本發(fā)明涉及一種激光加工機(jī)，該激光加工機(jī)在判斷為加工頭到達(dá)工件的緣部時(shí)關(guān)閉仿形控制，避免與工件的碰撞。

背景技術(shù)：

如專利文獻(xiàn)1公開所示，現(xiàn)有的激光加工機(jī)基于在仿形控制中使用的距離傳感器的輸出，在控制裝置判斷為加工頭達(dá)到工件的緣部時(shí)，換言之，判斷為工件不處在加工嘴的下方而工件間距離變遠(yuǎn)時(shí)，關(guān)閉仿形控制，使Z軸退避而避免與工件的碰撞。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2003-181674號公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

然而，在專利文獻(xiàn)1公開的激光加工機(jī)中，當(dāng)工件的周緣附近存在工件支架或者加工端這樣的障礙物的情況下，由于從由控制裝置進(jìn)行的仿形控制的條件的變更后至電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)為止的控制系統(tǒng)的延遲，加工嘴可能會碰撞障礙物。

本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于得到一種防止加工嘴與在工件的周緣配置的障礙物碰撞的激光加工機(jī)。

為了解決上述的課題、實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明是一種激光加工機(jī)，其實(shí)施仿形控制，以使得安裝于加工頭的加工嘴與工件的相對距離成為設(shè)定值，該激光加工機(jī)具有驅(qū)動(dòng)單元，該驅(qū)動(dòng)單元沿加工嘴與工件的距離發(fā)生變化的方向使加工頭的位置變化。另外，本發(fā)明具有第一距離傳感器，該第一距離傳感器通過檢測以加工嘴為中心的第一范圍內(nèi)的工件，從而基于加工嘴與工件的距離進(jìn)行輸出，沿加工嘴與工件的距離發(fā)生變化的方向追隨加工頭而進(jìn)行移動(dòng)。另外，本發(fā)明具有第二距離傳感器，該第二距離傳感器通過檢測以加工嘴為中心的比第一范圍寬的第二范圍內(nèi)的工件，從而基于加工嘴與工件的距離進(jìn)行輸出，不沿加工嘴與工件的距離發(fā)生變化的方向追隨加工頭而進(jìn)行移動(dòng)。另外，本發(fā)明具有控制裝置，該控制裝置基于第一距離傳感器或者第二距離傳感器的輸出，控制驅(qū)動(dòng)單元而實(shí)施仿形控制。控制裝置基于第二距離傳感器的輸出而變更仿形控制的條件，以變更后的條件基于第一距離傳感器的輸出進(jìn)行仿形控制。

發(fā)明的效果

本發(fā)明涉及的激光加工機(jī)取得下述效果，即，能夠防止加工嘴與在工件的周緣配置的障礙物碰撞。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第一距離傳感器的檢測范圍的圖。

圖3是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第二距離傳感器的檢測范圍的圖。

圖4是在實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)所安裝的第一距離傳感器的檢測范圍的概念圖。

圖5是在實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)所安裝的第二距離傳感器的檢測范圍的概念圖。

圖6是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的工件上的各距離傳感器的檢測范圍的圖。

圖7是表示與實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的加工嘴相對于工件的位置相對應(yīng)的第一距離傳感器和第二距離傳感器的輸出的圖。

圖8是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的加工嘴與工件的位置關(guān)系的圖。

圖9是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的控制裝置的處理的流程的流程圖。

圖10是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的端面判定處理的流程圖。

圖11是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的仿形控制的處理的流程的流程圖。

圖12是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的加工嘴的動(dòng)作的概念圖。

圖13是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第二距離傳感器和工件的距離、與第二距離傳感器的檢測范圍之間的關(guān)系的圖。

圖14是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第二距離傳感器和工件的距離、與第二距離傳感器的檢測范圍之間的關(guān)系的圖。

圖15是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第二距離傳感器的傳感器輸出數(shù)據(jù)、與第二距離傳感器相距加工開始點(diǎn)的在XY平面內(nèi)的距離之間的關(guān)系的圖。

圖16是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第一距離傳感器及第二距離傳感器與工件的位置關(guān)系的圖。

圖17是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第一距離傳感器及第二距離傳感器與工件的位置關(guān)系的圖。

圖18是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)的控制裝置的處理的流程的流程圖。

圖19是表示實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)的端面判定處理的流程的流程圖。

圖20是表示實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)中的、在工件存在翹曲的情況下的第一距離傳感器輸出和第二距離傳感器的輸出的圖。

圖21是表示實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)中的加工嘴與工件的位置關(guān)系的圖。

圖22是表示實(shí)施方式3涉及的激光加工機(jī)的加工嘴的動(dòng)作的概念圖。

圖23是表示實(shí)施方式4涉及的激光加工機(jī)的端面處理的流程的流程圖。

圖24是表示實(shí)施方式4涉及的激光加工機(jī)的加工嘴的動(dòng)作的概念圖。

圖25是表示實(shí)施方式5涉及的激光加工機(jī)的端面處理的流程的流程圖。

圖26是表示實(shí)施方式5涉及的激光加工機(jī)的加工嘴的動(dòng)作的概念圖。

圖27是表示實(shí)施方式6涉及的激光加工機(jī)的在工件存在立起的情況下的第一距離傳感器及第二距離傳感器的輸出的圖。

圖28是表示實(shí)施方式6涉及的激光加工機(jī)的加工嘴與工件的位置關(guān)系的圖。

圖29是表示本發(fā)明的實(shí)施方式7涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)的圖。

具體實(shí)施方式

下面，基于附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的激光加工機(jī)詳細(xì)地進(jìn)行說明。此外，本發(fā)明不限定于本實(shí)施方式。

實(shí)施方式1.

圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)的圖。激光加工機(jī)100具有：輸入裝置2，其用于操作者輸入加工條件；控制裝置1，其控制加工頭3的動(dòng)作；X軸電動(dòng)機(jī)4、Y軸電動(dòng)機(jī)5以及Z軸電動(dòng)機(jī)6，它們驅(qū)動(dòng)加工頭3；加工嘴10，其安裝于加工頭3的前端；第一距離傳感器8，其為了檢測加工嘴10與工件7的距離而設(shè)置于加工嘴10；以及第二距離傳感器9，其為了檢測加工嘴10與工件7的距離而與加工嘴10分體地設(shè)置。Z軸電動(dòng)機(jī)6是沿加工嘴10與工件7的距離發(fā)生變化的方向使加工頭3的位置進(jìn)行變化的驅(qū)動(dòng)單元。

激光加工機(jī)100還具有輸出激光的振蕩器這樣的結(jié)構(gòu)，但由于與本發(fā)明的特征無直接關(guān)系，因此省略了圖示。下面，如圖1所示，將加工嘴10遠(yuǎn)離工件7的方向設(shè)為Z軸正方向側(cè)，將與Z軸正交的2個(gè)軸設(shè)為X軸及Y軸。

圖2是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第一距離傳感器的檢測范圍的圖。第一距離傳感器8通過檢測以加工嘴10為中心的第一范圍即檢測范圍8a內(nèi)的工件7，從而基于加工嘴10與工件7的距離進(jìn)行輸出。第一距離傳感器8沿加工嘴10與工件7的距離發(fā)生變化的方向追隨加工頭3進(jìn)行移動(dòng)。如圖2所示，第一距離傳感器8由于在檢測范圍8a內(nèi)與工件7的距離202固定，因此檢測誤差小，能夠應(yīng)用于需要高精度的控制的仿形控制。第一距離傳感器8能夠應(yīng)用靜電電容式傳感器。

圖3是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第二距離傳感器的檢測范圍的圖。第二距離傳感器9通過檢測以加工嘴10為中心的比第一范圍寬的第二范圍即檢測范圍9a內(nèi)的工件7，從而基于加工嘴10與工件7的距離進(jìn)行輸出。第二距離傳感器9不沿加工嘴10與工件7的距離發(fā)生變化的方向追隨加工頭3進(jìn)行移動(dòng)。即，第二距離傳感器9沿X軸方向及Y軸方向與加工頭3一體地移動(dòng)，但不沿Z軸方向移動(dòng)。因此，第二距離傳感器9與工件7之間的間隔保持固定，而與加工嘴10的Z軸方向的位置無關(guān)。第二距離傳感器9是包圍加工嘴10的X軸方向及Y軸方向的筒狀。第二距離傳感器9的檢測范圍9a雖然比第一距離傳感器8的檢測范圍8a寬，但測定誤差變大。測定誤差變大的原因在于第二距離傳感器9在檢測范圍9a的周緣部處的與工件7的距離200不同于在檢測范圍9a的非周緣部處的與工件7的距離201，檢測范圍9a全部范圍的測定值的平均值成為測定值而進(jìn)行輸出。第二距離傳感器9能夠應(yīng)用渦電流式傳感器。

在實(shí)施方式1中，雖然將第一距離傳感器8設(shè)為靜電電容式，將第二距離傳感器9設(shè)為渦電流式，但當(dāng)然不限于此。

控制裝置1基于第二距離傳感器9的輸出而變更仿形控制的條件，基于第一距離傳感器8的輸出以變更后的條件進(jìn)行仿形控制?？刂蒲b置1具有：設(shè)定存儲部13，其存儲從輸入裝置2賦予的工件7的板厚及材料的信息、加工位置的信息、以及加工嘴間隙；以及數(shù)據(jù)存儲部12，其存儲廣域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)及廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)。加工嘴間隙是仿形控制的高度數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)存儲部12的存儲內(nèi)容在加工中隨時(shí)更新。控制裝置1使用設(shè)定存儲部13及數(shù)據(jù)存儲部12的數(shù)據(jù)，驅(qū)動(dòng)X軸電動(dòng)機(jī)4、Y軸電動(dòng)機(jī)5以及Z軸電動(dòng)機(jī)6，進(jìn)行加工頭3的控制。此外，對廣域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)及廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)的詳情進(jìn)行后述。

圖4及圖5是在實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)所安裝的第一距離傳感器及第二距離傳感器的檢測范圍的概念圖。圖4表示加工嘴10處于工件7的遠(yuǎn)離緣部的部分之上、工件7位于第一距離傳感器8的檢測范圍8a及第二距離傳感器9的檢測范圍9a兩者的全部范圍的狀態(tài)。圖5是加工嘴10處于工件7的緣部之上、工件7的緣部位于第二距離傳感器9的檢測范圍9a內(nèi)、工件7位于第一距離傳感器8的檢測范圍8a的全部范圍的圖。從圖4及圖5也明確可知，為了盡快檢測工件7的緣部，檢測范圍寬的傳感器是適合的。此外，工件7的“緣部”不僅是外周的緣部，還包含由于存在切口或者缺口而在外周以外的部分存在的緣部。

假設(shè)在第二距離傳感器9與加工嘴10一起沿Z軸方向移動(dòng)的情況下，如果加工嘴10位于工件7的緣部附近，則檢測范圍所包含的工件7的大小會根據(jù)加工嘴10的Z軸方向的位置而變化。因此，在第二距離傳感器9與加工嘴10一起沿Z軸方向移動(dòng)的構(gòu)造中，控制裝置1需要與加工嘴10的Z軸方向的位置相匹配地對第二距離傳感器9的輸出進(jìn)行校正。在實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)100中，由于第二距離傳感器9與工件7之間的間隔保持固定，因此檢測范圍所包含的工件7的面積僅依賴于加工嘴10的X軸方向的位置及Y軸方向的位置。因此，控制裝置1無需與加工嘴10的Z軸方向的位置相匹配地對第二距離傳感器9的輸出值進(jìn)行校正。

圖6是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的工件上的各距離傳感器的檢測范圍的圖。第一距離傳感器8檢測工件7與加工嘴10的距離的檢測范圍8a是以加工嘴10的中心C為中心的圓形。第二距離傳感器9具有包含第一距離傳感器8的檢測范圍8a并將其包圍的檢測范圍9a。

