1.一種用于測量三軸加工中心線性軸熱定位誤差的裝置,其特征在于該裝置包括激光干涉儀、支架、云臺(tái)、第一磁力基座、第二磁力基座和數(shù)據(jù)處理端計(jì)算機(jī);所述激光干涉儀包括激光頭、線性干涉鏡和第二線性反射鏡;所述線性干涉鏡包括分光鏡和第一線性反射鏡;所述數(shù)據(jù)處理端計(jì)算機(jī)通過數(shù)據(jù)傳輸線與激光頭連接;
三軸加工中心線性軸分為X軸方向、Y軸方向和Z軸方向,針對(duì)不同方向的線性軸,裝置的安裝方式不同:
X軸方向:所述激光頭安裝在云臺(tái)上,云臺(tái)固定安裝在支架上;支架固定于水平面上,位于三軸加工中心的一側(cè);第二線性反射鏡通過第一磁力基座安裝在三軸加工中心的X軸上,沿X軸做直線運(yùn)動(dòng),位于三軸加工中心的另一側(cè);線性干涉鏡通過第二磁力基座安裝在三軸加工中心的Z軸上,Z軸固定不動(dòng);線性干涉鏡位于激光頭和第二線性反射鏡之間;激光頭、線性干涉鏡的分光鏡和第二線性反射鏡三者的中心在同一直線上;
Y軸方向:將激光頭安裝在云臺(tái)上,云臺(tái)固定安裝在支架上;支架固定于水平面上,位于三軸加工中心的正前端;第二線性反射鏡通過第一磁力基座安裝在三軸加工中心的Y軸上,沿Y軸做直線運(yùn)動(dòng);線性干涉鏡通過第二磁力基座安裝在三軸加工中心的Z軸上,Z軸固定不動(dòng);線性干涉鏡位于激光頭和第二線性反射鏡之間;激光頭、線性干涉鏡的分光鏡和第二線性反射鏡三者的中心在同一直線上;
Z軸方向:將激光頭安裝在云臺(tái)上,云臺(tái)固定安裝在支架上;支架固定于水平面上,位于三軸加工中心的正前端;第二線性反射鏡通過第一磁力基座安裝在三軸加工中心的Z軸上,沿Z軸做直線運(yùn)動(dòng);線性干涉鏡通過第二磁力基座安裝三軸加工中心的XY軸水平面上,X軸和Y軸固定不動(dòng);激光頭和線性干涉鏡的分光鏡的入射光中心在同一條直線上,分光鏡的出射光中心和第二線性反射鏡中心在同一直線上,兩直線相互垂直。