本實(shí)用新型屬于激光加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置。

背景技術(shù)：

目前市場(chǎng)紫外激光器性能參差不齊，故在批量生產(chǎn)時(shí)會(huì)出現(xiàn)出光功率不一致的情況，從而導(dǎo)致產(chǎn)品生產(chǎn)參數(shù)不一致的質(zhì)量事故的發(fā)生；現(xiàn)有技術(shù)中的激光器控制系統(tǒng)中采用串口通訊，抗干擾能力較弱；且光路采樣器件多采用熱電堆采樣，其采樣速度較慢，對(duì)實(shí)時(shí)性采樣要求無(wú)法滿足，導(dǎo)致系統(tǒng)無(wú)法進(jìn)行閉環(huán)控制，只能實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的監(jiān)控。

因此，有必要提供一種新的具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置來(lái)解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置，抗干擾能力強(qiáng)，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控激光功率，能夠有效控制激光器光量，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

本實(shí)用新型通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)上述目的：一種具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置，其包括上位機(jī)、與所述上位機(jī)電信號(hào)連接的紫外激光器、將所述紫外激光器發(fā)射出的激光進(jìn)行垂直反射的第一45°全反透鏡以及位于所述第一45°全反透鏡背面的且與所述上位機(jī)電信號(hào)連接的功率反饋系統(tǒng)，所述功率反饋系統(tǒng)包括將所述第一45°全反透鏡中的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換裝置、與所述光電轉(zhuǎn)換裝置電信號(hào)連接的調(diào)理電路以及與所述調(diào)理電路電信號(hào)連接的控制器。

進(jìn)一步的，還包括將所述第一45°全反透鏡反射出的激光進(jìn)行垂直反射的第二45°全反透鏡以及將所述第二45°全反透鏡反射出的激光進(jìn)行垂直反射的聚焦鏡。

進(jìn)一步的，所述控制器包括串口通訊模塊以及TCP/IP處理模塊。

進(jìn)一步的，所述串口通訊模塊與所述上位機(jī)通訊連接。

進(jìn)一步的，所述光電轉(zhuǎn)換裝置為光電轉(zhuǎn)換二極管。

進(jìn)一步的，所述光電轉(zhuǎn)換裝置安裝在所述第一45°全反透鏡的背面。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型一種具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置的有益效果在于：實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)控制，保證了激光器功率輸出實(shí)時(shí)可控，確保了激光功率輸出的一致性與穩(wěn)定性。具體的，通過設(shè)置TCP/IP處理模塊，采用TCP/IP通訊方式提高了抗干擾能力且方便設(shè)備聯(lián)網(wǎng)控制；采用光電轉(zhuǎn)換二極管，實(shí)現(xiàn)了采樣速度達(dá)到ms級(jí)轉(zhuǎn)換速度，配合網(wǎng)口通訊完全滿足實(shí)時(shí)閉環(huán)控制條件；光路設(shè)計(jì)采樣放置于透過率99.8％全反透鏡后部，很好的實(shí)現(xiàn)了針對(duì)各個(gè)功率大小的紫外激光器光量的控制，由于光電轉(zhuǎn)換二極管對(duì)光強(qiáng)的采樣線性區(qū)間較小，因此實(shí)現(xiàn)了功率與電信號(hào)的線性對(duì)應(yīng)關(guān)系。

【附圖說明】

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的控制示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中功率反饋系統(tǒng)的模塊控制示意圖；

圖中數(shù)字表示：

100具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置；1上位機(jī)；2紫外激光器；3第一45°全反透鏡；4功率反饋系統(tǒng)，41光電轉(zhuǎn)換裝置，42調(diào)理電路，43控制器，431串口通訊模塊，432TCP/IP處理模塊；5第二45°全反透鏡，6聚焦鏡，7加工區(qū)域。

【具體實(shí)施方式】

實(shí)施例：

請(qǐng)參照?qǐng)D1-圖2，本實(shí)施例為具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置100，其包括上位機(jī)1、與上位機(jī)1電信號(hào)連接的紫外激光器2、將紫外激光器2發(fā)射出的激光進(jìn)行垂直反射的第一45°全反透鏡3、位于第一45°全反透鏡3背面的且與上位機(jī)1電信號(hào)連接的功率反饋系統(tǒng)4、將第一45°全反透鏡3反射出的激光進(jìn)行垂直反射的第二45°全反透鏡5以及將第二45°全反透鏡5反射出的激光進(jìn)行垂直反射的聚焦鏡6。

聚焦鏡6將激光透射到加工區(qū)域7。

功率反饋系統(tǒng)4包括將第一45°全反透鏡3中的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換裝置41、與光電轉(zhuǎn)換裝置41電信號(hào)連接的調(diào)理電路42以及與調(diào)理電路42電信號(hào)連接的控制器43?？刂破?3包括串口通訊模塊431以及TCP/IP處理模塊432。串口通訊模塊431與上位機(jī)1通訊連接。光電轉(zhuǎn)換裝置41為光電轉(zhuǎn)換二極管。光電轉(zhuǎn)換裝置41安裝在第一45°全反透鏡3的背面。

本實(shí)施例具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置100的工作原理為：通過對(duì)45°全反透鏡后部安裝的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)激光進(jìn)行實(shí)時(shí)采樣，并通過光電轉(zhuǎn)換二極管轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，通過調(diào)理電路轉(zhuǎn)化為控制器所接受的電壓信號(hào)，控制器通過內(nèi)部運(yùn)算將采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行收集處理，待上位機(jī)發(fā)來(lái)采樣信號(hào)后將采樣數(shù)據(jù)反饋于上位機(jī)，上位機(jī)通過實(shí)時(shí)判斷采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)閉環(huán)控制。

本實(shí)施例具有激光功率實(shí)時(shí)反饋的紫外激光器加工裝置100的有益效果在于：實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)控制，保證了激光器功率輸出實(shí)時(shí)可控，確保了激光功率輸出的一致性與穩(wěn)定性。具體的，通過設(shè)置TCP/IP處理模塊，采用TCP/IP通訊方式提高了抗干擾能力且方便設(shè)備聯(lián)網(wǎng)控制；采用光電轉(zhuǎn)換二極管，實(shí)現(xiàn)了采樣速度達(dá)到ms級(jí)轉(zhuǎn)換速度，配合網(wǎng)口通訊完全滿足實(shí)時(shí)閉環(huán)控制條件；光路設(shè)計(jì)采樣放置于透過率99.8％全反透鏡后部，很好的實(shí)現(xiàn)了針對(duì)各個(gè)功率大小的紫外激光器光量的控制，由于光電轉(zhuǎn)換二極管對(duì)光強(qiáng)的采樣線性區(qū)間較小，因此實(shí)現(xiàn)了功率與電信號(hào)的線性對(duì)應(yīng)關(guān)系。

以上所述的僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施方式。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。