本發(fā)明涉及超快激光加工系統(tǒng)，尤其涉及多軸聯(lián)動(dòng)超快激光加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，超快激光加工系統(tǒng)已經(jīng)被用于多種材料例如金屬以及脆性材料等的二維平面加工。例如對(duì)玻璃和藍(lán)寶石的二維平面加工。最具代表性的三軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)如圖1所示。專(zhuān)利號(hào)為201080055561.1的中國(guó)專(zhuān)利披露了雙側(cè)加工、準(zhǔn)秘密切割及多光束秘密切割的系統(tǒng)方法，承載待加工工件的支撐平臺(tái)安裝在由空氣軸承X-Y定位平臺(tái)上。由于支撐平臺(tái)只能在二維的平面上運(yùn)動(dòng)，只能進(jìn)行二維激光加工。

隨著諸如手機(jī)和顯示器面板功能及設(shè)計(jì)多樣化的不斷推陳出新，越來(lái)越多的設(shè)計(jì)及加工需要采用三維立體脆性材料。

但是，現(xiàn)有的基于二軸或三軸聯(lián)動(dòng)激光加工系統(tǒng)僅能對(duì)脆性材料在二維平面上進(jìn)行加工，不能對(duì)脆性材料進(jìn)行三維立體加工。專(zhuān)利號(hào)為201420090180.2的中國(guó)專(zhuān)利披露了一種激光快速分離光學(xué)晶體裝置，待分離的晶體固定于二維工作臺(tái)，單焦點(diǎn)激光加工系統(tǒng)中的聚焦透鏡可以沿Z軸移動(dòng)，從而改變激光焦點(diǎn)伸入晶體內(nèi)的深度。該裝置的工作臺(tái)只能二維移動(dòng)的，聚焦透鏡也是線形運(yùn)動(dòng)，不能旋轉(zhuǎn)，故不能對(duì)晶體作三維立體加工。專(zhuān)利號(hào)為201310102578.3的中國(guó)專(zhuān)利披露了觸摸屏玻璃打孔開(kāi)料裝置和加工方法，工作臺(tái)與X軸相連接、在該工作臺(tái)上設(shè)有與治具相連的Y軸位移組件，玻璃開(kāi)料模組與Z軸相偶聯(lián)。該專(zhuān)利通過(guò)控制機(jī)床線性運(yùn)動(dòng)對(duì)玻璃進(jìn)行二維加工操作，但不能進(jìn)行三維立體加工。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種多軸聯(lián)動(dòng)超快激光加工 系統(tǒng)，可以對(duì)脆性材料進(jìn)行任意的三維立體精細(xì)加工，例如切割、倒角、以及切鉆孔等等。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種多軸聯(lián)動(dòng)超快激光加工系統(tǒng)，其包括，超快激光發(fā)生器、光學(xué)模組、透鏡組件、承載加工件的加工件平臺(tái)、控制所述透鏡組件或所述加工件平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的聯(lián)動(dòng)控制器和聯(lián)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，其中，所述透鏡組件和/或所述加工件平臺(tái)可沿X軸和/或Y軸和/或Z軸中的至少一個(gè)軸做線性運(yùn)動(dòng)，所述透鏡組件和/或所述加工件平臺(tái)可沿X軸、Y軸或Z軸中的至少一個(gè)軸旋轉(zhuǎn)。在光學(xué)模組中通常包括與多軸聯(lián)動(dòng)同步的偏振裝置和/或激光束整形及調(diào)制裝置。所述超快激光包括飛秒激光和脈沖寬度小于10皮秒的皮秒激光，也稱(chēng)冷激光，其在處理脆性材料時(shí)不產(chǎn)生沒(méi)有熱效應(yīng)，沒(méi)有熱影響區(qū)(HAZ)。當(dāng)然其對(duì)加工工藝要求也更為苛刻。優(yōu)選的是超快激光發(fā)生器產(chǎn)生的激光束的脈沖寬度為0.1ps到10ps。

由所述超快激光發(fā)生器產(chǎn)生的激光束通過(guò)光學(xué)模組傳輸?shù)剿鐾哥R組件，所述透鏡組件將所述激光束聚焦在所述加工件上，對(duì)加工件進(jìn)行加工。通過(guò)本發(fā)明的系統(tǒng)，激光束可以聚焦在加工件的任意位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)加工件的三維加工。

