該透明基片被該固定支座固定，使得該透明基片的該切割表面暴露至該第一固定構件和該第二固定構件的外部。
16.根據(jù)權利要求14所述的設備，其中該第一固定構件和該第二固定構件中的至少一個包括電磁體，該電磁體吸引該第一固定構件和該第二固定構件中的另一個。
17.根據(jù)權利要求14所述的設備，其中通過允許將該第二激光束的焦點定位在該透明基片的內(nèi)部且與該切割表面間隔開大約5mm至大約20mm的距離以及允許該第二激光束沿著該偏心路徑移動來在該透明基片上形成倒角。
18.根據(jù)權利要求17所述的設備，其中該偏心路徑被配置成使得該第二激光束的中心與該切割表面的中心線間隔開該透明基片的厚度的七分之一或更多。
19.根據(jù)權利要求14所述的設備，其中該中心路徑落入與該切割表面的中心線間隔開該透明基片的厚度的六分之一或更少的范圍內(nèi)。
20.根據(jù)權利要求14所述的設備，其中該移動部件允許該激光束關于該透明基片以大約10mm/sec至大約20mm/sec的相對速度移動。
21.根據(jù)權利要求14至20中的任一項權利要求所述的設備，其中該第一激光束和該第二激光束中的至少一個是CO2激光束。
22.根據(jù)權利要求14至20中的任一項權利要求所述的設備，其中該第二激光束具有大約8 μ m至15 μ m的波長段。
23.根據(jù)權利要求14至20中的任一項權利要求所述的設備，其中該第一激光束以大約30W至大約300W的輸出強度照射在該切割表面上。
24.根據(jù)權利要求14至20中的任一項權利要求所述的設備，其中該第二激光束以大約20W至大約70W的輸出強度照射在該切割表面上。
25.根據(jù)權利要求14至20中的任一項權利要求所述的設備，其中該移動部件包括:平移驅(qū)動部件，用于直線地移動該固定支座；以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件，用于旋轉(zhuǎn)該平移驅(qū)動部件；以及 其中修整該切割表面的邊緣以形成倒角通過如下方式進行:將該激光束的定位固定在一個位置，同時將固定在該固定支座處的該透明基片通過該平移驅(qū)動部件和該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件來移動和旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號】B23K26/08GK104439713SQ201410083407
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年3月7日 優(yōu)先權日:2013年10月8日
【發(fā)明者】樸炳成, 李柄憲, 樸炳芢, 李炫澈 申請人:高麗半導體組織株式會社