一種動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床的制作方法
【專利摘要】一種動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，包括Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)，所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)X向支架固定于底座上，所述Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)通過(guò)X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)和X&Z復(fù)合導(dǎo)軌滑塊安裝于所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X向?qū)к?，并在所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X向驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)下實(shí)現(xiàn)X向運(yùn)動(dòng)；工件放置在所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的Y向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，并通過(guò)所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)Y向運(yùn)動(dòng)。Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)能夠根據(jù)不同沖壓頻率對(duì)動(dòng)態(tài)特性精細(xì)調(diào)整，獲得一致的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能，并可以實(shí)現(xiàn)位力切換復(fù)合控制，實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)陣列的一致性加工。本發(fā)明提出一種縮短對(duì)位時(shí)間，減少運(yùn)動(dòng)偏差，提高加工效率和加工精度的精密微沖壓機(jī)床。
【專利說(shuō)明】一種動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，尤其涉及一種動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，經(jīng)常需要在工件上加工制造一些精密微結(jié)構(gòu)。精密沖壓機(jī)床是一種完成上述工序的加工設(shè)備。當(dāng)前沖壓設(shè)備存在的問(wèn)題有:(1)沖壓機(jī)的沖壓精度有限；(2)沖壓機(jī)的加工效率不高；(3)沖壓設(shè)備的工藝調(diào)節(jié)較為復(fù)雜。現(xiàn)有技術(shù)的微沖壓機(jī)床中在常規(guī)XY平臺(tái)上設(shè)置一個(gè)Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)，在Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)中采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和彈性裝置等來(lái)帶動(dòng)微沖壓頭在工件上加工出微形結(jié)構(gòu)。其中，Z向沖壓過(guò)程采用位置控制系統(tǒng)。現(xiàn)有技術(shù)方案由于是在常規(guī)的XY平臺(tái)上增設(shè)Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)，整體結(jié)構(gòu)上較為笨重。此外，現(xiàn)有技術(shù)方案中Z向運(yùn)動(dòng)采用位置控制系統(tǒng)，而沖壓頭在與工件的接觸沖壓行程中沖壓力變化較大，位移控制方式會(huì)導(dǎo)致實(shí)際的沖壓精度有限。而為達(dá)到高的沖壓精度，現(xiàn)有技術(shù)方案中往往需要進(jìn)行較為復(fù)雜的工藝調(diào)整過(guò)程，且通常會(huì)犧牲加工效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提出一種縮短對(duì)位時(shí)間，減少運(yùn)動(dòng)偏差，提高加工效率和加工精度的動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床。
[0004]為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種精密微沖壓機(jī)床，包括Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)，所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)X向支架固定于底座上，所述Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)通過(guò)X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)和X&Z復(fù)合導(dǎo)軌滑塊安裝于所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X向?qū)к?，并在所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X向驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)下實(shí)現(xiàn)X向運(yùn)動(dòng)；
[0006]工件放置在所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的Y向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，并通過(guò)所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)1實(shí)現(xiàn)Y向運(yùn)動(dòng)。
[0007]優(yōu)選的，所述Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)包括Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、Z向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和微沖壓機(jī)構(gòu)，所述Z向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和所述微沖壓機(jī)構(gòu)安裝于所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)；
[0008]所述Z向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)、Z向?qū)к墶L珠絲桿、絲桿螺母和螺母座，所述驅(qū)動(dòng)和所述Z向?qū)к壒潭ㄓ谒鯶向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述滾珠絲桿安裝于所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上并通過(guò)所述絲桿螺母和所述螺母座與所述X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)固定連接；
[0009]所述微沖壓機(jī)構(gòu)通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)控制所述滾珠絲杠的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與所述X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)在Z向的相對(duì)運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)在Z向位置的調(diào)整。
[0010]優(yōu)選的，所述微沖壓機(jī)構(gòu)包括薄膜組、刀架、驅(qū)動(dòng)電機(jī)和微沖壓頭，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定于所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)子與所述刀架連接并驅(qū)動(dòng)所述刀架在Z向的微平動(dòng)，所述微沖壓頭固定于所述刀架上。
[0011]優(yōu)選的，所述微沖壓機(jī)構(gòu)還包括薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓，所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的基體與所述薄膜組連接處設(shè)置有長(zhǎng)條形孔槽，所述薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓于所述孔槽。
[0012]優(yōu)選的，所述微沖壓機(jī)構(gòu)還設(shè)置有電容式位移傳感器。
[0013]優(yōu)選的，所述薄膜組與所述刀架采用一體加工方式嵌在所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
