本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種爐體裝卸機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體熱處理設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，適用于集成電路制造過程中各種氧化、退火和薄膜生長等工藝。爐體是熱處理設(shè)備的核心部件，由于其質(zhì)量較大且安裝空間較小，所以爐體拆卸和安裝的難度比較大。

傳統(tǒng)爐體裝卸工裝只適用于帶有支撐板的爐體，包括主體、插板、腳輪、地腳、前傳送支架、中間傳送架和后傳送支架等，但是有以下問題存在：高度可調(diào)范圍太小，不能滿足各種廠房高度的要求；調(diào)節(jié)工裝高度操作不方便；主體結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高；工裝在不使用時(shí)，占用空間大；無爐體固定裝置，推動(dòng)載有爐體工裝時(shí)不安全；爐體在前傳送支架、中間傳送架及后傳送支架的過渡處移動(dòng)困難；工裝無定位裝置，多次調(diào)整才能達(dá)到位置要求，效率低；由于裝配空間小，工裝在推進(jìn)熱處理設(shè)備處時(shí)，容易刮傷兩側(cè)部件。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種爐體裝卸機(jī)構(gòu)，能夠方便的進(jìn)行爐體拆卸和安裝。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種爐體裝卸機(jī)構(gòu)，其包括：

主體，其頂部和底部具有間隔，用于傳送爐體；

前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)，安裝于主體頂部的一側(cè)，用于調(diào)整前傳送支架的高度；

前傳送支架，其一端固定于前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)上；當(dāng)裝卸爐體時(shí)，前傳送支架水平固定于前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)上；

中間傳送架，固定在主體的頂部，且與前傳送支架相銜接，使得爐體能夠在前傳送支架和中間傳送架之間過渡；

后傳送支架，包括水平結(jié)構(gòu)件和水平結(jié)構(gòu)件支撐件；當(dāng)裝卸爐體時(shí)，水平結(jié)構(gòu)件的一端固定于固定在與前傳送支架相對的主體的另一側(cè)的頂部，水平結(jié)構(gòu)件支撐件固定于主體上并支撐水平結(jié)構(gòu)件；后傳送支架與中間傳送架相銜接，使得爐體能夠在中間傳送架和后傳送支架之間過渡；

爐體固定支架，安裝于主體的頂部，用于固定位于中間傳送架上的爐體；其中，

向目標(biāo)設(shè)備安裝爐體時(shí)，將爐體裝到后傳送支架上，推動(dòng)爐體至中間傳送架，爐體固定支架固定爐體，然后推動(dòng)主體至目標(biāo)設(shè)備，此時(shí)，前傳送支架插入目標(biāo)位置，爐體固定支架取消對爐體的固定，移動(dòng)爐體至前傳送支架，用鎖緊螺栓將爐體頂起，前傳送支架移出目標(biāo)位置，爐體放下后位于目標(biāo)位置；

從目標(biāo)設(shè)備卸下爐體時(shí)，將主體移動(dòng)到目標(biāo)設(shè)備，用鎖緊螺栓將爐體頂起，前傳送支架插入位于目標(biāo)位置上的爐體底部，移動(dòng)爐體從前傳送支架到中間傳送架，爐體固定支架固定爐體，然后推動(dòng)主體離開目標(biāo)設(shè)備，爐體固定支架取消對爐體的固定，移動(dòng)爐體至后傳送支架，將爐體從后傳送支架上取走。

優(yōu)選地，所述前傳送支架由前端板和滾珠構(gòu)成，滾珠設(shè)置于前端板上，前端板固定于前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)上，滾珠用于爐體放置于滾珠上時(shí)爐體能夠360度方向上自由移動(dòng)。

優(yōu)選地，前傳送支架調(diào)整機(jī)構(gòu)包括調(diào)整塊、支撐塊和調(diào)整螺釘組件；支撐塊固定于主體上，調(diào)整塊固定于支撐塊上，前傳送支架固定于調(diào)整塊上，通過調(diào)整螺釘組件將支撐塊在主體側(cè)面上下移動(dòng)，從而調(diào)整前傳送支架上下移動(dòng)的位置。

