本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1的前述部分所述的激光加工機。

背景技術(shù)：

在激光加工期間，特別是在激光切割期間，廢氣和殘余物(例如熔化的工件材料或沉積在工件底部上的灰塵)積聚在激光加工機的灰塵收集空間中。加工的工件(例如金屬板)可能被污染，從而在隨后的涂漆之前需要機械清洗，因為涂料否則不會粘附到工件上。

已知用于去除積聚在灰塵收集空間中的灰塵和廢氣的是激光加工機，在該激光加工機中產(chǎn)生電流。

例如，de102011050749a1示出了一種具有抽吸裝置的激光加工機，該抽吸裝置抽吸積聚在工件的面向激光加工頭的一側(cè)面上的殘余物。

已知解決方案的缺點是，利用該抽吸裝置僅去除尤其是積聚在灰塵收集空間中的有限量的廢氣。使用這種已知的解決方案不能完全消除灰塵收集空間中的殘余物。

例如，wo2015068649a1示出了一種激光加工機，其具有激光加工頭；支撐柵格，該支撐柵格限定用于支撐待加工的工件的支撐平面；流體供應(yīng)裝置和流體去除裝置。流體供應(yīng)裝置和流體去除裝置被設(shè)計成在支撐柵格的支撐平面下方產(chǎn)生流體流(這里為氣流)，以用于去除特別是廢氣和灰塵。

為了抑制用于產(chǎn)生流動的能量消耗，根據(jù)wo2015068649a1的激光加工機的灰塵收集空間包括導(dǎo)向板，該導(dǎo)向板將灰塵收集空間分成多個灰塵收集空間部分。為每個灰塵收集空間部分提供流體供應(yīng)裝置和流體去除裝置。

已知解決方案的缺點是激光加工機，特別是灰塵收集空間的構(gòu)造是材料密集的并且制造昂貴。

根據(jù)wo2015068649a1在灰塵收集空間或激光加工機的整個長度和寬度上供應(yīng)流體將浪費大量能量，因為在這里也在激光加工頭不處理工件的區(qū)域中產(chǎn)生流動。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的目的是創(chuàng)造一種激光加工機，特別是激光切割機，其不具有上述缺點，并且是節(jié)能的并且易于制造，特別是同時能夠確保充分地去除廢氣和灰塵。

該目的通過獨立權(quán)利要求中的特征來實現(xiàn)。有利的進一步改進在附圖和從屬權(quán)利要求中描述。

根據(jù)本發(fā)明，至少一個流體供應(yīng)裝置可以與激光加工頭一起移動。

至少一個流體供應(yīng)裝置包括流體源、分配器和至少一個用于流體的出口，所述分配器覆蓋激光加工頭的特定流寬度，所述出口影響流動形狀，流動寬度和流量。

因為流體因此通過至少一個流體供應(yīng)裝置在支撐平面下方以目標的和定向的方式被供應(yīng)，所以僅在用于去除殘余物和廢氣所需要的并有利地最優(yōu)的區(qū)域中供應(yīng)流體。為了從灰塵收集空間可靠和簡單地抽出煙霧，在激光加工機的灰塵收集空間中不需要額外的或甚至有限的結(jié)構(gòu)措施。除了激光加工機的更簡單的結(jié)構(gòu)構(gòu)造之外，還可以減少對該激光加工機的控制的要求。

目標流還避免了灰塵收集空間中的所謂死水區(qū)。

定向流使得可以利用較少的能量建立流體的良好流入和與廢氣的良好分離。從煙塵收集空間有效地抽取煙霧以及在工件的底部和廢氣之間出現(xiàn)的保護性邊界層防止工件的底部上的不期望的沉積。

此外，在加工期間產(chǎn)生的熔渣和由激光加工產(chǎn)生的液體工件材料被直接冷卻，并且不再損壞灰塵收集空間。此外，構(gòu)造根據(jù)本發(fā)明的激光加工機使得可以使用具有更高功率(例如，6kw和更高)的激光器，因為所產(chǎn)生的流動減少了激光器的損壞影響(該損壞影響對激光器的功率產(chǎn)生限制)。這基本上降低了對灰塵收集空間的損壞的危險，并因此顯著地延長了其對于使用的適用性。