[0014]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)為伺服電機(jī)或手動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)裝置。
[0015]優(yōu)選的，所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括底座、Y向?qū)к墶向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、Y向驅(qū)動(dòng)、Y向?qū)к壔瑝K，所述Y向?qū)к壒潭ㄓ谒龅鬃?，所述Y向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)通過(guò)連接板安裝于所述Y向驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子，所述Y向驅(qū)動(dòng)的定子固定于所述底座上，所述Y向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)通過(guò)所述Y向?qū)к壔瑝K和Y向?qū)к売伤鯵向驅(qū)動(dòng)控制其在Y向的運(yùn)動(dòng)。
[0016]優(yōu)選的，所述X向?qū)к壒潭ㄓ谒鯴向支架，所述X向驅(qū)動(dòng)的定子固定于所述X向支架，所述X向驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子固定于所述X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)上。
[0017]優(yōu)選的，所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括固定在所述底座上的Y向光柵尺，所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括固定在所述X向支架的X向光柵尺。
[0018]本發(fā)明的有益效果:
[0019]1、X&Z聯(lián)動(dòng)的設(shè)置，帶動(dòng)Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)完成X向運(yùn)動(dòng)，Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)工件完成Y向運(yùn)動(dòng)，縮短對(duì)位時(shí)間，減少運(yùn)動(dòng)偏差，提高加工效率和加工精度；
[0020]2、Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)中的Z向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過(guò)伺服電機(jī)和滾珠絲杠方式使Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生Z向相對(duì)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)微沖壓機(jī)構(gòu)完成Z向位置調(diào)整，實(shí)現(xiàn)沖壓；
[0021]3、通過(guò)調(diào)整微沖壓機(jī)構(gòu)中的薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓可以改變薄膜組內(nèi)的預(yù)應(yīng)力，進(jìn)而改變微沖壓機(jī)構(gòu)的動(dòng)力學(xué)特性，匹配不同的工況及工藝要求。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)拆分示意圖；
[0024]圖3是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的微沖壓機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]其中:Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)1，X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)2，Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)3，底座101，Y向?qū)к?02，Y向驅(qū)動(dòng)的定子103，Y向?qū)к壔瑝K104，Y向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)105，Y向驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子106，連接板107，X向支架201，X向驅(qū)動(dòng)的定子202，X向?qū)к?03，X向驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子204，X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)205，X&Z復(fù)合導(dǎo)軌滑塊206，Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301，驅(qū)動(dòng)303，Z向?qū)к?04，薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓307，微沖壓頭308，滾珠絲桿311，絲杠螺母312，螺母座313，薄膜組321，刀架322，驅(qū)動(dòng)電機(jī)323，孔槽325。

【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖并通過(guò)【具體實(shí)施方式】來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。
[0028]一種動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，包括Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)1、X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)2和Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)3，所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)2通過(guò)X向支架201固定于底座101上，所述Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)3通過(guò)X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)205和X&Z復(fù)合導(dǎo)軌滑塊206安裝于所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)2的X向?qū)к?03，并在所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)2的X向驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)下實(shí)現(xiàn)X向運(yùn)動(dòng)；
[0029]工件放置在所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)1的Y向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)105上，并通過(guò)所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)1實(shí)現(xiàn)Y向運(yùn)動(dòng)。
[0030]現(xiàn)有技術(shù)是在常規(guī)的XY平臺(tái)上增設(shè)Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)，工件需通過(guò)XY平臺(tái)的X向運(yùn)動(dòng)和Y向運(yùn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)到Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)下方，由Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)完成沖壓工序，整體結(jié)構(gòu)較為笨重，所需運(yùn)動(dòng)時(shí)間較長(zhǎng)，降低加工效率，此外，XY方向運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)換導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在移動(dòng)時(shí)容易出現(xiàn)偏差，使工件沖壓加工的精度降低。如圖1所示，本發(fā)明是將Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)3結(jié)合X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)2聯(lián)動(dòng)安裝，實(shí)現(xiàn)Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)3的X向運(yùn)動(dòng)，工件通過(guò)Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)1實(shí)現(xiàn)Y向運(yùn)動(dòng)，Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)3和工件分別在各自的X向或Y向上相對(duì)運(yùn)動(dòng)，縮短工位對(duì)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)時(shí)間，提高工件加工效率，而且X向和Y向的運(yùn)動(dòng)不相干擾，無(wú)需工件多方位的移動(dòng)，減少定位偏差，提高工件沖壓加工的精度，Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)3與X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)2的聯(lián)動(dòng)安裝使整體結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單。
