精確控溫加熱平臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種精確控溫加熱平臺，包括架體、臺面、隔熱層、加熱管、第一控溫儀及第二控溫儀；架體上從下到上依次架設(shè)有隔熱層和臺面，隔熱層上交替、平行、等距的鋪設(shè)有若干加熱管，且每根加熱管與臺面之間相距一安全距離；在隔熱層上的每個加熱區(qū)域的中間位置設(shè)置第一控溫儀的熱電偶；臺面上與第一控溫儀的熱電偶相對應(yīng)的位置設(shè)置第二控溫儀的熱電偶。第一控溫儀及第二控溫儀通過導線連接，第二控溫儀的熱電偶感測的臺面溫度經(jīng)第二控溫儀及導線傳輸給第一控溫儀，第一控溫儀根據(jù)臺面溫度對加熱管的溫度進行控制。本實用新型的臺面尺寸可根據(jù)靶材組件尺寸進行配置，且無論配置的臺面尺寸大小，均可精確控制臺面溫度，并保持臺面溫度的均勻性。
【專利說明】精確彳￡溫加熱平臺

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種加熱裝置，特別是涉及一種應(yīng)用于制造靶材組件的精確控溫
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【背景技術(shù)】
[0002]靶材組件一般由靶材和背板連接而成，二者的連接方式包括釬焊、擴散焊接、機械復合等幾種，其中，釬焊是將靶材與背板放置于加熱平臺上，通過加熱平臺對二者進行加熱，到達預設(shè)溫度后，涂覆焊料將二者復合，然后冷卻至室溫即可。在此過程中，加熱平臺對于溫度的控制以及整個平臺面的溫度均勻性，將會直接影響到靶材組件的質(zhì)量和性能。
[0003]現(xiàn)有的加熱平臺臺面尺寸一般在I米左右，受尺寸的限制，其無法焊接尺寸長達2米甚至3米的TFT-1XD靶材組件和太陽能靶材組件，若簡單的將臺面尺寸擴大至I米以上，會出現(xiàn)溫度控制不準確、臺面溫度不均勻的問題；臺面溫度控制不準確會出現(xiàn)靶材的某些部位溫度尚未到達焊接溫度，而某些部位已經(jīng)超過靶材所能承受的最高溫度，進而造成靶材組織變化，影響濺射成膜性能，臺面溫度不均勻會使靶材的不同部位受熱不同，應(yīng)力分布差別較大，焊接后靶材組件產(chǎn)生嚴重變形的問題。
實用新型內(nèi)容
[0004]鑒于上述原因，本實用新型的目的在于提供一種精確控溫加熱平臺，該加熱平臺的臺面尺寸可根據(jù)靶材組件的尺寸進行配置，且無論配置的臺面尺寸大小均可實現(xiàn)加熱平臺的精確控溫，并保持臺面溫度的均勻性。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0006]精確控溫加熱平臺，包括架體、臺面、隔熱層、加熱管、第一控溫儀及第二控溫儀；
[0007]該架體上從下到上依次架設(shè)有該隔熱層和該臺面，該隔熱層上交替、平行、等距的鋪設(shè)有若干加熱管，且每根加熱管與該臺面之間相距一安全距離；
[0008]在該隔熱層上的每個加熱區(qū)域之內(nèi)設(shè)置該第一控溫儀的熱電偶；該臺面上與該第一控溫儀的熱電偶相對應(yīng)的位置設(shè)置第二控溫儀的熱電偶。
[0009]進一步的，
[0010]在所述隔熱層上的每個加熱區(qū)域的中間位置設(shè)置所述第一控溫儀的熱電偶，所述第二控溫儀的熱電偶設(shè)于所述臺面上開有的通孔內(nèi)，所述第一控溫儀的熱電偶與所述第二控溫儀的熱電偶位于同一橫截面上。
[0011]所述每根加熱管到所述臺面的安全距離相等，所述安全距離在1mm?50mm之間。
[0012]所述第一控溫儀及第二控溫儀通過導線連接，所述第二控溫儀的熱電偶感測的臺面溫度經(jīng)所述第二控溫儀及導線傳輸給所述第一控溫儀，所述第一控溫儀根據(jù)該臺面溫度對所述加熱管的溫度進行控制。
[0013]所述臺面的三個側(cè)邊圍構(gòu)擋板，另外一側(cè)邊延伸出所述架體一定長度，并在延伸出的側(cè)邊底部邊緣處設(shè)有凹槽。
[0014]所述臺面由鑄鐵制成，所述臺面的厚度為50mm?10mm之間。
[0015]所述加熱管采用U型加熱管，該U型加熱管的接線端折彎向下布置于所述架體下方。
[0016]所述臺面上每一米的距離之內(nèi)為一個加熱區(qū)域。
[0017]所述隔熱層選用石棉、巖棉或者陶瓷纖維棉等隔熱耐火材料。
[0018]所述架體的支撐腳上設(shè)有調(diào)節(jié)螺栓。
[0019]本實用新型的優(yōu)點在于:
[0020]本實用新型的精確控溫加熱平臺，臺面尺寸能夠根據(jù)靶材組件的尺寸進行配置，且無論配置的臺面尺寸大小，都能夠精確控制臺面溫度，并保持臺面溫度的均勻性；同時，加熱管和臺面不相接觸，臺面的一側(cè)底緣設(shè)有用于容置回流焊料的凹槽，加熱管接線端設(shè)于架體下方等結(jié)構(gòu)，均可保證操作人員的人身安全。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是本實用新型的加熱平臺的立體分解示意圖。
[0022]圖2為本實用新型的加熱平臺局部示意圖。
[0023]圖3為本實用新型的加熱平臺的側(cè)視圖。
[0024]圖4為本實用新型的加熱平臺的部分臺面的透視圖。

【具體實施方式】
[0025]以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0026]圖1是本實用新型的加熱平臺的立體分解示意圖。圖3為本實用新型的加熱平臺的側(cè)視圖。如圖所示，本實用新型公開的精確控溫加熱平臺，包括架體1、臺面3、隔熱層2、若干加熱管4、第一控溫儀及第二控溫儀；
[0027]架體I上從下到上依次架設(shè)有隔熱層2和臺面3，隔熱層2和臺面3之間設(shè)有用于容置加熱管4的容置空間，每根加熱管4到臺面3的距離相等，優(yōu)選距離在1mm?50mm之間。
[0028]圖4為本實用新型的加熱平臺的部分臺面的透視圖。如圖所示，從臺面3向下看，隔熱層2上交替、平行、等距的鋪設(shè)有若干加熱管4，定義臺面上一定距離之內(nèi)為一個加熱區(qū)域(如每一米距離之內(nèi)為一個加熱區(qū)域)，在隔熱層2上靠近每個加熱區(qū)域中間位置的相鄰兩個加熱管4之間設(shè)置第一控溫儀的熱電偶5，用于測量加熱管4的加熱溫度(且每相鄰兩個加熱區(qū)域中設(shè)置的第一控溫儀的熱電偶5交替設(shè)置于隔熱層兩側(cè))；同時，在臺面3上與第一控溫儀的熱電偶5相對應(yīng)的位置處開設(shè)通孔，用于容置第二控溫儀的熱電偶6，以感測臺面3的溫度(第一控溫儀的熱電偶5與第二控溫儀的熱電偶6位于同一橫截面上)。
[0029]其中，第一控溫儀和第二控溫儀均使用現(xiàn)有技術(shù)中的溫控儀，將第一控溫儀和第二控溫儀通過導線連接，可以實現(xiàn)第一控溫儀根據(jù)第二控溫儀的熱電偶所感測的溫度對加熱管的加熱溫度及功率進行調(diào)節(jié)，進而對臺面溫度進行控制。具體的說，于第一控溫儀可設(shè)置加熱管的預定溫度，于第二控溫儀可設(shè)定臺面的預定溫度，在加熱管的溫度到達加熱管的預定溫度之前，即在臺面的升溫過程中，第二控溫儀的熱電偶6感測的臺面溫度經(jīng)第二控溫儀、導線傳輸給第一控溫儀，第一控溫儀根據(jù)臺面溫度判斷臺面溫度是否到達臺面的設(shè)定溫度，若臺面溫度沒有到達臺面的預定溫度，第一控溫儀控制加熱管繼續(xù)升溫，若臺面溫度已經(jīng)到達臺面的預定溫度，第一控溫儀控制加熱管維持溫度，不再繼續(xù)升溫；當?shù)诙販貎x的熱電偶6感測的臺面溫度下降至低于臺面的預定溫度時，第一控溫儀控制加熱管重新開始加熱升溫；在此過程中，若第二控溫儀的熱電偶6感測的臺面溫度尚未到達臺面的預定溫度，而第一控溫儀的熱電偶5感測的加熱管的溫度已將到達加熱管的預定溫度，第一控溫儀控制加熱管維持溫度，不再繼續(xù)升溫。
[0030]需要說明的是，上述第一控溫儀、第二控溫儀的連接方式、設(shè)定溫度以及根據(jù)設(shè)定溫度控制溫度的過程，均是利用現(xiàn)有的控溫儀實現(xiàn)的，屬于現(xiàn)有技術(shù)。
[0031]如圖2所示，臺面3 —般呈矩形，在焊接過程中，為防止焊料流出臺面3，于臺面3的三個側(cè)邊圍構(gòu)不銹鋼擋板7，另外一側(cè)邊延伸出架體I 一定長度，并在延伸出的側(cè)邊底部邊緣處，設(shè)有具有一定深度的凹槽，用于防止焊料沿臺面3回流，保障操作者的安全。
[0032]所述的臺面3由鑄鐵制成，鑄鐵材料抗熱變形能力強、耐磨性好、散熱緩慢，到達一定溫度后能夠長時間保溫，臺面3的優(yōu)選厚度為50mm?10mm之間，既可以保證臺面強度又可以避免材料浪費及升溫過慢的問題。
[0033]所述的加熱管4采用U型加熱管，該U型加熱管包括鎳鉻合金加熱絲及不銹鋼保護管，且二者中間填充耐熱絕緣材料；將U型加熱管接線端折彎向下布置在架體I的下方，可以避免操作者接觸加熱管接線端而發(fā)生的觸電危險。
[0034]所述的隔熱層2可以選用石棉、巖棉或者陶瓷纖維棉等隔熱耐火材料，達到有效防止熱量流失的目的。