優(yōu)選地，中間傳送架包括第一結(jié)構(gòu)鋼件和第一滾輪，第一滾輪設(shè)置與第一結(jié)構(gòu)鋼件上，第一結(jié)構(gòu)鋼件固定于主體頂部；第一結(jié)構(gòu)鋼件的前端和后端均具有第一傾斜端面，爐體底部四周也為斜面結(jié)構(gòu)，斜面結(jié)構(gòu)和第一傾斜端面相配合。

優(yōu)選地，后傳送支架的水平結(jié)構(gòu)件包括第二結(jié)構(gòu)鋼件和第二滾輪，第二滾輪設(shè)置于第二結(jié)構(gòu)鋼件上，第二結(jié)構(gòu)鋼件固定于主體頂部；第二結(jié)構(gòu)鋼件的前端和后端均具有第二傾斜端面，爐體底部四周也為斜面結(jié)構(gòu)，斜面結(jié)構(gòu)和第二傾斜端面相配合。

優(yōu)選地，在主體內(nèi)設(shè)置有配重塊，配重塊在主體內(nèi)的位置可以任意調(diào)整，在爐體位于前傳送支架、中間傳送架和后傳送支架上時(shí)，防止主體傾倒。

優(yōu)選地，還包括：插板，超出主體側(cè)面且安裝于主體底部的前端，當(dāng)爐體位于后傳送支架上時(shí)，插板插入到目標(biāo)設(shè)備的設(shè)備底部，防止裝卸機(jī)構(gòu)發(fā)生向后傾倒。

優(yōu)選地，所述插板包括插板護(hù)罩和手動(dòng)旋鈕，插板插入插板護(hù)罩，手動(dòng)旋鈕用于調(diào)整插板的高度。

優(yōu)選地，還包括定位裝置，所述定位裝置具有定位結(jié)構(gòu)和與定位結(jié)構(gòu)配合的定位座，定位座固定在目標(biāo)設(shè)備底部，定位結(jié)構(gòu)固定在主體底部前端，當(dāng)定位結(jié)構(gòu)移動(dòng)到定位座內(nèi)與之配合時(shí)，主體到達(dá)目標(biāo)設(shè)備。

優(yōu)選地，所述爐體固定支架包括前端固定支架和后端固定支架；當(dāng)裝卸爐體時(shí)，前端固定支架安裝在前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)上，后端固定支架安裝在主體頂部且與前端固定支架相對一側(cè)，用于防止位于中間傳送架上的爐體產(chǎn)生移動(dòng)或傾倒；當(dāng)不工作時(shí)，卸下前端固定支架和后端固定支架。

優(yōu)選地，當(dāng)不工作時(shí)，前傳送支架放置于主體的側(cè)面且與主體側(cè)面平行；后傳送支架放置于主體的內(nèi)側(cè)底部，水平結(jié)構(gòu)件與主體側(cè)面平行，水平結(jié)構(gòu)件支撐件的一端固定在水平結(jié)構(gòu)件上，另一端固定在主體上。

優(yōu)選地，水平結(jié)構(gòu)件的一端通過一固定支架固定在主體上；固定支架可拆卸式固定在主體上。

優(yōu)選地，在主體上還可拆卸安裝或放置有鎖緊螺栓，將鎖緊螺栓取下后頂起爐體。

優(yōu)選地，還包括橡膠調(diào)整塊，安裝在主體的四個(gè)對角處，防止主體移動(dòng)過程中刮傷其周圍的部件。

優(yōu)選地，還包括安全護(hù)板，安裝于主體頂部，用于裝配人員站立此處進(jìn)行爐體的安裝和拆卸。

優(yōu)選地，在主體底部還固定有地腳，用于支撐主體和調(diào)整主體的高度；地腳上還固定有若干手柄，用于調(diào)整主體高度。

優(yōu)選地，在主體底部還安裝有腳輪，腳輪分為前端腳輪和后端腳輪；前端腳輪位于主體底部前端，后端腳輪位于主體底部后端，前端腳輪采用萬向輪，后端加侖采用定向輪。