[0031]優(yōu)選的，所述Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)3包括Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301、Z向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和微沖壓機(jī)構(gòu)，所述Z向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和所述微沖壓機(jī)構(gòu)安裝于所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301 ;
[0032]所述Z向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)303、Z向?qū)к?04、滾珠絲桿311、絲桿螺母312和螺母座313，所述驅(qū)動(dòng)303和所述Z向?qū)к?04固定于所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301，所述滾珠絲桿311安裝于所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301上并通過(guò)所述絲桿螺母312和所述螺母座313與所述X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)205固定連接；
[0033]所述微沖壓機(jī)構(gòu)通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)303控制所述滾珠絲杠311的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301與所述X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)205在Z向的相對(duì)運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)在Z向位置的調(diào)整。
[0034]如圖3所示，Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)中的Z向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)303結(jié)合滾珠絲桿311的方式使Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301與X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)205產(chǎn)生Z相相對(duì)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)微沖壓機(jī)構(gòu)完成Z向位置的調(diào)整，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制性強(qiáng)。如圖3所示，驅(qū)動(dòng)303通過(guò)電機(jī)支架302固定在Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301上，滾珠絲杠通過(guò)滾珠絲杠支撐座310、314固定在Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301上。絲杠螺母312通過(guò)螺母座313固定在X&Z聯(lián)動(dòng)平臺(tái)205上。
[0035]優(yōu)選的，所述微沖壓機(jī)構(gòu)包括薄膜組321、刀架322、驅(qū)動(dòng)電機(jī)323和微沖壓頭308，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)323固定于所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)323的動(dòng)子與所述刀架322連接并驅(qū)動(dòng)所述刀架322在Z向的微平動(dòng)，所述微沖壓頭308固定于所述刀架322上。Z向精密沖壓機(jī)構(gòu)能夠根據(jù)不同沖壓頻率對(duì)動(dòng)態(tài)特性調(diào)整，獲得一致的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能，并可以實(shí)現(xiàn)位力切換復(fù)合控制，實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)陣列的一致性加工。
[0036]如圖4所示，微沖壓機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)323驅(qū)動(dòng)帶有微沖壓頭308的刀架322完成沖壓過(guò)程。
[0037]優(yōu)選的，所述微沖壓機(jī)構(gòu)還包括薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓307，所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301的基體與所述薄膜組321連接處設(shè)置有長(zhǎng)條形孔槽325，所述薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓307于所述孔槽325。通過(guò)調(diào)整微沖壓機(jī)構(gòu)中的薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓307可以改變薄膜組321內(nèi)的預(yù)應(yīng)力，進(jìn)而改變微沖壓機(jī)構(gòu)的動(dòng)力學(xué)特性，匹配不同的工況及工藝要求。
[0038]優(yōu)選的，所述微沖壓機(jī)構(gòu)還設(shè)置有電容式位移傳感器。用于測(cè)量刀架322的Z維運(yùn)動(dòng)。
[0039]優(yōu)選的，所述薄膜組321與所述刀架322采用一體加工方式嵌在所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)301。由整塊材料經(jīng)過(guò)銑削、電火花加工等方式獲取，避免了零件的裝配誤差，可以提高平臺(tái)運(yùn)動(dòng)精度。
[0040]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)303為伺服電機(jī)或手動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)裝置。伺服電機(jī)使控制速度和位置精度都十分準(zhǔn)確，體積小，響應(yīng)快，速度高，可用于控制滾珠絲桿311的轉(zhuǎn)動(dòng)。使用手動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)裝置，減少機(jī)械操控，可進(jìn)一步降低機(jī)械的運(yùn)動(dòng)慣量，提高沖壓的精準(zhǔn)性。
[0041]優(yōu)選的，所述Y向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)1包括底座101、Y向?qū)к?02、Υ向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)105、Υ向驅(qū)動(dòng)、Υ向?qū)к壔瑝K104，所述Υ向?qū)к?02固定于所述底座101上，所述Υ向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)105通過(guò)連接板107安裝于所述Υ向驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子106，所述Υ向驅(qū)動(dòng)的定子103固定于所述底座101上，所述Υ向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)105通過(guò)所述Υ向?qū)к壔瑝K104和Υ向?qū)к売伤靓聪蝌?qū)動(dòng)控制其在Υ向的運(yùn)動(dòng)。如圖2所示，Υ向驅(qū)動(dòng)的定子103安裝于X向支架，由其動(dòng)子106帶動(dòng)Υ向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的Υ向運(yùn)動(dòng)，質(zhì)量輕，振動(dòng)動(dòng)能小，頻率快。