圖7是表示與實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的加工嘴相對于工件的位置相對應(yīng)的第一距離傳感器和第二距離傳感器的輸出的圖。圖7中的虛線是第一距離傳感器8的輸出，點(diǎn)劃線是第二距離傳感器9的輸出。圖8是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的加工嘴與工件的位置關(guān)系的圖。圖8的位置A表示在圖7的時(shí)刻TA處的加工嘴10的位置。同樣地，圖8的位置B表示在圖7的時(shí)刻TB處的加工嘴10的位置，圖8的位置C表示在圖7的時(shí)刻TC處的加工嘴10的位置，圖8的位置D表示在圖7的時(shí)刻TD處的加工嘴10的位置，圖8的位置E表示在圖7的時(shí)刻TE處的加工嘴10的位置，圖8的位置F表示在圖7的時(shí)刻TF處的加工嘴10的位置。

加工嘴10從工件7之上的位置A移動(dòng)至正下方不存在工件7的位置F。加工嘴10的行進(jìn)方向是圖8的紙面右方。當(dāng)加工嘴10處于位置A時(shí)，工件7處于第一距離傳感器8的檢測范圍8a及第二距離傳感器9的檢測范圍9a兩者的內(nèi)側(cè)。當(dāng)加工嘴10處于位置B時(shí)，工件7的緣部處于第二距離傳感器9的檢測范圍9a的行進(jìn)方向側(cè)的邊界。當(dāng)加工嘴10處于位置C時(shí)，工件7的緣部處于第一距離傳感器8的檢測范圍8a的行進(jìn)方向側(cè)的邊界。當(dāng)加工嘴10處于位置D時(shí)，工件7的緣部處于第一距離傳感器8的檢測范圍8a的行進(jìn)方向相反側(cè)的邊界。當(dāng)加工嘴10處于位置E時(shí)，工件7的緣部處于第二距離傳感器9的檢測范圍9a的行進(jìn)方向相反側(cè)的邊界。當(dāng)加工嘴10處于位置F時(shí)，無論在第一距離傳感器8的檢測范圍8a及第二距離傳感器9的檢測范圍9a的哪一方的內(nèi)側(cè)均不存在工件7。

另外，控制裝置1從位置A至位置B進(jìn)行通常的仿形控制，從位置B至位置F不進(jìn)行Z軸方向的加工嘴10的移動(dòng)。

如果根據(jù)在位置A的第一距離傳感器8及第二距離傳感器9的各自的輸出求出工件7與加工嘴10的距離，則會示出大概相同的值。由于從位置A至位置B進(jìn)行仿形控制，因此第一距離傳感器8及第二距離傳感器9分別大致示出固定值。如果加工嘴10超過位置B向前行進(jìn)，則由于工件7逐漸從第二距離傳感器9的檢測范圍9a消失，因此第二距離傳感器9的輸出變?yōu)榇蟮闹?。另一方面，如果加工?0超過位置C向前行進(jìn)，則由于工件7逐漸從第一距離傳感器8的檢測范圍8a消失，因此第一距離傳感器8的輸出逐漸變?yōu)榇蟮闹?。如果加工?0超過位置D向前行進(jìn)，則由于工件7從第一距離傳感器8的檢測范圍8a消失，因此第一距離傳感器8的輸出變?yōu)楣潭ㄖ怠Ｈ绻庸ぷ?0超過位置E向前行進(jìn)，則由于工件7從第二距離傳感器9的檢測范圍9a消失，因此第二距離傳感器9的輸出變?yōu)楣潭ㄖ?。隨后直至位置F為止，第一距離傳感器8及第二距離傳感器9的輸出分別保持為固定值。此外，這里對設(shè)定為在加工嘴10從工件7離開的情況下傳感器數(shù)據(jù)變大的例子進(jìn)行了說明。

圖9是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的控制裝置的處理的流程的流程圖。在步驟S1，控制裝置1將數(shù)據(jù)存儲部12的廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)及廣域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)分別刪除，進(jìn)行數(shù)據(jù)初始化處理。廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)是第二距離傳感器9的最新的數(shù)據(jù)，廣域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)是第二距離傳感器9的1周期前的數(shù)據(jù)。這里的一周期是指，執(zhí)行從圖9的步驟S2至步驟S5，在步驟S5為No后再次返回至步驟S2。

在步驟S2，控制裝置1利用廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)的值改寫廣域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)，從第二距離傳感器9取得數(shù)據(jù)而保管在廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)，由此更新廣域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)及廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)。接下來，在步驟S3，控制裝置1進(jìn)行檢測工件7的緣部的端面判定處理。此外，對端面判定處理的具體的內(nèi)容進(jìn)行后述。在步驟S4，控制裝置1進(jìn)行后述的仿形控制。

在步驟S5，控制裝置1判斷是否加工結(jié)束。如果處在加工中，則步驟S5為No，返回至步驟S2而從第二距離傳感器9取得數(shù)據(jù)。如果加工結(jié)束，則步驟S5為Yes，控制裝置1停止激光加工機(jī)100，流程結(jié)束。

在圖9的步驟S5，可以僅在到達(dá)了加工結(jié)束位置的情況下判斷為加工結(jié)束，也可以在檢測到工件7的緣部的情況下判斷為加工結(jié)束。在本實(shí)施方式中，僅在到達(dá)了加工結(jié)束位置的情況下判斷為加工結(jié)束。此外，相對于現(xiàn)有的仿形控制，在本發(fā)明中追加的處理為：步驟S2的更新廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)及廣域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)的處理、步驟S3的端面判定處理。

圖10是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的端面判定處理的流程圖，是在圖9的步驟S2更新了第二距離傳感器9的數(shù)據(jù)之后執(zhí)行的處理。首先，在步驟S101，控制裝置1計(jì)算第二距離傳感器9的數(shù)據(jù)的變化量ΔVw。ΔVw是通過從廣域傳感器本次值數(shù)據(jù)減去廣域傳感器前次值數(shù)據(jù)而進(jìn)行計(jì)算的。接下來，在步驟S102，控制裝置1判斷ΔVw是否小于預(yù)先規(guī)定的固定值α。如果ΔVw大于或等于固定值α，則在步驟S102為No，進(jìn)入至步驟S103，進(jìn)行在工件7的緣部的部分處變更仿形控制的條件的端面處理。此外，對端面處理的具體的內(nèi)容進(jìn)行后述。另一方面，如果ΔVw小于固定值α，則在步驟S102為Yes，結(jié)束端面判定處理。