至少一個流體去除裝置有利地是固定的，這也使得能夠?qū)崿F(xiàn)激光加工機的簡單結(jié)構(gòu)和成本有效的構(gòu)造。此外，至少一個流體去除裝置可以以較低的能量消耗運行，因為目標流在至少一個流體去除裝置的方向上輸送廢氣。

至少一個流體去除裝置有利地包括至少一個過濾元件，該過濾元件拾取廢氣和切屑的至少一部分，由此防止或至少基本上減少激光加工機的環(huán)境的污染。

此外，根據(jù)本發(fā)明的激光加工機消除了多個閥以及對控制多個閥的需要，因為流體不是分區(qū)域供應(yīng)的。由于更簡單的流體供應(yīng)，在其中不再出現(xiàn)相當大的壓力損失，這另外對激光加工機的能量消耗具有積極的影響。這消除了對于用于供應(yīng)流體的激光加工機的框架的結(jié)構(gòu)重構(gòu)或特殊構(gòu)造的需要。通過根據(jù)本發(fā)明的解決方案顯著簡化了激光加工機的整體結(jié)構(gòu)，其有利地影響其制造成本。

有利的是，至少一個流體供應(yīng)裝置可以與激光加工頭一起移動，并且與激光加工頭的移動方向平行地移動，使得至少一個流體供應(yīng)裝置和激光加工頭從空間立場出發(fā)具有恒定的對準，同時相對于彼此移動。所述至少一個流體供應(yīng)裝置和激光加工頭特別有利地彼此同時移動。

為此，至少一個流體供應(yīng)裝置和激光加工頭有利地具有結(jié)構(gòu)設(shè)計的聯(lián)接。在這種構(gòu)造中，流體源在構(gòu)造上也被簡化，因為流體管線可以布置在聯(lián)接件上或聯(lián)接件中。

因此，相對于常規(guī)構(gòu)造，流體管線的總長度也可以減小，這尤其對于壓力條件具有積極的作用。例如，為此目的提供在整個來回移動路徑的中部中的或中部附近的固定供應(yīng)。

流體供應(yīng)裝置和流體去除裝置均位于支撐平面下方，以用于去除工件下方的廢氣和灰塵，其中，流體供應(yīng)裝置可被激光加工頭橫穿。這使得廢氣和灰塵去除比根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的激光加工機的情況更簡單，更有效和更完整。

支撐柵格優(yōu)選地包括平行設(shè)置并且相對于彼此間隔開一定距離的多個柵格元件，其中，至少一個流體供應(yīng)裝置被設(shè)計成產(chǎn)生平行于柵格元件延伸的流體流。因此，這些柵格元件包括用于流動的導(dǎo)向元件，并且改進流體的供應(yīng)以及廢氣和殘余物的去除。所有柵格元件優(yōu)選地間隔開大約相同的距離。測試已經(jīng)表明，可以用高達12倍少量的流體產(chǎn)生用于去除殘余物的足夠流量。

至少一個流體供應(yīng)裝置和激光加工頭優(yōu)選地設(shè)置在共享橋上，該橋可相對于支撐柵格移動。橋，也稱為切割橋，通常沿支撐柵格的方向完全橫跨支撐柵格，并且用于相對于正在處理的工件定位激光加工頭，以用于處理目的。將至少一個流體供應(yīng)裝置布置在橋上是確保至少一個流體供應(yīng)裝置保持在期望的對準中從而產(chǎn)生最佳流動的一種簡單方式，即使在重新定位激光加工頭時。流體源還有利地固定到橋。

