本技術(shù)涉及靶材生產(chǎn)，特別是一種方形靶材校平裝置。

背景技術(shù)：

1、靶材主要由靶坯、背板等部分組成，其中靶坯是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，即高速離子束流轟擊的目標材料，屬于濺射靶材的核心部分，在濺射鍍膜過程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上，制成電子薄膜。目前當方形靶材生產(chǎn)完后，會對多個靶材進行打包并多次吊運，吊運過程中難免會因為搬運或應力等原因造成靶材的彎曲變形，影響靶材的使用，基于此，本申請?zhí)岢隽艘环N方形靶材校平裝置，可解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種方形靶材校平裝置。

2、本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種方形靶材校平裝置，包括校平臺，所述校平臺頂面的中位開設(shè)有校平槽，所述校平臺的頂面安裝有龍門架，所述龍門架頂面的中位安裝有第一伸縮電機，所述第一伸縮電機的輸出端安裝有壓平板，其位于所述校平槽的正上方，所述校平槽內(nèi)部的四角處均安裝有可往復運動的定位角座，四個所述定位角座均為直角形，所述校平槽內(nèi)部的兩側(cè)均安裝有可往復運動的楔座，所述校平臺遠離所述楔座頂面兩側(cè)的兩邊均開設(shè)有階梯臺，四個所述階梯臺的頂面均安裝有可往復運動的移動座，四個所述移動座的上方均安裝有可上下往復運動的u型座，四個所述u型座的內(nèi)部均安裝有傳送帶，所述校平臺底面的四角處均安裝有減震墊。

3、可選的，所述校平臺頂面的四角處均開設(shè)有放置槽，四個所述放置槽的里壁均安裝有第二伸縮電機，四個所述定位角座分別安裝于四個所述第二伸縮電機的輸出端。

4、可選的，所述校平臺頂面的兩側(cè)均開設(shè)有放置槽，兩個所述放置槽的里壁均安裝有第三伸縮電機，兩個所述楔座分別安裝于兩個所述第三伸縮電機的輸出端。

5、可選的，四個所述階梯臺的頂面均開設(shè)有滑動槽，四個所述滑動槽的外側(cè)均安裝有第四伸縮電機，四個所述移動座分別滑動安裝于四個所述滑動槽的內(nèi)部，且分別與四個所述第四伸縮電機的輸出端安裝在一起。

6、可選的，四個所述移動座的下方均安裝有第五伸縮電機，四個所述u型座分別安裝于四個所述第五伸縮電機的輸出端。

7、本實用新型具有以下優(yōu)點：

8、該方形靶材校平裝置，以校平臺作為裝置主體，校平臺頂面的中位開設(shè)有校平槽，在校平槽內(nèi)部的四角處均安裝有可往復運動的定位角座，其為直角形，在校平臺的上方安裝有可上下往復運動的壓平板，將變形的靶材放在校平槽內(nèi)，四個定位角座將靶材置于中心處，壓平板下移，可對靶材進行校平。

9、其中，在校平槽內(nèi)部的兩側(cè)均安裝有可往復運動的楔座，兩個楔座同時向內(nèi)運動，可將靶材從下方抬起，方便工作人員對靶材進行拿取。

10、其中，在校平臺遠離楔座頂面的另兩側(cè)均開設(shè)有階梯臺，兩個階梯臺的頂面均開設(shè)有滑動槽，四個滑動槽的內(nèi)部均安裝有可往復運動的移動座，四個移動座的下方均安裝有伸縮電機，其輸出端安裝有u型座，四個u型座的內(nèi)部均安裝有傳送帶，使用時，將u型座伸入靶材的下方，通過u型座的升降、傳送帶轉(zhuǎn)動和移動座的移動，可將靶材從校平槽內(nèi)移出，實現(xiàn)了工件的上下料，滿足使用的需要。

技術(shù)特征：

1.一種方形靶材校平裝置，其特征在于：包括校平臺(1)，所述校平臺(1)頂面的中位開設(shè)有校平槽(19)，所述校平臺(1)的頂面安裝有龍門架(14)，所述龍門架(14)頂面的中位安裝有第一伸縮電機(6)，所述第一伸縮電機(6)的輸出端安裝有壓平板(7)，其位于所述校平槽(19)的正上方，所述校平槽(19)內(nèi)部的四角處均安裝有可往復運動的定位角座(4)，四個所述定位角座(4)均為直角形，所述校平槽(19)內(nèi)部的兩側(cè)均安裝有可往復運動的楔座(5)，所述校平臺(1)遠離所述楔座(5)頂面兩側(cè)的兩邊均開設(shè)有階梯臺(17)，四個所述階梯臺(17)的頂面均安裝有可往復運動的移動座(8)，四個所述移動座(8)的上方均安裝有可上下往復運動的u型座(9)，四個所述u型座(9)的內(nèi)部均安裝有傳送帶(10)，所述校平臺(1)底面的四角處均安裝有減震墊(12)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方形靶材校平裝置，其特征在于：所述校平臺(1)頂面的四角處均開設(shè)有放置槽(15)，四個所述放置槽(15)的里壁均安裝有第二伸縮電機(2)，四個所述定位角座(4)分別安裝于四個所述第二伸縮電機(2)的輸出端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方形靶材校平裝置，其特征在于：所述校平臺(1)頂面的兩側(cè)均開設(shè)有放置槽(16)，兩個所述放置槽(16)的里壁均安裝有第三伸縮電機(3)，兩個所述楔座(5)分別安裝于兩個所述第三伸縮電機(3)的輸出端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方形靶材校平裝置，其特征在于：四個所述階梯臺(17)的頂面均開設(shè)有滑動槽(18)，四個所述滑動槽(18)的外側(cè)均安裝有第四伸縮電機(11)，四個所述移動座(8)分別滑動安裝于四個所述滑動槽(18)的內(nèi)部，且分別與四個所述第四伸縮電機(11)的輸出端安裝在一起。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方形靶材校平裝置，其特征在于：四個所述移動座(8)的下方均安裝有第五伸縮電機(13)，四個所述u型座(9)分別安裝于四個所述第五伸縮電機(13)的輸出端。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及靶材生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種方形靶材校平裝置，包括校平臺，所述校平臺頂面的中位開設(shè)有校平槽，所述校平臺的頂面安裝有龍門架，所述龍門架頂面的中位安裝有第一伸縮電機，所述第一伸縮電機的輸出端安裝有壓平板，其位于所述校平槽的正上方，所述校平槽內(nèi)部的四角處均安裝有可往復運動的定位角座，四個所述定位角座均為直角形。本技術(shù)的優(yōu)點在于：以校平臺作為裝置主體，校平臺頂面的中位開設(shè)有校平槽，在校平槽內(nèi)部的四角處均安裝有可往復運動的定位角座，其為直角形，在校平臺的上方安裝有可上下往復運動的壓平板，將變形的靶材放在校平槽內(nèi)，四個定位角座將靶材置于中心處，壓平板下移，可對靶材進行校平。

技術(shù)研發(fā)人員：王永超,趙澤良,李心然,馮越,王福濤,段于奇,陳淵博
受保護的技術(shù)使用者：河南東微電子材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240202
技術(shù)公布日：2024/12/26