此外，在步驟S102設(shè)為ΔVw的比較對象的固定值α是通過實(shí)驗(yàn)所決定出的值，預(yù)先保存在圖1的設(shè)定存儲部13。另外，在上述的說明中，設(shè)為在ΔVw＝α的情況下向步驟S103前進(jìn)而進(jìn)行端面處理，但也可以在ΔVw＝α的情況下不向步驟S103前進(jìn)而結(jié)束端面判定處理。

在步驟S103執(zhí)行的端面處理是變更仿形控制的條件的處理，在實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)100中，是將加工嘴10的Z軸方向的移動(dòng)速度設(shè)為0的處理。即，在實(shí)施方式1中，在實(shí)施步驟S103之后，即使進(jìn)行后述的仿形控制也不會進(jìn)行仿形動(dòng)作，在實(shí)質(zhì)上停止仿形控制。

圖11是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的仿形控制的處理的流程的流程圖。仿形控制是步驟S3的端面判定處理之后在步驟S4執(zhí)行的。如果仿形控制開始，則在步驟S201，控制裝置1讀取預(yù)先在設(shè)定存儲部13存儲的設(shè)定值即加工嘴間隙以及第一距離傳感器8的測定數(shù)據(jù)。在步驟S202，控制裝置1對第一距離傳感器8的測定數(shù)據(jù)與加工嘴間隙的差值進(jìn)行運(yùn)算。

實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)100設(shè)置有檢測范圍不同的兩種距離傳感器，在步驟S202的處理中使用的距離傳感器是檢測范圍較窄的第一距離傳感器8。接下來，在步驟S203，控制裝置1判斷在步驟S202運(yùn)算出的差值是否比在設(shè)定存儲部13預(yù)先存儲的閾值Thr大。在步驟S202運(yùn)算出的差值比閾值Thr大的情況下，在步驟S203為Yes，在步驟S204，控制裝置1使加工嘴10沿靠近工件7的方向進(jìn)行移動(dòng)。另一方面，在步驟S202運(yùn)算出的差值小于或等于預(yù)先規(guī)定的閾值Thr的情況下，在步驟S203為No，在步驟S205，控制裝置1使加工嘴10沿遠(yuǎn)離工件7的方向進(jìn)行移動(dòng)。

此外，在上述的說明中，設(shè)為在步驟S202運(yùn)算出的差值等于Thr的情況下，向步驟S205前進(jìn)而使加工嘴10沿遠(yuǎn)離工件7的方向進(jìn)行移動(dòng)，但也可以使加工嘴10沿靠近工件7的方向進(jìn)行移動(dòng)。

接下來，在步驟S206，控制裝置1使加工嘴10沿XY平面方向進(jìn)行移動(dòng)。

此外，由于仿形控制的處理內(nèi)容不是本發(fā)明的本質(zhì)，因此只要是將加工嘴10與工件7的距離保持為設(shè)定值的處理即可，也可以進(jìn)行與圖11不同的處理。

圖12是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的加工嘴的動(dòng)作的概念圖。加工嘴10位于工件7的緣部附近，在加工嘴10的行進(jìn)方向側(cè)存在工件7的緣部，在工件7的緣部的前方露出了工件支架11。位置A是在第二距離傳感器9的檢測范圍9a的行進(jìn)方向側(cè)的邊界存在工件7的緣部的位置。控制裝置1通過下述方式檢測工件7的緣部，即，在加工嘴10超過位置A的定時(shí)，與預(yù)先設(shè)定的固定值α相比，第二距離傳感器9的輸出的變化量開始增大。這在圖10的流程圖中與步驟S102的“No”相對應(yīng)。隨后，在圖10的步驟S103的端面處理中將加工嘴10的Z軸方向的移動(dòng)速度設(shè)定為0，實(shí)施圖9的步驟S4的仿形控制，但由于Z軸方向的移動(dòng)速度為0，因此不進(jìn)行向Z軸方向的移動(dòng)。隨后，在加工結(jié)束位置B處加工結(jié)束，加工嘴10停止。

這樣，通過設(shè)置第二距離傳感器9，在工件7的緣部的檢測中使用第二距離傳感器9，由此與使用第一距離傳感器8相比能夠盡快地實(shí)現(xiàn)工件7的緣部的檢測，因此即使存在控制系統(tǒng)的延遲，也能夠可靠地防止與諸如工件支架11的障礙物的碰撞。另外，由于第一距離傳感器8可以是比第二距離傳感器9窄的檢測范圍，因此能夠使用誤差少的傳感器，能夠提高仿形控制的精度。

圖13及圖14是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第二距離傳感器和工件的距離、與第二距離傳感器的檢測范圍之間的關(guān)系的圖。圖13表示第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離小的情況，圖14表示第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離大的情況。圖15是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第二距離傳感器的傳感器輸出數(shù)據(jù)、與第二距離傳感器相距加工開始點(diǎn)的在XY平面內(nèi)的距離之間的關(guān)系的圖。在圖15中，點(diǎn)線為第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離小的情況下的傳感器輸出數(shù)據(jù)，虛線為第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離大的情況下的傳感器輸出數(shù)據(jù)。如圖13所示，在第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離小的情況下，檢測范圍9a變窄，如圖14所示，在第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離大的情況下，檢測范圍9a變寬。因此，在第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離小的情況下，與第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離大的情況相比，如果在XY平面內(nèi)的直至工件7的緣部為止的距離不變得更小，則不能檢測出工件7的緣部。即，在第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離小的情況下，與第二距離傳感器9與工件7的Z軸方向的距離大的情況相比，從能夠檢測出工件7的緣部的位置至工件7的緣部為止的XY平面內(nèi)的距離L變小。換言之，如圖15所示，如果第二距離傳感器9與工件7之間的Z軸方向的距離改變，則意味著從開始工件7的緣部的識別的位置至工件7的緣部為止的XY平面內(nèi)的距離改變，意味著第二距離傳感器9的傳感器輸出數(shù)據(jù)的傾斜度發(fā)生變化。