在替代實施例中，至少一個流體供應(yīng)裝置設(shè)置在單獨的導(dǎo)向裝置上，并且可以沿著支撐柵格移動，其中為此目的所需的控制器有利地與激光加工頭的控制器聯(lián)接，或者至少同步。這還可以確保至少一個流體供應(yīng)裝置和激光加工頭的平行移動，盡管它們具有獨立的構(gòu)造。例如，單獨的導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)軌，在移動的同時，至少一個流體供應(yīng)裝置沿著導(dǎo)軌被引導(dǎo)或在導(dǎo)軌上被引導(dǎo)。

上述兩種變型都確保了可以在激光加工頭的工作點的方向上產(chǎn)生定向流動，其中在工件下方具有少量流體。優(yōu)選地，至少一個流體供應(yīng)裝置可以相對于支撐柵格的支撐平面調(diào)整，例如移動，使得流體源和支撐柵格的支撐平面之間的距離可以根據(jù)需要進行調(diào)節(jié)。為了實現(xiàn)用于至少一個流體供應(yīng)裝置的相應(yīng)結(jié)構(gòu)和控制器的簡單構(gòu)造，至少一個流體供應(yīng)裝置可有利地垂直于支撐柵格的支撐平面旋轉(zhuǎn)和/或移動。

至少一個流體供應(yīng)裝置優(yōu)選地具有至少一個噴嘴，由此容易地確保流體的目標供應(yīng)，并且因此確保定向流動。

在本文中，術(shù)語“噴嘴”是指具有長度和出口的管狀裝置。噴嘴的橫截面在整個長度上展現(xiàn)相同的面積，該橫截面擴張或逐漸變細。如果需要，噴嘴還可以呈現(xiàn)更復(fù)雜和/或在長度上變化的橫截面的形狀。橫截面本身在設(shè)計上可以是圓形，圓形的或多邊形的，其中橫截面的長度和寬度明顯地彼此偏離。特別地，噴嘴的出口也可以構(gòu)造為狹縫。

例如，至少一個噴嘴可以用于影響所產(chǎn)生的流的流動形狀，流動寬度和/或流量，以反映要求和希望。

至少一個流體供應(yīng)裝置優(yōu)選地具有相鄰布置的多個噴嘴。如果需要，噴嘴在此可以在設(shè)計上相同或相似，或者在設(shè)計上變化。在確保定向流動的同時，幾個噴嘴可用于提高定向流的寬度擴展，從而覆蓋激光加工頭下方的更大區(qū)域。噴嘴有利地彼此間隔開，使得支撐柵格不會不利地影響由至少一個流體供應(yīng)裝置產(chǎn)生的流動的進展。

多個噴嘴優(yōu)選地布置在共享線上，使得容易產(chǎn)生具有寬擴張的定向流。

如下的布置，該布置包括在共享線上被對齊以平行于支撐柵格的支撐平面延伸的多個噴嘴，已被證明對于產(chǎn)生理想流動是特別有利的。

至少一個噴嘴優(yōu)選地位于支撐柵格的支撐平面下方，從而確保所產(chǎn)生的流在待處理的工件下方的行進。

如果設(shè)置具有多個噴嘴的流體供應(yīng)裝置，則所有噴嘴有利地位于支撐柵格的支撐平面下方，使得可以產(chǎn)生有利于移除殘余物的流動。

除了位于支撐柵格的支撐平面下方的至少一個噴嘴之外，在一個變型中，至少一個附加噴嘴可以位于支撐柵格的支撐平面上方，從而也在工件上方產(chǎn)生流動，例如，這額外地支持在工件頂部上的殘余物去除或在加工點冷卻工件。

彼此相鄰布置的多個噴嘴優(yōu)選地彼此間隔開一距離，該距離小于柵格元件之間的距離。這防止所有噴嘴吹在柵格條上。這還確保流動通過噴嘴區(qū)域中的柵格條之間的所有區(qū)段，并且特別地與超過柵格元件之間的距離的噴嘴距離相反，在該區(qū)域中沒有區(qū)段不能承載流動或者沒有區(qū)段被忽視。所有噴嘴有利地彼此間隔開大約相同的距離。