本發(fā)明的超快激光發(fā)生器產(chǎn)生的激光束可以是超快激光束或冷激光等。超快激光束通過(guò)光學(xué)模組傳導(dǎo)到透鏡組件，所述透鏡組件可以是聚焦鏡或掃描振鏡。激光束通過(guò)透鏡組件后聚焦于加工件上的工作面上。該工作面實(shí)際上是包含了聚焦在加工件中的激光束焦點(diǎn)。由于本發(fā)明超快激光加工系統(tǒng)可以對(duì)加工件進(jìn)行三維加工，該工作面可以是預(yù)設(shè)的和動(dòng)態(tài)的。根據(jù)加工件擬加工成的最終產(chǎn)品的外表面，激光束焦點(diǎn)與該外表面相切的平面就是工作面。該工作面可能是物理上存在的平面，例如加工件的上、下表面，也可能是加工件內(nèi)部的一個(gè)虛擬平面。

所述激光束的主軸與所述加工件的工作面表面法線之間的夾角(也就是激光束的入射角)始終小于10度，優(yōu)選小于8度。該工作面表面法線是指在激光束焦點(diǎn)處垂直于工作面的線。

在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，所述激光束的主軸始終與所述加工件的工作面接近垂直。這里的接近垂直，是指呈90度垂直或者±5度。

這就保證了激光束的加工效率、減少了激光束在加工件中產(chǎn)生影響加工質(zhì)量的色散、減少了激光束反射損耗、提高了加工件加工表面質(zhì)量、同時(shí)還減少了崩邊尺寸和數(shù)量。

所述光學(xué)模組(尤其是自由空間光學(xué)模組)、透鏡組件與所述加工件的組合光焦度大于0。這樣就可以保證激光束在加工件中會(huì)聚從而有效的進(jìn)行激光加工。也就是說(shuō)，光學(xué)系統(tǒng)與加工件構(gòu)成的組合的光焦度應(yīng)該大于0，以保證激光束在加工件中會(huì)聚。如果光焦度小于零，光束發(fā)散而不聚焦，不能用于激光加工。通常激光加工系統(tǒng)考慮的光焦度不是所述自由空間光學(xué)模組、透鏡組件與所述加工件的組合光焦度，而是不包括所述加工件的光焦度。所述加工件，特別是三維透明材料，將直接影響光焦度，從而影響激光加工效果。特別是如果加工件是由多種材料和/或多層材料組成，則組合光焦度大于零尤為重要，可以保證激光可以加工由多種材料和/或多層材料組成的加工件。光焦度(P)，(也稱(chēng)為屈光度、折射光焦、聚焦光度、或收斂光度)是光學(xué)系統(tǒng)中透鏡、反射鏡、或者其他光學(xué)系統(tǒng)會(huì)聚或發(fā)散的光的程度。它等于該光學(xué)系統(tǒng)的焦距(F)的倒數(shù)：P＝1/F。

所述光學(xué)模組為自由空間光學(xué)模組或光束傳輸光纖或其組合。光束傳輸光纖是指通過(guò)光纖(光纖是柔軟的，可以彎曲)直接將激光從激光發(fā)生器引導(dǎo)到透鏡組件。光纖的一端與激光發(fā)生器相連，另一端可與透鏡組件相連。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，透鏡組件的移動(dòng)特別是旋轉(zhuǎn)將對(duì)與其相連的光束傳輸光纖的光路穩(wěn)定性及可靠性幾乎沒(méi)有影響，這會(huì)在制造和使用上帶來(lái)便利。因此，對(duì)于采用光束傳輸光纖的技術(shù)方案，透鏡組件也可以采用旋轉(zhuǎn)軸。在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，所述光束傳輸光纖為非傳統(tǒng)空心光纖。非傳統(tǒng)空心光纖可以提高激光傳輸質(zhì)量、光路穩(wěn)定性及可靠性。