通常，在與工件7的緣部相距的XY平面內(nèi)的距離變得小于或等于固定值時(shí)，希望停止Z軸方向的移動(dòng)控制。在第二距離傳感器追隨加工頭而沿Z軸方向進(jìn)行移動(dòng)的激光加工機(jī)中，為了在與工件7的緣部相距的XY平面內(nèi)的距離變得小于或等于固定值時(shí)停止Z軸方向的移動(dòng)控制，如圖15所示，必須基于第二距離傳感器9的Z軸方向的位置，變更在圖10的步驟S102使用的傾斜度的判定基準(zhǔn)，并且計(jì)算從檢測出傳感器輸出數(shù)據(jù)的變化的位置至希望檢測工件7的緣部的位置為止的偏移量O。即，需要用于根據(jù)第二距離傳感器2的Z軸方向的位置數(shù)據(jù)計(jì)算判定值的處理，并且在檢測出工件7的緣部之后還需要在端面處理的執(zhí)行之前求出第二距離傳感器9移動(dòng)的距離的處理，運(yùn)算量增加而成為問題。

圖16及圖17是表示實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)的第一距離傳感器及第二距離傳感器與工件的位置關(guān)系的圖。圖16表示加工嘴10與工件7的Z軸方向的距離小的情況，圖17表示加工嘴10與工件7的Z軸方向的距離大的情況。如圖16及圖17所示，在實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)100中是下述結(jié)構(gòu)，即，第二距離傳感器9與第一距離傳感器8獨(dú)立地進(jìn)行固定，即使第一距離傳感器8追隨加工頭3而沿Z軸方向進(jìn)行移動(dòng)，第二距離傳感器9也不移動(dòng)。通過設(shè)為第二距離傳感器9不追隨加工頭3進(jìn)行移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，從而由于圖7所示的第二距離傳感器9的輸出保持固定的傾斜度，因此無需變更判定基準(zhǔn)。另外，從能夠檢測出工件7的緣部的位置至工件7的緣部為止的XY平面內(nèi)的距離L也不變，也無需偏移量的計(jì)算，因此能夠防止運(yùn)算量的增大。

由于第二距離傳感器9在Z軸方向固定，因此關(guān)于希望變更控制的與工件7的緣部相距的位置調(diào)整，可以僅在初始設(shè)定時(shí)進(jìn)行一次沿Z軸方向機(jī)械性的位置調(diào)整。

實(shí)施方式2.

本發(fā)明的實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1相同，不同點(diǎn)在于，在數(shù)據(jù)存儲部12除了存儲廣域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)及廣域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)之外，還存儲狹域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)及狹域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)。狹域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)是第一距離傳感器8的最新數(shù)據(jù)，狹域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)是第一距離傳感器8的1周期前的數(shù)據(jù)。

在實(shí)施方式1中，將端面判定處理僅基于第二距離傳感器9的輸出而進(jìn)行，但在本實(shí)施方式中，使用第二距離傳感器9的輸出和第一距離傳感器8的輸出這兩者而進(jìn)行。圖18是表示實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)的控制裝置的處理的流程的流程圖。對進(jìn)行與圖9所示的實(shí)施方式1相同的處理的步驟，標(biāo)注了相同的步驟編號。與實(shí)施方式1的不同點(diǎn)在于追加了步驟S6的處理，該步驟S6的處理為，控制裝置1將狹域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)的值移動(dòng)至狹域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)，取得來自第一距離傳感器8的數(shù)據(jù)而保管在狹域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)，由此更新狹域距離傳感器本次值數(shù)據(jù)及狹域距離傳感器前次值數(shù)據(jù)。此外，步驟S6及步驟S2無論先進(jìn)行哪一方都可以。

圖19是表示實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)的端面判定處理的流程的流程圖。對進(jìn)行與圖10所示的實(shí)施方式1的端面判定處理相同的處理的步驟，標(biāo)注了相同的步驟編號。與實(shí)施方式1的不同點(diǎn)在于，追加了步驟S104及步驟S105的處理，將步驟S102替換為步驟S106。在步驟S104，控制裝置1進(jìn)行第一距離傳感器8的數(shù)據(jù)的變化量ΔVn的運(yùn)算。ΔVn是通過從狹域傳感器本次值數(shù)據(jù)減去狹域傳感器前次值數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算的。在步驟S105，控制裝置1從ΔVn減去ΔVw。在步驟S106，控制裝置1將步驟S105中的運(yùn)算結(jié)果ΔVn-ΔVw與預(yù)先規(guī)定的固定值β進(jìn)行比較。如果步驟S105中的運(yùn)算結(jié)果ΔVn-ΔVw大于或等于固定值β，則在步驟S106為No，與實(shí)施方式1相同地進(jìn)入至步驟S103的處理而進(jìn)行端面處理。如果步驟S105中的運(yùn)算結(jié)果ΔVn-ΔVw比固定值β小，則在步驟S106為Yes，結(jié)束端面判定處理。這里，固定值β與固定值α相同地是通過實(shí)驗(yàn)所決定出的值，預(yù)先保存在圖1的設(shè)定存儲部13。

通過這樣的結(jié)構(gòu)，在實(shí)施方式2中，與現(xiàn)有結(jié)構(gòu)相比能夠盡快地檢測出工件7的緣部，因此具有下述與實(shí)施方式1相同的效果，即，即使存在控制系統(tǒng)的延遲，也能夠可靠地防止與諸如工件支架11的障礙物的碰撞。另外，與實(shí)施方式1相同，由于第一距離傳感器8可以是比第二距離傳感器9窄的檢測范圍，因此能夠使用誤差少的傳感器，能夠提高仿形控制的精度。