至少一個噴嘴優(yōu)選可更換地設(shè)置在至少一個流體供應(yīng)裝置中或上，使得至少一個噴嘴可根據(jù)需要更換或替換。所述至少一個噴嘴隨著時間的使用而磨損。可更換性使得可以提供作為單獨部件的新噴嘴，并且至少一個流體供應(yīng)裝置不必完全更換。此外，可以在至少一個流體供應(yīng)裝置中或上設(shè)置各種類型和/或構(gòu)造的噴嘴，例如可以基于加工類型，工件的材料類型和/或流體類型而選擇噴嘴。

至少一個噴嘴的形狀和構(gòu)造有利地選擇成使得在激光加工頭的工作區(qū)域中盡可能實現(xiàn)定向的或?qū)挼牧黧w供應(yīng)。根據(jù)優(yōu)選的切割方法的類型，也可以使用各種噴嘴形狀和噴嘴直徑。

至少一個噴嘴優(yōu)選地布置在至少一個流體供應(yīng)裝置中或上，使得其能夠以至少一個自由度移動，使得可以產(chǎn)生振蕩流。有利地，至少一個噴嘴安裝成使得其可以以幾個自由度移動，使得可以在多個方向上產(chǎn)生流動。例如，至少一個噴嘴位于有利的彈性安裝體中，例如由彈性體或橡膠材料制成的安裝體。進一步有利的是，提供柔性供應(yīng)管線，從而即使在至少一個噴嘴的這種布置的情況下也確保流體的供應(yīng)。

可優(yōu)選地相對于至少一個流體供應(yīng)裝置設(shè)置至少一個噴嘴的對準，使得流可根據(jù)需要被對準，并且可相對于工件實現(xiàn)流體的最佳入射角。用于至少一個流體供應(yīng)裝置的調(diào)整裝置被設(shè)計成自動地或手動地致動。

已經(jīng)證明將流體引入盡可能靠近工件邊緣是特別有利的，使得可以在工件底部上產(chǎn)生足夠的流體層(邊界層)，同時不中斷加工操作，例如在工件頂部上的切割或插入過程。這可以通過至少一個可對準的噴嘴容易地確保。將氣體源定位在金屬板下方并且在金屬板底部上傾斜地向上供應(yīng)流體也是有利的。

根據(jù)工件相對于激光加工頭或激光加工頭相對于工件的定位，用于最佳流動的最佳流入點發(fā)生變化。在這種情況下，必須相應(yīng)地調(diào)節(jié)流體源。

在一個變型中，不僅至少一個噴嘴，而且整個至少一個流體供應(yīng)裝置可以相對于支撐平面對準，使得流動的進展也可以根據(jù)需要調(diào)整。

所供應(yīng)的流體優(yōu)選為氣體，因為氣體容易作為流體供應(yīng)，并且特別適于產(chǎn)生所需的流。也可以使用除空氣之外的氣體，其中根據(jù)氣體的類型產(chǎn)生額外的優(yōu)點。例如，氧作為流體在激光切割期間支持切割過程。氮作為流體也在激光切割期間用作惰性保護氣體。

也可以用作流體的是水蒸汽，該水蒸氣例如通過結(jié)合廢氣提供特殊優(yōu)點。

例如，流體(例如空氣)也可以被動地供應(yīng)，即僅通過操作的流體去除裝置的作用。為此，例如，流體去除裝置包括抽吸裝置和/或通風(fēng)機。被動流體供應(yīng)也可以通過在灰塵收集空間中存在的負壓產(chǎn)生。為了實現(xiàn)有利的被動流體供應(yīng)，例如，至少一個流體供應(yīng)裝置具有開口，該開口確保經(jīng)由供應(yīng)管路有目的地供應(yīng)相應(yīng)的流體(例如空氣)。與傳統(tǒng)解決方案相比，被動流體供應(yīng)使得可以節(jié)省更多的能量。

