本實用新型屬于激光切割技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種薄皮工件固定裝置。

背景技術(shù)：

激光切割機(jī)經(jīng)常用于切割一些0.5mm-1mm厚度的薄片工件，為了將工件固定，經(jīng)常采用藍(lán)膜固定工件，真空吸盤整體吸附來達(dá)到固定的目的，傳統(tǒng)的玻璃刻槽及鋁板打孔均有平面精度不高，吸附效果不佳，不易脫離等缺陷，而硅晶圓隱形切割機(jī)對吸盤平行面度和平行度要求較高，需要更好的薄片工件固定結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供一種平面度、吸附效果好的薄皮工件固定裝置。

本實用新型提供一種薄皮工件固定裝置，其包括陶瓷吸盤、陶瓷吸盤過渡板、馬達(dá)、馬達(dá)過渡板、以及料環(huán)定位及吸附件；其中，所述馬達(dá)安裝在所述馬達(dá)過渡板上；所述陶瓷吸盤過渡板安裝在所述馬達(dá)上；所述陶瓷吸盤和料環(huán)定位及吸附件均安裝在所述陶瓷吸盤過渡板上。

優(yōu)選地，所述陶瓷吸盤位于所述料環(huán)定位及吸附件的內(nèi)部。

優(yōu)選地，還包括安裝所述馬達(dá)過渡板的直線二維平臺。

優(yōu)選地，還包括連接在所述馬達(dá)過渡板和直線二維平臺的馬達(dá)定位件。

優(yōu)選地，還包括吸附薄皮工件的料環(huán)。

優(yōu)選地，所述料環(huán)放置在所述陶瓷吸盤上且由所述料環(huán)定位及吸附件固定。

優(yōu)選地，所述陶瓷吸盤包括不銹鋼的基體和由該基體支撐的吸盤表面。

優(yōu)選地，所述吸盤表面設(shè)有多個孔。

本實用新型采用微孔陶瓷精密加工制成的陶瓷吸盤，陶瓷吸盤表面的平面度和平行度高，真空吸附效果好，破真空后易脫離，結(jié)構(gòu)尺寸穩(wěn)定，長時間工作不變形；陶瓷吸盤采用頂絲調(diào)整水平，方便；使用料環(huán)定位和吸附件，方便對工件整體固定和定位；本實用新型提高了載臺的平行度和平面度，改善了吸附效果，使工件不容易脫離。

附圖說明

圖1為本實用新型薄皮工件固定裝置的立體圖；

圖2為圖1所示薄皮工件固定裝置的主視圖；

圖3為圖1所示薄皮工件固定裝置的左視圖；

圖4為圖1所示薄皮工件固定裝置的俯視圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步說明。

如圖1至圖4所示，本薄皮工件固定裝置包括料環(huán)1、陶瓷吸盤3、陶瓷吸盤過渡板4、DD馬達(dá)5、DD馬達(dá)過渡板6、料環(huán)定位及吸附件2、馬達(dá)定位件8、以及直線二維平臺7。其中，DD馬達(dá)5安裝在DD馬達(dá)過渡板6上；陶瓷吸盤過渡板4安裝在DD馬達(dá)5上；陶瓷吸盤3安裝在陶瓷吸盤過渡板4上；料環(huán)定位及吸附件2安裝在陶瓷吸盤過渡板4上，且陶瓷吸盤3位于料環(huán)定位及吸附件2的內(nèi)部；DD馬達(dá)過渡板6安裝在直線二維平臺7上；馬達(dá)定位件8連接在DD馬達(dá)過渡板6和直線二維平臺7，即通馬達(dá)定位件8將DD馬達(dá)5固定在直線二維平臺7上；本薄皮工件固定裝置固定在直線二維平臺7上。

陶瓷吸盤3包括不銹鋼的基體和由該基體支撐的吸盤表面，吸盤表面由陶瓷制成的。吸盤表面設(shè)有多個孔(圖未示)。

本薄皮工件固定裝置固定薄皮工件的方法，包括如下步驟：

第一步：薄片工件放置在帶藍(lán)膜的料環(huán)1上，藍(lán)膜粘住工件；

第二步：料環(huán)1放置在陶瓷吸盤4上面，料環(huán)1被料環(huán)定位及吸附件2固定；

第三步：開啟真空吸附，陶瓷吸盤4產(chǎn)生真空吸附藍(lán)膜，料環(huán)1和藍(lán)膜分別被吸附，從而達(dá)到固定薄片工件的效果。

本實用新型采用微孔陶瓷精密加工制成的陶瓷吸盤，陶瓷吸盤表面的平面度和平行度高，真空吸附效果好，破真空后易脫離，結(jié)構(gòu)尺寸穩(wěn)定，長時間工作不變形；陶瓷吸盤采用頂絲調(diào)整水平，方便；使用料環(huán)定位和吸附件，方便對工件整體固定和定位；本實用新型提高了載臺的平行度和平面度，改善了吸附效果，使工件不容易脫離。

以上詳細(xì)描述了本實用新型的優(yōu)選實施方式，但是本實用新型并不限于上述實施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本實用新型的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對本實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行多種等同變換，這些等同變換均屬于本實用新型的保護(hù)范圍。