另外，在實(shí)施方式2中還具有以下的效果。圖20是表示實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)中的、在工件存在翹曲的情況下的第一距離傳感器輸出和第二距離傳感器的輸出的圖。圖20中的虛線是第一距離傳感器8的輸出，點(diǎn)劃線是第二距離傳感器9的輸出。圖21是表示實(shí)施方式2涉及的激光加工機(jī)中的加工嘴與工件的位置關(guān)系的圖。圖21的位置A表示在圖20的時(shí)刻TA處的加工嘴10的位置。同樣地，圖21的位置B表示在圖20的時(shí)刻TB處的加工嘴10的位置，圖21的位置C表示在圖20的時(shí)刻TC處的加工嘴10的位置，圖21的位置D表示在圖20的時(shí)刻TD處的加工嘴10的位置。即，圖21表示圖20的時(shí)間TA、TB、TC及TD處的加工嘴10與工件7的位置關(guān)系。在工件7存在翹曲的部位，第一距離傳感器8和第二距離傳感器9示出相同的傾斜度。在這種情況下，在實(shí)施方式1中可能會將工件7的翹起判定為緣部，不能適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行仿形控制而停止加工，但在實(shí)施方式2中，在與實(shí)施方式1相同的效果的基礎(chǔ)上，即使在工件7存在翹曲等，也能夠繼續(xù)適當(dāng)?shù)姆滦渭庸ぁ?/p>

實(shí)施方式3.

本發(fā)明的實(shí)施方式3涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1相同。關(guān)于實(shí)施方式3涉及的激光加工機(jī)，控制裝置1的動(dòng)作也與實(shí)施方式1相同，但端面處理的內(nèi)容與實(shí)施方式1不同。在實(shí)施方式1中的端面處理是將加工嘴10的Z軸方向的移動(dòng)速度設(shè)為0的處理，與之相對，在實(shí)施方式3中，將加工嘴10的X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)速度設(shè)為初始設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值的一半。

另外，在實(shí)施方式3中，是否加工結(jié)束的判定處理設(shè)為下述的與實(shí)施方式1不同的處理。即，在圖9的步驟S5，判定在前面的端面判定處理步驟S3中是否經(jīng)過了步驟S103的端面處理，換言之判定在圖10的步驟S102是否為No，當(dāng)判定為在圖10的步驟S102為No而經(jīng)過了步驟S103的情況下，在步驟S5為Yes而加工結(jié)束。

在實(shí)施方式3中，對于從進(jìn)行端面處理起至加工結(jié)束為止的期間的處理時(shí)間和控制延遲時(shí)間，通過以X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)速度變?yōu)橐话氲淖兏蟮募庸l件進(jìn)行移動(dòng)控制，從而避免與障礙物的碰撞。即，通過使從端面檢測至上述的加工結(jié)束為止的X軸方向及Y軸方向的加工嘴10的移動(dòng)距離變短，從而避免與碰撞物的碰撞。此外，在上述的說明中，例舉了將加工嘴10的X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)速度變?yōu)橐话氲那闆r，但當(dāng)然只要能夠使加工嘴10的X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)速度變慢即可獲得同樣的效果。舉個(gè)具體例，即使將加工嘴10的X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)速度變?yōu)?分之1或者4分之1，也能夠避免加工嘴10與障礙物碰撞。

圖22是表示實(shí)施方式3涉及的激光加工機(jī)的加工嘴的動(dòng)作的概念圖。在位置A檢測到工件7的緣部，從位置A起實(shí)施將加工嘴10的X軸方向及Y軸方向的移動(dòng)速度變?yōu)闃?biāo)準(zhǔn)值的一半的仿形控制，通過判定為在前面的端面判定處理中經(jīng)過了端面處理，從而加工結(jié)束，在位置B處停止。

在實(shí)施方式3中，也與實(shí)施方式1相同地，即使存在控制系統(tǒng)的延遲，也能夠可靠地防止與諸如工件支架11的障礙物的碰撞。另外，由于第一距離傳感器8也可以比第二距離傳感器9的檢測范圍窄，因此能夠使用誤差少的傳感器，能夠提高仿形控制的精度。

實(shí)施方式4.

本發(fā)明的實(shí)施方式4涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1相同。關(guān)于實(shí)施方式4涉及的激光加工機(jī)，控制裝置1的動(dòng)作也與實(shí)施方式1相同，但端面處理的內(nèi)容與實(shí)施方式1不同。在實(shí)施方式1中的端面處理是將加工嘴10的Z軸方向的移動(dòng)速度設(shè)為0的處理，與之相對，在實(shí)施方式4中，將Z軸的1周期最大可移動(dòng)距離設(shè)為初始設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值的一半。換言之，將加工嘴10在控制裝置1的1個(gè)周期的處理周期期間能夠向Z軸方向移動(dòng)的最大移動(dòng)距離設(shè)為標(biāo)準(zhǔn)值的一半。

另外，在實(shí)施方式4中，是否加工結(jié)束的判定處理設(shè)為下述的與實(shí)施方式1不同的處理。即，在圖9的步驟S5，判定在前面的端面判定處理步驟S3中是否經(jīng)過了步驟S103的端面處理，換言之判定在圖10的步驟S102是否為No，當(dāng)判定為在圖10的步驟S102為No而經(jīng)過了步驟S103的情況下，在步驟S5為Yes而加工結(jié)束。

圖23是表示實(shí)施方式4涉及的激光加工機(jī)的端面處理的流程的流程圖。如果端面處理開始，則在步驟S301，控制裝置1將加工嘴10的Z軸方向的移動(dòng)速度Vz與1個(gè)周期的時(shí)間Δt相乘，計(jì)算Z軸移動(dòng)距離ΔZ。接下來，在步驟S302，控制裝置1將Z軸移動(dòng)距離ΔZ與在設(shè)定存儲部13預(yù)先存儲的Z軸1周期最大可移動(dòng)距離ΔZmax的一半的值進(jìn)行比較。如果Z軸移動(dòng)距離ΔZ比Z軸1周期最大可移動(dòng)距離ΔZmax的一半的值小，則在步驟S302為Yes，結(jié)束端面處理。如果Z軸移動(dòng)距離ΔZ大于或等于Z軸1周期最大可移動(dòng)距離ΔZmax的一半的值，則在步驟S302為No，在步驟S303，控制裝置1將Z軸方向的移動(dòng)速度Vz變更為(ΔZmax/2)/Δt。通過將Z軸方向的移動(dòng)速度Vz設(shè)定為(ΔZmax/2)/Δt，從而加工嘴10的1周期的Z軸移動(dòng)距離不會超過ΔZmax。