優(yōu)選地，氣態(tài)流體被吹入，即在壓力下被引入到灰塵收集空間中。壓縮空氣(加壓空氣)已經(jīng)證明是特別有利的，可以成本有效地提供，并且通常是一般安裝有激光加工機的現(xiàn)有基礎(chǔ)設(shè)施中的部件。

進一步有利的是，以脈沖方式吹送流體，使得流動層發(fā)生變化。這使得可以額外地避免流動層之間的死水區(qū)。

進一步有利的是，流體被動態(tài)地供應(yīng)，例如根據(jù)切割計劃和/或根據(jù)激光加工頭的位置。

優(yōu)選地設(shè)置用于調(diào)節(jié)流體壓力的至少一個流體調(diào)節(jié)裝置，通過該流體調(diào)節(jié)裝置可以將排出的流體的量調(diào)節(jié)和優(yōu)化到相應(yīng)應(yīng)用以用于產(chǎn)生和調(diào)節(jié)期望流量。以這種方式，例如，根據(jù)與工件上的操作點相距的距離而改變壓力，使得加工不受流體供應(yīng)的負面影響。

或者或另外，至少一個流體調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)流體流量，使得可以容易地產(chǎn)生和調(diào)節(jié)優(yōu)選流。

前述措施可用于根據(jù)加工操作和/或工件材料設(shè)定或改變排出流體量。

有利地，動態(tài)地調(diào)節(jié)流體量，并且進一步有利地基于來自激光加工機的控制器的數(shù)據(jù)來調(diào)節(jié)流體量。

提供保護裝置以至少部分地保護至少所述至少一個流體供應(yīng)裝置免受在處理操作期間產(chǎn)生的殘余物和/或原材料飛濺的影響，從而保護所述至少一個流體供應(yīng)裝置特別是免受污染，并且因此確保至少一個流體供應(yīng)裝置的更長的適用性。例如，設(shè)置有片狀元件，所述片狀元件至少位于至少一個流體供應(yīng)裝置的一部分的前面，例如當不使用流體供應(yīng)裝置時。

替代地或附加地，為至少一個噴嘴提供噴嘴清潔裝置，該噴嘴清潔裝置清除存在于噴嘴中的任何污染物。至少一個噴嘴清潔裝置有利地設(shè)計成使得如果必要，自動地清潔至少一個噴嘴。例如，噴嘴清潔裝置包括至少一個刷子，例如，該刷子可以根據(jù)需要從停放位置移動到用于清潔至少一個噴嘴的位置，并且再次返回。

優(yōu)選提供至少兩個流體供應(yīng)裝置，這對于較大形式的工件是尤其有利。至少兩個流體供應(yīng)裝置使得即使對于這些工件而言也可以以低能量需求產(chǎn)生最佳流動。在這種構(gòu)造中，至少一個流體去除裝置設(shè)置在灰塵收集空間的前側(cè)或中央，例如在灰塵收集空間的中間。在具有雙側(cè)流體供應(yīng)的實施例中，脈沖供應(yīng)被額外地證明是特別有利的，因為由此可以產(chǎn)生變化的對準或擴張的流動層。

至少兩個流體供應(yīng)裝置優(yōu)選地彼此相對地布置，從而可以利用流動的較小流動壓力來覆蓋工件底部的大長度或表面。

例如，至少兩個流體供應(yīng)裝置相對于彼此偏移并且彼此相對地布置，使得特別是在具有柵格元件的支撐柵格的情況下，可以容易地在柵格元件之間產(chǎn)生用于消除工件下方的廢氣的相對的流動。在此可以想到，借助于至少兩個流體供應(yīng)裝置中的一個從相應(yīng)側(cè)交替地供應(yīng)流體。

或者，至少兩個流體供應(yīng)裝置彼此直接相對地設(shè)置，這對布置在灰塵收集空間中設(shè)置至少一個流體去除裝置是有利的。

例如，根據(jù)灰塵收集空間中的流動狀況，調(diào)整至少一個流體去除裝置的布置，可以防止相反方向的流動可能產(chǎn)生具有渦流的區(qū)域。

進一步有利的是，至少兩個流體供應(yīng)裝置可以彼此同步地移動，以便確保利用所產(chǎn)生的流動進行最佳的覆蓋。至少兩個流體供應(yīng)裝置在此可以在結(jié)構(gòu)上彼此聯(lián)接和/或位于橋上。