自由空間光學(xué)模組通過(guò)光學(xué)元件例如多個(gè)反射鏡將激光從激光發(fā)生器傳輸?shù)酵哥R組件。在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例方案中，所述光學(xué)模組為自由空間光學(xué)模組，同時(shí)對(duì)于透鏡組件使用線形軸而不是旋轉(zhuǎn)軸，自由空間光學(xué)模組還可以帶來(lái)兩大優(yōu)點(diǎn)，即：第一是克服超快激光脈沖通過(guò)傳輸光纖會(huì)因?yàn)楣饫w材料(通常為玻璃)的非線性及光纖的波導(dǎo)性導(dǎo)致脈沖寬度及脈中形狀發(fā)生改變這一問(wèn)題；第二是克服超快激光脈沖通過(guò)傳輸光纖因?yàn)楣饫w材料 的非線性光纖的波導(dǎo)性導(dǎo)致脈沖的偏振狀態(tài)發(fā)生不可控制的隨機(jī)變化這一問(wèn)題。因此，自由空間光學(xué)模組可以保證超快激光加工系統(tǒng)中脈沖寬度、脈沖形狀以及偏振狀態(tài)的穩(wěn)定性及可控制性，從而大大提高超快激光加工系統(tǒng)，脈沖寬度、脈沖形狀以及偏振狀態(tài)的穩(wěn)定性及可控制性；加工件的精度、可重復(fù)性以及質(zhì)量。

所述加工件平臺(tái)用于承載和固定加工件，其可以是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員知曉的夾具等。加工件平臺(tái)可以通過(guò)負(fù)壓吸引等方式固定加工件。加工件的運(yùn)動(dòng)可以通過(guò)加工件平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。

在多軸聯(lián)動(dòng)加工過(guò)程中，所述加工件和加工件平臺(tái)與所述透鏡組件不會(huì)發(fā)生碰撞。

在多軸聯(lián)動(dòng)加工過(guò)程中，所述加工件和加工件平臺(tái)與所述激光束也不會(huì)產(chǎn)生干涉，從而不會(huì)阻擋或部分阻擋激光束。

所述透鏡組件或所述加工件平臺(tái)沿X軸和/或Y軸和/或Z軸線性運(yùn)動(dòng)的定位精度為±5μm，動(dòng)態(tài)重復(fù)精度≤3μm。從而保證加工尺寸精度以及加工質(zhì)量，包括加工表面平整度、崩邊數(shù)量與尺寸、加工件強(qiáng)度(例如四點(diǎn)彎曲強(qiáng)度)等。

所述透鏡組件或所述加工件平臺(tái)沿X軸和/或Y軸和/或Z軸旋轉(zhuǎn)的定位精度為±10arc-sec，動(dòng)態(tài)重復(fù)精度≤6arc-sec。從而保證加工尺寸精度以及加工質(zhì)量，包括加工表面平整度、崩邊數(shù)量與尺寸、加工件強(qiáng)度(例如四點(diǎn)彎曲強(qiáng)度)等。

本發(fā)明中加工件可以是脆性材料。脆性材料是指本領(lǐng)域中的常規(guī)脆性材料，例如，半導(dǎo)體材料、陶瓷材料、玻璃和藍(lán)寶石等材料。

加工件與激光束的整個(gè)相互作用區(qū)域應(yīng)該對(duì)激光束保持透明。加工件面向激光束的工作面應(yīng)該具有光學(xué)平整表面質(zhì)量。加工件材料不應(yīng)該對(duì)激光束有過(guò)度吸收和散射。從而保證加工件的加工表面平整度、崩邊數(shù)量與尺寸、表面均勻性、加工件強(qiáng)度(例如四點(diǎn)彎曲強(qiáng)度)、加工件的重復(fù)性與一致性等。

本發(fā)明的線性軸是指X軸、Y軸、Z軸。X軸和Y軸在本說(shuō)明書(shū)中是對(duì)等的并可互換的。常用的線性軸可以采用直線電機(jī)平移臺(tái)和電動(dòng)平移 臺(tái)等。

本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)軸是指A軸(繞X軸)、B軸(繞Y軸)、C軸(繞Z軸)。A軸和B軸在本說(shuō)明書(shū)中是對(duì)等的并可互換的。常用的旋轉(zhuǎn)軸可以采用步進(jìn)馬達(dá)和壓電電機(jī)等。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施例，本發(fā)明的多軸聯(lián)動(dòng)超快激光加工系統(tǒng)可以是四軸的、五軸的或六軸的系統(tǒng)。

本發(fā)明的多軸聯(lián)動(dòng)超快激光加工系統(tǒng)可以為四軸聯(lián)動(dòng)，其中，透鏡組件除了不疊加C軸以外，可以和加工件平臺(tái)分享其他線性軸或旋轉(zhuǎn)軸。如果加工件平臺(tái)具有C軸運(yùn)動(dòng)，則透鏡組和加工件平臺(tái)分享X軸、Y軸、Z軸和A軸這四軸中的三軸；如果加工件平臺(tái)不具有C軸運(yùn)動(dòng)，則透鏡組和加工件平臺(tái)分享X軸、Y軸、Z軸和A軸(或X軸、Y軸、Z軸和B軸)這四軸。

