技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明液體輔助激光加工方法與裝置涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域，其目的是為了提供一種具有快速掃描功能的液體輔助激光加工方法，同時提供一種液體輔助激光加工裝置，相對之前的水助激光加工技術(shù)，具備加工分辨率更高、掃描速度更快，可以方便進行復(fù)雜圖案加工等優(yōu)點。本發(fā)明一種液體輔助激光加工方法，包括如下步驟：步驟a，激光器發(fā)射激光束，所述激光束被引導(dǎo)到掃描系統(tǒng)中；步驟b，所述激光束被掃描系統(tǒng)改變路徑并聚焦后與液體耦合；步驟c，所述激光束與液體耦合后進入噴嘴，與液體一同從噴嘴射出至待加工工件上。

技術(shù)研發(fā)人員：張文武;王斌;張?zhí)鞚?茹浩磊
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所;寧波大艾激光科技有限公司
文檔號碼：201710038812
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.19
技術(shù)公布日：2017.05.31