在替代方案中，至少兩個流體供應(yīng)裝置可以彼此分離地移動，但是有利地每個都被控制從而它們僅同步移動。為此目的可以設(shè)置單個控制器，幾個控制器也可以，但是在這種情況下，設(shè)置幾個控制器有利地彼此通信。

附圖說明

本發(fā)明的其它優(yōu)點，特征和細節(jié)可從以下說明中獲悉，其中在如下的說明中，參照附圖描述本發(fā)明的示例性實施例。在權(quán)利要求和說明書中提到的特征無論是單獨地還是以任何組合在這里對于本發(fā)明是重要的。

正如權(quán)利要求和附圖的技術(shù)內(nèi)容，參考列表是本公開的組件。這些圖以一致和總體的方式說明。相同的附圖標記指代相同的組件，而具有不同標志的附圖標記表示功能上相同或相似的組件。

圖1是根據(jù)本發(fā)明的激光加工機的剖視圖。

圖2是圖1的細節(jié)圖。

圖3是根據(jù)圖2的細節(jié)的立體圖。

圖4是通過流體供應(yīng)裝置的噴嘴的細節(jié)圖。

圖5是根據(jù)本發(fā)明的激光加工機的變型的示意性剖視圖。

圖6是類似于圖2的細節(jié)圖，但是具有流體供應(yīng)裝置的另一變型。

圖7是通過另一流體供應(yīng)裝置的噴嘴的細節(jié)圖。

圖8是流體供應(yīng)裝置和支撐柵格的示意性俯視圖。

圖9是支撐柵格的示意性俯視圖。

具體實施方式

圖1至圖3所示的激光加工機11是具有作為激光加工頭的激光切割頭12的激光切割機。激光加工機11還包括由支撐柵格16覆蓋的灰塵收集空間15。支撐柵格16限定用于支撐待加工工件8的支撐平面a。支撐柵格16包括彼此平行并且彼此間隔開的多個柵格元件17。

激光切割頭12布置在橋14上。為了相對于工件8定位激光切割頭12，工件8可以沿著橋14以及利用該橋14在激光切割頭12的移動方向(雙箭頭)上移動。能量通過柔性進料器13(也稱為供應(yīng)鏈)供應(yīng)到激光切割頭12。

還設(shè)置有流體供應(yīng)裝置21和流體去除裝置31，該流體供應(yīng)裝置21和流體去除裝置31被設(shè)計成在支撐柵格16的支撐平面a下方產(chǎn)生平行于支撐柵格16的柵格元件17延伸的流體流27，并且去除例如廢氣28和灰塵。

流體去除裝置31包括吸入管32，在該吸入管32中存在負壓。替代地或附加地，可以設(shè)置至少一個通風(fēng)機，該通風(fēng)機在流體去除裝置31的區(qū)域中產(chǎn)生負壓。

流體供應(yīng)裝置21可以在激光加工頭12的移動方向上與激光加工頭12平行地移動。在圖1所示的實施例中，流體供應(yīng)裝置21為此位于橋14上，激光加工頭12也位于橋14上。

流體供應(yīng)裝置21具有多個彼此相鄰布置的噴嘴23，這些噴嘴位于共享線上。噴嘴23位于支撐柵格16的支撐平面a下方。

每個噴嘴23可更換地布置在流體供應(yīng)裝置21中，并且可調(diào)整其相對于流體供應(yīng)裝置21或支撐柵格16(參見圖4)的支撐平面a的對準。

供應(yīng)的流體是氣體，有利地是空氣。空氣被脈沖地吹入?？諝饨?jīng)由供應(yīng)管線25被供應(yīng)到流體供應(yīng)裝置21，并且在該中流體供應(yīng)裝置21中經(jīng)由供應(yīng)通道26被引導(dǎo)到噴嘴23。例如，供應(yīng)通道26在這里可以包括閥，以便向獨立的噴嘴23供應(yīng)流體或者將流體與噴嘴23分離。