[0035]所述架體I的支撐腳上可增設(shè)調(diào)節(jié)螺栓，可以根據(jù)使用環(huán)境調(diào)節(jié)架體I高度及臺面3的水平度。
[0036]本實用新型的精確控溫加熱平臺，通過在隔熱層上交替、平行、等距的設(shè)置若干加熱管，隔熱層上距加熱管一定距離處設(shè)置臺面，并在每個加熱區(qū)域的中間位置設(shè)置第一控溫儀和第二控溫儀，用于及時、準確的控制加熱管對臺面的加熱溫度，在此結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，臺面的尺寸可以根據(jù)待加工的靶材組件尺寸增加或是減少，且無論尺寸大小均可保證對臺面溫度的精確控制，以及臺面溫度的均勻性。
[0037]以上所述是本實用新型的較佳實施例及其所運用的技術(shù)原理，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在不背離本實用新型的精神和范圍的情況下，任何基于本實用新型技術(shù)方案基礎(chǔ)上的等效變換、簡單替換等顯而易見的改變，均屬于本實用新型保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.精確控溫加熱平臺，其特征在于，包括架體、臺面、隔熱層、加熱管、第一控溫儀及第二控溫儀； 該架體上從下到上依次架設(shè)有該隔熱層和該臺面，該隔熱層上交替、平行、等距的鋪設(shè)有若干加熱管，且每根加熱管與該臺面之間相距一安全距離； 在該隔熱層上的每個加熱區(qū)域之內(nèi)設(shè)置該第一控溫儀的熱電偶；該臺面上與該第一控溫儀的熱電偶相對應(yīng)的位置設(shè)置第二控溫儀的熱電偶。
2.如權(quán)利要求1所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，在所述隔熱層上的每個加熱區(qū)域的中間位置設(shè)置所述第一控溫儀的熱電偶，所述第二控溫儀的熱電偶設(shè)于所述臺面上開有的通孔內(nèi)，所述第一控溫儀的熱電偶與所述第二控溫儀的熱電偶位于同一橫截面上。
3.如權(quán)利要求2所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，所述每根加熱管到所述臺面的安全距離相等，所述安全距離在1mm?50mm之間。
4.如權(quán)利要求1或3所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，所述第一控溫儀及第二控溫儀通過導線連接，所述第二控溫儀的熱電偶感測的臺面溫度經(jīng)所述第二控溫儀及導線傳輸給所述第一控溫儀，所述第一控溫儀根據(jù)該臺面溫度對所述加熱管的溫度進行控制。
5.如權(quán)利要求4所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，所述臺面的三個側(cè)邊圍構(gòu)擋板，另外一側(cè)邊延伸出所述架體一定長度，并在延伸出的側(cè)邊底部邊緣處設(shè)有凹槽。
6.如權(quán)利要求5所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，所述臺面由鑄鐵制成，所述臺面的厚度為50mm?10mm之間。
7.如權(quán)利要求6所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，所述加熱管采用U型加熱管，該U型加熱管的接線端折彎向下布置于所述架體下方。
8.如權(quán)利要求1所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，所述臺面上每一米的距離之內(nèi)為一個加熱區(qū)域。
9.如權(quán)利要求1所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，所述隔熱層選用石棉、巖棉或者陶瓷纖維棉等隔熱耐火材料。
10.如權(quán)利要求1所述的精確控溫加熱平臺，其特征在于，所述架體的支撐腳上設(shè)有調(diào)節(jié)螺栓。
【文檔編號】B23K3/047GK204209247SQ201420587783
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年10月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月11日
【發(fā)明者】徐學禮, 何金江, 呂保國, 劉勇, 劉紅賓, 董亭義 申請人:有研億金新材料有限公司