本發(fā)明的多軸聯(lián)動(dòng)超快激光加工系統(tǒng)可以為五軸聯(lián)動(dòng)，其中，透鏡組件除了不疊加C軸以外，可以和加工件平臺(tái)分享其他線性軸或旋轉(zhuǎn)軸。如果加工件平臺(tái)具有C軸運(yùn)動(dòng)，則透鏡組和加工件平臺(tái)分享X軸、Y軸、Z軸、A軸和B軸這五軸中的四軸；如果加工件平臺(tái)不具有C軸運(yùn)動(dòng)，則透鏡組和加工件平臺(tái)分享X軸、Y軸、Z軸、A軸和B軸這五軸。

本發(fā)明的多軸聯(lián)動(dòng)超快激光加工系統(tǒng)可以為六軸聯(lián)動(dòng)，其中，透鏡組件除了不疊加C軸以外，可以和加工件平臺(tái)分享其他線性軸或旋轉(zhuǎn)軸。六軸聯(lián)動(dòng)中加工件平臺(tái)具有C軸運(yùn)動(dòng)。透鏡組和加工件平臺(tái)分享X軸、Y軸、Z軸、A軸和B軸這五軸。

根據(jù)本發(fā)明，透鏡組件的聯(lián)動(dòng)軸和加工件平臺(tái)的聯(lián)動(dòng)軸可以以任意次序疊加。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，透鏡組件和加工件平臺(tái)通過(guò)多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制，該多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由多軸聯(lián)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器所驅(qū)動(dòng)，該多軸聯(lián)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器由多軸聯(lián)動(dòng)控制器所控制。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有的3軸聯(lián)動(dòng)激光加工系統(tǒng)示意圖。

圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的框圖。

圖3顯示了本發(fā)明超快激光束運(yùn)動(dòng)路徑的框圖。

圖4是本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)各種形式聯(lián)動(dòng)的具體實(shí)施方式的示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明更加清晰易懂，僅通過(guò)舉例而非限定的方式，結(jié)合下文附圖，描述本發(fā)明實(shí)施例：

圖1-a示出了現(xiàn)有技術(shù)中，一個(gè)基于三軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)對(duì)脆性材料進(jìn)行二維平面加工的系統(tǒng)。光學(xué)模組1可沿Z軸在垂直方向上運(yùn)動(dòng)，加工件3可以沿X和Y軸在平面上線性運(yùn)動(dòng)。

圖1-b示出了現(xiàn)有技術(shù)中，又一個(gè)基于三軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)對(duì)脆性材料進(jìn)行二維平面加工的系統(tǒng)。其中光學(xué)模組1可以沿X、Y和Z軸做線性運(yùn)動(dòng)，而加工件3是固定不動(dòng)的。

圖1-c示出了現(xiàn)有技術(shù)中，再一個(gè)基于三軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)對(duì)脆性材料進(jìn)行二維平面加工的系統(tǒng)。光學(xué)模組1可沿Z和Y軸做線性運(yùn)動(dòng)，而加工件3可以沿X軸在平面上線性運(yùn)動(dòng)。

圖1-d示出了現(xiàn)有技術(shù)中，另一個(gè)基于三軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)對(duì)脆性材料進(jìn)行二維平面加工的系統(tǒng)。其中光學(xué)模組1是固定不動(dòng)的，而加工件可以沿X、Y和Z軸做線性運(yùn)動(dòng)。

圖2示出了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的框圖。其中聚焦鏡或掃描鏡等光學(xué)模組和加工件與多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相偶聯(lián)，多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)受多軸聯(lián)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的控制。多軸聯(lián)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的工作狀態(tài)由多軸聯(lián)動(dòng)控制器發(fā)指令控制。多軸聯(lián)動(dòng)控制器同時(shí)還控制超快激光發(fā)生器和光學(xué)模組，從而使得超快激光發(fā)生器發(fā)生的激光束在預(yù)定的時(shí)間聚焦在預(yù)設(shè)的空間焦點(diǎn)上。聚焦透鏡運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的聯(lián)動(dòng)軸可以以任意次序疊加。加工件運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的聯(lián)動(dòng)軸可以以任意次序疊加。

圖3顯示了一個(gè)實(shí)施例中激光束傳導(dǎo)的路徑。超快激光器發(fā)生激光后通過(guò)自由空間光學(xué)模組傳導(dǎo)至聚焦鏡或掃描鏡，并通過(guò)聚焦鏡或掃描鏡聚焦在加工件上的工作面上。

