本技術(shù)涉及半導(dǎo)體處理設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種焊接工裝及半導(dǎo)體焊接裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體行業(yè)的高端廢氣處理設(shè)備對氣密性要求極高，對廢氣處理設(shè)備進(jìn)行焊接時不允許出現(xiàn)漏焊現(xiàn)象，因此焊接時對焊接件的端面平行度與垂直度等焊接質(zhì)量要求極高。

2、目前對焊接件的焊接方式主要采用人工焊接的方式，但人工焊接無法保證對焊接件連續(xù)焊接，無法保證焊縫的一致性，容易出現(xiàn)難以發(fā)現(xiàn)的焊接縫隙，影響焊接質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在至少解決相關(guān)技術(shù)中存在的問題之一。為此，本實(shí)用新型提出一種焊接工裝，能夠?qū)⒑附蛹潭?，使得焊接機(jī)器人能夠根據(jù)所設(shè)定的焊接路徑對焊接件的邊沿進(jìn)行焊接，獲得穩(wěn)定連續(xù)的焊縫，同時保證焊接過程中焊接件固定，保證了焊縫的一致性，避免焊縫產(chǎn)生縫隙，有效提高了焊接質(zhì)量。

2、本實(shí)用新型還提供一種半導(dǎo)體焊接裝置。

3、本實(shí)用新型第一方面提供的一種焊接工裝，包括：

4、基板；

5、導(dǎo)向固定組件，設(shè)置于所述基板；

6、基準(zhǔn)定位組件，設(shè)置于所述基板，所述基準(zhǔn)定位組件可相對于所述導(dǎo)向固定組件移動，所述基準(zhǔn)定位組件用于推動焊接件抵接于所述導(dǎo)向固定組件；

7、夾緊組件，設(shè)置于所述基板，所述夾緊組件用于將所述焊接件固定于所述導(dǎo)向固定組件。

8、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種焊接工裝，所述基準(zhǔn)定位組件包括至少兩個定位件，兩個所述定位件之間呈預(yù)設(shè)角度，所述定位件的固定部與所述基板連接，所述定位件的伸出部適于與所述焊接件抵接。

9、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種焊接工裝，所述基準(zhǔn)定位組件還包括調(diào)節(jié)件，所述定位件與所述基板之間通過所述調(diào)節(jié)件連接，所述調(diào)節(jié)件用于調(diào)節(jié)所述定位件的高度。

10、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種焊接工裝，所述導(dǎo)向固定組件包括多個導(dǎo)向固定板，所述導(dǎo)向固定板設(shè)置于所述基板，其中一部分所述導(dǎo)向固定板與其中一個所述定位件相對設(shè)置，另一部分所述導(dǎo)向固定板與另一個所述定位件相對設(shè)置。

11、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種焊接工裝，所述夾緊組件包括至少兩組夾緊件，所述夾緊件的固定部設(shè)置于所述基板，所述夾緊件的伸出部適于抵接于所述焊接件。

12、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種焊接工裝，其中一組所述夾緊件的伸出部與其中一部分所述導(dǎo)向固定板相對設(shè)置，另一組所述夾緊件的伸出部與另一部分所述導(dǎo)向固定板相對設(shè)置。

13、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種焊接工裝，所述定位件的伸出部高于所述夾緊件的伸出部。

14、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種焊接工裝，所述夾緊組件還包括限位件，所述限位件設(shè)置于所述夾緊件的固定端，所述限位件用于限制所述夾緊件的伸出行程。

15、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種焊接工裝，還包括：

16、支撐組件，設(shè)置于所述基板，所述支撐組件用于支撐所述焊接件。

17、本實(shí)用新型第二方面實(shí)施例提供的一種半導(dǎo)體焊接裝置，包括焊接機(jī)器人、氣動控制元件和上述任意一項(xiàng)所述的焊接工裝，所述氣動控制元件與所述焊接機(jī)器人的控制系統(tǒng)電連接，所述基準(zhǔn)定位組件、所述夾緊組件均與所述氣動控制元件連接。

18、本實(shí)用新型實(shí)施例中的上述一個或多個技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果之一：

