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一種同MASK鐳射加工裝置的制作方法

文檔序號:12384862閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種同MASK鐳射加工裝置,包括鐳射加工機臺(1),其特征在于:所述鐳射加工機臺(1)的內(nèi)腔頂部設(shè)置有鐳射底座(2),所述鐳射底座(2)的底部設(shè)置有鐳射頭(3),所述鐳射加工機臺(1)的內(nèi)腔底部設(shè)置有基座(4),所述基座(4)的頂部設(shè)置有支撐桿(8),所述支撐桿(8)的頂部設(shè)置有運動工作臺(5),所述運動工作臺(5)的頂部設(shè)置有吸附層(6),所述吸附層(6)的頂部安裝有PDI板(7),且PDI板(7)位于鐳射頭(3)的正下方,所述PDI板(7)的內(nèi)腔設(shè)置有涂布半固化膠片(71),所述PDI板(7)的頂部和底部均設(shè)置有銅箔(72),所述PDI板(7)內(nèi)腔均勻開設(shè)有盲孔(73),所述盲孔(73)的頂部設(shè)置有銅窗(74)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同MASK鐳射加工裝置,其特征在于:所述運動工作臺(5)的內(nèi)腔設(shè)置有軸承(51),且軸承(51)套接在支撐桿(8)的外壁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同MASK鐳射加工裝置,其特征在于:所述盲孔(73)為梯形形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種同MASK鐳射加工裝置,其特征在于:所述基座(4)為石英玻璃。

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