圖3-b顯示了又一個(gè)實(shí)施例中激光束傳導(dǎo)的路徑。激光器發(fā)生激光后通過(guò)光束傳輸光纖傳導(dǎo)至聚焦鏡或掃描鏡，并通過(guò)聚焦鏡或掃描鏡聚焦在加工件上的工作面上。激光器發(fā)生激光后也可以通過(guò)自由空間光學(xué)模組和光束傳輸光纖組合傳導(dǎo)至聚焦鏡或掃描鏡，并通過(guò)聚焦鏡或掃描鏡聚焦在加工件上的工作面上(圖中未示出)。

圖4-a顯示了本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)的一種實(shí)施方式，其中，1為透鏡組件，2為激光束，3為加工件。在本實(shí)施方式中，透鏡組件1是固定不動(dòng)的；加工件3可以通過(guò)加工件平臺(tái)沿X、Y和Z軸做線性運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿Z和X軸旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了自由空間光學(xué)模組；在再一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

圖4-b顯示了本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)的另一種實(shí)施方式，其中，1為透鏡組件，2為激光束，3為加工件。在本實(shí)施方式中，透鏡組件1可以沿Z軸做直線運(yùn)動(dòng)；加工件3可以通過(guò)加工件平臺(tái)沿X和Y軸做線性運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿Z和X軸旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了自由空間光學(xué)模組；在再一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

圖4-c顯示了本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)的另一種實(shí)施方式，其中，1為透鏡組件，2為激光束，3為加工件。在本實(shí)施方式中，透鏡組件1可以沿Z軸做直線運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿X軸旋轉(zhuǎn)；加工件3可以通過(guò)加工件平臺(tái)沿X和Y軸做線性運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿Z軸旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

圖4-d顯示了本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)的另一種實(shí)施方式，其中，1為透鏡組件，2為激光束，3為加工件。在本實(shí)施方式中，透鏡組件1可以沿Z和Y軸做直線運(yùn)動(dòng)；加工件3可以通過(guò)加工件平臺(tái)沿X軸做線性運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿X和Z軸旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了自由空間光學(xué)模組；在再一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

圖4-e顯示了本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)的另一種實(shí)施方式，其中，1為透鏡組件，2為激光束，3為加工件。在本實(shí)施方式中，透鏡組件1可以沿Z和Y軸做直線運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿X軸旋轉(zhuǎn)；加工件3可以通過(guò)加工件平臺(tái)沿X軸做線性運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿Y軸旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

圖4-f顯示了本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)的另一種實(shí)施方式，其中，1為透鏡組件，2為激光束，3為加工件。在本實(shí)施方式中，透鏡組件1可以沿X、Y和Z軸做直線運(yùn)動(dòng)；加工件3可以沿X和Z軸旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了自由空間光學(xué)模組；在再一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

圖4-g顯示了本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)的另一種實(shí)施方式，其中，1為透鏡組件，2為激光束，3為加工件。在本實(shí)施方式中，透鏡組件1可以沿Z和X軸做直線運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿X軸旋轉(zhuǎn)；加工件3可以通過(guò)加工件平臺(tái)沿Y軸做線性運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿Z軸旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

圖4-h顯示了本發(fā)明五軸聯(lián)動(dòng)的另一種實(shí)施方式，其中，1為透鏡組件，2為激光束，3為加工件。在本實(shí)施方式中，透鏡組件1可以沿X、Y和Z軸做直線運(yùn)動(dòng)，同時(shí)還可以沿X軸旋轉(zhuǎn)；加工件3可以沿Z軸旋轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

本發(fā)明多軸聯(lián)動(dòng)的另一種實(shí)施方式圖中未示出。在本實(shí)施方式中，透鏡組件可以沿X軸、和Y軸旋轉(zhuǎn)；加工件可以沿Z軸旋轉(zhuǎn)；透鏡組件和加工件可以以任意方式組合X軸和/或Y軸和/或Z軸做直線運(yùn)動(dòng)。在該實(shí)施方式中，一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了光束傳輸光纖；另一個(gè)實(shí)施例中光學(xué)模組采用了非傳統(tǒng)空心光纖。

上述實(shí)施例僅僅是通過(guò)舉例的方式描述。在不偏離本發(fā)明所附權(quán)利要求限定的保護(hù)范圍的情況下，可有各種變體。