本申請涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體器件例如igbt(insulated?gate?bipolar?transistor，絕緣柵雙極型晶體管)的制備過程中，需將連接端子(例如信號端子及功率端子)與dbc(directed?bondingcopper，直接鍵合銅)基板進(jìn)行焊接。在焊接前通常采用固定工裝將各端子進(jìn)行固定，并移動固定工裝的位置使連接端子與dbc的待焊接區(qū)域?qū)ξ?。在完成焊接后，再將固定工裝去除。

2、目前使用的固定工裝包括設(shè)有第一定位孔的金屬固定板和設(shè)有第二定位孔的聚四氟乙烯固定板，第一定位孔的寬度大于第二定位孔的寬度。連接端子固定于固定工裝后，連接端子的部分位于第一定位孔內(nèi)，部分位于第二定位孔內(nèi)。為防止焊接過程中聚四氟乙烯固定板在高溫下發(fā)生變形，待連接端子與dbc的待焊接區(qū)域?qū)ξ缓?，需將聚四氟乙烯固定板去除。在去除聚四氟乙烯固定板的過程中，金屬固定板的位置可能發(fā)生偏移，導(dǎo)致連接端子發(fā)生傾斜而與dbc的待焊接區(qū)域錯位，進(jìn)而導(dǎo)致焊接后得到的產(chǎn)品報廢，影響產(chǎn)品的良率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請實施例提供了一種用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝。所述半導(dǎo)體器件包括導(dǎo)電基板及多個連接端子；所述固定工裝用于在所述連接端子焊接到所述導(dǎo)電基板前，將所述多個連接端子固定并與所述導(dǎo)電基板的待焊接區(qū)域?qū)ξ唬?/p>

2、所述固定工裝包括第一固定板、連接件、支撐件及多個彈片；所述第一固定板設(shè)有多個第一通孔；所述第一通孔用于所述連接端子插入；所述彈片固定于所述第一固定板上，在所述連接端子插入所述第一通孔時所述彈片與所述連接端子抵接并發(fā)生形變，以將所述連接端子固定于所述第一固定板；所述支撐件位于所述第一固定板朝向所述導(dǎo)電基板的一側(cè)并支撐所述第一固定板，所述連接件將所述支撐件與所述第一固定板相連。

3、在一個實施例中，所述第一固定板、所述連接件、所述彈片及所述支撐板的材料分別為金屬或金屬合金。

4、在一個實施例中，所述多個彈片分為多組，每組包括兩個相對設(shè)置的彈片；每一所述第一通孔與一組彈片相對應(yīng)；所述彈片的兩端與所述第一固定板相連；一組彈片中的一個所述彈片朝向另一個所述彈片凸出。

5、在一個實施例中，各組彈片的兩個所述彈片位于對應(yīng)的所述第一通孔內(nèi)，且兩個所述彈片的端部分別與所述第一通孔的側(cè)面相連；或者，

6、所述彈片位于所述第一固定板朝向或背離所述導(dǎo)電基板的側(cè)面，且一組彈片的兩個所述彈片之間的最小間隙在所述第一固定板的表面所在平面上的正投影落在對應(yīng)的所述通孔內(nèi)。

7、在一個實施例中，各組彈片中的兩個所述彈片之間的最小距離小于對應(yīng)的所述連接端子的厚度。

8、在一個實施例中，所述連接端子的厚度與所述最小距離的差值范圍為0.1mm～0.2mm。

9、在一個實施例中，所述連接端子包括第一連接端子和第二連接端子，所述第一連接端子的長度大于所述第二連接端子的長度；所述第一固定板包括第一子固定板和第二子固定板；所述第一子固定板的所述第一通孔用于所述第一連接端子插入，所述第二子固定板的所述第一通孔用于所述第二連接端子插入；所述第二子固定板位于所述第一子固定板朝向所述導(dǎo)電基板的一側(cè)，且所述第一子固定板與所述第二子固定板之間設(shè)有至少一個所述支撐件。

10、在一個實施例中，所述固定工裝還包括第二固定板；所述第一固定板和第二固定板間隔設(shè)置，且所述第一固定板和第二固定板相對，至少一個所述支撐件位于所述第一固定板與所述第二固定板之間；所述第一固定板和所述第二固定板通過所述連接件相連；所述第二固定板設(shè)有多個第二通孔，一個所述第一通孔與一個所述第二通孔相對；所述第二通孔用于所述連接端子插入；所述第二固定板的材料為金屬或金屬合金。

11、在一個實施例中，所述連接端子包括第一連接端子和第二連接端子，所述第一連接端子的長度大于所述第二連接端子的長度；所述第一固定板包括第一子固定板和第二子固定板；所述第一子固定板的所述第一通孔用于所述第一連接端子插入，所述第二子固定板的所述第一通孔用于所述第二連接端子插入；所述第一子固定板與所述第二子固定板均位于所述第二固定板背離所述導(dǎo)電基板的一側(cè)，且所述第二子固定板位于所述第一子固定板與所述第二固定板之間，至少一個所述支撐件位于所述第二子固定板與所述第二固定板之間。

12、在一個實施例中，所述第二子固定板在所述第一子固定板的表面所在平面的正投影落在所述一子固定板的表面內(nèi)，且位于所述第一子固定板的所述第一通孔之外；所述第一子固定板在所述第二固定板的表面所在平面的正投影落在所述第二固定板的表面內(nèi)；至少一個所述連接件穿設(shè)所述第一子固定板、所述第二子固定板及所述第二固定板，至少一個所述連接件穿設(shè)所述第一子固定板未與所述第二子固定板相對的區(qū)域及所述第二固定板。