[0042]優(yōu)選的，所述X向?qū)к?03固定于所述X向支架201，所述X向驅(qū)動(dòng)的定子202固定于所述X向支架，所述X向驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子204固定于所述Χ&Ζ聯(lián)動(dòng)平臺(tái)205上。如圖2所示，X向驅(qū)動(dòng)的定子202安裝于X向支架，由其動(dòng)子204帶動(dòng)Χ&Ζ聯(lián)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)，質(zhì)量輕，振動(dòng)動(dòng)能小，頻率快。
[0043]優(yōu)選的，所述Υ向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括固定在所述底座101上的Υ向光柵尺，所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括固定在所述X向支架201的X向光柵尺。分別用于測(cè)量Υ向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的Υ向位置和Χ&Ζ聯(lián)動(dòng)平臺(tái)與Ζ向精密沖壓機(jī)構(gòu)的X向位置。
[0044]以上結(jié)合具體實(shí)施例描述了本發(fā)明的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本發(fā)明的原理，而不能以任何方式解釋為對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限制。基于此處的解釋，本領(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動(dòng)即可聯(lián)想到本發(fā)明的其它【具體實(shí)施方式】，這些方式都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，包括V向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和2向精密沖壓機(jī)構(gòu)，其特征在于: 所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)X向支架固定于底座上，所述2向精密沖壓機(jī)構(gòu)通過(guò)置聯(lián)動(dòng)平臺(tái)和驚復(fù)合導(dǎo)軌滑塊安裝于所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X向?qū)к墸⒃谒鯴向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X向驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)下實(shí)現(xiàn)X向運(yùn)動(dòng)； 工件放置在所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)1的X向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，并通過(guò)所述V向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)V向運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，其特征在于:所述2向精密沖壓機(jī)構(gòu)包括2向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、2向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和微沖壓機(jī)構(gòu)，所述2向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和所述微沖壓機(jī)構(gòu)安裝于所述2向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)； 所述2向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)、2向?qū)к墶L珠絲桿、絲桿螺母和螺母座，所述驅(qū)動(dòng)和所述2向?qū)к壒潭ㄓ谒?向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述滾珠絲桿安裝于所述2向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上并通過(guò)所述絲桿螺母和所述螺母座與所述驚聯(lián)動(dòng)平臺(tái)固定連接； 所述微沖壓機(jī)構(gòu)通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)控制所述滾珠絲杠的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述2向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與所述置聯(lián)動(dòng)平臺(tái)在2向的相對(duì)運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)在2向位置的調(diào)整。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，其特征在于:所述微沖壓機(jī)構(gòu)包括薄膜組、刀架、驅(qū)動(dòng)電機(jī)和微沖壓頭，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定于所述2向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)子與所述刀架連接并驅(qū)動(dòng)所述刀架在2向的微平動(dòng)，所述微沖壓頭固定于所述刀架上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的精密微沖壓機(jī)床，其特征在于:所述微沖壓機(jī)構(gòu)還包括薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓，所述2向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的基體與所述薄膜組連接處設(shè)置有長(zhǎng)條形孔槽，所述薄膜預(yù)緊力調(diào)節(jié)螺栓于所述孔槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，其特征在于:所述微沖壓機(jī)構(gòu)還設(shè)置有電容式位移傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的精密微沖壓機(jī)床，其特征在于:所述薄膜組與所述刀架采用一體加工方式嵌在所述2向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)為伺服電機(jī)或手動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，其特征在于:所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括底座、I向?qū)к?、X向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、I向驅(qū)動(dòng)、I向?qū)к壔瑝K，所述X向?qū)к壒潭ㄓ谒龅鬃?，所述V向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)通過(guò)連接板安裝于所述V向驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子，所述I向驅(qū)動(dòng)的定子固定于所述底座上，所述V向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)通過(guò)所述V向?qū)к壔瑝K和V向?qū)к売伤鯴向驅(qū)動(dòng)控制其在V向的運(yùn)動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，其特征在于:所述X向?qū)к壒潭ㄓ谒鯴向支架，所述X向驅(qū)動(dòng)的定子固定于所述X向支架，所述X向驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子固定于所述驚聯(lián)動(dòng)平臺(tái)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)特性自適應(yīng)匹配的微結(jié)構(gòu)陣列精密加工機(jī)床，其特征在于:所述V向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括固定在所述底座上的X向光柵尺，所述X向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括固定在所述X向支架的X向光柵尺。
【文檔編號(hào)】B21D28/02GK104485290SQ201410695949
【公開(kāi)日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2014年11月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月26日
【發(fā)明者】陳新, 白有盾, 楊志軍, 王夢(mèng), 高健, 李涵雄, 李成祥, 王江龍, 黃宇涵, 劉浩文, 李振新, 鐘裕導(dǎo), 劉偉光, 楊海東, 管貽生, 陳新度 申請(qǐng)人:廣東工業(yè)大學(xué)