對于端面處理的詳情，不限于圖23的處理，只要是能夠使Z軸的1周期最大可移動(dòng)距離變小的處理即可。此外，在上述的說明中，將加工嘴10的Z軸移動(dòng)距離ΔZ設(shè)為1周期最大可移動(dòng)距離的一半，但只要能夠使1周期最大可移動(dòng)距離變短，即可獲得同樣的效果。舉個(gè)具體例，即使將加工嘴10的Z軸移動(dòng)距離ΔZ設(shè)為1周期最大可移動(dòng)距離的3分之1或者4分之1，也能夠避免加工嘴10與障礙物碰撞。

圖24是表示實(shí)施方式4涉及的激光加工機(jī)的加工嘴的動(dòng)作的概念圖。在位置A與實(shí)施方式1相同，檢測工件7的緣部。從位置A起至加工結(jié)束為止進(jìn)行仿形控制，由于1周期最大可移動(dòng)距離變?yōu)闃?biāo)準(zhǔn)值的一半，因此Z軸方向的移動(dòng)被限制，在加工結(jié)束位置B處停止而不與工件支架11碰撞。在實(shí)施方式4中，對于從進(jìn)行圖10的S103的端面處理起至在圖9的S5加工結(jié)束為止的期間的處理時(shí)間和控制延遲時(shí)間，通過以變更后的仿形條件進(jìn)行仿形控制，從而避免與碰撞物的碰撞。

在實(shí)施方式4中，也與實(shí)施方式1相同地，即使存在控制系統(tǒng)的延遲，也能夠可靠地防止與諸如工件支架11的障礙物的碰撞。另外，由于第一距離傳感器8可以比第二距離傳感器9的檢測范圍窄，因此能夠使用高分辨率的傳感器，能夠提高仿形控制的精度。此外，在端面處理中，即使不是將1周期最大可移動(dòng)距離設(shè)為標(biāo)準(zhǔn)值的一半，而是將Z軸方向的移動(dòng)速度設(shè)為標(biāo)準(zhǔn)值的一半，當(dāng)然也可獲得同樣的效果。

實(shí)施方式5.

本發(fā)明的實(shí)施方式5涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1相同。關(guān)于實(shí)施方式5涉及的激光加工機(jī)，控制裝置1的動(dòng)作也與實(shí)施方式1相同，但端面處理的內(nèi)容與實(shí)施方式1不同。在實(shí)施方式1中的端面處理是將加工嘴10的Z軸方向的移動(dòng)速度設(shè)為0的處理，與之相對，在實(shí)施方式5中設(shè)為，在使加工嘴10靠近工件7時(shí)，加工嘴10不超過工件7的Z軸方向的位置。換言之，在將工件7的Z軸方向的位置設(shè)為Z＝0、將加工中的加工嘴10的位置設(shè)為Z＞0的情況下，使加工嘴10的位置不成為工件7的下側(cè)即Z＜0。

另外，在實(shí)施方式5中，是否加工結(jié)束的判定處理設(shè)為下述的與實(shí)施方式1不同的處理。即，在圖9的步驟S5，判定在前面的端面判定處理步驟S3中是否經(jīng)過了步驟S103的端面處理，換言之判定在圖10的步驟S102是否為No，當(dāng)判定為在圖10的步驟S102為No而經(jīng)過了步驟S103的情況下，在步驟S5為Yes而加工結(jié)束。

圖25是表示實(shí)施方式5涉及的激光加工機(jī)的端面處理的流程的流程圖。在步驟S401，控制裝置1判斷在端面處理中加工嘴10的移動(dòng)后的Z軸方向的位置是否超過0。如果在端面處理中加工嘴10的移動(dòng)后的Z軸方向的位置超過0，則在步驟S401為Yes，結(jié)束端面處理。如果在端面處理中加工嘴10的移動(dòng)后的Z軸方向的位置小于或等于0，則在步驟S401為No，在步驟S402，控制裝置1將加工嘴10的Z軸方向的位置設(shè)為0。即，控制裝置1使加工嘴10不會下降至工件7的下方。

圖26是表示實(shí)施方式5涉及的激光加工機(jī)的加工嘴的動(dòng)作的概念圖。在位置A，與實(shí)施方式1相同地檢測工件7的緣部，從位置A起至加工結(jié)束為止使加工嘴10沿Z軸方向移動(dòng)。由于Z軸方向的位置不會成為工件7的下側(cè)，因此在加工結(jié)束位置C處停止而不與工件支架11碰撞。此外，加工結(jié)束位置是對在前面的端面判定處理步驟S3中是否經(jīng)過了步驟S103的端面處理進(jìn)行判定而判定為經(jīng)過的位置。

在實(shí)施方式5中，也與實(shí)施方式1相同，即使存在控制系統(tǒng)的延遲，也能夠可靠地防止與諸如工件支架11的障礙物的碰撞。另外，由于第一距離傳感器8可以比第二距離傳感器9的檢測范圍窄，因此能夠使用高分辨率的傳感器，能夠提高仿形控制的精度。

實(shí)施方式6.

