技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空吸盤(pán)裝置及固定、卸載加工部件的方法。該真空吸盤(pán)裝置包括吸盤(pán)本體和抽真空裝置，吸盤(pán)本體上設(shè)有凹槽，該凹槽上設(shè)有貫穿真空吸盤(pán)本體的管路通孔，所述管路通孔外接三通閥，該三通閥的兩個(gè)管口分別連接抽真空裝置和進(jìn)液裝置。采用該真空吸盤(pán)裝置固定、卸載加工部件的方法是：將加工部件放置于吸盤(pán)本體上，關(guān)閉與進(jìn)液裝置連接的三通閥管口，打開(kāi)與抽真空裝置連接的三通閥管口，抽真空，吸盤(pán)本體固定住加工部件；加工結(jié)束后，關(guān)閉與所抽真空裝置連接的三通閥管口，打開(kāi)與進(jìn)液裝置連接的三通閥管口，液體進(jìn)入凹槽中，從而使加工部件脫離吸盤(pán)本體。采用該真空吸盤(pán)裝置，能夠避免在卸載加工部件時(shí)損壞、劃傷等問(wèn)題的產(chǎn)生。

技術(shù)研發(fā)人員：葛鐘;庫(kù)黎明;王永濤;朱秦發(fā);閆志瑞;李磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：有研半導(dǎo)體材料有限公司
文檔號(hào)碼：201510958579
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.18
技術(shù)公布日：2017.06.27