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針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12573442閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,包括基板,所述基板的材料為透明材質(zhì);

在所述基板上設(shè)置有不透明的圖層,用于直接暴露于激光射線中;

所述不透明的圖層能夠明顯的吸收或散射入射激光的能量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,所述不透明圖層在所述基板的表面,工作時,一個清晰的軌跡將被暴露在暴露區(qū)域內(nèi)的切線。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,預(yù)先根據(jù)被加工的材料的厚度和目標(biāo)的數(shù)值孔徑,計(jì)算所述軌跡的軌道規(guī)格。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,若零部件減少單獨(dú)運(yùn)行時,基板的大小為大于或等于0.5mm,從剪線多余材料計(jì)算;

若從一個較大的單頁材料到幾個部分的削減,那么單個零件的設(shè)計(jì)必須為核算在基板的大小中。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,切割線應(yīng)位于表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,多軸配置系統(tǒng)能保證零件,定位于激光束的激光束入射到90°±10°切割線的表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,若基板為曲面,則激光束在凸表面發(fā)生。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,若設(shè)計(jì)被限制的部分是從凹表面被切割,則光功率的光束路徑中的所有光學(xué)元件的組合中,需要處理的部分必須保持積極。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)中的零件均為一次性零件。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述針對二維和三維脆性材料基板進(jìn)行加工的激光系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)中的設(shè)計(jì)規(guī)格需要滿足一下的一種或多種條件,

尺寸精度–≤±15μM;

芯片尺寸≤100μ;

切割表面粗糙度≤1.5μ;

有效直線進(jìn)給率≥10mm/s;

CPK≥1.3。

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