激光加工機11還具有用于調(diào)節(jié)流體壓力和/或流體流量的流體調(diào)節(jié)裝置29。

圖6所示的流體供應(yīng)裝置36設(shè)計成與流體供應(yīng)裝置21類似，但是位于單獨的導(dǎo)軌(這里為導(dǎo)軌38)上。流體供應(yīng)裝置36可以沿著支撐柵格16移動，有利地與激光加工頭12一起移動。流體供應(yīng)裝置36可以相對于支撐柵格16的支撐平面a在雙箭頭37的方向上被調(diào)整(例如，旋轉(zhuǎn)或移動)。

在根據(jù)圖5的激光加工機41中，設(shè)置兩個流體供應(yīng)裝置51，它們彼此相對設(shè)置并且可以彼此同步地移動。例如，流體供應(yīng)裝置51分別與上述流體供應(yīng)裝置21相同地設(shè)計。每個流體供應(yīng)裝置51可以圍繞相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)軸線52旋轉(zhuǎn)，并且因此可以相對于支撐柵格16的支撐平面a對準。加壓空氣用作流體，并且由激光加工機41的壓縮機56提供。

還為每個流體供應(yīng)裝置51提供了相應(yīng)的翼狀保護裝置58。每個保護裝置58可以單獨地致動，并且被推向相應(yīng)的流體供應(yīng)裝置51的前方，以便至少部分地保護流體供應(yīng)裝置51免受在加工操作期間累積的殘余物的影響。

流體去除裝置61居中地位于灰塵收集空間15中。

然而，該灰塵收集空間15也可以被分成幾個單獨的區(qū)段，其中，然后有利地在每個區(qū)段中設(shè)置單獨的流體去除裝置。

為了支持定向流的形成，該流體去除裝置或每個流體去除裝置也可以定位在灰塵收集空間15的與供應(yīng)裝置相對的一側(cè)，并且優(yōu)選地與流體供應(yīng)裝置平行地布置。

在如圖7所示的流體供應(yīng)裝置71中，噴嘴73安裝在流體供應(yīng)裝置71中或上的有利的彈性安裝體中，該彈性安裝體例如由彈性體制成。在供應(yīng)流體的同時，噴嘴73可以以幾個自由度移動。

在如圖8所示的實施例中，流體供應(yīng)裝置81的彼此相鄰布置的幾個噴嘴83各自間隔開小于支撐柵格76的柵格元件77之間的距離c的距離a。

在根據(jù)圖9的實施例中，設(shè)置兩個流體供應(yīng)裝置91和96，它們彼此相對地設(shè)置并且相對于彼此偏移。流體供應(yīng)裝置91的噴嘴93和流體供應(yīng)裝置96的噴嘴98布置成使得在支撐柵格16的柵格元件17之間存在相反的流動。流體供應(yīng)裝置91和96優(yōu)選地在該示例中彼此同步地移動。

8工件

11激光加工機

12激光加工頭

13柔性進料器

14橋

15灰塵收集空間

16支撐柵格

17柵格元件

21流體供應(yīng)裝置

22雙箭頭

23噴嘴

25供應(yīng)管線

26供應(yīng)通道

27流體流量

28廢氣

31流體去除裝置

32吸油管

36流體供應(yīng)裝置

37雙箭頭

38導(dǎo)向裝置

a用于16的支撐平面

c用于77的距離

a用于83的距離

41激光加工機

51流體供應(yīng)裝置

52旋轉(zhuǎn)軸線

56壓縮機

58保護裝置

61流體去除裝置

71流體供應(yīng)裝置

72存儲體

73噴嘴

76支撐柵格

77柵格元件

81流體供應(yīng)裝置

83噴嘴

91流體供應(yīng)裝置

93噴嘴

96流體供應(yīng)裝置

98噴嘴