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一種用于激光光束收集的裝置的制作方法

文檔序號:40570539發(fā)布日期:2025-01-03 11:31閱讀:15來源:國知局
一種用于激光光束收集的裝置的制作方法

本技術涉及激光光束收集,具體為一種用于激光光束收集的裝置。


背景技術:

1、晶圓激光切割設備作為一種高精密加工設備,用于半導體行業(yè)的晶圓分割加工領域,與其他激光加工領域動則千瓦級以上的加工功率相比,晶圓激光切割的功率往往僅有幾十瓦,同時為了實現(xiàn)激光切割效果,在激光光束切割晶圓之前還要經過復雜的外部光學路徑及光學元件的處理,這樣就會額外產生一些不需要的激光束。根據國際iec60825激光產品標準,激光的危害等級共分為四大等級,每個等級里面又包含有多個不同的危害等級。晶圓激光切割設備中的激光危害等級已達到4類激光的危害等級,在激光光束內和漫反射觀察條件下都是危險的,對皮膚和眼睛會產生急性危害,并且具有潛在的火災隱患,因此需要對其多余的激光束進行處理。

2、例如中國授權專利,公告號為cn220296115u的一種激光光束收集器,包括環(huán)形桶,所述環(huán)形桶一端的壁內安裝有凹透鏡,所述環(huán)形桶靠近所述凹透鏡的一端安裝有凹透鏡壓蓋,所述環(huán)形桶遠離所述凹透鏡壓蓋的一端為開口狀并且其內部安裝有反射錐,所述凹透鏡壓蓋、所述凹透鏡、所述環(huán)形桶、所述反射錐組合在一起使所述環(huán)形桶內部形成一個中空封閉空間,所述環(huán)形桶固定安裝在安裝架上。

3、上述傳統(tǒng)的收集器通過遮擋板將凹透鏡進行遮擋,能夠用于進行防護工作,但是遮擋板需要通過多個螺釘進行固定,在安裝和拆卸時較為繁瑣,影響設備的使用效率。


技術實現(xiàn)思路

1、(一)解決的技術問題

2、針對現(xiàn)有技術的不足,本實用新型提供了一種用于激光光束收集的裝置,通過設置轉動板、遮擋板、套塊、固定柱、凹槽、腔室、彈簧、卡塊、卡槽以及推動板組合使用,通過移動推動板帶動卡塊進出卡槽中,可將套塊鎖定,遮擋板將凹透鏡進行遮擋,達到防護效果,這種操作較為舒適,操作更為省時省力等優(yōu)點,解決了背景技術提出的問題。

3、(二)技術方案

4、為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種用于激光光束收集的裝置,包括收集器殼體以及安裝于收集器殼體側壁的凹透鏡,所述收集器殼體側壁轉動連接有轉動板,所述轉動板外壁固定有與凹透鏡對應的遮擋板,所述收集器殼體側壁固定有固定柱,所述遮擋板外壁固定有套塊,所述套塊底端開設有與固定柱對應的凹槽。

5、優(yōu)選的,所述固定柱內部開設有腔室,所述腔室內壁通過彈簧連接有卡塊,所述套塊內壁開設有與卡塊對應的卡槽。

6、優(yōu)選的,所述卡塊頂部開設有傾斜面,該傾斜面自下而上呈靠近固定柱一側分布。

7、優(yōu)選的,所述卡塊外壁固定有推動板,所述推動板橫截面為矩形。

8、優(yōu)選的,還包括底座,所述底座四個拐角處皆開設有安裝孔,所述底座頂端通過伸縮架連接于收集器殼體底部。

9、優(yōu)選的,所述伸縮架包括轉動筒、活動桿、滑動塊和滑動槽,所述底座頂端轉動連接有轉動筒,所述活動桿一端固定于收集器殼體底端、另一端插入于轉動筒內部,所述活動桿外壁固定有滑動塊,所述轉動筒內壁開設有與滑動塊滑動配合的滑動槽。

10、優(yōu)選的,所述轉動筒外壁固定有從動齒輪,所述底座頂端安裝有電機,所述電機輸出端連接有轉動桿,所述轉動桿頂部固定有與從動齒輪嚙合的主動齒輪。

11、優(yōu)選的,所述轉動筒底端內壁轉動連接有與活動桿螺紋連接的絲桿,所述絲桿外壁固定有齒環(huán),所述轉動筒內部開設有孔洞,所述孔洞內部嵌入有與齒環(huán)嚙合的齒條板,所述齒條板前端固定有活動板。

12、(三)有益效果

13、與現(xiàn)有技術對比,本實用新型具備以下有益效果:

14、1、通過設置轉動板、遮擋板、套塊、固定柱、凹槽、腔室、彈簧、卡塊、卡槽以及推動板組合使用,通過移動推動板帶動卡塊進出卡槽中,可將套塊鎖定,遮擋板將凹透鏡進行遮擋,達到防護效果,這種操作較為舒適,操作更為省時省力。

15、2、通過設置底座、安裝孔、電機、轉動桿、主動齒輪、轉動筒、活動桿、滑動塊、滑動槽、絲桿、齒環(huán)、齒條板、活動板、孔洞以及從動齒輪組合使用,推動活動板使齒條板前后往復移動,并使齒環(huán)和絲桿旋轉,用于驅動收集器上下往復移動,達到控制激光光束不同高度收集的效果,并且開啟電機后可自動的帶動收集器水平旋轉,進一步提升收集范圍。



技術特征:

1.一種用于激光光束收集的裝置,包括收集器殼體(1)以及安裝于收集器殼體(1)側壁的凹透鏡(2),其特征在于:所述收集器殼體(1)側壁轉動連接有轉動板(311),所述轉動板(311)外壁固定有與凹透鏡(2)對應的遮擋板(312),所述收集器殼體(1)側壁固定有固定柱(314),所述遮擋板(312)外壁固定有套塊(313),所述套塊(313)底端開設有與固定柱(314)對應的凹槽(315)。

2.根據權利要求1所述的一種用于激光光束收集的裝置,其特征在于:所述固定柱(314)內部開設有腔室(316),所述腔室(316)內壁通過彈簧(317)連接有卡塊(318),所述套塊(313)內壁開設有與卡塊(318)對應的卡槽(319)。

3.根據權利要求2所述的一種用于激光光束收集的裝置,其特征在于:所述卡塊(318)頂部開設有傾斜面,該傾斜面自下而上呈靠近固定柱(314)一側分布。

4.根據權利要求3所述的一種用于激光光束收集的裝置,其特征在于:所述卡塊(318)外壁固定有推動板(320),所述推動板(320)橫截面為矩形。

5.根據權利要求1所述的一種用于激光光束收集的裝置,其特征在于:還包括底座(411),所述底座(411)四個拐角處皆開設有安裝孔(412),所述底座(411)頂端通過伸縮架連接于收集器殼體(1)底部。

6.根據權利要求5所述的一種用于激光光束收集的裝置,其特征在于:所述伸縮架包括轉動筒(416)、活動桿(417)、滑動塊(418)和滑動槽(419),所述底座(411)頂端轉動連接有轉動筒(416),所述活動桿(417)一端固定于收集器殼體(1)底端、另一端插入于轉動筒(416)內部,所述活動桿(417)外壁固定有滑動塊(418),所述轉動筒(416)內壁開設有與滑動塊(418)滑動配合的滑動槽(419)。

7.根據權利要求6所述的一種用于激光光束收集的裝置,其特征在于:所述轉動筒(416)外壁固定有從動齒輪(425),所述底座(411)頂端安裝有電機(413),所述電機(413)輸出端連接有轉動桿(414),所述轉動桿(414)頂部固定有與從動齒輪(425)嚙合的主動齒輪(415)。

8.根據權利要求7所述的一種用于激光光束收集的裝置,其特征在于:所述轉動筒(416)底端內壁轉動連接有與活動桿(417)螺紋連接的絲桿(420),所述絲桿(420)外壁固定有齒環(huán)(421),所述轉動筒(416)內部開設有孔洞(424),所述孔洞(424)內部嵌入有與齒環(huán)(421)嚙合的齒條板(422),所述齒條板(422)前端固定有活動板(423)。


技術總結
本技術公開了一種用于激光光束收集的裝置,包括收集器殼體以及安裝于收集器殼體側壁的凹透鏡,所述收集器殼體側壁轉動連接有轉動板,所述轉動板外壁固定有與凹透鏡對應的遮擋板,所述收集器殼體側壁固定有固定柱,所述遮擋板外壁固定有套塊,所述套塊底端開設有與固定柱對應的凹槽;所述固定柱內部開設有腔室,所述腔室內壁通過彈簧連接有卡塊,所述套塊內壁開設有與卡塊對應的卡槽。該用于激光光束收集的裝置,通過設置轉動板、遮擋板、套塊、固定柱、凹槽、腔室、彈簧、卡塊、卡槽以及推動板組合使用,通過移動推動板帶動卡塊進出卡槽中,可將套塊鎖定,遮擋板將凹透鏡進行遮擋,達到防護效果,這種操作較為舒適,操作更為省時省力。

技術研發(fā)人員:王瑞剛
受保護的技術使用者:吉林省清晏光電科技有限公司
技術研發(fā)日:20240517
技術公布日:2025/1/2
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