本發(fā)明的實(shí)施方式6涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1相同。關(guān)于實(shí)施方式6涉及的激光加工機(jī)，控制裝置1的動(dòng)作也與實(shí)施方式1相同，但端面處理的內(nèi)容與實(shí)施方式1不同。在實(shí)施方式1中的端面處理是將加工嘴10的Z軸方向的移動(dòng)速度設(shè)為0的處理，與之相對，在實(shí)施方式6中，停止激光加工機(jī)的動(dòng)作。另外，圖9的步驟S5的是否加工結(jié)束的判定處理與實(shí)施方式1相同，僅在到達(dá)了加工結(jié)束位置的情況下使加工結(jié)束。在實(shí)施方式6中，希望避免與加工嘴10碰撞的障礙物是工件7的立起。

圖27是表示實(shí)施方式6涉及的激光加工機(jī)的在工件存在立起的情況下的第一距離傳感器及第二距離傳感器的輸出的圖。圖27中的虛線是第一距離傳感器8的輸出，點(diǎn)劃線是第二距離傳感器9的輸出。圖28是表示實(shí)施方式6涉及的激光加工機(jī)的加工嘴與工件的位置關(guān)系的圖。圖27表示從位置A起至加工嘴10即將與工件7的立起700碰撞為止的第一距離傳感器8及第二距離傳感器9的輸出。圖28的位置A表示在圖27的時(shí)刻TA處的加工嘴10的位置。同樣地，圖28的位置B表示在圖27的時(shí)刻TB處的加工嘴10的位置。此外，從位置A起至B為止，加工嘴10沒有Z軸方向的移動(dòng)。位置A是在第一距離傳感器8的檢測范圍8a及第二距離傳感器9的檢測范圍9a兩者存在工件7的狀態(tài)，位置B是在第二距離傳感器9的檢測范圍9a的行進(jìn)方向側(cè)的邊界存在工件7的立起700的狀態(tài)。第一距離傳感器8在工件7的立起700進(jìn)入了檢測范圍8a的時(shí)刻，傳感器輸出降低，第二距離傳感器9在工件7的立起700進(jìn)入了檢測范圍9a的時(shí)刻，傳感器輸出降低。

在實(shí)施方式6涉及的激光加工機(jī)中，在位置B處檢測工件7的端面，進(jìn)入至圖10的步驟S103，激光加工機(jī)停止。因此，如果加工嘴10到達(dá)至位置B，則實(shí)施方式6涉及的激光加工機(jī)的第一距離傳感器8及第二距離傳感器9的輸出變?yōu)?。此外，在圖27中，為了進(jìn)行參考，由細(xì)線示出在加工嘴10到達(dá)位置B的時(shí)刻TB處不停止激光加工機(jī)的情況下的傳感器數(shù)據(jù)輸出值，但由于實(shí)際上在時(shí)刻TB處激光加工機(jī)停止，因此傳感器數(shù)據(jù)輸出值變?yōu)?。

由此，在工件7存在立起700的情況下也與實(shí)施方式1相同，即使存在控制系統(tǒng)的延遲，也能夠可靠地防止向工件7的立起700的碰撞。另外，與實(shí)施方式1相同，由于第一距離傳感器8可以比第二距離傳感器9的檢測范圍窄，因此能夠使用高分辨率的傳感器，能夠提高仿形控制的精度。

實(shí)施方式7.

圖29是表示本發(fā)明的實(shí)施方式7涉及的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)的圖。與實(shí)施方式1的激光加工機(jī)100的不同點(diǎn)在于，在實(shí)施方式7涉及的激光加工機(jī)101中，代替第二距離傳感器9而具有圖像傳感器14。圖像傳感器14通過圖像處理檢測工件7的緣部，而不檢測加工嘴10與工件7的距離。在實(shí)施方式7中，第一距離傳感器8是在以加工嘴10為中心的第一范圍檢測加工嘴10與工件7的距離的第一傳感器，圖像傳感器14是在以加工嘴10為中心的比第一范圍寬的第二范圍內(nèi)檢測工件7的緣部的第二傳感器。圖像傳感器14與實(shí)施方式1的第二距離傳感器9相同地，沿X軸方向及Y軸方向追隨加工頭3進(jìn)行移動(dòng)，但不沿Z軸方向追隨加工頭3進(jìn)行移動(dòng)。因此，圖像傳感器14與工件7之間的間隔保持固定，而與加工頭3的Z軸方向的位置無關(guān)。因此，無需調(diào)整圖像傳感器14的焦點(diǎn)位置，換言之，無需調(diào)整焦距，能夠使用單焦點(diǎn)的廉價(jià)的圖像傳感器14。

圖像傳感器14具有拍攝比第一距離傳感器8的檢測范圍寬的范圍的視角。因此，圖像傳感器14能夠在比第一距離傳感器8的檢測范圍即第一范圍寬的第二范圍檢測工件7的緣部。

實(shí)施方式7涉及的激光加工機(jī)101與實(shí)施方式1涉及的激光加工機(jī)100的不同點(diǎn)在于，在工件7的緣部的檢測中使用圖像傳感器14，但圖像傳感器14與第二距離傳感器9的共通點(diǎn)在于，比第一距離傳感器8的檢測范圍寬。因此，與實(shí)施方式1的激光加工機(jī)相同地，在圖像傳感器14檢測出工件7的緣部的時(shí)刻，使仿形動(dòng)作中的加工頭3的Z軸方向的移動(dòng)停止，從而能夠防止加工嘴10與工件支架11碰撞。

此外，實(shí)施方式7涉及的激光加工機(jī)101通過利用圖像傳感器14檢測工件7的緣部，從而也能夠進(jìn)行與實(shí)施方式3至實(shí)施方式6相同的動(dòng)作。

以上的實(shí)施方式所示的結(jié)構(gòu)表示本發(fā)明的內(nèi)容的一個(gè)例子，還可以與其他的公知技術(shù)進(jìn)行組合，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，還能夠?qū)Y(jié)構(gòu)的一部分進(jìn)行省略、變更。

標(biāo)號的說明

1控制裝置，2輸入裝置，3加工頭，4X軸電動(dòng)機(jī)，5Y軸電動(dòng)機(jī)，6Z軸電動(dòng)機(jī)，7工件，8第一距離傳感器，8a、9a檢測范圍，9第二距離傳感器，10加工嘴，11工件支架，12數(shù)據(jù)存儲部，13設(shè)定存儲部，14圖像傳感器，100、101激光加工機(jī)，200、201、202距離。