本發(fā)明的爐體裝卸機(jī)構(gòu)，通過采用前傳送支架、中間傳送架和后傳送支架以及三者之間的銜接，來實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的爐體裝卸，本發(fā)明的裝卸機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單且使用方便。首先，裝卸機(jī)構(gòu)帶有定位裝置，能能快速準(zhǔn)確達(dá)到位置要求，效率高；并且，裝卸結(jié)構(gòu)可調(diào)范圍大，能適用于各種高度廠房；主體結(jié)構(gòu)簡單，減輕重量，降低成本；前傳送支架帶有高度調(diào)節(jié)的前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)，且中間傳送架及后傳送支架端面為斜面，使?fàn)t體能在前傳送支架、中傳送架、后傳送支架過渡處順利移動(dòng)；此外，裝卸機(jī)構(gòu)非使用狀態(tài)時(shí)占用廠房空間小；進(jìn)一步的，帶有爐體固定裝置，避免爐體的移動(dòng)或傾倒；在主體底部安裝地腳，地腳上焊接有三個(gè)手柄，以方便快速的調(diào)整地腳的高度；配重塊調(diào)節(jié)裝卸機(jī)構(gòu)的重心位置；橡膠調(diào)整塊的設(shè)置能夠防止裝卸機(jī)構(gòu)在移動(dòng)過程中刮傷裝卸機(jī)構(gòu)周圍的部件。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的進(jìn)行爐體裝卸時(shí)所對應(yīng)的爐體裝卸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖

圖2為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的不工作時(shí)所對應(yīng)的爐體裝卸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖

圖3為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的從目標(biāo)設(shè)備裝卸爐體的示意圖

附圖標(biāo)記：

主體1

安全護(hù)板2

鎖緊螺栓3

橡膠調(diào)整塊4

配重塊5

前傳送支架6

前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)7

中間傳送架8

爐體固定支架9

后傳送支架10

固定支架11

定位結(jié)構(gòu)12

地腳13

腳輪14

插板15

爐體16

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

以下結(jié)合附圖1～3和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說明本實(shí)施例的目的。

本實(shí)施例中，爐體裝卸機(jī)構(gòu)以下沉式爐體的裝為例進(jìn)行描述，請參閱圖1～3，包括：

主體1，其頂部和底部具有間隔，用于傳送爐體16；這里，主體1也采用支架形式，主體1支架可以由結(jié)構(gòu)鋼焊接而成，也可以由型材組裝而成。

安全護(hù)板2，安裝于主體1頂部，裝配人員可以站立在此處進(jìn)行爐體16的安裝和拆卸。

在主體1上還可拆卸安裝或放置有鎖緊螺栓3；裝卸爐體16時(shí)，當(dāng)爐體16位于目標(biāo)設(shè)備中時(shí)，將鎖緊螺栓3取下后頂起爐體16，使用完畢后還放置在主體1上。

橡膠調(diào)整塊4，安裝在主體1支架的四個(gè)對角處，可以防止主體1移動(dòng)過程中刮傷其周圍的部件，例如，如圖3所示，向目標(biāo)設(shè)備處移動(dòng)或離開目標(biāo)設(shè)備時(shí)容易刮傷目標(biāo)設(shè)備兩側(cè)部件，橡膠調(diào)整塊4可以防止該問題的產(chǎn)生。

在主體1內(nèi)設(shè)置有配重塊5，配重塊5在主體1內(nèi)的位置可以任意調(diào)整，在爐體16位于前傳送支架6、中間傳送架8和后傳送支架10上時(shí)，可以使裝卸機(jī)構(gòu)的重心位于所要求的位置，防止主體1傾倒。

在主體1底部還固定有地腳13，例如地腳安裝于主體底部用于支撐主體1和調(diào)整主體1的高度；地腳13上還固定有若干手柄例如三個(gè)，從而方便快速的調(diào)整主體高度。

在主體1底部還安裝有腳輪14，腳輪14分為前端腳輪和后端腳輪；前端腳輪位于主體底部前端，后端腳輪位于主體底部后端，前端腳輪采用萬向輪，后端加侖采用定向輪。腳輪14的高度也可以調(diào)整，調(diào)整范圍在地腳13調(diào)節(jié)范圍之內(nèi)。

