技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種靶材的焊接方法，包括以下步驟：在靶材本體和背板的連接面上設(shè)置預(yù)定數(shù)量的銅絲；通過人工操作將靶材本體和背板焊接為一體；對連接為一體的靶材本體和背板施加第二次壓力。上述焊接靶材的焊接方法，利用人工操作的方式取代機械焊接的操作方式，能夠顯著減少焊料的使用量，令生產(chǎn)成本得以降低，并且還避免了焊接使用焊料折損廢棄過多、多次焊接影響靶材的客戶端使用、多次焊接后令熱膨脹變形量增大導(dǎo)致靶材產(chǎn)品尺寸發(fā)生偏差、多次焊接使靶材加熱過多導(dǎo)致靶材內(nèi)部晶粒晶向改變、晶粒晶向改變導(dǎo)致客戶端的靶材濺射異常等情況的發(fā)生，從而進一步提高了焊接合格率，從而使批量生產(chǎn)的靶材產(chǎn)品焊接合格率達到98％以上。

技術(shù)研發(fā)人員：姚力軍;潘杰;相原俊夫;大巖一彥;王學(xué)澤;李健成
受保護的技術(shù)使用者：寧波江豐電子材料股份有限公司
文檔號碼：201510789592
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.17
技術(shù)公布日：2017.05.24