13、在一個實施例中，所述第一固定板上的第一通孔分為n組；一組第一通孔用于固定一個所述導(dǎo)電基板對應(yīng)的連接端子；n為大于或等于2的整數(shù)。

14、本申請實施例所達(dá)到的主要技術(shù)效果是：

15、本申請實施例提供的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，通過在第一固定板上設(shè)置彈片，連接端子插入第一通孔內(nèi)時彈片將連接端子固定在第一固定板上，可防止在連接端子與導(dǎo)電基板的待焊接區(qū)域?qū)ξ粫r連接端子相對于待焊接區(qū)域發(fā)生偏移，提升產(chǎn)品良率；固定工裝無需設(shè)置用于固定連接端子的聚四氟乙烯固定板，可避免去除聚四氟乙烯固定板過程中導(dǎo)致連接端子相對于待焊接區(qū)域發(fā)生偏移而導(dǎo)致產(chǎn)品報廢的情況，有效提升產(chǎn)品良率。

技術(shù)特征：

1.一種用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，所述半導(dǎo)體器件包括導(dǎo)電基板及多個連接端子；所述固定工裝用于在所述連接端子焊接到所述導(dǎo)電基板前，將所述多個連接端子固定并與所述導(dǎo)電基板的待焊接區(qū)域?qū)ξ唬?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，所述第一固定板、所述連接件、所述彈片及所述支撐板的材料分別為金屬或金屬合金。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，所述多個彈片分為多組，每組包括兩個相對設(shè)置的彈片；每一所述第一通孔與一組彈片相對應(yīng)；所述彈片的兩端與所述第一固定板相連；一組彈片中的一個所述彈片朝向另一個所述彈片凸出。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，各組彈片的兩個所述彈片位于對應(yīng)的所述第一通孔內(nèi)，且兩個所述彈片的端部分別與所述第一通孔的側(cè)面相連；或者，

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，各組彈片中的兩個所述彈片之間的最小距離小于對應(yīng)的所述連接端子的厚度；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，所述連接端子包括第一連接端子和第二連接端子，所述第一連接端子的長度大于所述第二連接端子的長度；所述第一固定板包括第一子固定板和第二子固定板；所述第一子固定板的所述第一通孔用于所述第一連接端子插入，所述第二子固定板的所述第一通孔用于所述第二連接端子插入；所述第二子固定板位于所述第一子固定板朝向所述導(dǎo)電基板的一側(cè)，且所述第一子固定板與所述第二子固定板之間設(shè)有至少一個所述支撐件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，所述固定工裝還包括第二固定板；所述第一固定板和第二固定板間隔設(shè)置，且所述第一固定板和第二固定板相對，至少一個所述支撐件位于所述第一固定板與所述第二固定板之間；所述第一固定板和所述第二固定板通過所述連接件相連；所述第二固定板設(shè)有多個第二通孔，一個所述第一通孔與一個所述第二通孔相對；所述第二通孔用于所述連接端子插入；所述第二固定板的材料為金屬或金屬合金。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，所述連接端子包括第一連接端子和第二連接端子，所述第一連接端子的長度大于所述第二連接端子的長度；所述第一固定板包括第一子固定板和第二子固定板；所述第一子固定板的所述第一通孔用于所述第一連接端子插入，所述第二子固定板的所述第一通孔用于所述第二連接端子插入；所述第一子固定板與所述第二子固定板均位于所述第二固定板背離所述導(dǎo)電基板的一側(cè)，且所述第二子固定板位于所述第一子固定板與所述第二固定板之間，至少一個所述支撐件位于所述第二子固定板與所述第二固定板之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，所述第二子固定板在所述第一子固定板的表面所在平面的正投影落在所述一子固定板的表面內(nèi)，且位于所述第一子固定板的所述第一通孔之外；所述第一子固定板在所述第二固定板的表面所在平面的正投影落在所述第二固定板的表面內(nèi)；至少一個所述連接件穿設(shè)所述第一子固定板、所述第二子固定板及所述第二固定板，至少一個所述連接件穿設(shè)所述第一子固定板未與所述第二子固定板相對的區(qū)域及所述第二固定板。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝，其特征在于，所述第一固定板上的第一通孔分為n組；一組第一通孔用于固定一個所述導(dǎo)電基板對應(yīng)的連接端子；n為大于或等于2的整數(shù)。

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┮环N用于制備半導(dǎo)體器件的固定工裝。半導(dǎo)體器件包括導(dǎo)電基板及多個連接端子；固定工裝用于在連接端子焊接到導(dǎo)電基板前，將多個連接端子固定并與導(dǎo)電基板的待焊接區(qū)域?qū)ξ弧９潭üぱb包括第一固定板、連接件、支撐件及多個彈片。第一固定板設(shè)有多個第一通孔；第一通孔用于所述連接端子插入。彈片固定于所述第一固定板上，在連接端子插入第一通孔時彈片與連接端子抵接并發(fā)生形變，以將連接端子固定于第一固定板。支撐件位于所述第一固定板朝向所述導(dǎo)電基板的一側(cè)并支撐所述第一固定板，所述連接件將所述支撐件與所述第一固定板相連；所述第一固定板、所述連接件、所述彈片及所述支撐板的材料分別為金屬或金屬合金。

技術(shù)研發(fā)人員：劉瑜,潘效飛,張賢坤,張小東,陳彬,李松昌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華潤潤安科技（重慶）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2