前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)7，安裝于主體1頂部的一側(cè)，用于調(diào)整前傳送支架6的高度；具體的，前傳送支架調(diào)整機(jī)構(gòu)7包括調(diào)整塊、支撐塊和調(diào)整螺釘組件；支撐塊固定于主體1上，調(diào)整塊固定于支撐塊上，前傳送支架6固定于調(diào)整塊上，通過調(diào)整螺釘組件將支撐塊在主體1側(cè)面上下移動(dòng)，從而調(diào)整前傳送支架上下移動(dòng)的位置，較佳的，使前傳送支架6的高度與中間傳送架8的高度相同，以有利于爐體在前傳送支架6和中間傳送架8之間的移動(dòng)。

前傳送支架6，其一端固定于前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)7上；如圖1所示，當(dāng)裝卸爐體時(shí)，前傳送支架6水平固定于前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)7上；具體的，前傳送支架6由前端板和滾珠構(gòu)成，滾珠設(shè)置于前端板上，前端板固定于前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)7上，滾珠用于爐體放置于滾珠上時(shí)爐體能夠360度方向上自由移動(dòng)，在爐體安裝或拆卸時(shí)可以方便移動(dòng)爐體至要求位置。如圖2所示，當(dāng)不工作時(shí)，前傳送支架6放置于主體1的側(cè)面且與主體1側(cè)面平行。

中間傳送架8，固定在主體1的頂部，且與前傳送支架6相銜接，使得爐體16能夠在前傳送支架6和中間傳送架8之間過渡；具體的，中間傳送架8包括第一結(jié)構(gòu)鋼件和第一滾輪，第一滾輪設(shè)置與第一結(jié)構(gòu)鋼件上，第一滾輪只可使?fàn)t體前后移動(dòng)；第一結(jié)構(gòu)鋼件固定于主體1頂部；第一結(jié)構(gòu)鋼件的前端和后端均具有第一傾斜端面，爐體16底部四周也為斜面結(jié)構(gòu)，斜面結(jié)構(gòu)和第一傾斜端面相配合，這樣使得爐體16在中間傳送架8和前傳送支架6之間的移動(dòng)更加容易和順利。

后傳送支架10，包括水平結(jié)構(gòu)件和水平結(jié)構(gòu)件支撐件；如圖1所示，當(dāng)裝卸爐體時(shí)，水平結(jié)構(gòu)件的一端固定于固定在與前傳送支架6相對的主體的另一側(cè)的頂部，水平結(jié)構(gòu)件支撐件固定于主體1上并支撐水平結(jié)構(gòu)件；后傳送支架10與中間傳送架8相銜接，使得爐體能夠在中間傳送架8和后傳送支架10之間過渡；具體的，后傳送支架10的水平結(jié)構(gòu)件包括第二結(jié)構(gòu)鋼件和第二滾輪，第二滾輪設(shè)置于第二結(jié)構(gòu)鋼件上，第二滾輪只能使?fàn)t體前后移動(dòng)；第二結(jié)構(gòu)鋼件固定于主體頂部；第二結(jié)構(gòu)鋼件的前端和后端均具有第二傾斜端面，爐體底部四周也為斜面結(jié)構(gòu)，斜面結(jié)構(gòu)和第二傾斜端面相配合，這樣使得爐體在中間傳送架8和后傳送支架10之間的移動(dòng)更為容易和順利。如圖2所示，后傳送支架10放置于主體1的內(nèi)側(cè)底部；具體的，水平結(jié)構(gòu)件與主體1側(cè)面平行，水平結(jié)構(gòu)件的一端通過一固定支架11固定在主體上，固定支架11可拆卸式固定在主體1上；水平結(jié)構(gòu)件支撐件的一端固定在水平結(jié)構(gòu)件上，另一端固定在主體1上。

爐體固定支架9，安裝于主體1的頂部，用于固定位于中間傳送架8上的爐體；具體的，如圖1所示，爐體固定支架9包括前端固定支架和后端固定支架；當(dāng)裝卸爐體時(shí)，前端固定支架安裝在前傳送支架調(diào)整結(jié)構(gòu)7上，后端固定支架安裝在主體1頂部且與前端固定支架相對一側(cè)，用于防止位于中間傳送架8上的爐體產(chǎn)生移動(dòng)，例如在主體向目標(biāo)設(shè)備移動(dòng)或離開目標(biāo)設(shè)備時(shí)，如果爐體沒有固定很容易發(fā)生滑移甚至傾倒；如圖2所示，當(dāng)不工作時(shí)，卸下前端固定支架和后端固定支架。圖2中所示，爐體裝卸機(jī)構(gòu)閑置時(shí)的一種狀態(tài)，可以節(jié)約占用面積。