19、根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的焊接工裝，由于基準(zhǔn)定位組件可相對于導(dǎo)向固定組件移動，在利用焊接機(jī)器人對焊接件焊接前，通過將基準(zhǔn)定位組件向靠近導(dǎo)向固定組件的方向移動，以利用基準(zhǔn)定位組件推動焊接件抵接于導(dǎo)向固定組件，使得焊接件的邊沿與焊接機(jī)器人所設(shè)定的焊接路徑相對應(yīng)。

20、隨后通過夾緊組件將焊接件固定于導(dǎo)向固定組件，以將焊接件的邊沿固定，從而使得焊接機(jī)器人能夠根據(jù)所設(shè)定的焊接路徑對焊接件的邊沿進(jìn)行焊接，利用焊接機(jī)器人的焊接穩(wěn)定性對焊接件進(jìn)行焊接，獲得穩(wěn)定連續(xù)的焊縫，同時保證焊接過程中焊接件固定，保證了焊縫的一致性，避免焊縫產(chǎn)生縫隙，有效提高了焊接質(zhì)量。

21、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種焊接工裝，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接工裝，其特征在于，所述基準(zhǔn)定位組件包括至少兩個定位件，兩個所述定位件之間呈預(yù)設(shè)角度，所述定位件的固定部與所述基板連接，所述定位件的伸出部適于與所述焊接件抵接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的焊接工裝，其特征在于，所述基準(zhǔn)定位組件還包括調(diào)節(jié)件，所述定位件與所述基板之間通過所述調(diào)節(jié)件連接，所述調(diào)節(jié)件用于調(diào)節(jié)所述定位件的高度。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的焊接工裝，其特征在于，所述導(dǎo)向固定組件包括多個導(dǎo)向固定板，所述導(dǎo)向固定板設(shè)置于所述基板，其中一部分所述導(dǎo)向固定板與其中一個所述定位件相對設(shè)置，另一部分所述導(dǎo)向固定板與另一個所述定位件相對設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的焊接工裝，其特征在于，所述夾緊組件包括至少兩組夾緊件，所述夾緊件的固定部設(shè)置于所述基板，所述夾緊件的伸出部適于抵接于所述焊接件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的焊接工裝，其特征在于，其中一組所述夾緊件的伸出部與其中一部分所述導(dǎo)向固定板相對設(shè)置，另一組所述夾緊件的伸出部與另一部分所述導(dǎo)向固定板相對設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的焊接工裝，其特征在于，所述定位件的伸出部高于所述夾緊件的伸出部。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的焊接工裝，其特征在于，所述夾緊組件還包括限位件，所述限位件設(shè)置于所述夾緊件的固定端，所述限位件用于限制所述夾緊件的伸出行程。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的焊接工裝，其特征在于，還包括：

10.一種半導(dǎo)體焊接裝置，其特征在于，包括焊接機(jī)器人、氣動控制元件和權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的焊接工裝，所述氣動控制元件與所述焊接機(jī)器人的控制系統(tǒng)電連接，所述基準(zhǔn)定位組件、所述夾緊組件均與所述氣動控制元件連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體處理設(shè)備領(lǐng)域，提出一種焊接工裝及半導(dǎo)體焊接裝置。焊接工裝包括基板、導(dǎo)向固定組件、基準(zhǔn)定位組件和夾緊組件，導(dǎo)向固定組件、基準(zhǔn)定位組件和夾緊組件均設(shè)置于基板?；鶞?zhǔn)定位組件可相對于導(dǎo)向固定組件移動，以使得基準(zhǔn)定位組件能夠靠近或遠(yuǎn)離導(dǎo)向固定組件，基準(zhǔn)定位組件用于推動焊接件抵接于導(dǎo)向固定組件，夾緊組件用于將焊接件固定于導(dǎo)向固定組件。本技術(shù)提供的焊接工裝能夠?qū)⒑附蛹潭?，使得焊接機(jī)器人能夠根據(jù)所設(shè)定的焊接路徑對焊接件的邊沿進(jìn)行焊接，獲得穩(wěn)定連續(xù)的焊縫，同時保證焊接過程中焊接件固定，保證了焊縫的一致性，避免焊縫產(chǎn)生縫隙，有效提高了焊接質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：劉家歡
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽京儀自動化裝備技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231219
技術(shù)公布日：2024/12/30