定位裝置，定位裝置具有定位結(jié)構(gòu)12和與定位結(jié)構(gòu)12配合的定位座，定位座固定在目標(biāo)設(shè)備底部，定位結(jié)構(gòu)12固定在主體1底部前端，當(dāng)定位結(jié)構(gòu)12移動(dòng)到定位座內(nèi)與之配合時(shí)，則說明主體1到達(dá)目標(biāo)設(shè)備。例如，定位座和定位結(jié)構(gòu)之間采用卡合鎖定方式配合，當(dāng)定位結(jié)構(gòu)接觸定位座并且被卡合鎖定時(shí)，說明主體已經(jīng)達(dá)到所要求位置，主體停止移動(dòng)。

此外，本實(shí)施例的裝卸機(jī)構(gòu)還包括插板15，插板15超出主體1側(cè)面且安裝于主體1底部的前端，當(dāng)爐體位于后傳送支架10上時(shí)，插板15插入到目標(biāo)設(shè)備的設(shè)備底部，防止裝卸機(jī)構(gòu)發(fā)生向后傾倒。具體的，插板15包括插板護(hù)罩和手動(dòng)旋鈕，插板15插入插板護(hù)罩，手動(dòng)旋鈕用于調(diào)整插板的高度。

請參閱圖3，向目標(biāo)設(shè)備安裝爐體16時(shí)，裝卸機(jī)構(gòu)從圖2所示的結(jié)構(gòu)安裝為圖1所示的結(jié)構(gòu)，其中，把前傳送支架6和后傳送支架10分別安裝在相應(yīng)位置，定位座固定于目標(biāo)設(shè)備底部，并且取下鎖緊螺栓3；然后，可以使用叉車將爐體16裝到后傳送支架20上，推動(dòng)爐體16至中間傳送架8，將前端固定支架和后端固定支架安裝于圖1所示的位置，從而從前后兩側(cè)固定爐體16；然后推動(dòng)主體1至目標(biāo)設(shè)備，定位結(jié)構(gòu)12和定位座相接觸配合或卡合，主體1到達(dá)指定位置，此時(shí)，前傳送支架6插入目標(biāo)位置，然后，將前端固定支架和后端固定支架卸掉，移動(dòng)爐體16至前傳送支架6，采用鎖緊螺栓3將爐體16頂起的同時(shí)將前傳送支架16移出目標(biāo)位置，松掉鎖緊螺栓3，使?fàn)t體16放下后即位于目標(biāo)位置；

從目標(biāo)設(shè)備卸下爐體時(shí)，請?jiān)俅螀㈤唸D3，裝卸機(jī)構(gòu)從圖2所示的結(jié)構(gòu)安裝為圖1所示的結(jié)構(gòu)，其中，把前傳送支架6和后傳送支架10分別安裝在相應(yīng)位置，定位座固定于目標(biāo)設(shè)備底部，并且取下鎖緊螺栓3，采用鎖緊螺栓3將爐體16頂起；將主體1移動(dòng)到目標(biāo)設(shè)備，定位結(jié)構(gòu)12和定位座相接觸配合或卡合，主體1到達(dá)指定位置，此時(shí)將前傳送支架6插入位于目標(biāo)位置上的爐體16底部，移動(dòng)爐體16從前傳送支架6到中間傳送架8，將前端固定支架和后端固定支架安裝于圖1所示的位置，從而從前后兩側(cè)固定爐體16；然后推動(dòng)主體1離開目標(biāo)設(shè)備至安全位置，然后，將前端固定支架和后端固定支架卸掉，移動(dòng)爐體16至后傳送支架10，可以使用叉車將爐體16從后傳送支架10上取走至安全的地方。

此外，本實(shí)施例的目標(biāo)設(shè)備可以是工藝處理設(shè)備，例如熱處理設(shè)備等。

雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述實(shí)施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動(dòng)與潤飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)。